JPH0212074A - Ｉｃ試験装置における測定用電源装置 - Google Patents
Ｉｃ試験装置における測定用電源装置Info
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- JPH0212074A JPH0212074A JP63161100A JP16110088A JPH0212074A JP H0212074 A JPH0212074 A JP H0212074A JP 63161100 A JP63161100 A JP 63161100A JP 16110088 A JP16110088 A JP 16110088A JP H0212074 A JPH0212074 A JP H0212074A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、ＩＣ（集積回路、以下同じ）試験装置等の
試験・計測機器に搭載される測定用電源装置に関し、特
に、該被測定ＩＣの信号入力ピンに印加される試験パタ
ーン信号に同期した任意のタイミングで消費電流を検出
できるようにしたことに関する。
試験・計測機器に搭載される測定用電源装置に関し、特
に、該被測定ＩＣの信号入力ピンに印加される試験パタ
ーン信号に同期した任意のタイミングで消費電流を検出
できるようにしたことに関する。
［従来の技術］
ディジタルＩＣ等の消費電流を測定する場合、ＩＣ試験
装置などの試験・計測機器に搭載される測定用電源装置
から該ＩＣの電源入力ピンに所定の直流電圧を供給して
、該供給電流を該ＩＣの消費電流として検出するように
していた。このとき。
装置などの試験・計測機器に搭載される測定用電源装置
から該ＩＣの電源入力ピンに所定の直流電圧を供給して
、該供給電流を該ＩＣの消費電流として検出するように
していた。このとき。
該被測定ＩＣの所定の信号入力ピンに種々の試験パター
ン信号を印加し内部動作を変化させ消費電流を測定する
場合と、無人力信号状態で消費電流を測定する場合があ
る。
ン信号を印加し内部動作を変化させ消費電流を測定する
場合と、無人力信号状態で消費電流を測定する場合があ
る。
一般的に、ディジタルＩＣの消費電流は、無人力信号状
態と種々の試験パターン信号等が印加された状態とでは
大きく異なる。例えば、被測定ＩＣの無人力信号状態（
以下、便宜的に無信号モードという）における消１４流
が数μＡであるとき、試験パターン信号等が印加された
状態（以下１便宜的に動作モードという）における消費
電流が数ｍＡから数１０ ｍ Ａである。また、被測定
ＩＣの動作モードでは、信号入力ピンに印加される試験
パターン信号の種類により該ＩＣの消費電流がダイナミ
ックに変動する。
態と種々の試験パターン信号等が印加された状態とでは
大きく異なる。例えば、被測定ＩＣの無人力信号状態（
以下、便宜的に無信号モードという）における消１４流
が数μＡであるとき、試験パターン信号等が印加された
状態（以下１便宜的に動作モードという）における消費
電流が数ｍＡから数１０ ｍ Ａである。また、被測定
ＩＣの動作モードでは、信号入力ピンに印加される試験
パターン信号の種類により該ＩＣの消費電流がダイナミ
ックに変動する。
ＩＣの消費電流を測定するための測定用電源装置では、
被測定ＩＣに電源を供給すると共にその消費電流を検出
するための電流検出回路を有している。従来のＩＣ試験
装置に適用されていたそのような測定用電源装置では、
被測定Ｉ ７”＋の無信号モード若しくは動作モードに
対応する平均的な定常状態の消費電流を検出するように
していた。
被測定ＩＣに電源を供給すると共にその消費電流を検出
するための電流検出回路を有している。従来のＩＣ試験
装置に適用されていたそのような測定用電源装置では、
被測定Ｉ ７”＋の無信号モード若しくは動作モードに
対応する平均的な定常状態の消費電流を検出するように
していた。
［発明が解決しようとする課題］
従って、従来のＩＣ試験装置に適用されていた測定用電
源装置では、被測定ＩＣの動作モードにおいて信号入力
ピンに与えられた試験パターン信号の種類によってダイ
ナミックに変動する消費′電流を、該試験パターン信号
における任意のタイミングで検出することができなかっ
た、という問題があった。
源装置では、被測定ＩＣの動作モードにおいて信号入力
ピンに与えられた試験パターン信号の種類によってダイ
ナミックに変動する消費′電流を、該試験パターン信号
における任意のタイミングで検出することができなかっ
た、という問題があった。
この発明は上述の点に鑑みてなされたもので、入力され
る試験パターン信号に応じてダイナミックに変動する被
測定ＩＣの消費電流を、任意の試験パターン信号に同期
した任意のタイミングで検出できるようにした測定用電
源装置を提供しようとするものである。
る試験パターン信号に応じてダイナミックに変動する被
測定ＩＣの消費電流を、任意の試験パターン信号に同期
した任意のタイミングで検出できるようにした測定用電
源装置を提供しようとするものである。
［課題を解決するための手段］
この発明に係る測定用電源装置は、被測定ＩＣに電源を
供給する電源供給手段と、前記被測定ＩＣに対する電源
供給ラインに設けられ、電源供給ラインにおける電流を
測定することにより前記被測定ＩＣにおける消費電流を
検出する消費電流検出手段と、前記被測定ＩＣの各信号
入力ピンに対応して試験パターン信号を発生し、印加す
る試験信号発生手段とを具えたものであり、前記試験信
号発生手段において発生する試験パターン信号の状態に
応じた消費電流を前記消費電流検出手段で検出すること
ができるようにしたことを特徴とするものである。
供給する電源供給手段と、前記被測定ＩＣに対する電源
供給ラインに設けられ、電源供給ラインにおける電流を
測定することにより前記被測定ＩＣにおける消費電流を
検出する消費電流検出手段と、前記被測定ＩＣの各信号
入力ピンに対応して試験パターン信号を発生し、印加す
る試験信号発生手段とを具えたものであり、前記試験信
号発生手段において発生する試験パターン信号の状態に
応じた消費電流を前記消費電流検出手段で検出すること
ができるようにしたことを特徴とするものである。
［作用コ
被測定ＩＣの消費電流を測定しようとする場合、電源供
給手段によって被測定ＩＣに電源を供給すると共に、試
験信号発生手段によって該被測定ＩＣの各信号入力ピン
に対応して試験パターン信号を発生し、印加する。被測
定ＩＣに対する電源供給ラインに設けられた消費電流検
出手段では、試験信号発生手段において発生する試験パ
ターン信号の状態に応じた消費電流を電源供給ラインに
おける電流を測定することにより被測定ＩＣにおける消
費電流を検出する。
給手段によって被測定ＩＣに電源を供給すると共に、試
験信号発生手段によって該被測定ＩＣの各信号入力ピン
に対応して試験パターン信号を発生し、印加する。被測
定ＩＣに対する電源供給ラインに設けられた消費電流検
出手段では、試験信号発生手段において発生する試験パ
ターン信号の状態に応じた消費電流を電源供給ラインに
おける電流を測定することにより被測定ＩＣにおける消
費電流を検出する。
例えば、電源供給手段から所定の電源電圧を被測定ＩＣ
の電源入力ピンに印加すると共に、試験信号発生手段か
ら試験パターン信号を該ＩＣの信号入力ピンに夫々印加
する。消費電流検出手段は、被測定ＩＣに対する電源供
給ラインに設けられており、該電源供給ラインにおける
電流を測定することにより、試験信号発生手段における
試験パターン信号に応じて被測定ＩＣによって消費され
る電流を検出する。従って、試験信号発生手段における
試験パターン信号の変化に対応して変動する被測定ＩＣ
の消費電流を検出することができるようになる。
の電源入力ピンに印加すると共に、試験信号発生手段か
ら試験パターン信号を該ＩＣの信号入力ピンに夫々印加
する。消費電流検出手段は、被測定ＩＣに対する電源供
給ラインに設けられており、該電源供給ラインにおける
電流を測定することにより、試験信号発生手段における
試験パターン信号に応じて被測定ＩＣによって消費され
る電流を検出する。従って、試験信号発生手段における
試験パターン信号の変化に対応して変動する被測定ＩＣ
の消費電流を検出することができるようになる。
［実施例］
以下、添付図面を参照して本発明に係るＩＣ試験装置に
おける測定用電源装置の実施例を詳細に説明する。
おける測定用電源装置の実施例を詳細に説明する。
第１図は本発明に係る測定用電源装置の一実施例を示す
ブロック図であり１本発明に直接関係する部分のみを示
す。この電源装置は大別して、制御部１１とディジタル
／アナログ（以下、Ｄ／Ａという）変換器１２及びアナ
ログ／ディジタル（以下、Ａ／Ｄという）変換器１５と
電源供給及び電流検出回路２０などから成っている。な
お、該′ｌｔ源装置の負荷としては、消費電流を測定し
ようとするＩＣや種々の回路などが接続できる。制御部
１１は、被測定ＩＣ３０に印加すべき基準電圧を指示す
るディジタルデータをＤ／Ａ変換器１２に与えると共に
、Ａ、 ／ Ｄ変換器１５から与えらえる検出電流値を
示すディジタルデータの処理を行う。また、該制御部１
１は、ドライバ１４−１〜１４−ｎに対して各種制御信
号や試験パターン信号作成用のデータを送出すると共に
、タイミング発生回路１３を制御する。
ブロック図であり１本発明に直接関係する部分のみを示
す。この電源装置は大別して、制御部１１とディジタル
／アナログ（以下、Ｄ／Ａという）変換器１２及びアナ
ログ／ディジタル（以下、Ａ／Ｄという）変換器１５と
電源供給及び電流検出回路２０などから成っている。な
お、該′ｌｔ源装置の負荷としては、消費電流を測定し
ようとするＩＣや種々の回路などが接続できる。制御部
１１は、被測定ＩＣ３０に印加すべき基準電圧を指示す
るディジタルデータをＤ／Ａ変換器１２に与えると共に
、Ａ、 ／ Ｄ変換器１５から与えらえる検出電流値を
示すディジタルデータの処理を行う。また、該制御部１
１は、ドライバ１４−１〜１４−ｎに対して各種制御信
号や試験パターン信号作成用のデータを送出すると共に
、タイミング発生回路１３を制御する。
ドライバ１４−１〜１４−ｎは、制御部１１から与えら
れる各種制御信号と試験パターン信号作成用のデータに
基づき、被測定ＩＣ３０の信号入力ピンに対して印加す
べき各種の試験パターン信号Ｐ１〜Ｐｎを作成し出力す
る。タイミング発生回路１３は制御部１１からの制御に
より、任意の試験パターン信号Ｐ１〜Ｐｎに同期したタ
イミングでアクチブＩＩ Ｉ Ｉ＋となるタイミング信
号Ｔをオペアンプ（演算増幅器、以下同じ）２５のスト
ロブ信号入力に対して出力する。
れる各種制御信号と試験パターン信号作成用のデータに
基づき、被測定ＩＣ３０の信号入力ピンに対して印加す
べき各種の試験パターン信号Ｐ１〜Ｐｎを作成し出力す
る。タイミング発生回路１３は制御部１１からの制御に
より、任意の試験パターン信号Ｐ１〜Ｐｎに同期したタ
イミングでアクチブＩＩ Ｉ Ｉ＋となるタイミング信
号Ｔをオペアンプ（演算増幅器、以下同じ）２５のスト
ロブ信号入力に対して出力する。
なお、試験パターン信号Ｐ１〜Ｐ ｎは被測完工Ｃ３０
の複数の信号入力ビン毎に夫々対応するパルスであり、
−例を示すと、第２図のようである。
の複数の信号入力ビン毎に夫々対応するパルスであり、
−例を示すと、第２図のようである。
なお、第２図はＩＣの立上り時における一例を示してお
り、ＴＯで示すタイミングが立上り時点を示している。
り、ＴＯで示すタイミングが立上り時点を示している。
なお、被測定ＩＣ３０が立上がる瞬間の時間Ｔｏにおけ
る消＊電流をピーク消費電流ということにする。
る消＊電流をピーク消費電流ということにする。
Ｄ／Ａ変換器１２は、制御部］１から与えられるディジ
タルデータに基づきアナログの基＊電圧Ｖｉを発生する
。この基準電圧Ｖｉはアンプ１６によって電流増幅され
た後に、電源供給及び電流検出回路２０におけるオペア
ンプ２１の一方の入力（＋入力）に与えられる。
タルデータに基づきアナログの基＊電圧Ｖｉを発生する
。この基準電圧Ｖｉはアンプ１６によって電流増幅され
た後に、電源供給及び電流検出回路２０におけるオペア
ンプ２１の一方の入力（＋入力）に与えられる。
電源供給及び電流検出回路２０は基準電圧Ｖｉを入力し
、該基準電圧Ｖｉに応じた電源電圧Ｖ。
、該基準電圧Ｖｉに応じた電源電圧Ｖ。
を被測定ＩＣ３０に対して供給すると共に、該工Ｃ３０
の消費電流を示す検出電圧ＤｉをＡ／Ｄ変換器１５に対
して出力する。オペアンプ２１の＋入力に与えられた基
準電圧Ｖｉは、抵抗２２を介して被測定ＩＣ３０の電源
入力ピンに印加される。
の消費電流を示す検出電圧ＤｉをＡ／Ｄ変換器１５に対
して出力する。オペアンプ２１の＋入力に与えられた基
準電圧Ｖｉは、抵抗２２を介して被測定ＩＣ３０の電源
入力ピンに印加される。
このオペアンプ２１の出力には抵抗２２の一端とオペア
ンプ２５の一方の入力（＋入力）が接続されており、ま
た、該抵抗２２の他端にはオペアンプ２５の他方の入力
（−人力）とオペアンプ２４の一方の人力（＋入力）が
接続され°Ｃいる。つまり、被測定ＩＣ３０に供給され
る電源電流Ｉに応じて抵抗２２の両端に発生する電圧降
下をオペアンプ２５によって検出するようになっている
。オペアンプ２５は、ストロブ信号入力に与えられるタ
イミング信号′ｒに応じて、動作可能となり。
ンプ２５の一方の入力（＋入力）が接続されており、ま
た、該抵抗２２の他端にはオペアンプ２５の他方の入力
（−人力）とオペアンプ２４の一方の人力（＋入力）が
接続され°Ｃいる。つまり、被測定ＩＣ３０に供給され
る電源電流Ｉに応じて抵抗２２の両端に発生する電圧降
下をオペアンプ２５によって検出するようになっている
。オペアンプ２５は、ストロブ信号入力に与えられるタ
イミング信号′ｒに応じて、動作可能となり。
＋、−人力に加えられる該抵抗２２による電圧降下を検
出する。ここで検出された検出電圧ＤｉはＡ ／ Ｄ変
換器１５に与えられ、該Ａ／Ｄ変換器１５において被測
定ＩＣ３０の消費電流工を示１ディジタルデータに変換
された後に制御部】、１に与えられる。制御部１１では
５このディジタルデータに基づき被測定ＪＣ３０の消費
電流■を判定する。
出する。ここで検出された検出電圧ＤｉはＡ ／ Ｄ変
換器１５に与えられ、該Ａ／Ｄ変換器１５において被測
定ＩＣ３０の消費電流工を示１ディジタルデータに変換
された後に制御部】、１に与えられる。制御部１１では
５このディジタルデータに基づき被測定ＪＣ３０の消費
電流■を判定する。
一方、被測定１ｃ３０に印加される電源電圧ＶＯはオペ
アンプ２４を介してオペアンプ２１の一人力にフィード
バックされるようになっている。
アンプ２４を介してオペアンプ２１の一人力にフィード
バックされるようになっている。
このように、フィードバックループが構成されているた
め、電源電圧Ｖｏは基準電圧Ｖｉと同じ電圧になるよう
に補正される。
め、電源電圧Ｖｏは基準電圧Ｖｉと同じ電圧になるよう
に補正される。
次に、以上の構成における各部の作用を具体例を挙げて
説明する。例えば、制御部１１において、被測定ＩＣ３
０に印加する電源電圧Ｖｏ＝５Ｖすなわち基＄電圧Ｖｉ
＝５Ｖに設定すると共に該工Ｃ３０の電源入力ピンに供
給するようにして、第２図に示したような試験パターン
信号Ｐ１〜Ｐ４を被測定ＩＣ３０の所定の各ピンに印加
するものとする。
説明する。例えば、制御部１１において、被測定ＩＣ３
０に印加する電源電圧Ｖｏ＝５Ｖすなわち基＄電圧Ｖｉ
＝５Ｖに設定すると共に該工Ｃ３０の電源入力ピンに供
給するようにして、第２図に示したような試験パターン
信号Ｐ１〜Ｐ４を被測定ＩＣ３０の所定の各ピンに印加
するものとする。
消費電流測定が開始されると、電源供給及び電流検出回
路２０から電源電圧Ｖ ｏ ＝ ５ Ｖが被測定ＩＣ３
０の電源入力ピンに印加され、また、ドライバ１．４−
１〜１４−４から試験パターン信号Ｐ１〜Ｐ４が１Ｉｃ
３０の各信号入力ビン１〜ピン４に夫々印加される。被
測定ＴＣ３０によって消費される電源電流Ｉは、入力さ
れる試験パターン（７１号Ｐ１〜Ｐ４に応じて変動する
。一般に、ディジタルＩＣの消費電流■は、入力される
各試験パターン信号Ｐ１〜Ｐｎのハイレベル状態波形の
総和に対応する。
路２０から電源電圧Ｖ ｏ ＝ ５ Ｖが被測定ＩＣ３
０の電源入力ピンに印加され、また、ドライバ１．４−
１〜１４−４から試験パターン信号Ｐ１〜Ｐ４が１Ｉｃ
３０の各信号入力ビン１〜ピン４に夫々印加される。被
測定ＴＣ３０によって消費される電源電流Ｉは、入力さ
れる試験パターン（７１号Ｐ１〜Ｐ４に応じて変動する
。一般に、ディジタルＩＣの消費電流■は、入力される
各試験パターン信号Ｐ１〜Ｐｎのハイレベル状態波形の
総和に対応する。
例えば、試験パターン信号Ｐ１〜Ｐ４におけるピーク値
を測定する場合は、立上り時のタイミングＴＯに対応し
てタイミング発生回路１３からタイミング信号Ｔをオペ
アンプ２５のストローブ信号入力に対して与える。オペ
アンプ２５はストローブ信号入力に与えられるタイミン
グ信号Ｔによって動作可能状態になり、抵抗２２の両端
に発生した電圧を検出し、この検出した電圧ＤｉをＡ／
Ｄ変換器１５を介して制御部１１に出力する。また、同
様に、試験パターン信号Ｐ１〜Ｐ４のタイミングＴ２に
おける消費電流工を測定する場合は、タイミングＴ２に
対応してタイミング発生回路１３からタイミング信号Ｔ
をオペアンプ２５に対して出力する。オペアンプ２５は
前述したように、抵抗２２の両端に発生した電圧を検出
し、この検出した電圧Ｄ１をＡ／Ｄ変換器１．５を介し
て制御部１１に出力する。
を測定する場合は、立上り時のタイミングＴＯに対応し
てタイミング発生回路１３からタイミング信号Ｔをオペ
アンプ２５のストローブ信号入力に対して与える。オペ
アンプ２５はストローブ信号入力に与えられるタイミン
グ信号Ｔによって動作可能状態になり、抵抗２２の両端
に発生した電圧を検出し、この検出した電圧ＤｉをＡ／
Ｄ変換器１５を介して制御部１１に出力する。また、同
様に、試験パターン信号Ｐ１〜Ｐ４のタイミングＴ２に
おける消費電流工を測定する場合は、タイミングＴ２に
対応してタイミング発生回路１３からタイミング信号Ｔ
をオペアンプ２５に対して出力する。オペアンプ２５は
前述したように、抵抗２２の両端に発生した電圧を検出
し、この検出した電圧Ｄ１をＡ／Ｄ変換器１．５を介し
て制御部１１に出力する。
このように、被測定ＩＣ３０に印加する試験パターン信
号Ｐ１〜Ｐｎに対応した消費電流工を測定することがで
きるため、電流消費ピーク値も平均的な消費電流工も測
定することができるようになる。
号Ｐ１〜Ｐｎに対応した消費電流工を測定することがで
きるため、電流消費ピーク値も平均的な消費電流工も測
定することができるようになる。
なお、この実施例ではオペアンプ２５に対してタイミン
グ発生回路１３からタイミング信号Ｔを出力して、ドラ
イバ１４−１〜１４−ｎにおいて発生する試験バタ・−
ン信号Ｐ１〜Ｐｎの状態に応じた被測定ＩＣ３０の消費
電流を検出し取り込むようにしているが、この発明の目
的を実現できるような回路構成であるなら本実施例に限
定されるものではない０例えば、オペアンプ２５によっ
て常時検出するようにすると共に制御部１１にタイミン
グ発生機能を持たせて、該タイミングに応じてオペアン
プ２５から出力される検出電圧Ｄｉを取り込むようにし
てもよい。
グ発生回路１３からタイミング信号Ｔを出力して、ドラ
イバ１４−１〜１４−ｎにおいて発生する試験バタ・−
ン信号Ｐ１〜Ｐｎの状態に応じた被測定ＩＣ３０の消費
電流を検出し取り込むようにしているが、この発明の目
的を実現できるような回路構成であるなら本実施例に限
定されるものではない０例えば、オペアンプ２５によっ
て常時検出するようにすると共に制御部１１にタイミン
グ発生機能を持たせて、該タイミングに応じてオペアン
プ２５から出力される検出電圧Ｄｉを取り込むようにし
てもよい。
また、電源供給及び電流検出回路２０は、この実施例に
限定されるものではなく他の適宜の回路構成であっても
よい。
限定されるものではなく他の適宜の回路構成であっても
よい。
また、この実施例ではオペアンプ２５による検出電圧Ｄ
ｉをＡ／Ｄ変換器１５を介して消費電流工を示すディジ
タルデータとして制御部１１に与えているが、該検出電
圧Ｄｉを消費電流工を示すアナログのデータとして直接
読み取るようにしてもよい。
ｉをＡ／Ｄ変換器１５を介して消費電流工を示すディジ
タルデータとして制御部１１に与えているが、該検出電
圧Ｄｉを消費電流工を示すアナログのデータとして直接
読み取るようにしてもよい。
［発明の効果］
以上の通り、この発明に係るＩＣ試験装置における測定
用電源装置によれば、被測定ＩＣの各信号入力ビンに印
加される任意の試験パターン信号の状態に対応したタイ
ミングで消費電流を検出できるようにしたため、電流消
費ピーク値や試験パターン信号の状態に対応した消費電
流や平均的な消費電流も測定できるようになる。という
優れた効果を奏する。
用電源装置によれば、被測定ＩＣの各信号入力ビンに印
加される任意の試験パターン信号の状態に対応したタイ
ミングで消費電流を検出できるようにしたため、電流消
費ピーク値や試験パターン信号の状態に対応した消費電
流や平均的な消費電流も測定できるようになる。という
優れた効果を奏する。
第１図は本発明に係るＩＣ試験装置におりる測定用電源
装置の一実施例を示すブロック図、第２図は同ＩＣ試験
装置から被測定ＩＣに対して印加される試験パターン信
号の一例を示すタイミングチャート、である。
装置の一実施例を示すブロック図、第２図は同ＩＣ試験
装置から被測定ＩＣに対して印加される試験パターン信
号の一例を示すタイミングチャート、である。
１１・・・制御部、１２・・・ディジタル／アナログ変
換器、１３・・・タイミング発生回路、】、４・・・試
験パターン信号発生ドライバ、】５・・・アナログ／デ
ィジタル変換器、１６・・・電流バッファアンプ、２０
・・・電源供給及び電流検出回路、２１，２４，２５・
・・オペアンプ、２２・・・抵抗、３ｏ・・・被測定Ｉ
Ｃ。
換器、１３・・・タイミング発生回路、】、４・・・試
験パターン信号発生ドライバ、】５・・・アナログ／デ
ィジタル変換器、１６・・・電流バッファアンプ、２０
・・・電源供給及び電流検出回路、２１，２４，２５・
・・オペアンプ、２２・・・抵抗、３ｏ・・・被測定Ｉ
Ｃ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被測定ＩＣに電源を供給する電源供給手段と、前記被測
定ＩＣに対する電源供給ラインに設けられ、電源供給ラ
インにおける電流を測定することにより前記被測定ＩＣ
における消費電流を検出する消費電流検出手段と、 前記被測定ＩＣの各信号入力ピンに対応して試験パター
ン信号を発生し、印加する試験信号発生手段と を具え、前記試験信号発生手段において発生する試験パ
ターン信号の状態に応じた消費電流を前記消費電流検出
手段で検出することができるようにした測定用電源装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63161100A JPH0212074A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | Ｉｃ試験装置における測定用電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63161100A JPH0212074A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | Ｉｃ試験装置における測定用電源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0212074A true JPH0212074A (ja) | 1990-01-17 |
Family
ID=15728604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63161100A Pending JPH0212074A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | Ｉｃ試験装置における測定用電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0212074A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0587874A (ja) * | 1991-09-30 | 1993-04-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体恒温加速試験装置 |
| JPH06109808A (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-22 | Sony Tektronix Corp | 素子特性測定装置 |
| JP2008298467A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Imv Corp | 基板検査装置 |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP63161100A patent/JPH0212074A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0587874A (ja) * | 1991-09-30 | 1993-04-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体恒温加速試験装置 |
| JPH06109808A (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-22 | Sony Tektronix Corp | 素子特性測定装置 |
| JP2008298467A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Imv Corp | 基板検査装置 |
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