JPH0211086B2 - - Google Patents
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- JPH0211086B2 JPH0211086B2 JP1165783A JP1165783A JPH0211086B2 JP H0211086 B2 JPH0211086 B2 JP H0211086B2 JP 1165783 A JP1165783 A JP 1165783A JP 1165783 A JP1165783 A JP 1165783A JP H0211086 B2 JPH0211086 B2 JP H0211086B2
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- Japan
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- measuring machine
- hollow case
- receiving groove
- sealing device
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
- G01D5/34761—Protection devices, e.g. caps; Blowing devices
- G01D5/34769—Sealing means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、変位測定機のシール装置に係り、特
に、直線型変位測定機に用いるのに好適な、相対
移動が検知される一方の部材に固定される、相対
移動が検知される他方の部材の移動線に沿つて開
口部が形成された中空ケースと、前記他方の部材
の変位を、前記開口部を介して、中空ケース内側
に収容された変位検出機構に伝達するための連結
棒と、前記中空ケースの開口部両側に配置され、
先端部が前記連結棒と突き合わせ接触するように
された、柔軟性を有するリツプ部材とを有する変
位測定機のシール装置の改良に関する。
に、直線型変位測定機に用いるのに好適な、相対
移動が検知される一方の部材に固定される、相対
移動が検知される他方の部材の移動線に沿つて開
口部が形成された中空ケースと、前記他方の部材
の変位を、前記開口部を介して、中空ケース内側
に収容された変位検出機構に伝達するための連結
棒と、前記中空ケースの開口部両側に配置され、
先端部が前記連結棒と突き合わせ接触するように
された、柔軟性を有するリツプ部材とを有する変
位測定機のシール装置の改良に関する。
一般に、物体の長さ等を測定する測定機におい
て、その本体に対する測定子の移動量、コラムに
対するスライダーの移動量等のように、相対移動
する物の移動量を測定する場合、一方にメインス
ケール、他方にインデツクススケールを含む検出
器を固定し、メインスケールと検出器の相対変位
量を、例えば光学的方法や電磁的方法によつて読
取る変位測定機が知られている。
て、その本体に対する測定子の移動量、コラムに
対するスライダーの移動量等のように、相対移動
する物の移動量を測定する場合、一方にメインス
ケール、他方にインデツクススケールを含む検出
器を固定し、メインスケールと検出器の相対変位
量を、例えば光学的方法や電磁的方法によつて読
取る変位測定機が知られている。
このような変位測定機は、高精度なるがゆえに
その構造も微細であり、所定の精度を維持し、又
使用環境の適応拡大性を高めて実用価値を高める
ためには多くの問題があつた。即ち、例えば、
μmオーダの目盛を有するメインスケールとイン
デツクススケールとを用いた光学式変位測定機に
おいては、両スケール間の隙間をμmオーダに保
持する必要があり、又、節電のため、比較的弱光
源とされること等から、防塵、防滴対策を完全と
しなければならない。
その構造も微細であり、所定の精度を維持し、又
使用環境の適応拡大性を高めて実用価値を高める
ためには多くの問題があつた。即ち、例えば、
μmオーダの目盛を有するメインスケールとイン
デツクススケールとを用いた光学式変位測定機に
おいては、両スケール間の隙間をμmオーダに保
持する必要があり、又、節電のため、比較的弱光
源とされること等から、防塵、防滴対策を完全と
しなければならない。
このような目的を達成するものとして、従来か
ら、第1図及び第2図に示す如く、相対移動が検
知される一方の部材、例えば工作機械のベツド1
0に固定される、相対移動が検知される他方の部
材、例えば被加工物或いは工具12の移動線に沿
つて開口部20aが形成された中空ケース20
と、前記工具12の変位を、前記開口部20aを
介して、中空ケース20の内側に収容された変位
検出機構22に伝達するための連結棒24と、前
記中空ケース20の開口部20aの両側に配置さ
れ、先端部が前記連結棒24と突き合わせ接触す
るようにされた、柔軟性を有するゴム製のリツプ
部材26,28とからなるシール装置が設けられ
ているものがある。
ら、第1図及び第2図に示す如く、相対移動が検
知される一方の部材、例えば工作機械のベツド1
0に固定される、相対移動が検知される他方の部
材、例えば被加工物或いは工具12の移動線に沿
つて開口部20aが形成された中空ケース20
と、前記工具12の変位を、前記開口部20aを
介して、中空ケース20の内側に収容された変位
検出機構22に伝達するための連結棒24と、前
記中空ケース20の開口部20aの両側に配置さ
れ、先端部が前記連結棒24と突き合わせ接触す
るようにされた、柔軟性を有するゴム製のリツプ
部材26,28とからなるシール装置が設けられ
ているものがある。
図において、30は、前記中空ケース20内の
長手方向に設けられた固定溝32に一端辺が挿入
され、ゴムロツド34や接着剤36等を用いて固
定された、ガラス等からなり、目盛面30aに縦
縞状の目盛が形成されたメインスケール、38
は、前記メインスケール30の表面上を摺動する
摺動駒40により、前記メインスケール30と所
定の位置関係を保持した状態で、前記メインスケ
ール30の長手方向に移動するようにされたスラ
イダー、42は、該スライダー38の前記メイン
スケール目盛面30aに対向した面に固定され
た、メインスケール30と同様な縦縞状の目盛が
形成されたインデツクススケール、44,46
は、それぞれ前記メインスケール30及びインデ
ツクススケール42を挟んだ状態で前記スライダ
ー38に固定された、発光素子及び受光素子、4
8は、前記連結棒24の動きを前記スライダー3
8に伝達するための、例えば線状の片持ばねが用
いられた連結手段である。
長手方向に設けられた固定溝32に一端辺が挿入
され、ゴムロツド34や接着剤36等を用いて固
定された、ガラス等からなり、目盛面30aに縦
縞状の目盛が形成されたメインスケール、38
は、前記メインスケール30の表面上を摺動する
摺動駒40により、前記メインスケール30と所
定の位置関係を保持した状態で、前記メインスケ
ール30の長手方向に移動するようにされたスラ
イダー、42は、該スライダー38の前記メイン
スケール目盛面30aに対向した面に固定され
た、メインスケール30と同様な縦縞状の目盛が
形成されたインデツクススケール、44,46
は、それぞれ前記メインスケール30及びインデ
ツクススケール42を挟んだ状態で前記スライダ
ー38に固定された、発光素子及び受光素子、4
8は、前記連結棒24の動きを前記スライダー3
8に伝達するための、例えば線状の片持ばねが用
いられた連結手段である。
前記のような、一対のリツプ部材26,28を
用いたシール装置によれば、中空ケース20の開
口部20aを磁気利用の金属帯でシールする装置
や、ブラシを配設した装置に比べて、比較的簡単
な構成により、効果的に塵埃や油滴が侵入するこ
とを防止できるという特徴を有する。しかしなが
ら、従来は、相対移動のための連結棒24の貫通
性及び横行性から、測定精度に影響を与える摺動
抵抗の軽減化を第一に図るため、リツプ部材2
6,28が、同一形状で対称配置されているだけ
であり、近年、変位測定機の応用範囲が広がると
ともに、例えば数値制御工作機械のフイードバツ
ク信号発生器として用いられたような場合には、
一対のリツプ部材26,28の合わせ目から侵入
する機械油の侵入を阻止することができないとい
う問題点を有していた。
用いたシール装置によれば、中空ケース20の開
口部20aを磁気利用の金属帯でシールする装置
や、ブラシを配設した装置に比べて、比較的簡単
な構成により、効果的に塵埃や油滴が侵入するこ
とを防止できるという特徴を有する。しかしなが
ら、従来は、相対移動のための連結棒24の貫通
性及び横行性から、測定精度に影響を与える摺動
抵抗の軽減化を第一に図るため、リツプ部材2
6,28が、同一形状で対称配置されているだけ
であり、近年、変位測定機の応用範囲が広がると
ともに、例えば数値制御工作機械のフイードバツ
ク信号発生器として用いられたような場合には、
一対のリツプ部材26,28の合わせ目から侵入
する機械油の侵入を阻止することができないとい
う問題点を有していた。
又従来のシール装置においては、前記リツプ部
材26,28と連結棒24の間からら侵入してし
まつた油滴に対しては何ら排除機能を有していな
いという問題点を有していた。
材26,28と連結棒24の間からら侵入してし
まつた油滴に対しては何ら排除機能を有していな
いという問題点を有していた。
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくな
されたもので、中空ケース内に侵入した液滴を、
変位検出機構に到達する前に外部に排除すること
ができる変位測定機のシール装置を提供すること
を目的とする。
されたもので、中空ケース内に侵入した液滴を、
変位検出機構に到達する前に外部に排除すること
ができる変位測定機のシール装置を提供すること
を目的とする。
本発明は、相対移動が検知される一方の部材に
固定される、相対移動が検知される他方の部材の
移動線に沿つて開口部が形成された中空ケース
と、前記他方の部材の変位を、前記開口部を介し
て、中空ケース内側に収容された変位検出機構に
伝達するための連結棒と、前記中空ケースの開口
部両側に配置された、前記連結棒の貫通部を遮蔽
するためのシール部材とを有する変位測定機のシ
ール装置において、前記中空ケース内面の少くと
も一方に、前記開口部に沿つて延びる液受溝を設
け、該液受溝の底部に、中空ケース外側と連通す
る排液孔を設けると共に、該排液孔に、外部から
侵入する塵埃を阻止するためのフイルタを設ける
ことにより、前記目的を達成したものである。
固定される、相対移動が検知される他方の部材の
移動線に沿つて開口部が形成された中空ケース
と、前記他方の部材の変位を、前記開口部を介し
て、中空ケース内側に収容された変位検出機構に
伝達するための連結棒と、前記中空ケースの開口
部両側に配置された、前記連結棒の貫通部を遮蔽
するためのシール部材とを有する変位測定機のシ
ール装置において、前記中空ケース内面の少くと
も一方に、前記開口部に沿つて延びる液受溝を設
け、該液受溝の底部に、中空ケース外側と連通す
る排液孔を設けると共に、該排液孔に、外部から
侵入する塵埃を阻止するためのフイルタを設ける
ことにより、前記目的を達成したものである。
又、前記中空ケースの、前記液受溝と変位検出
機構の間に、防液堤を設けて、液滴の排除が確実
に行われるようにしたものである。
機構の間に、防液堤を設けて、液滴の排除が確実
に行われるようにしたものである。
更に、前記防液堤が、先端が前記連結棒と当接
するようにされた弾性部材とすることにより、液
滴の排除機能を更に高めたものである。
するようにされた弾性部材とすることにより、液
滴の排除機能を更に高めたものである。
又、前記弾性部材の液受溝側面に、侵入した液
滴を迅速に液受溝に導くための勾配を付けること
により、連結棒が直立状態で配置されている場合
にも液滴が迅速に排除されるようにしたものであ
る。
滴を迅速に液受溝に導くための勾配を付けること
により、連結棒が直立状態で配置されている場合
にも液滴が迅速に排除されるようにしたものであ
る。
更に、前記排液孔に、封止用ねじを螺入するた
めのねじ孔が形成して、上側に配置される中空ケ
ースの排液孔を、容易に封止できるようにしたも
のである。
めのねじ孔が形成して、上側に配置される中空ケ
ースの排液孔を、容易に封止できるようにしたも
のである。
又、前記シール部材を、先端部が前記連結棒と
突き合わせて接触するようにされた、柔軟性を有
するリツプ部材としたものである。
突き合わせて接触するようにされた、柔軟性を有
するリツプ部材としたものである。
或いは、前記シール部材を、前記中空ケースの
開口部両側に配置された磁石により吸引される金
属帯としたものである。
開口部両側に配置された磁石により吸引される金
属帯としたものである。
以下図面を参照して、本発明が採用された、直
線型変位測定機のシール装置の実施例を詳細に説
明する。
線型変位測定機のシール装置の実施例を詳細に説
明する。
本発明の第1実施例は、第3図に示す如く、前
記従来例と同様の、中空ケース20と、連結棒2
4と、リツプ部材26,28とを有する直線型変
位測定機のシール装置において、前記中空ケース
20内面の両方に、中空ケース20の開口部20
aに沿つて延びる油受溝50を設け、該油受溝5
0の底部に、中空ケース20外側と連通する排油
孔52を設けると共に、該排油孔52に、外部か
ら侵入する塵埃を阻止するためのフイルタ54を
設けたものである。
記従来例と同様の、中空ケース20と、連結棒2
4と、リツプ部材26,28とを有する直線型変
位測定機のシール装置において、前記中空ケース
20内面の両方に、中空ケース20の開口部20
aに沿つて延びる油受溝50を設け、該油受溝5
0の底部に、中空ケース20外側と連通する排油
孔52を設けると共に、該排油孔52に、外部か
ら侵入する塵埃を阻止するためのフイルタ54を
設けたものである。
前記中空ケース20の、前記油受溝50と変位
検出機構22の間には、防油堤56が設けられて
いる。
検出機構22の間には、防油堤56が設けられて
いる。
又、前記排油孔52には、封止用ねじ58を螺
入するためのねじ山が形成されており、上側の排
油孔52には、封止用ねじ58が螺入されてい
る。
入するためのねじ山が形成されており、上側の排
油孔52には、封止用ねじ58が螺入されてい
る。
本実施例によれば、連結棒24とリツプ部材2
6,28の間から中空ケース20内側に侵入した
油滴が、変位検出機構22に到達する前に連結棒
24から落下すると、これが油受溝50によつて
集められ、フイルタ54を介して排油孔52から
外部に排出されるので、中空ケース20内に長時
間油滴が滞留して、変位検出機構22に悪影響を
与えることがない。又、前記排油孔52には、フ
イルタ54が設けられているので、外部から塵埃
が侵入することがない。
6,28の間から中空ケース20内側に侵入した
油滴が、変位検出機構22に到達する前に連結棒
24から落下すると、これが油受溝50によつて
集められ、フイルタ54を介して排油孔52から
外部に排出されるので、中空ケース20内に長時
間油滴が滞留して、変位検出機構22に悪影響を
与えることがない。又、前記排油孔52には、フ
イルタ54が設けられているので、外部から塵埃
が侵入することがない。
本実施例においては、前記油受溝50と変位検
出機構22の間に、防油提56を設けているの
で、油滴が変位検出機構22方向に侵入するの
を、確実に防止することができる。
出機構22の間に、防油提56を設けているの
で、油滴が変位検出機構22方向に侵入するの
を、確実に防止することができる。
又、本実施例においては、中空ケース20内面
の両方に、油受溝50、排油孔52、フイルタ5
4、防油堤56を設けているので、中空ケース2
0の取付け姿勢が異る場合でも、対応が容易であ
る。
の両方に、油受溝50、排油孔52、フイルタ5
4、防油堤56を設けているので、中空ケース2
0の取付け姿勢が異る場合でも、対応が容易であ
る。
更に、前記排油孔52に、封止用ねじ58を螺
入するためのねじ山を形成しているので、使用し
ない方の排油孔52を、容易に、且つ、確実に封
止することができ、非使用側の排油孔から油滴や
塵埃等が侵入することがない。
入するためのねじ山を形成しているので、使用し
ない方の排油孔52を、容易に、且つ、確実に封
止することができ、非使用側の排油孔から油滴や
塵埃等が侵入することがない。
次に、本発明の第2実施例を詳細に説明する。
本実施例は、第4図に示す如く、前記従来例及
び第1実施例と同様の、中空ケース20と、連結
棒24と、リツプ部材26,28と、油受溝50
と、排油孔52と、フイルタ54と、封止用ねじ
58とを有する直線型変位測定機のシール装置に
おいて、前記油受溝50と変位検出機構22の間
に、先端が前記連結棒24と当接するようにされ
た弾性部材60からなる防油堤を設けたものであ
る。他の点については、前記従来例及び第1実施
例と同様であるので説明は省略する。
び第1実施例と同様の、中空ケース20と、連結
棒24と、リツプ部材26,28と、油受溝50
と、排油孔52と、フイルタ54と、封止用ねじ
58とを有する直線型変位測定機のシール装置に
おいて、前記油受溝50と変位検出機構22の間
に、先端が前記連結棒24と当接するようにされ
た弾性部材60からなる防油堤を設けたものであ
る。他の点については、前記従来例及び第1実施
例と同様であるので説明は省略する。
本実施例においては、前記弾性部材60によ
り、連結棒24を伝わる油滴の排除が、より確実
に行われる。
り、連結棒24を伝わる油滴の排除が、より確実
に行われる。
尚、第5図に示す如く、前記弾性部材60の油
受溝50側面に、侵入した油滴を迅速に油受溝5
0に導くための勾配60aを付けることによつ
て、連結棒24が直立状態で使用されいる場合に
も、侵入した油滴を迅速に油受溝50に導くこと
ができる。
受溝50側面に、侵入した油滴を迅速に油受溝5
0に導くための勾配60aを付けることによつ
て、連結棒24が直立状態で使用されいる場合に
も、侵入した油滴を迅速に油受溝50に導くこと
ができる。
更に、前記実施例の構成に加えて、前記排油孔
52に、例えば連結棒24の相対移動を利用して
駆動される排出ポンプを連結して、油滴の排除性
能を更に高めることも可能である。
52に、例えば連結棒24の相対移動を利用して
駆動される排出ポンプを連結して、油滴の排除性
能を更に高めることも可能である。
尚、前記実施例においては、いずれも、連結棒
24の貫通部を遮断するためのシール部材が、リ
ツプ部材26,28とされていたが、シール部材
の構成は、これに限定されず、例えば、中空ケー
ス20の開口部20a両側に配置した磁石により
吸引される金属帯とすることも可能である。
24の貫通部を遮断するためのシール部材が、リ
ツプ部材26,28とされていたが、シール部材
の構成は、これに限定されず、例えば、中空ケー
ス20の開口部20a両側に配置した磁石により
吸引される金属帯とすることも可能である。
前記実施例においては、いずれも、本発明が光
学式変位検出機構を備えた直線型変位測定機に適
用されていたが、本発明の適用範囲はこれに限定
されず、電磁式変位検出機構を備えた直線型変位
測定機等、他の変位測定機にも同様に適用できる
ことは明らかである。
学式変位検出機構を備えた直線型変位測定機に適
用されていたが、本発明の適用範囲はこれに限定
されず、電磁式変位検出機構を備えた直線型変位
測定機等、他の変位測定機にも同様に適用できる
ことは明らかである。
以上説明した通り、本発明によれば、中空ケー
ス内に侵入した油滴を、確実に排除することがで
き、従つて、変位検出機構等が悪影響を受けるこ
とがないという優れた効果を有する。
ス内に侵入した油滴を、確実に排除することがで
き、従つて、変位検出機構等が悪影響を受けるこ
とがないという優れた効果を有する。
第1図は、従来のシール装置が採用された、光
電式変位検出機構を有する直線型変位測定機の構
成を示す断面図、第2図は、第1図の−線に
沿う断面図、第3図は、本発明に係る変位測定機
のシール装置が採用された、光学式変位検出機構
を有する直線型変位測定機の第1実施例の構成を
す断面図、第4図は、同じく第2実施例の要部構
成を示す断面図、第5図は、前記第2実施例の変
形例の要部構成を示す断面図である。 20…中空ケース、20a…開口部、22…変
位検出機構、24…連結棒、26,28…リツプ
部材、50…油受溝、52…排油孔、54…フイ
ルタ、56…防油堤、58…封止用ねじ、60…
弾性部材、60a…勾配。
電式変位検出機構を有する直線型変位測定機の構
成を示す断面図、第2図は、第1図の−線に
沿う断面図、第3図は、本発明に係る変位測定機
のシール装置が採用された、光学式変位検出機構
を有する直線型変位測定機の第1実施例の構成を
す断面図、第4図は、同じく第2実施例の要部構
成を示す断面図、第5図は、前記第2実施例の変
形例の要部構成を示す断面図である。 20…中空ケース、20a…開口部、22…変
位検出機構、24…連結棒、26,28…リツプ
部材、50…油受溝、52…排油孔、54…フイ
ルタ、56…防油堤、58…封止用ねじ、60…
弾性部材、60a…勾配。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 相対移動が検知される一方の部材に固定され
る、相対移動が検知される他方の部材の移動線に
沿つて開口部が形成された中空ケースと、前記他
方の部材の変位を、前記開口部を介して、中空ケ
ース内側に収容された変位検出機構に伝達するた
めの連結棒と、前記中空ケースの開口部両側に配
置された、前記連結棒の貫通部を遮蔽するための
シール部材とを有する変位測定機のシール装置に
おいて、前記中空ケース内面の少くとも一方に、
前記開口部に沿つて延びる液受溝を設け、該液受
溝の底部に、中空ケース外側と連通する排液孔を
設けると共に、該排液孔に、外部から侵入する塵
埃を阻止するためのフイルタを設けたことを特徴
とする変位測定機のシール装置。 2 前記中空ケースの、前記液受溝と変位検出機
構の間に、防液堤が設けられている特許請求の範
囲第1項に記載の変位測定機のシール装置。 3 前記防液堤が、先端が前記連結棒と当接する
ようにされた弾性部材からなる特許請求の範囲第
2項に記載の変位測定機のシール装置。 4 前記弾性部材の液受溝側面に、侵入した液滴
を迅速に液受溝に導くための勾配が付けられてい
る特許請求の範囲第3項に記載の変位測定機のシ
ール装置。 5 前記排液孔に、封止用ねじを螺入するための
ねじ山が形成されている特許請求の範囲第1項に
記載の変位測定機のシール装置。 6 前記シール部材が、先端部が前記連結棒と突
き合わせて接触するようにされた、柔軟性を有す
るリツプ部材からなる特許請求の範囲第1項に記
載の変位測定機のシール装置。 7 前記シール部材が、前記中空ケースの開口部
両側に配置された磁石により吸引される金属帯か
らなる特許請求の範囲第1項に記載の変位測定機
のシール装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1165783A JPS59137811A (ja) | 1983-01-27 | 1983-01-27 | 変位測定機のシ−ル装置 |
| US06/572,320 US4500097A (en) | 1983-01-27 | 1984-01-20 | Seal device in displacement measuring instrument |
| DE19843402344 DE3402344A1 (de) | 1983-01-27 | 1984-01-24 | Dichtungseinrichtung in einem verschiebungsmessinstrument |
| GB08401930A GB2134262B (en) | 1983-01-27 | 1984-01-25 | Seal device in displacement measuring instrument |
| GB08601146A GB2167863B (en) | 1983-01-27 | 1986-01-17 | Seal device in displacement measuring instrument |
| GB08601147A GB2167560B (en) | 1983-01-27 | 1986-01-17 | Seal device in displacement measuring instrument |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1165783A JPS59137811A (ja) | 1983-01-27 | 1983-01-27 | 変位測定機のシ−ル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59137811A JPS59137811A (ja) | 1984-08-08 |
| JPH0211086B2 true JPH0211086B2 (ja) | 1990-03-12 |
Family
ID=11784037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1165783A Granted JPS59137811A (ja) | 1983-01-27 | 1983-01-27 | 変位測定機のシ−ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59137811A (ja) |
-
1983
- 1983-01-27 JP JP1165783A patent/JPS59137811A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59137811A (ja) | 1984-08-08 |
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