JPH02118908A - 磁気ヘッッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は磁気記録再生装置に用いられる磁気ヘットの製
造方法に関するものである。

従来の技術 近年、磁気記録技術は、高密度化の方向にあり、記録媒
体においては、合金粉末媒体などによる高抗磁力化が進
み、一方磁気ヘッドも、高飽和磁束密度の磁性材として
センダストやアモルファス材を用いたものが開発されて
いる。

電子スチルカメラ用ヘソ！−については、インラインダ
ブルギャップヘットを構成するため従来の薄膜ヘッド以
外に、バルク型合金ヘッドや複合型合金ヘットが報告さ
れている（たとえば、植村他「電子スチルカメラ用薄膜
磁気ヘッド」、電子通イΔ学会技報、ＭｎＢ２−４５、
および特開昭６２−７１０１３号公報）。

以下、図面を参照しながら、上述した従来の薄膜ヘット
の一例について説明する。第４図（ａ）、（ｂ）はそれ
ぞれ従来の薄膜ヘッドの要部正面図および断面図を示し
たものであるこのヘッドでは、非磁性フェライト材の下
基板２３の一つの面に、パーマロイなどの合金磁性材の
下部コア２４を形成し、その上にＳｉＯ□などのへッド
ギャノプ材２５を形成し、さらにＣｕなどでコイル２６
を形成した上にパマロイなどの合金磁性材の上部コア２
７を形成する。なお２８は上部コア２７と非磁性の上基
板２９との間に設けた保護膜、３０はコイル２６と上下
コア２７゜２４を電気的に絶縁する絶縁層、３１は記録
媒体との摺接面である。

次に、図面を参照しながら、複合型合金ヘッドの一例に
ついて説明する。第５図は複合型合金ヘッドの一例を斜
視図で示したものである。第５図において、３２と３３
はそれぞれＺｎフェラ、イ１−系やＭｇＯ−Ｎ　ｉ　０
−Ｔｉ　Ｏ７などの非磁性基体、３４゜；１４′　と３
５．３５’　はアモルファスなどの合金磁性材よりなる
磁気コア、３６と３６′　は８１０２などよりなる２つ
のへラドギャップである。ここで、基体３２と３３およ
び磁気コア３４．３５と３４’　、３５’　を含む面が
記録媒体との摺接面であり、２つのへラドギャップ３６
と３６′　は−直線に並んでいる。３７と３７′　およ
び３８は左右の非磁性基体と磁気コアを接合するための
接合部材で、ガラスが用いられている。３９は巻線用窓
、４０は巻線用空隙であり、磁気コア３４と３５に対し
て窓３９と空隙４０を通って巻線４１がほどこされてお
り、磁気コア３４′　と３５′　に対しては巻線４２が
窓３９と空隙４０を通ってほどこされている。

次に、図面を参照しながら、他の複合型合金ヘッドの一
例について説明する。第６図は複合型合金ヘッドの他の
一例を斜視図で示したものである。

第６図において、４３と４４はそれぞれ非磁性基体、４
５．４６と４５’　、４６’　は非磁性基体４３と４４
の７字状の突状部の斜面に形成したアモルファスなどの
合金磁性材よりなる磁気コアである。４７と４７′　は
Ｓｉｎ、などよりなる２つのヘッドギャップで。

それぞれ磁気コア４５と４６の間および４５′　と４６
′　の間に形成され、所定の間隔で配置されて一直線に
並んでいる。４８と４９はフェライトなどの磁性部片で
あり、非磁性基体４３と４４のヘラ１〜ギヤツプを有す
る摺接面に垂直な２つの側面に接合され、閉磁路が構成
されている。また１巻線用窓５１を通して磁性部片４８
のまわりに巻線５０が巻かれており、他方の磁性部片４
９のまわりにも同様に巻線が巻かれている。

発明が解決しようとする課題 第４図の薄膜ヘッドの製造では、数〜数１０μｍの異種
材料を順番に多層積層し、かつエツチングなどによりパ
ターン化しなければならず、積層とエツチングによるパ
ターン形成をくりかえす際の」−法精度が問題となった
り、多種類の材料の熱膨張係数や熱処理条件を考慮した
りしなければ、それぞれの材料間で剥離が生じたりする
ために、各製造工程の制御が難しく、現状では量産性の
良くないことが問題になっている。

そこで、量産性を考慮し、従来のバルク型ヘソ１−の製
造工程による第５図のようなインラインダブルギャップ
ヘッドの構造が考えだされた。しかし、第５図のヘッド
においては、所定の間隔でヘッドギャップ３６．３６’
　を有する磁気コアにそれぞれ分離されており、ガラス
などの接合部材３８を挾んで隣合う磁気コアの対向する
面積が大きいと、一方のコア中を流れる磁束が他方のコ
アに漏れやすくなり、こうした両コア間のクロストーク
の劣化により、電子スチルカメラ用ヘッドでは、両コア
を同時に記録再生に用いるフレームモード時の画質に、
稠影響を及ぼした。

第６図のヘッドにおいては、非磁性基体４３．４４をＶ
字状の突起部ができるよう溝加工し、その斜面にアモル
ファスなどの合金磁性膜を被着することによりヘッドギ
ャップ４７．４７’　をそれぞれ有する２組の磁気コア
４５．４６と４５’　、４６’　を形成している。こう
した構造では、磁気コア４５．４６と４５′４６′　と
の間隔は均一にはならず、磁性部片４８．４９が接合さ
れている側面の方に、ヘッドギャップ４７゜４７′　か
ら遠ざかるにしたがってその間隔は大きくなる。さらに
、構造」二、磁気コア４５．４５’　および４６．４６
’　が非平行のため対向する面積が小さくなることによ
り、前記コア間隔が拡がる効果とともに磁束の漏れが減
少し、クロストークの改善ができる。

しかし、このヘッドでは製造上、左右の非磁性基体４３
．４４と磁気コア４５．４６および４５’　、４６’　
　をガラス５２．５２’　により接合した後、さらに側
面にフェライトなどの磁性体部片４８．４９を接合する
必要があり、その接合面である磁気コアの側面の鏡面加
工などの追加工程が増え、量産性が低下してしまう。

本発明は上記問題を解決するもので、電子スチル、カメ
ラ用ヘッドにおいて、低クロストークでかつ量産性の良
い磁気ヘッドの製造方法を提供することを目的とするも
のである。

課題を解決するための手段 上述した問題を解決するために、本発明の磁気ヘッドの
製造方法は、直方体よりなる第１の非磁性基体の記録媒
体との摺接面と交差する而に面記摺接面と交差する方向
に複数の溝を形成し、前記溝の斜面を含む面に合金磁性
材を所定の厚さに付着させる工程と、前記合金磁性材で
覆われた）１りにガラス材を充填する工程と、前記ガラ
ス材を充填した面を少なくとも前記非磁性基体が露出し
かつ磁気コアとしての前記合金磁性材が前記非磁性基体
の露出部により所定の寸法だけが分離されるまで鏡面加
工して第１のコア半体を構成する工程と、直方体よりな
る第２の非磁性基体の記録媒体の摺接面と交差する面に
前記摺接面に平行に巻線用窓となる溝を形成し、前記溝
を含む面に合金磁性材を所定の厚さに付着させる工程と
、前記巻線用溝に交差して前記合金磁性材を所期のトラ
ック間隔で分離する第１の溝を形成し、前記第１の溝の
両側に、２組の磁気コアとしての所定のトラック幅を規
制するための第２の溝を形成する工程と、前記第１の溝
と第２の溝にガラス材を充填し、前記ガラスを充填した
面を前記合金磁性材が露出するまで鏡面加工して第２の
コア半体を構成する工程と、次いで前記第１および第２
のコア半体の少なくとも一方の鏡面加工された面に、非
磁性材を所定の厚みに形成する工程と、前記非磁性材を
前記第１のコア半体と第２のコア半体で挾みかつ前記磁
気コアとしての合成磁性体を対向させて接合し、ギャッ
プバーを得る工程と、前記ギャップバーの記録媒体摺接
面とは反対側の面から、前記鏡面加工された面に交差し
かつ巻線用窓に達する深さの巻線用空隙を形成する工程
と、この巻線用空隙の両側に所定の寸法の磁気コアを残
存させて、前記ギャップバーを所定の角度で切断し、磁
気ヘットＢ体を得る工程と、前記巻線用窓と巻線用空隙
を通し、前記２組の磁気コアに対する巻線をそれぞれ独
立してほどこす工程をもって製造するようにしたもので
ある。

作用 上記構成により、従来の薄膜ヘットのように異種材料を
順番に多層積層し、かつ高精度でバタン形成のエツチン
グなどを行なうこともなく、また、従来のバルク型イン
ラインダブルギヤツブＩ＼ノ１〜で生じるクロストーク
を低減させるのに有効なコア形状を容易に得られ、しか
も、ダイシング・ツーなどの機械加工でトラック幅の規
制を行った非磁体基体同士をガラス材などの接合材で）
妾合することにより、記録媒体との摺接面に２　、Ｎｌ
の精度のよい磁気コアを有し、それぞれのへラドギャッ
プが同一直線上になるように配置された磁気ヘットを量
産性良く得ることができる。

実施例 以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。

第１−図は本発明の製造方法による磁気ヘッドの一実施
例の拡大斜視図を示す。第１図において、■および２は
ＺｎフェライトやＭ　ｇ　Ｏ−Ｎ　ｉ○−Ｔ１０２など
の非磁性基体、３．３′と４，４′は非磁性基体１と２
の対向面にそれぞれ形成されたアモルファスなどの合金
磁性材よりなる磁気コアで、磁気コア３，３′は直線状
で並列して、磁気コア４，４′はＶ字状で並列して形成
され、この磁気コア３と４および３′と４′とはそれぞ
れ一端部でＳｉＣ２などの非磁性材を介して接合され、
ヘッドギャップ５，５′が形成される。また、磁気コア
４，４′はギャップ５．５′から遠ざかるにしたがい両
者の間隔が拡がるように構成されている。ここで、非磁
性基体１．２および磁気コア３，３′および４，４′を
含む面が記録媒体との摺接面であり、２つのへラドギャ
ップ５と５′は同一直線上に並んでいる。また、６，６
′６“は左右の非磁性基体と磁気コアを接合するための
接合部材で、ガラスが用いられている。８はＩＭ接面に
平行に非磁性基体２に形成された巻線用窓で、磁気コア
４および４′はこの巻線用窓８の後方（図面では下方）
で磁気コア３および３′の合金磁性材とそれぞれ磁気的
に接合されており、それぞれ閉磁路を構成している。９
は摺接面の反対側でヘッドギャップ５，５′に交差する
方向に巻線用窓８に達する深さに形成された巻線用空隙
である。磁気コア３と４に対する巻線１０は窓８と空隙
９を通ってほどこされており、磁気コア３′と４′に対
する巻線１１は窓８と空隙９を通ってほどこされている
。

次に、本発明の磁気ヘッドの製造方法の一実施例につい
て第２図を用いて説明する。まず、第２１！？１（ａ）
のように、ＺｎフェライトやＭｇ０−Ｎ　ｉ　Ｏ−Ｔｉ
　Ｏ，などの非磁性基体１の記録媒体との摺接面と交差
する而にＶ字状溝１２を順次形成して突起部７を形成す
る。次に、第２図（ｂ）に示すように、ｉｊｆ記溝１２
を形成した面上に磁気コアとなるアモルファスなどの合
金磁性材１３を所定の厚さにスパッタ法により形成し、
この合金磁性材１３で覆われた溝１２にガラス材６を溶
融して充填した後、破線Ｓで示される位置まで研磨する
。第２図（ｃ）はこのようにして作られた第１のコア半
体を示し、研磨面Ｆに現わされた突起部７の両側面上に
は、略所期の！−ラック幅を有する長さＧの磁気コア１
８．１９が形成され、かつ突起部７の先端の幅は略１〜
ラック間隔となっている。

また、第２のコア半体は次のようにして作られる。まず
、第２図（ｄ）のように、ＺｎフェライトやＭ　ｇｏ−
Ｎ　ｉ　Ｏ−Ｔ　ｉ○２などの非磁性基体２に巻線用窓
８となる溝を記録媒体との摺接面と平行に形成する。次
に、第２図（ｅ）に示すように、この溝を含む非磁性基
体２の面上に磁気コアとなるアモルファスなどの合金磁
性材１３’　をスパッタ法により形成する。次に、第２
図（ｆ）のように。

Ｏｆ記巻線用窓８の溝に交差して、１＋ｔ８より摺接面
側の合金磁性材１３′　を所期のトラック間隔で分離す
る第１の溝１４をダイシング・ソーなどにより穿設した
後、この溝１４の両側に２組の所定のトラック幅Ｗ、と
Ｗ２を有する磁気コア１６と１７を規制するための第２
の溝１５を形成する。溝１４．１５は機械加工により形
成されるため、１〜ラック幅Ｗ、、Ｗ２や両１−ランク
の間隔は精度良く得ることができる。

次に、前記第１と第２の溝１４．１５にガラス材６を１
容融して充填した後、第２図（ｇ）に示すように合金磁
性材１３’の表面を所定の寸法だけ鏡面加工し、第２の
コア半体を得る。

次に、前記第１のコア半体と第２のコア半体の少なくと
も一方の鏡面加工された而に、ＳｉＣ２などの非磁性材
をスパッタ法などにより所定の厚みだけ形成し、その非
磁性材をヘントギャップとして前記第１のコア半体と第
２のコア半体で挾み、かつトラック部となる磁気コア１
８と１６および１９と１７をそれぞれ対向させて接合す
ることにより、第２図（ｈ）のような２組の磁気コアが
構成され、ギャップ５，５′　を有するギャップパー２
０を得る。

さらに、第２図（ｉ）に示すように、前記ギャップパー
２０において、後部ギャップ面２１に交差し、巻線用窓
８に達する深さＤでかつその幅りがトランク部の磁気コ
ア１６および１７と前記第１の溝１４の各輪の合計Ｉ、
′より大きい巻線用空ＶＸ９を摺接面の反対側に形成し
た後、この巻線用空隙９の両側に所定の寸法の磁気コア
１８および１９を残し、かつトランク規制用の第２の溝
１５を通るように、第２図（１）の二点鎖線２２のとこ
ろから切断し、磁気ヘット単体を得る。

次に、巻線用窓隙８と巻線用窓隙９を通して、２組の磁
気コアＪ６と１８および１７と１９に対してそれぞれ独
立して巻線をほどこして、第１図に示すような磁気ヘッ
ドを得ることができる。

第３図は、第１図のヘッド構成を説明するために、ギャ
ップ面にて第１のコア半体と第２のコア半体に分割した
時の斜視図を示し、第３図（ａ）は第２のコア半体を第
１図のＢ方向から見た斜視図。

第３図（ｂ）は第１のコア半体を第１図のへ方向から見
た斜視図である。

本発明の製造方法による磁気ヘッドは、第１図のギャッ
プ材５を挾んで、第３図の第１のコア半体の磁気コア部
４ａと第２のコア半体の磁気コア部３ａとが接し、さら
に第１のコア半体の磁気コア部４ｂと第２のコア半体の
磁気コア部３ｂとが接することにより閉磁路を構成し、
同様に前記ギャップ材５′を挾んで、第１のコア半体の
磁気コア部４８′と第２のコア半体の磁気コア部３ａと
が接し、さらに第１のコア半体の磁気コア部４−ｂ’　
と第２のコア半体の磁気コア部３ｂ’　とが接すること
によりもう１つの閉磁路を構成［１，ている。

このように本発明の製造方法による磁気ヘッドでは、隣
接して配設された２つの磁気へラドコア・１，４′が、
ヘッドギャップ５，５′から遠ざかるにしたがい、互い
にその距離が大きくなるように構成されている。

また、巻線用溝９を形成することにより、ヘラ１、ギャ
ップ５，５′の深さ方向に対し存在する磁気ヘッドコア
４，４′の１１１行な部分の長さを小にしている。さら
に、巻線１．０．１１がほどこされる磁気コア部も互い
に射れた位置に構成され、いずれも２個の磁気ヘッド間
のクロストークを低減させることができる。

また、コア半体を接合部材６および６′により一度の接
合で構成することができ、工数の削減が可能となり、量
産性が向上する。

発明の効果 以上のように本発明によれば、記録媒体との摺接面に、
磁気コアが合金磁性材よりなる２つのへラドギャップを
有し、かつそれぞれのヘッドギャップが同一直線になる
ように構成され、さらにその磁気コアの形状により両コ
ア間のクロストークの低減が実現できる磁気ヘッドを、
一方の非磁性基体に合金磁性材を所期のトラック間隔で
分離する第１の溝を形成し、この第１の溝の両側に２組
の磁気コアとしての所定のトラック幅を規制するための
第２の溝を形成することにより、精度よく、かつ量産性
よく提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の製造方法による磁気ヘッドの一実施例
の拡大斜視図、第２図は本発明の磁気ヘッド製造方法の
一実施例を示す工程図、第３図（ａ）および（ｂ）は第
１図のギャップ面における第２のコア半体の拡大斜視図
および第１のコア半体の拡大斜視図、第４図（ａ）およ
び（ｂ）は従来の薄膜ヘッドの例を示す要部正面図およ
び要部断面図、第５図は従来の複合型合金ヘッドの第１
の例を示す拡大斜視図、第６図は従来の複合型合金ヘッ
ドの第２の例を示す拡大斜視図である。 １．２・・・非磁性基体、３．３’　、４．４’・・・
磁気コア、５，５′　・・ヘットキャップ、６．６′６
″　・・接合部材、８・・・巻線用窓、９・・・巻線用
空隙、１０．１１・・・巻線、Ｉ２・・・７字状溝、　
１３．１３’・・・合金磁性体、１４・・第１の溝、１
５・・第２の溝、ｌｆ３．１７．１８．１９・６Ｊ＆気
コア、２０・・ギャップパー、２１・・後部ギャップ。 代理人　　　森　　本　　義　　弘 第 １、？　　−非石ａＩｔＴ番イネ ３、３′４．４’−石ル民りア ごシ、５′へりドつ（°゛τ−）７″ ６、ｌｐ：６″、−ｆｔ◇郁丁オ δ−巻環円窒 ｑ−冬楳園空隙。 ＩＯ，ｆｌ−港線 第３ 図 第５ 図 第４図 第２ 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、直方体よりなる第１の非磁性基体の記録媒体との摺
   接面と交差する面に前記摺接面と交差する方向に複数の
   溝を形成し、前記溝の斜面を含む前記面に合金磁性材を
   所定の厚さに付着させる工程と、前記合金磁性材で覆わ
   れた溝にガラス材を充填する工程と、前記ガラス材を充
   填した前記面を少なくとも前記非磁性基体が露出しかつ
   磁気コアとしての前記合金磁性材が前記非磁性基体の露
   出部により所定の寸法だけ分離されるまで鏡面加工して
   、第１のコア半体を構成する工程と、直方体よりなる第
   ２の非磁性基体の記録媒体の摺接面と交差する面に前記
   摺接面に平行に巻線用窓となる溝を形成し、前記溝を含
   む前記面に合金磁性材を所定の厚さに付着させる工程と
   、前記巻線用溝に交差して前記合金磁性材を所期のトラ
   ック間隔で分離する第１の溝を形成し、前記第１の溝の
   両側に、２組の磁気コアとしての所定のトラック幅を規
   制するための第２の溝を形成する工程と、前記第１の溝
   と第２の溝にガラス材を充填し、前記ガラスを充填した
   前記面を前記合金磁性材が露出するまで鏡面加工して第
   ２のコア半体を構成する工程と、次いで前記第１および
   第２のコア半体の少なくとも一方の鏡面加工された面に
   、非磁性材を所定の厚みに形成する工程と、前記非磁性
   材を前記第１のコア半体と第２のコア半体で挾みかつ前
   記磁気コアとしての合金磁性材を対向させて接合し、ギ
   ャップバーを得る工程と、前記ギャップバーの記録媒体
   摺接面とは反対側の面から、前記鏡面加工された面に交
   差しかつ巻線用窓に達する深さの巻線用空隙を形成する
   工程と、この巻線用空隙の両側に所定の寸法の磁気コア
   を残存させて、前記ギャップバーを所定の角度で切断し
   、磁気ヘッド単体を得る工程と、前記巻線用窓と巻線用
   空隙を通し、前記２組の磁気コアに対する巻線をそれぞ
   れ独立してほどこす工程を有する磁気ヘッド製造方法。