JPH02111042A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPH02111042A JPH02111042A JP63265443A JP26544388A JPH02111042A JP H02111042 A JPH02111042 A JP H02111042A JP 63265443 A JP63265443 A JP 63265443A JP 26544388 A JP26544388 A JP 26544388A JP H02111042 A JPH02111042 A JP H02111042A
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- Japan
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- anode region
- semiconductor device
- corroded
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- Pending
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/90—Bond pads, in general
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/60—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers
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- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07541—Controlling the environment, e.g. atmosphere composition or temperature
- H10W72/07551—Controlling the environment, e.g. atmosphere composition or temperature characterised by changes in properties of the bond wires during the connecting
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- H10W72/531—Shapes of wire connectors
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- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/59—Bond pads specially adapted therefor
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- H10W72/931—Shapes of bond pads
- H10W72/932—Plan-view shape, i.e. in top view
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/90—Bond pads, in general
- H10W72/951—Materials of bond pads
- H10W72/952—Materials of bond pads comprising metals or metalloids, e.g. PbSn, Ag or Cu
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体素子の電極周辺の構造に関するもの
である。
である。
第2図は従来の半導体装置の電場周辺を示す平面図であ
り、図において、1は集積回路等が形成された半導体素
子、2はこの半導体素子1上に形成された電極、3は上
記電極2にボンディングされた金属細線、3mはボンデ
ィング部である。
り、図において、1は集積回路等が形成された半導体素
子、2はこの半導体素子1上に形成された電極、3は上
記電極2にボンディングされた金属細線、3mはボンデ
ィング部である。
そして、上記電極2にボンディングされた金属績s3を
通じて、半導体装置と外部端子との間の電気の入出力が
行われている。
通じて、半導体装置と外部端子との間の電気の入出力が
行われている。
上記従来の半導体装置において、一般に電極2の材質が
アルミニウム(AI)であることが多く、またそこにボ
ンディングされている金属細線3は金(Au)が多い。
アルミニウム(AI)であることが多く、またそこにボ
ンディングされている金属細線3は金(Au)が多い。
しかしながらここでイオン化傾向は層〉〉人uであるた
めに、この電極2付近に水分等が存在すると電極材料で
あるアルミニウムが腐食されてしまい、半導体素子の機
能を失ってしまうという問題点があった。
めに、この電極2付近に水分等が存在すると電極材料で
あるアルミニウムが腐食されてしまい、半導体素子の機
能を失ってしまうという問題点があった。
この発明は上記の様な問題点を解消するためになされた
もので、電極の腐食を防ぐことができる信頼性の良好な
半導体装置を得ることを目的とする。
もので、電極の腐食を防ぐことができる信頼性の良好な
半導体装置を得ることを目的とする。
この発明に係る半導体装置は、電極の周辺部分に電極の
材質よりもイオン化傾向の大なる金属で構成されたアノ
ード領域を設け、このアノード領域と電極間に電気的導
通をとることで、局部電池を形成したものである。
材質よりもイオン化傾向の大なる金属で構成されたアノ
ード領域を設け、このアノード領域と電極間に電気的導
通をとることで、局部電池を形成したものである。
乙の発明tこおける半導体装置は、WAIW!周囲にア
ノード領域を設けることで、局部電池を作成し、その上
に水分等が存在しても電極は腐食されずにアノード領域
が腐食されるために半導体素子としての機能は損なわな
いですむ。
ノード領域を設けることで、局部電池を作成し、その上
に水分等が存在しても電極は腐食されずにアノード領域
が腐食されるために半導体素子としての機能は損なわな
いですむ。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第1
図において、1は集積回路等が形成された半導体素子、
2はこの半導体素子1上に形成された電極、3は上記l
R極2にボンディングされた金属細線、3aはボンディ
ング部、4は本実施例によるアノード領域である。この
アノード領域4は電極2と配線5により電気的導通はと
れている。
図において、1は集積回路等が形成された半導体素子、
2はこの半導体素子1上に形成された電極、3は上記l
R極2にボンディングされた金属細線、3aはボンディ
ング部、4は本実施例によるアノード領域である。この
アノード領域4は電極2と配線5により電気的導通はと
れている。
またアノード領域4は電極2よりもイオン化傾向が大き
なつまり卑な金属で構成されている。例えば電極2がア
ルミニウムで形成されている場合、アノード領域4はマ
グネシウム等で形成する。
なつまり卑な金属で構成されている。例えば電極2がア
ルミニウムで形成されている場合、アノード領域4はマ
グネシウム等で形成する。
なお上記実施例では、電極材料としてアルミニウムを、
アノード領域としてマグネシウムを用いた場合について
示したが、他の金属であってもよく、電極2がアノード
領域4より責な金属である組合せであれば、上記実施例
と同様の効果を奏する。
アノード領域としてマグネシウムを用いた場合について
示したが、他の金属であってもよく、電極2がアノード
領域4より責な金属である組合せであれば、上記実施例
と同様の効果を奏する。
以上のようにこの発明によれば、半導体素子の電極周辺
にアノード領域を形成したので、半導体装置の耐湿性試
験等が行われた際に、電極付近に水分等が存在しても局
部電池の効果で電極の腐食が防止され、半導体装置の信
頼性が高くなる効果がある。
にアノード領域を形成したので、半導体装置の耐湿性試
験等が行われた際に、電極付近に水分等が存在しても局
部電池の効果で電極の腐食が防止され、半導体装置の信
頼性が高くなる効果がある。
第1図はこの発明の一実施例による半導体装置の電極周
辺を示す部分拡大平面図、第2図は従来の半導体装置を
示す部分拡大平面図である。 図中、1は半導体素子、2は電極、3は金属細線、3m
はボンディング部、4はアノード領域、5は配線である
。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
辺を示す部分拡大平面図、第2図は従来の半導体装置を
示す部分拡大平面図である。 図中、1は半導体素子、2は電極、3は金属細線、3m
はボンディング部、4はアノード領域、5は配線である
。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体素子上の電極に金属細線をボンディングしている
半導体装置において、上記電極の周辺にこの電極材料よ
りイオン化傾向の大なるアノード領域を形成し、上記ア
ノード領域と上記電極とを導通したことを特徴とする半
導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63265443A JPH02111042A (ja) | 1988-10-20 | 1988-10-20 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63265443A JPH02111042A (ja) | 1988-10-20 | 1988-10-20 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02111042A true JPH02111042A (ja) | 1990-04-24 |
Family
ID=17417223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63265443A Pending JPH02111042A (ja) | 1988-10-20 | 1988-10-20 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02111042A (ja) |
-
1988
- 1988-10-20 JP JP63265443A patent/JPH02111042A/ja active Pending
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