JPH0187539U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0187539U JPH0187539U JP18346687U JP18346687U JPH0187539U JP H0187539 U JPH0187539 U JP H0187539U JP 18346687 U JP18346687 U JP 18346687U JP 18346687 U JP18346687 U JP 18346687U JP H0187539 U JPH0187539 U JP H0187539U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- push
- view
- pellets
- sheet
- pin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 2
Description
第１図と第２図と第３図は本考案に係るマウン
タの一実施例を示す要部側断面図とその概略側面
図と要部斜視図、第４図と第５図は本考案に係る
マウンタの他の２つの各実施例を示す要部斜視図
、第６図は粘着シートに半導体ウエーハも貼着し
た状態を示す斜視図、第７図は第６図の半導体ウ
エーハのペレツト分割を説明するための斜視図、
第８図は真空吸着ノズルによるペレツトピツクア
ツプを説明するための断面図、第９図と第１０図
は搬送レール上のウエーハ貼着構体を示す平面図
と断面図、第１１図は真空吸着ノズルと突き上げ
ピンによるペレツトピツクアツプを説明するため
の断面図である。 １……半導体ペレツト、３……シート、１２ｂ
……光ガイド部、１３……突き上げピン、１６…
…紫外線。
タの一実施例を示す要部側断面図とその概略側面
図と要部斜視図、第４図と第５図は本考案に係る
マウンタの他の２つの各実施例を示す要部斜視図
、第６図は粘着シートに半導体ウエーハも貼着し
た状態を示す斜視図、第７図は第６図の半導体ウ
エーハのペレツト分割を説明するための斜視図、
第８図は真空吸着ノズルによるペレツトピツクア
ツプを説明するための断面図、第９図と第１０図
は搬送レール上のウエーハ貼着構体を示す平面図
と断面図、第１１図は真空吸着ノズルと突き上げ
ピンによるペレツトピツクアツプを説明するため
の断面図である。 １……半導体ペレツト、３……シート、１２ｂ
……光ガイド部、１３……突き上げピン、１６…
…紫外線。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 紫外線硬化型粘着剤を塗布したシートに整列状
態で貼着された半導体ペレツトを、シート下面よ
り突き上げピンにて押し上げ、持ち上げられたペ
レツトを取り出すようにしたものにおいて、 上記突き上げピンと同軸的に紫外線をガイドす
る光ガイド部を設けたことを特徴とするマウンタ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18346687U JPH0187539U (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18346687U JPH0187539U (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0187539U true JPH0187539U (ja) | 1989-06-09 |
Family
ID=31474887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18346687U Pending JPH0187539U (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0187539U (ja) |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP18346687U patent/JPH0187539U/ja active Pending
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