JPH019165Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH019165Y2 JPH019165Y2 JP1983077260U JP7726083U JPH019165Y2 JP H019165 Y2 JPH019165 Y2 JP H019165Y2 JP 1983077260 U JP1983077260 U JP 1983077260U JP 7726083 U JP7726083 U JP 7726083U JP H019165 Y2 JPH019165 Y2 JP H019165Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- transfer arm
- holding
- suction
- working device
- Prior art date
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、たとえばウエハーの面取り加工、鏡
面研摩、あるいは厚さ測定等を行なう作業装置に
対して各々のウエハーを搬入および搬出するため
のウエハー搬送装置に関する。
面研摩、あるいは厚さ測定等を行なう作業装置に
対して各々のウエハーを搬入および搬出するため
のウエハー搬送装置に関する。
従来におけるこの種の装置は第１図に示される
ように構成されている。
ように構成されている。
すなわち、ウエハーＷの面取り加工、鏡面研
摩、あるいは厚さ測定等を行なう作業装置Ｍに対
して各々のウエハーＷを搬入および搬出する機構
としては、エアーによる吸着保持部２を下方に有
する搬送アーム１が設けられ、ウエハーＷはこの
吸着保持部２にて搬送アーム１の下方に吸着保持
された状態で搬送される。
摩、あるいは厚さ測定等を行なう作業装置Ｍに対
して各々のウエハーＷを搬入および搬出する機構
としては、エアーによる吸着保持部２を下方に有
する搬送アーム１が設けられ、ウエハーＷはこの
吸着保持部２にて搬送アーム１の下方に吸着保持
された状態で搬送される。
しかしながら、上記従来の装置においては、未
作業のウエハーＷを作業装置Ｍに搬入する際に搬
送アーム１の一往復を要し、かつ作業済のウエハ
ーＷを作業装置Ｍから搬出する際にさらに搬送ア
ーム１の一往復を要する。すなわち、１個のウエ
ハーＷに面取り加工等の作業を行なうために搬送
アーム１には二往復することになり、作業の能率
が極めて悪いという欠点を有していた。
作業のウエハーＷを作業装置Ｍに搬入する際に搬
送アーム１の一往復を要し、かつ作業済のウエハ
ーＷを作業装置Ｍから搬出する際にさらに搬送ア
ーム１の一往復を要する。すなわち、１個のウエ
ハーＷに面取り加工等の作業を行なうために搬送
アーム１には二往復することになり、作業の能率
が極めて悪いという欠点を有していた。
本考案は、上記実情にかんがみてなされたもの
で、作業装置に対するウエハーの搬入および搬出
を搬送アームの一往復にて行ない得るように構成
することにより、作業の能率を著しく向上させる
ことができるウエハー搬送装置を提供することを
目的とする。
で、作業装置に対するウエハーの搬入および搬出
を搬送アームの一往復にて行ない得るように構成
することにより、作業の能率を著しく向上させる
ことができるウエハー搬送装置を提供することを
目的とする。
以下、第２図および第３図を参照して本考案に
よるウエハー搬送装置を具体的に説明する。
よるウエハー搬送装置を具体的に説明する。
第２図において作業装置ＭはウエハーＷの面取
り加工、鏡面研摩、厚さ測定あるいはその他の作
業を行なうものである。この作業装置Ｍそのもの
については本考案の要旨ではないため具体的な構
成についての説明は省略するが、公知の構成のも
のを採用することができる。
り加工、鏡面研摩、厚さ測定あるいはその他の作
業を行なうものである。この作業装置Ｍそのもの
については本考案の要旨ではないため具体的な構
成についての説明は省略するが、公知の構成のも
のを採用することができる。
上記作業装置Ｍに対してウエハーＷを搬入およ
び搬出する搬送アーム１１は、たとえばモータ
（図示せず）あるいは制御部１４により空気圧制
御されるエアーシリンダー等を備えたアーム駆動
部１０によつて往復駆動されるように構成されて
いる。搬送アーム１１の先端上方には、ウエハー
Ｗを載置状態にして保持する保持部１２が設けら
れ、かつ先端下方にはウエハーＷを吸着保持する
吸着保持部１３が設けられている。この吸着保持
部１３は、中空成分１３ａとこの中空成分１３ａ
から下方に連通した複数の透孔１３ｂとを有して
いる。そして、吸着保持部１３の中空部分１３ａ
はエアーパイプ１５により制御部１４に連結され
ていて、この制御部１４による空気圧制御により
ウエハーＷを適宜吸着保持するように構成されて
いる。
び搬出する搬送アーム１１は、たとえばモータ
（図示せず）あるいは制御部１４により空気圧制
御されるエアーシリンダー等を備えたアーム駆動
部１０によつて往復駆動されるように構成されて
いる。搬送アーム１１の先端上方には、ウエハー
Ｗを載置状態にして保持する保持部１２が設けら
れ、かつ先端下方にはウエハーＷを吸着保持する
吸着保持部１３が設けられている。この吸着保持
部１３は、中空成分１３ａとこの中空成分１３ａ
から下方に連通した複数の透孔１３ｂとを有して
いる。そして、吸着保持部１３の中空部分１３ａ
はエアーパイプ１５により制御部１４に連結され
ていて、この制御部１４による空気圧制御により
ウエハーＷを適宜吸着保持するように構成されて
いる。
上記の如く搬送アーム１１の吸着保持部１３の
空気圧を適宜制御する制御部１４は、真空ポンプ
を備えていると共に、装置全体の動作順序を制御
するシーケンス回路をも備えている。
空気圧を適宜制御する制御部１４は、真空ポンプ
を備えていると共に、装置全体の動作順序を制御
するシーケンス回路をも備えている。
次に、第２図および第３図を参照して上記ウエ
ハー搬送装置の作動について説明する。
ハー搬送装置の作動について説明する。
まず、第３図Ａに示される如く一番目の未作業
のウエハーW1が搬送アーム１１の保持部１２に
載せられて、第３図Ｂに示されるように作業装置
Ｍに搬入される。搬入されたウエハーW1は第３
図Ｃに示される如く作業装置Ｍによつて面取り加
工、鏡面研摩あるいは厚さ測定等の適宜の作業が
行なわれ、搬送アーム１１は元の位置に戻る。
のウエハーW1が搬送アーム１１の保持部１２に
載せられて、第３図Ｂに示されるように作業装置
Ｍに搬入される。搬入されたウエハーW1は第３
図Ｃに示される如く作業装置Ｍによつて面取り加
工、鏡面研摩あるいは厚さ測定等の適宜の作業が
行なわれ、搬送アーム１１は元の位置に戻る。
作業が完了すると第３図Ｄに示される如く搬送
アーム１１の吸着保持部１３に未作業の第二のウ
エハーW2が吸着保持されて作業装置Ｍに搬入さ
れる。そして、第３図Ｅに示される如く、作業済
の、第一のウエハーW1は搬送アーム１１の保持
部１２に載せられて搬出され、搬入された第二の
ウエハーW2は第３図Ｆに示す如く作業装置Ｍに
よつて第一のウエハーW1と同様に適宜の作業が
施される。
アーム１１の吸着保持部１３に未作業の第二のウ
エハーW2が吸着保持されて作業装置Ｍに搬入さ
れる。そして、第３図Ｅに示される如く、作業済
の、第一のウエハーW1は搬送アーム１１の保持
部１２に載せられて搬出され、搬入された第二の
ウエハーW2は第３図Ｆに示す如く作業装置Ｍに
よつて第一のウエハーW1と同様に適宜の作業が
施される。
第二のウエハーW2の作業が完了すると第３図
Ｇに示される如く第一のウエハーW1が取り除か
れて搬送アーム１１は保持部１２に未作業の第三
のウエハーW3を載せた状態で作業装置Ｍに搬入
する。そして、作業装置Ｍによつて第三のウエハ
ーW3に適宜の作業が施されると共に、作業済の
第二のウエハーW2は吸着保持部１３に吸着保持
された状態で搬送アーム１１により搬出される。
Ｇに示される如く第一のウエハーW1が取り除か
れて搬送アーム１１は保持部１２に未作業の第三
のウエハーW3を載せた状態で作業装置Ｍに搬入
する。そして、作業装置Ｍによつて第三のウエハ
ーW3に適宜の作業が施されると共に、作業済の
第二のウエハーW2は吸着保持部１３に吸着保持
された状態で搬送アーム１１により搬出される。
以下同様にして作業装置Ｍに対し順次ウエハー
Ｗの搬入および搬出が行なわれることにより、所
望数のウエハーＷに対する作業が完了する。
Ｗの搬入および搬出が行なわれることにより、所
望数のウエハーＷに対する作業が完了する。
なお、上記具体的説明においては、搬送アーム
１１の下方側のみにエアーによるウエハーＷの吸
着保持部１３を設けたものを例示したが、搬送ア
ーム１１の上方側すなわち保持部１２にも設ける
ことにより、ウエハーＷをより確実に保持するよ
うに構成することもできる。
１１の下方側のみにエアーによるウエハーＷの吸
着保持部１３を設けたものを例示したが、搬送ア
ーム１１の上方側すなわち保持部１２にも設ける
ことにより、ウエハーＷをより確実に保持するよ
うに構成することもできる。
本考案によるウエハー搬送装置は、上述の如く
搬送アーム１１の上方にウエハーＷを保持する保
持部１２が設けられると共に、下方にウエハーＷ
を吸着保持する吸着保持部１３が設けられ、これ
によつてウエハーＷの搬入と搬出が全く同一工程
で行われている。したがつて搬送アーム１１の一
往復で作業装置Ｍに対するウエハーＷの搬入、搬
出を完了できるため、作業装置Ｍの動作に無駄が
なくて稼働効率が良く、その結果作業能率を大幅
に向上させることができ、かつ装置が小形化さ
れ、さらに搬送アームの発停回数を最小に止めて
装置の簡易化を達成したもので、本考案は産業上
きわめて有用なものといえる。
搬送アーム１１の上方にウエハーＷを保持する保
持部１２が設けられると共に、下方にウエハーＷ
を吸着保持する吸着保持部１３が設けられ、これ
によつてウエハーＷの搬入と搬出が全く同一工程
で行われている。したがつて搬送アーム１１の一
往復で作業装置Ｍに対するウエハーＷの搬入、搬
出を完了できるため、作業装置Ｍの動作に無駄が
なくて稼働効率が良く、その結果作業能率を大幅
に向上させることができ、かつ装置が小形化さ
れ、さらに搬送アームの発停回数を最小に止めて
装置の簡易化を達成したもので、本考案は産業上
きわめて有用なものといえる。
第１図は従来のウエハー搬送装置の要部を示す
図、第２図および第３図は本考案の実施例を示す
もので、第２図はウエハー搬送装置の全体を示す
図、第３図Ａ〜Ｇは作動状態を示す要部の概略図
である。 １１……搬送アーム、１２……保持部、１３…
…吸着保持部、Ｍ……作業装置、Ｗ……ウエハ
ー。
図、第２図および第３図は本考案の実施例を示す
もので、第２図はウエハー搬送装置の全体を示す
図、第３図Ａ〜Ｇは作動状態を示す要部の概略図
である。 １１……搬送アーム、１２……保持部、１３…
…吸着保持部、Ｍ……作業装置、Ｗ……ウエハ
ー。
Claims (1)
- 作業装置に対して未作業のウエハーを保持して
搬入し、かつこの作業装置から作業済のウエハー
を保持して搬出する搬送アームを備えたウエハー
搬送装置において、前記搬送アームの上方にはウ
エハーを保持する保持部が設けられ、かつ下方に
はウエハーを吸着して保持する吸着保持部が前記
保持部の直下に設けられ、前記搬入、搬出が同一
行程を通つて行われることを特徴とするウエハー
搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7726083U JPS59182932U (ja) | 1983-05-23 | 1983-05-23 | ウエハ−搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7726083U JPS59182932U (ja) | 1983-05-23 | 1983-05-23 | ウエハ−搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59182932U JPS59182932U (ja) | 1984-12-06 |
| JPH019165Y2 true JPH019165Y2 (ja) | 1989-03-13 |
Family
ID=30207292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7726083U Granted JPS59182932U (ja) | 1983-05-23 | 1983-05-23 | ウエハ−搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59182932U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62181439A (ja) * | 1986-02-05 | 1987-08-08 | Hitachi Ltd | 真空処理装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS513743U (ja) * | 1974-06-25 | 1976-01-12 |
-
1983
- 1983-05-23 JP JP7726083U patent/JPS59182932U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59182932U (ja) | 1984-12-06 |
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