JPH02123760A - チップ型半導体装置の製造方法 - Google Patents
チップ型半導体装置の製造方法Info
- Publication number
- JPH02123760A JPH02123760A JP63278378A JP27837888A JPH02123760A JP H02123760 A JPH02123760 A JP H02123760A JP 63278378 A JP63278378 A JP 63278378A JP 27837888 A JP27837888 A JP 27837888A JP H02123760 A JPH02123760 A JP H02123760A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- lead
- lead frame
- type semiconductor
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
- B29C45/14639—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components
- B29C45/14655—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components connected to or mounted on a carrier, e.g. lead frame
Landscapes
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はり〜ドフレーム上に半導体基体を接続して樹脂
封止したチップ型半導体装置の製造方法に関するもので
特にパッケージ部より外側に露出しているリード部の樹
脂バリを容易に除去することの可能な製造法を提供する
ものである。第1図(a)、(b)はこの種のチップ型
半導体装置の構造図で図中1は樹脂モールド部(パッケ
ージ部)2aは、リード部で大々リード部の一部を折曲
げ所謂面実装用として供されている。
封止したチップ型半導体装置の製造方法に関するもので
特にパッケージ部より外側に露出しているリード部の樹
脂バリを容易に除去することの可能な製造法を提供する
ものである。第1図(a)、(b)はこの種のチップ型
半導体装置の構造図で図中1は樹脂モールド部(パッケ
ージ部)2aは、リード部で大々リード部の一部を折曲
げ所謂面実装用として供されている。
係るチップ型半導体装置は、第2図に示す様に、半導体
基体の組yか終了したリードフレーム2のノード部2a
を樹脂封止を行い、点線B、B′に沿って切断すること
により個々の装置を製造する所で樹脂封止を?テなう時
に使用するモールド金型とリードフレームの関係により
、リードフレーム及びリード部の一部分に不必要な樹脂
バリが発生する。このため従来あらたにバリ取工程を設
けて例えばバリのみを打抜き或いはデフラッシャ等によ
り除く方法が用いられているがこれでは工程が増加して
コストアップになることと、完全に樹脂バリを除去する
ことが出来ない。又、リード部を折り曲げ加工を行ない
完成品となるが、樹脂バリの残っている部分が、基板実
装時に半田付は不良となる欠点があった。
基体の組yか終了したリードフレーム2のノード部2a
を樹脂封止を行い、点線B、B′に沿って切断すること
により個々の装置を製造する所で樹脂封止を?テなう時
に使用するモールド金型とリードフレームの関係により
、リードフレーム及びリード部の一部分に不必要な樹脂
バリが発生する。このため従来あらたにバリ取工程を設
けて例えばバリのみを打抜き或いはデフラッシャ等によ
り除く方法が用いられているがこれでは工程が増加して
コストアップになることと、完全に樹脂バリを除去する
ことが出来ない。又、リード部を折り曲げ加工を行ない
完成品となるが、樹脂バリの残っている部分が、基板実
装時に半田付は不良となる欠点があった。
本発明は、前述の欠点を解消出来る生産性の高いノード
フレーム形状とし、完成品に樹脂バリの耐着していない
チップ型半導体装置を提供するもので、リードフレーム
のリード部に半導体基体を接続する工程と、前記半導体
基体を樹脂モールドする工程と、前記リードフレームを
切断して個々のチップ型半導体装置を形成する工程を含
み、且つ前記切断時に該リード部の内面を同時に切断す
ることにより前記樹脂モールド時に該リード部に付着し
た樹脂バリを除去するようにしたことを特徴とするもの
である。
フレーム形状とし、完成品に樹脂バリの耐着していない
チップ型半導体装置を提供するもので、リードフレーム
のリード部に半導体基体を接続する工程と、前記半導体
基体を樹脂モールドする工程と、前記リードフレームを
切断して個々のチップ型半導体装置を形成する工程を含
み、且つ前記切断時に該リード部の内面を同時に切断す
ることにより前記樹脂モールド時に該リード部に付着し
た樹脂バリを除去するようにしたことを特徴とするもの
である。
第3図は、本発明の詳細な説明図であって、2はリード
フレーム、1はパッケージ(樹脂部)、3はランナ−1
4はゲート、5は樹脂バリである。本装置を製造するに
は、リードフレーム2に半導体基体を組み込んだ後、専
用の封止金型(図示しない)をもちいて、ランナー3か
らゲート4の順に封止樹脂を注入して、所定のパッケー
ジ1に樹脂成形を行なう。不要部分のランナー3とゲト
4は成形直後に分離して除却する。一方vI4脂封止さ
れたものは、封止金型とリードフレーム2のクリアラン
スの関係により、リード部にγGって不必要な樹脂バリ
5が発生する。そこで本発明では樹脂バリ5を除去する
ために、リードフレーム及びリード部の内面を切断して
樹脂バリ5を分離、除去する。リードフレーム2のリー
ド部には、予めパッケージ1の外側に露出する部分に段
差部2bが設けである。これは、切断時にパッケージ1
と切断金型が接触しない為であり、パッケージ1と段差
部2bの寸法Sは0.1mm以上あれば良い+1[が確
認されている。そして段差部に沿ってリドフレーム及び
リード部の内面Cを切断し、更に点線B、B′に沿って
切断することにより、個々の製品とし、二1−ザーの要
求に応じて端子2aを成形して、製品(第1図)を完成
する。なお端子2a部分は、前述した様にパッケージ1
がら露出した:3而面板厚面を除く)が、樹脂封止後に
切断されるため、次工程のメツキ工程等で端子2aの全
面に表面処理が施されるため、基板実装時の半田付は不
良が激減され、強度も向上するので信頼性の高いチップ
型半導体装置が提供出来る。
フレーム、1はパッケージ(樹脂部)、3はランナ−1
4はゲート、5は樹脂バリである。本装置を製造するに
は、リードフレーム2に半導体基体を組み込んだ後、専
用の封止金型(図示しない)をもちいて、ランナー3か
らゲート4の順に封止樹脂を注入して、所定のパッケー
ジ1に樹脂成形を行なう。不要部分のランナー3とゲト
4は成形直後に分離して除却する。一方vI4脂封止さ
れたものは、封止金型とリードフレーム2のクリアラン
スの関係により、リード部にγGって不必要な樹脂バリ
5が発生する。そこで本発明では樹脂バリ5を除去する
ために、リードフレーム及びリード部の内面を切断して
樹脂バリ5を分離、除去する。リードフレーム2のリー
ド部には、予めパッケージ1の外側に露出する部分に段
差部2bが設けである。これは、切断時にパッケージ1
と切断金型が接触しない為であり、パッケージ1と段差
部2bの寸法Sは0.1mm以上あれば良い+1[が確
認されている。そして段差部に沿ってリドフレーム及び
リード部の内面Cを切断し、更に点線B、B′に沿って
切断することにより、個々の製品とし、二1−ザーの要
求に応じて端子2aを成形して、製品(第1図)を完成
する。なお端子2a部分は、前述した様にパッケージ1
がら露出した:3而面板厚面を除く)が、樹脂封止後に
切断されるため、次工程のメツキ工程等で端子2aの全
面に表面処理が施されるため、基板実装時の半田付は不
良が激減され、強度も向上するので信頼性の高いチップ
型半導体装置が提供出来る。
以上、説明した様に本発明によれば、リードフレムをも
ちいて樹脂封止した時に発生する不必要な樹脂バリをあ
らたにバリ取り工程を設けることなくリードフレームの
切断時に容易に除去でき、生産性の高いチップ型半導体
装置を提供でき、実用上の効果は大なるものである。
ちいて樹脂封止した時に発生する不必要な樹脂バリをあ
らたにバリ取り工程を設けることなくリードフレームの
切断時に容易に除去でき、生産性の高いチップ型半導体
装置を提供でき、実用上の効果は大なるものである。
第1図チップ型半導体装置の構造図、第2図は従来の製
造法の説明図、第3図は本発明の実施例を示す説明図で
ある。図中1は樹脂モールド(バッテ ジ)部、 は ノ ドフレ ム、 はそのリ ド部及び段差部、 3はランナ は ゲ ト 5は樹脂バリである。
造法の説明図、第3図は本発明の実施例を示す説明図で
ある。図中1は樹脂モールド(バッテ ジ)部、 は ノ ドフレ ム、 はそのリ ド部及び段差部、 3はランナ は ゲ ト 5は樹脂バリである。
Claims (2)
- (1)リードフレームのリード部に半導体基体を接続す
る工程と、前記半導体基体を樹 脂モールドする工程と、前記リードフレ ームを切断して個々のチップ型半導体装 置を形成する工程を含み、且つ前記切断 時に該リード部の内面を同時に切断する ことにより前記樹脂モールド時に該リー ド部に付着した樹脂バリを除去するよう にしたことを特徴とするチップ型半導体 装置の製造方法。 - (2)リード部に段差部を設け該段差部に沿って該リー
ド部内面を切断するようにした ことを特徴とする特許請求の範囲第(1 )項記載のチップ型半導体装置の製造方 法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63278378A JPH02123760A (ja) | 1988-11-02 | 1988-11-02 | チップ型半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63278378A JPH02123760A (ja) | 1988-11-02 | 1988-11-02 | チップ型半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02123760A true JPH02123760A (ja) | 1990-05-11 |
Family
ID=17596503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63278378A Pending JPH02123760A (ja) | 1988-11-02 | 1988-11-02 | チップ型半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02123760A (ja) |
-
1988
- 1988-11-02 JP JP63278378A patent/JPH02123760A/ja active Pending
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