JPS6221065U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6221065U JPS6221065U JP11208785U JP11208785U JPS6221065U JP S6221065 U JPS6221065 U JP S6221065U JP 11208785 U JP11208785 U JP 11208785U JP 11208785 U JP11208785 U JP 11208785U JP S6221065 U JPS6221065 U JP S6221065U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin films
- housings
- pair
- target
- housing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は考案の一実施例であるスパツタリング
装置の概略を説明する構成図である。第２図は第
１図における回転板の底面図である。 １０……ガラス基板（基板）、１４……第一ハ
ウジング（ハウジング）、１８……第二ハウジン
グ（ハウジング）、２４，８２……真空室、３２
……回転板（ターゲット保持部材）、３８，４０
……ターゲツト、４６，４８……カソード電極、
６０，６２……モータ（ターゲツト駆動手段）、
７６……電源装置、８４……アノード電極。
装置の概略を説明する構成図である。第２図は第
１図における回転板の底面図である。 １０……ガラス基板（基板）、１４……第一ハ
ウジング（ハウジング）、１８……第二ハウジン
グ（ハウジング）、２４，８２……真空室、３２
……回転板（ターゲット保持部材）、３８，４０
……ターゲツト、４６，４８……カソード電極、
６０，６２……モータ（ターゲツト駆動手段）、
７６……電源装置、８４……アノード電極。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板の一部に複数の薄膜を多層に形成するスパ
ツタリング装置であつて、 前記基板の一部を挾んで相対向する状態で配設
され、それぞれ該基板と共に真空室を形成する一
対のハウジングと、 それら一対のハウジングのうち、前記薄膜を形
成すべき側に設けられた一方のハウジングの内部
に配設され、前記複数の薄膜を構成すべき複数の
ターゲツトを保持するターゲツト保持部材と、 該複数のターゲツトが前記基板の一部に対して
択一的に対向させられるように前記ターゲツト保
持部材を移動させるターゲツト駆動手段と、 前記ターゲツトの裏側に配設されたカソード電
極と前記一対のハウジングの他方の内部に配設さ
れたアノード電極との間に高電圧を印加する電源
装置と を有することを特徴とするスパッタリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11208785U JPS6221065U (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11208785U JPS6221065U (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6221065U true JPS6221065U (ja) | 1987-02-07 |
Family
ID=30992624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11208785U Pending JPS6221065U (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6221065U (ja) |
-
1985
- 1985-07-22 JP JP11208785U patent/JPS6221065U/ja active Pending