JPH02115564U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02115564U JPH02115564U JP2386289U JP2386289U JPH02115564U JP H02115564 U JPH02115564 U JP H02115564U JP 2386289 U JP2386289 U JP 2386289U JP 2386289 U JP2386289 U JP 2386289U JP H02115564 U JPH02115564 U JP H02115564U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rail gun
- cvd
- supplying
- utility
- reaction gas
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図の本考案は一実施例としてのレールガン
ＣＶＤ装置。第２図は従来法によるＣＶＤ装置図
であり、ａは熱ＣＶＤ法。ｂはプラズマＣＶＤ法
。ｃはレーザＣＶＤ法。ｄは光ＣＶＤ法を示す。 １……反応容器、２……レールガン、３……基
板、４−１及び４−２……反応ガス、５……給気
ライン、６……排気ライン、７……排気ポンプ、
８……回路、９……電源、１０……スイツチ。
ＣＶＤ装置。第２図は従来法によるＣＶＤ装置図
であり、ａは熱ＣＶＤ法。ｂはプラズマＣＶＤ法
。ｃはレーザＣＶＤ法。ｄは光ＣＶＤ法を示す。 １……反応容器、２……レールガン、３……基
板、４−１及び４−２……反応ガス、５……給気
ライン、６……排気ライン、７……排気ポンプ、
８……回路、９……電源、１０……スイツチ。
Claims (1)
- 排気手段を備えた反応容器内に配置した被処理
物に向つて開口するレールガンと、該レールガン
にＣＶＤ反応ガスを供給する手段とを具備してな
ることを特徴とするＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2386289U JPH02115564U (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2386289U JPH02115564U (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02115564U true JPH02115564U (ja) | 1990-09-17 |
Family
ID=31243215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2386289U Pending JPH02115564U (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02115564U (ja) |
-
1989
- 1989-03-03 JP JP2386289U patent/JPH02115564U/ja active Pending