JPH02126665A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPH02126665A JPH02126665A JP63280569A JP28056988A JPH02126665A JP H02126665 A JPH02126665 A JP H02126665A JP 63280569 A JP63280569 A JP 63280569A JP 28056988 A JP28056988 A JP 28056988A JP H02126665 A JPH02126665 A JP H02126665A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum wiring
- layer
- wiring part
- oxide film
- electrode element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は半導体集積回路における容量装置に関する。
［従来の技術］
従来の半導体集積回路における容量装置のおのおのの電
極素子の構成は第４図のように一つの配線層または一つ
の導電体を用い、たがいに絶縁体または誘電体をはさみ
込む形で容量装置を構成していた。
極素子の構成は第４図のように一つの配線層または一つ
の導電体を用い、たがいに絶縁体または誘電体をはさみ
込む形で容量装置を構成していた。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、前述の従来技術では、容量装置内の電極素子は
同一層で構成されているため大容量の容量装置の場合に
は容量装置内の電極面積が大きくなり、ＬＳＩチップ面
積を大きくするという問題点を有する。
同一層で構成されているため大容量の容量装置の場合に
は容量装置内の電極面積が大きくなり、ＬＳＩチップ面
積を大きくするという問題点を有する。
そこで本発明は従来の半導体装置の問題点を解決するた
めのもので、その目的とするところは大容量かつ面積の
小さい容量装置を提供するところにある。
めのもので、その目的とするところは大容量かつ面積の
小さい容量装置を提供するところにある。
［課題を解決するための手段］
本発明の半導体装置は、
α） 容量装置を１つ以上有する半導体集積回路におい
て、 ｂ） 前記容量装置内に第１の電極素子および第２の電
極素子を具備し、 Ｃ） 前記第１の電極素子および前記第２の電極素子の
おのおのが、少なくとも１つ以上の配線層または少なく
とも１つ以上の導電物質で構成されることを特徴とする
。
て、 ｂ） 前記容量装置内に第１の電極素子および第２の電
極素子を具備し、 Ｃ） 前記第１の電極素子および前記第２の電極素子の
おのおのが、少なくとも１つ以上の配線層または少なく
とも１つ以上の導電物質で構成されることを特徴とする
。
［実施例コ
以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は本発明の実施例を示す半導体装置の平面図であり、
第２図は第１図のＡ−８間の断面図である。第１図にお
いて実線１で囲まれる部分が容量装置であり、２が第１
の電極端子、３が第２の電極端子であり、４〜６は第１
層目のアルミニウム配線と第５層目のアルミニウム配譚
を接続するためのコンタクトホール、７〜９は第２層目
のアルミニウム配線と第４層目のアルミニウム配線を接
続するためのコンタクトホールでアリ、第２図において
、１０はロコス、１１は第１層目のアルミニウム配線、
１６は第２層目のアルミニウム配線、１５は第３層目の
アルミニウム配線、１７は第４層目のアルミニウム配線
であり、１２．１４．Ｉｓ、１Ｂは酸化膜である。
図は本発明の実施例を示す半導体装置の平面図であり、
第２図は第１図のＡ−８間の断面図である。第１図にお
いて実線１で囲まれる部分が容量装置であり、２が第１
の電極端子、３が第２の電極端子であり、４〜６は第１
層目のアルミニウム配線と第５層目のアルミニウム配譚
を接続するためのコンタクトホール、７〜９は第２層目
のアルミニウム配線と第４層目のアルミニウム配線を接
続するためのコンタクトホールでアリ、第２図において
、１０はロコス、１１は第１層目のアルミニウム配線、
１６は第２層目のアルミニウム配線、１５は第３層目の
アルミニウム配線、１７は第４層目のアルミニウム配線
であり、１２．１４．Ｉｓ、１Ｂは酸化膜である。
前記ロコス１０上に第１層目のアルミニウム配線１１を
形成し、その上に酸化膜１２を形成し、前記酸化膜１２
に前記第１層目のアルミニウム配線１１と第２層目のア
ルミニウム配線を接続するためのコンタクトホールな形
成し、その上に第２層目のアルミニウム配線１３を形成
し、その上に酸化膜１４を形成する。前記酸化膜１４に
前記第２層目のアルミニウム配線と第３層目のアルミニ
ウム配線を接続するためのコンタクトホールを形成し、
その上に第６層目のアルミニウム配線１５、そして酸化
膜１６を形成する。前記酸化膜１６に前記第５層目のア
ルミニウム配線と第４層目のアルミニウム配線を接続す
るためのコンタクトホールを形成し、その上に第４層目
のアルミニウム配線１７、そして酸化膜１８を形成する
。前記工程で第２図のような容量装置を構成することで
、前記第１層目めアルミニウム配線１１と前記第２層目
のアルミニウム配線１３間と前記第２層目のアルミニウ
ム配線１３と前記第３層目のアルミニウム配線１５間と
、前記第５層目のアルミニウム配線１５と前記アルミニ
ウム配線１７間に容量を構成することができる。
形成し、その上に酸化膜１２を形成し、前記酸化膜１２
に前記第１層目のアルミニウム配線１１と第２層目のア
ルミニウム配線を接続するためのコンタクトホールな形
成し、その上に第２層目のアルミニウム配線１３を形成
し、その上に酸化膜１４を形成する。前記酸化膜１４に
前記第２層目のアルミニウム配線と第３層目のアルミニ
ウム配線を接続するためのコンタクトホールを形成し、
その上に第６層目のアルミニウム配線１５、そして酸化
膜１６を形成する。前記酸化膜１６に前記第５層目のア
ルミニウム配線と第４層目のアルミニウム配線を接続す
るためのコンタクトホールを形成し、その上に第４層目
のアルミニウム配線１７、そして酸化膜１８を形成する
。前記工程で第２図のような容量装置を構成することで
、前記第１層目めアルミニウム配線１１と前記第２層目
のアルミニウム配線１３間と前記第２層目のアルミニウ
ム配線１３と前記第３層目のアルミニウム配線１５間と
、前記第５層目のアルミニウム配線１５と前記アルミニ
ウム配線１７間に容量を構成することができる。
以上の構成により容量装置の面積を大きくすることな（
、電極素子面積を太き（することができ大容量の容量装
置を作成することが可能である。
、電極素子面積を太き（することができ大容量の容量装
置を作成することが可能である。
尚、本実施例によれば電極素子としてアルミニウム４層
配線を使用したが、ポリシリコン２層配線とアルミニウ
ム３層配線、また、拡散領域等も使用することも可能で
ある。その他、酸化膜のかわりに誘電物質を使用するこ
とでより大きな容量を得ることも可能である。
配線を使用したが、ポリシリコン２層配線とアルミニウ
ム３層配線、また、拡散領域等も使用することも可能で
ある。その他、酸化膜のかわりに誘電物質を使用するこ
とでより大きな容量を得ることも可能である。
［発明の効果コ
本発明は以上説明したように、容量装置の電極素子を多
層化することにより、容量装置の面積をかえることなく
、電極素子面積を太き（することができ大容量の容量装
置を作成することができる
層化することにより、容量装置の面積をかえることなく
、電極素子面積を太き（することができ大容量の容量装
置を作成することができる
第１図は実施例を示す平面図、第２図は第１図Ａ−Ｂ間
の断面図、第３図は従来の半導体装置の平面図、第４図
は第３図０−Ｄ間の断面図である０・・・・・・・・・
・・・容量装置 ＋６ｔ７ｔ８，９・・・・・・コンタクトボール、２１
，７２・・・・・・電極端子 ２１−・−・・嘲・・・ロコス ２２・・・・・・・・・第１層目のアルミニウム配線２
４・・・・・・・・・第２層目のアルミニウム配線・・
・・・・・・・第６層目のアルミニウム配線・・・・・
・・・・第４層目のアルミニウム配線４％１６，１８，
２５，２５・・・・・・・・・・・・・・・酸化膜 １．２ ４．５ ２．５ １０ 。 １１ 。 １５ 。 １２ 、１ 局３ 霞 第 阻
の断面図、第３図は従来の半導体装置の平面図、第４図
は第３図０−Ｄ間の断面図である０・・・・・・・・・
・・・容量装置 ＋６ｔ７ｔ８，９・・・・・・コンタクトボール、２１
，７２・・・・・・電極端子 ２１−・−・・嘲・・・ロコス ２２・・・・・・・・・第１層目のアルミニウム配線２
４・・・・・・・・・第２層目のアルミニウム配線・・
・・・・・・・第６層目のアルミニウム配線・・・・・
・・・・第４層目のアルミニウム配線４％１６，１８，
２５，２５・・・・・・・・・・・・・・・酸化膜 １．２ ４．５ ２．５ １０ 。 １１ 。 １５ 。 １２ 、１ 局３ 霞 第 阻
Claims (1)
- （１）ａ）容量装置を１つ以上有する半導体集積回路に
おいて、 ｂ）前記容量装置内に第１の電極素子および第２の電極
素子を具備し、 ｃ）前記第１の電極素子および前記第２の電極素子のお
のおのが、少なくとも１つ以上の配線層または少なくと
も１つ以上の導電物質で構成されることを特徴とする半
導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63280569A JPH02126665A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63280569A JPH02126665A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02126665A true JPH02126665A (ja) | 1990-05-15 |
Family
ID=17626858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63280569A Pending JPH02126665A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02126665A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10518054B2 (en) | 2014-08-25 | 2019-12-31 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Respiratory mask and related portions, components or sub-assemblies |
| US10828440B2 (en) | 2011-04-15 | 2020-11-10 | Fisher & Paykle Healthcare Limited | Interface comprising a rolling nasal bridge portion |
| US10946155B2 (en) | 2012-09-04 | 2021-03-16 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Valsalva mask |
| US11559647B2 (en) | 2011-04-15 | 2023-01-24 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Interface comprising a nasal sealing portion |
-
1988
- 1988-11-07 JP JP63280569A patent/JPH02126665A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10842955B2 (en) | 2011-04-15 | 2020-11-24 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Interface comprising a rolling nasal bridge portion |
| US11559647B2 (en) | 2011-04-15 | 2023-01-24 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Interface comprising a nasal sealing portion |
| US10828441B2 (en) | 2011-04-15 | 2020-11-10 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Interface comprising a rolling nasal bridge portion |
| US10828442B2 (en) | 2011-04-15 | 2020-11-10 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Interface comprising a rolling nasal bridge portion |
| US10828443B2 (en) | 2011-04-15 | 2020-11-10 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Interface comprising a rolling nasal bridge portion |
| US10835697B2 (en) | 2011-04-15 | 2020-11-17 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Interface comprising a rolling nasal bridge portion |
| US10828440B2 (en) | 2011-04-15 | 2020-11-10 | Fisher & Paykle Healthcare Limited | Interface comprising a rolling nasal bridge portion |
| US12390609B2 (en) | 2011-04-15 | 2025-08-19 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Interface comprising a nasal sealing portion |
| US11883591B2 (en) | 2011-04-15 | 2024-01-30 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Interface comprising a rolling nasal bridge portion |
| US11065406B2 (en) | 2011-04-15 | 2021-07-20 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Interface comprising a rolling nasal bridge portion |
| US10946155B2 (en) | 2012-09-04 | 2021-03-16 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Valsalva mask |
| US11065412B2 (en) | 2012-09-04 | 2021-07-20 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Valsalva mask |
| US12465708B2 (en) | 2012-09-04 | 2025-11-11 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Valsalva mask |
| US10518054B2 (en) | 2014-08-25 | 2019-12-31 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Respiratory mask and related portions, components or sub-assemblies |
| US11305084B2 (en) | 2014-08-25 | 2022-04-19 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Respiratory mask and related portions, components or sub-assemblies |
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