JPH02108775U - - Google Patents
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- JPH02108775U JPH02108775U JP1513389U JP1513389U JPH02108775U JP H02108775 U JPH02108775 U JP H02108775U JP 1513389 U JP1513389 U JP 1513389U JP 1513389 U JP1513389 U JP 1513389U JP H02108775 U JPH02108775 U JP H02108775U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film forming
- carrier
- sealing
- holding
- molecules
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案一実施例の概略構成図、第２図
Ａ乃至Ｃは本考案一実施例の要部構成図である。 １…液槽、１ａ…浸漬部、２…センサ、３…バ
リヤ、４…ホルダ、５…基板、６…密閉容器、６
ａ…減圧口、６ｂ…ガス導入口、６ｃ，６ｄ…カ
バー部材、７…真空ポンプ、８…ガス供給源。
Ａ乃至Ｃは本考案一実施例の要部構成図である。 １…液槽、１ａ…浸漬部、２…センサ、３…バ
リヤ、４…ホルダ、５…基板、６…密閉容器、６
ａ…減圧口、６ｂ…ガス導入口、６ｃ，６ｄ…カ
バー部材、７…真空ポンプ、８…ガス供給源。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 成膜分子を展開するための液槽と、展開し
た成膜分子を移しとる成膜担体を移動可能に保持
する担体保持手段と、前記成膜担体を前記液槽上
で密閉状態にする密閉手段と、該密閉手段で密閉
された前記成膜担体を含む空間を減圧する減圧手
段とを備えることを特徴とする成膜装置。 (2) 前記密閉手段で密閉される空間に不活性ガ
スを供給するガス供給手段を備えることを特徴と
する請求項１記載の成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1513389U JPH02108775U (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1513389U JPH02108775U (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02108775U true JPH02108775U (ja) | 1990-08-29 |
Family
ID=31226922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1513389U Pending JPH02108775U (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02108775U (ja) |
-
1989
- 1989-02-10 JP JP1513389U patent/JPH02108775U/ja active Pending
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