JPH02117031U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02117031U JPH02117031U JP2535489U JP2535489U JPH02117031U JP H02117031 U JPH02117031 U JP H02117031U JP 2535489 U JP2535489 U JP 2535489U JP 2535489 U JP2535489 U JP 2535489U JP H02117031 U JPH02117031 U JP H02117031U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum container
- vacuum
- door
- periphery
- intermediate frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 3
Landscapes
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
Description
第１図は本考案によるシール構造の一実施例を
示す断面図、第２図は従来のシール構造例を示す
断面図である。 １……真空容器、１ａ……気密面、１ｂ……開
口部、２……扉、５……中間枠、６……ボルト。
示す断面図、第２図は従来のシール構造例を示す
断面図である。 １……真空容器、１ａ……気密面、１ｂ……開
口部、２……扉、５……中間枠、６……ボルト。
Claims (1)
- 電極など、真空装置の機能に必要な部材を内蔵
するとともに開口部周縁に沿つて平坦なリング状
もしくは方形状気密面が形成された真空容器と、
該真空容器の内部空間を前記開口位置で大気と隔
てる扉との間を気密にシールするシール構造であ
つて、このシールを、両面に周縁に沿う気密シー
ル部位が形成された中間枠を介して行う構成とす
るとともに該中間枠を真空容器に取りはずし可能
に気密に固定したことを特徴とする真空装置扉部
のシール構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2535489U JPH02117031U (ja) | 1989-03-06 | 1989-03-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2535489U JPH02117031U (ja) | 1989-03-06 | 1989-03-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02117031U true JPH02117031U (ja) | 1990-09-19 |
Family
ID=31246019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2535489U Pending JPH02117031U (ja) | 1989-03-06 | 1989-03-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02117031U (ja) |
-
1989
- 1989-03-06 JP JP2535489U patent/JPH02117031U/ja active Pending
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