JPH0194452U - - Google Patents
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- JPH0194452U JPH0194452U JP19016787U JP19016787U JPH0194452U JP H0194452 U JPH0194452 U JP H0194452U JP 19016787 U JP19016787 U JP 19016787U JP 19016787 U JP19016787 U JP 19016787U JP H0194452 U JPH0194452 U JP H0194452U
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例の縦断面、第２図はそ
の―矢視図、第３図は本考案の他の実施例の
縦断面図、第４図はその―矢視図、第５図は
本考案の他の実施例の作用説明図、第６図はクラ
スタイオンビーム装置の従来例の縦断図である。 １，３１１，３１２…るつぼ、３，３３１，３
３２…イオン化部、４，３４…シヤツタ、４ａ，
３４ａ，３４ｂ…貫通孔、５…エアシリンダ、３
５…電動機、１１４…直流電源、Ｍ１，Ｍ３１，
Ｍ３２…蒸着材料、Ｔ１，Ｔ３…基板。
の―矢視図、第３図は本考案の他の実施例の
縦断面図、第４図はその―矢視図、第５図は
本考案の他の実施例の作用説明図、第６図はクラ
スタイオンビーム装置の従来例の縦断図である。 １，３１１，３１２…るつぼ、３，３３１，３
３２…イオン化部、４，３４…シヤツタ、４ａ，
３４ａ，３４ｂ…貫通孔、５…エアシリンダ、３
５…電動機、１１４…直流電源、Ｍ１，Ｍ３１，
Ｍ３２…蒸着材料、Ｔ１，Ｔ３…基板。
Claims (1)
- 蒸着材料を真空雰囲中で加熱することにより蒸
発させ、その蒸発粒子をイオン化手段によりイオ
ン化し、試料表面に衝突させることによつて、そ
の試料表面に薄膜を形成する装置において、上記
イオン化手段と上記試料との間に配設され、蒸発
粒子の上記試料への進行を遮断し得る大きさを有
するとともに、所定の大きさの貫通孔が穿れてな
る導電性材料製の板と、その板と上記イオン化手
段との間に電位差を与える手段と、上記板を、蒸
発粒子が上記貫通孔を通過する第１の位置、もし
くは当該板によつて蒸発粒子の上記試料への進行
を遮断する第２の位置に選択的に変位させる駆動
手段を備えたことを特徴とする、真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987190167U JPH0730680Y2 (ja) | 1987-12-14 | 1987-12-14 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987190167U JPH0730680Y2 (ja) | 1987-12-14 | 1987-12-14 | 真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0194452U true JPH0194452U (ja) | 1989-06-21 |
| JPH0730680Y2 JPH0730680Y2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=31481159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987190167U Expired - Lifetime JPH0730680Y2 (ja) | 1987-12-14 | 1987-12-14 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0730680Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6096759A (ja) * | 1983-11-01 | 1985-05-30 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜蒸着装置 |
| JPS6199670A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-17 | Jeol Ltd | イオンプレ−テイング装置 |
-
1987
- 1987-12-14 JP JP1987190167U patent/JPH0730680Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6096759A (ja) * | 1983-11-01 | 1985-05-30 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜蒸着装置 |
| JPS6199670A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-17 | Jeol Ltd | イオンプレ−テイング装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0730680Y2 (ja) | 1995-07-12 |