JPH0211007A - 圧電セラミック共振子の製造方法 - Google Patents
圧電セラミック共振子の製造方法Info
- Publication number
- JPH0211007A JPH0211007A JP63159427A JP15942788A JPH0211007A JP H0211007 A JPH0211007 A JP H0211007A JP 63159427 A JP63159427 A JP 63159427A JP 15942788 A JP15942788 A JP 15942788A JP H0211007 A JPH0211007 A JP H0211007A
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- JP
- Japan
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- piezoelectric ceramic
- resonator
- thickness
- polarization
- thickness direction
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、厚みすベリ振動を利用したフィルタや発振子
等の圧電セラミック共振子の製造方法に関するものであ
る。
等の圧電セラミック共振子の製造方法に関するものであ
る。
（従来の技術）
圧電セラミックの厚みすべり振動を利用したフィルタや
発振子等の共振子は、利用周波数の高周波化に伴い急速
に普及している。この厚みすべり振動は、厚み方向と分
極方向が垂直で、Ｉヴみ方向の振動を利用するものであ
る。このような厚みすベリ振動を利用した共振子の従来
の製造方法を、第４図に基づいて説明する。同図におい
て、ブロック状に焼結した圧電セラミック１１の両面に
分極用の電極１２を付与し、圧電セラミック１１を厚み
方向に分極する０次に、これを分極方向に平行にスライ
スして薄板状にし、研磨により所定の厚さに研磨し１分
極に用いた電極１２を落とす。次に、対向電極１３を蒸
着し、目的の形状に切断して共振子１４を得ていた。
発振子等の共振子は、利用周波数の高周波化に伴い急速
に普及している。この厚みすべり振動は、厚み方向と分
極方向が垂直で、Ｉヴみ方向の振動を利用するものであ
る。このような厚みすベリ振動を利用した共振子の従来
の製造方法を、第４図に基づいて説明する。同図におい
て、ブロック状に焼結した圧電セラミック１１の両面に
分極用の電極１２を付与し、圧電セラミック１１を厚み
方向に分極する０次に、これを分極方向に平行にスライ
スして薄板状にし、研磨により所定の厚さに研磨し１分
極に用いた電極１２を落とす。次に、対向電極１３を蒸
着し、目的の形状に切断して共振子１４を得ていた。
（発明が解決しようとする課題）
上記従来の方法では、目的の圧電セラミック共振子で必
要としない分極用の電極を形成しなければならず、製造
工数や原価の面で問題があった。
要としない分極用の電極を形成しなければならず、製造
工数や原価の面で問題があった。
また、ブロック状の圧電セラミックをスライスするのは
原価的に不利であり、さらにワックスによる貼合せや剥
離で加熱され、圧電性の劣化を引き起こす欠点があった
。
原価的に不利であり、さらにワックスによる貼合せや剥
離で加熱され、圧電性の劣化を引き起こす欠点があった
。
本発明の目的は、従来の欠点を解消し、製造工数を低減
でき、量産性に優れ、原価を低減できる圧電セラミック
共振子の製造方法を提供することである。
でき、量産性に優れ、原価を低減できる圧電セラミック
共振子の製造方法を提供することである。
（課題を解決するための手段）
本発明の圧電セラミック共振子の製造方法は、シート状
成形体を作り、この成形体を焼成して薄板状焼結体とし
、この焼結体の厚さを目標の厚さに研磨し、圧電セラミ
ック素子とし、この圧電セラミック素子を厚み方向に重
ねて並べ、この厚み方向に垂直な方向に分極し、前記圧
電セラミック素子の両面に電極を付与するものである。
成形体を作り、この成形体を焼成して薄板状焼結体とし
、この焼結体の厚さを目標の厚さに研磨し、圧電セラミ
ック素子とし、この圧電セラミック素子を厚み方向に重
ねて並べ、この厚み方向に垂直な方向に分極し、前記圧
電セラミック素子の両面に電極を付与するものである。
（作 用）
本発明の方法では、シート状成形体を焼成しているので
、ブロック状焼結体の場合のようにスライスして薄板状
に加工する必要がない。さらに、厚み方向に重ねて並べ
、厚み方向に垂直に分極することにより、分極用の電極
を付与することなく、厚み方向に垂直に分極が可能とな
る。さらに、分極後に貼合せや剥離で加熱することがな
く、圧電性の劣化が起こらなく、量産性も品質面でも優
れている。
、ブロック状焼結体の場合のようにスライスして薄板状
に加工する必要がない。さらに、厚み方向に重ねて並べ
、厚み方向に垂直に分極することにより、分極用の電極
を付与することなく、厚み方向に垂直に分極が可能とな
る。さらに、分極後に貼合せや剥離で加熱することがな
く、圧電性の劣化が起こらなく、量産性も品質面でも優
れている。
（実施例）
本発明の一実施例を第１図ないし第３図に基づいて説明
する。第１図はシート状成形体から圧電セラミック素子
を得る工程の概略図である。同図に示すように、チタン
酸鉛、ジルコン酸鉛、マグネシウム・ニオブ酸鉛の三成
分系に二酸化マンガンを添加した組成の混合・仮焼・粉
砕ずみの原料１００重量部に対して、メチルセルローズ
系のバインダ４重量部、グリセリン３重量部、水１０重
量部を混合し、混練して押出成形により幅１０−９厚さ
３５０μｍのシート状成形体１を得る。この成形体を乾
燥後、４５ｎＩ１１×３５ＩＩＩ１１の大きさに切り出
し、そらないように重ねて重りを乗せ、１２５０℃で焼
成し、薄板状焼結体２を得る。次に、薄板状焼結体２か
ら幅５ ｍｍ 、長さ２５ｍ＋ｓの寸法に切断し、厚さ
２５０μｍに研磨して圧電セラミック素子３を得る。圧
電セラミック素子３を厚み方向に密着して重ね、第２図
に示すような分極治具を用いて幅方向に分極する。
する。第１図はシート状成形体から圧電セラミック素子
を得る工程の概略図である。同図に示すように、チタン
酸鉛、ジルコン酸鉛、マグネシウム・ニオブ酸鉛の三成
分系に二酸化マンガンを添加した組成の混合・仮焼・粉
砕ずみの原料１００重量部に対して、メチルセルローズ
系のバインダ４重量部、グリセリン３重量部、水１０重
量部を混合し、混練して押出成形により幅１０−９厚さ
３５０μｍのシート状成形体１を得る。この成形体を乾
燥後、４５ｎＩ１１×３５ＩＩＩ１１の大きさに切り出
し、そらないように重ねて重りを乗せ、１２５０℃で焼
成し、薄板状焼結体２を得る。次に、薄板状焼結体２か
ら幅５ ｍｍ 、長さ２５ｍ＋ｓの寸法に切断し、厚さ
２５０μｍに研磨して圧電セラミック素子３を得る。圧
電セラミック素子３を厚み方向に密着して重ね、第２図
に示すような分極治具を用いて幅方向に分極する。
真ちゅう板４の上にカーボンを含有した導電性ゴム５を
敷き、その上に圧電セラミック素子３を幅方向に分極す
るように厚み方向に密着して並べ、絶縁物のスペーサ６
で固定し、圧電セラミック素子３の上に同じく導電性ゴ
ム５を敷き、真ちゅう板４をばね７で押え付け、真ちゅ
う板４と導電性ゴム５と圧電セラミック素子３を密着さ
せる。そして、この分極治具を１００℃のシリコンオイ
ル中に浸し、両頁ちゅう板４間に直流電源８により１５
ｋＶを３０分間印加する。次に、第３図に示すように、
幅方向に分極した圧電セラミック素子３の厚み方向両面
に銀電極９を蒸着し、粘着テープに貼合せ、分極方向に
平行に幅２膿に切断し、共振子１０を作製する。このよ
うにして製造した共振子１０の厚みすべり振動の誘電率
εｒ工／ε。および電気機械結合係数に１Ｇを測定し、
従来法で製造した同形状の共振子と比較した。表にその
結果を示す。
敷き、その上に圧電セラミック素子３を幅方向に分極す
るように厚み方向に密着して並べ、絶縁物のスペーサ６
で固定し、圧電セラミック素子３の上に同じく導電性ゴ
ム５を敷き、真ちゅう板４をばね７で押え付け、真ちゅ
う板４と導電性ゴム５と圧電セラミック素子３を密着さ
せる。そして、この分極治具を１００℃のシリコンオイ
ル中に浸し、両頁ちゅう板４間に直流電源８により１５
ｋＶを３０分間印加する。次に、第３図に示すように、
幅方向に分極した圧電セラミック素子３の厚み方向両面
に銀電極９を蒸着し、粘着テープに貼合せ、分極方向に
平行に幅２膿に切断し、共振子１０を作製する。このよ
うにして製造した共振子１０の厚みすべり振動の誘電率
εｒ工／ε。および電気機械結合係数に１Ｇを測定し、
従来法で製造した同形状の共振子と比較した。表にその
結果を示す。
表より、本発明の方法で製造した共振子の特性は、従来
法に比べ全く問題なく、分極が十分なされていることが
わかる。また、本発明の方法で得た共振子の特性が従来
法のそれより少し良いのは、本発明の方法では分極後に
加熱する工程がないため、熱による圧電性の劣化が起こ
らないためと考えられる。
法に比べ全く問題なく、分極が十分なされていることが
わかる。また、本発明の方法で得た共振子の特性が従来
法のそれより少し良いのは、本発明の方法では分極後に
加熱する工程がないため、熱による圧電性の劣化が起こ
らないためと考えられる。
本実施例では、押出成形によりシート状成形体を得たが
、他の方法、例えばリバースロールやドクターブレード
のシート成形でもよい。また、圧電セラミック材料とし
て、チタン酸鉛、ジルコン酸鉛、マグネシウム・ニオブ
酸鉛の三成分系に二酸化マンガンを添加した組成を用い
たが、他の組成の材料を用いてもよい。
、他の方法、例えばリバースロールやドクターブレード
のシート成形でもよい。また、圧電セラミック材料とし
て、チタン酸鉛、ジルコン酸鉛、マグネシウム・ニオブ
酸鉛の三成分系に二酸化マンガンを添加した組成を用い
たが、他の組成の材料を用いてもよい。
また、分極治具に真ちゅう板を用いたが、他の金属を用
いてもよい。共振子用の電極として銀を蒸着したが、さ
らに付着強度の高い金属も選択できる。また、部分的に
付与して共振子を作ることも可能である。電極は蒸着で
はなく、メツキで付与してもよい。さらに、共振子の形
状は目的に応じて広く選ぶことができる。
いてもよい。共振子用の電極として銀を蒸着したが、さ
らに付着強度の高い金属も選択できる。また、部分的に
付与して共振子を作ることも可能である。電極は蒸着で
はなく、メツキで付与してもよい。さらに、共振子の形
状は目的に応じて広く選ぶことができる。
（発明の効果）
本発明によれば、厚さ方向と分極方向が垂直な厚みすべ
り振動にもかかわらず、分極用の電極を省略することが
でき、分極したブロック状焼結体によりスライスする工
程が省け、分極後に加熱する工程もなく、量産性に優れ
、品質面、原価面でも優れ、その実用上の効果は極めて
大である。
り振動にもかかわらず、分極用の電極を省略することが
でき、分極したブロック状焼結体によりスライスする工
程が省け、分極後に加熱する工程もなく、量産性に優れ
、品質面、原価面でも優れ、その実用上の効果は極めて
大である。
第１図は本発明の一実施例におけるシート状成形体から
圧電セラミック素子を得る工程を示す概略図、第２図は
同分極治具を示す図、第３図は同圧電セラミック素子の
加工を示す図、第４図は従来の製造方法を示す図である
。 １・・・シート状成形体、 ２・・・薄板状焼結体、３
・・・圧電セラミック素子、 板、 ５・・・導電性ゴム、 ７・・・ばね、 ８・・・直流電源、１０・・・共振
子ゆ ６・・・スペーサ、 ４・・・真ちゅう ９・・・銀電極、
圧電セラミック素子を得る工程を示す概略図、第２図は
同分極治具を示す図、第３図は同圧電セラミック素子の
加工を示す図、第４図は従来の製造方法を示す図である
。 １・・・シート状成形体、 ２・・・薄板状焼結体、３
・・・圧電セラミック素子、 板、 ５・・・導電性ゴム、 ７・・・ばね、 ８・・・直流電源、１０・・・共振
子ゆ ６・・・スペーサ、 ４・・・真ちゅう ９・・・銀電極、
Claims (1)
- シート状成形体を作り、前記成形体を焼成して薄板状
焼結体とし、前記焼結体の厚さを目標の厚さに研磨して
圧電セラミック素子とし、前記圧電セラミック素子を厚
さ方向に重ねて並べ、前記厚さ方向に垂直な方向に分極
し、前記圧電セラミック素子の両面に電極を付与するこ
とを特徴とする圧電セラミック共振子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63159427A JPH0211007A (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | 圧電セラミック共振子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63159427A JPH0211007A (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | 圧電セラミック共振子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0211007A true JPH0211007A (ja) | 1990-01-16 |
Family
ID=15693507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63159427A Pending JPH0211007A (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | 圧電セラミック共振子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0211007A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63100807A (ja) * | 1986-10-16 | 1988-05-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電セラミツク共振子の製造方法 |
-
1988
- 1988-06-29 JP JP63159427A patent/JPH0211007A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63100807A (ja) * | 1986-10-16 | 1988-05-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電セラミツク共振子の製造方法 |
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