JPH02129981A

JPH02129981A - パルスレーザ発振装置

Info

Publication number: JPH02129981A
Application number: JP28245488A
Authority: JP
Inventors: Junichi Shibazaki; 芝崎　順一
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1988-11-10
Filing date: 1988-11-10
Publication date: 1990-05-18
Anticipated expiration: 2010-02-22
Also published as: JPH0716056B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】し発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、放電部へのレーザガス流路の構成に改良を施
したパルスレーザ発振装置に関するものである。

（従来の技術）ガスを媒介としたレーザにおいて、良好なレーザ発振を
得るためには、レーザ媒質中で空間的に均一な放電の生
成を必要とするが、ＴＥＡｌＴＥＭＡ−ＣＯ２レーザヤ
エキシマレーザなどの短パルスレーザ光を発生させるパ
ルスレーザ発振装置においては、その動作ガス圧力が散
気圧もの高圧力となる。しかし、パルスレーザ発振装置
を構成する放電電極、送風機、送風ダクト、冷却器など
を、それぞれ耐圧構造とすることは困難である。

そのため、これら構成要素を圧力容器内に収納配設し、
同圧とすることにより、各要素を簡易化し、圧力容器外
部に配設した電源と放電電極を電気的に接続することが
通常行なわれている。

第４図に従来のパルスレーザ発振装置の構成を示した。

即ち、主電極、予価電離電極、ピーキングコンデンサな
どから成る放電電極部１７が、電極支持板２４．２５に
より支持され、それぞれに設けられた開口部２６がレー
ザガスの流路となっている。また、前記レーザガスは、
冷却器１９及び送風機１８を備えた送風ダクト２０によ
って、冷却された状態で放電電極部１７へ循環されるよ
うに構成されている。さらに、前記送風ダクトルレーザ
ガス供給側端部には、ガス流を均一化するための整流板
２２が設けられている。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、送風ダクト２０は通常薄板で構成され、
前記整流板２２は、第５図に示した様に、送風ダクト２
０に溶接によって取付けられていた。

そのため、溶接工程において、送風ダクトに熱変形を生
じやすく、さらに、表面処理もやりにくくなっていた。

そこで、第４図に示した様に、整流板２２部分を単独の
ダクト２１とし、フランジ２３を介して送風ダクト２０
と接続するように構成することにより、上記の欠点を解
消しようという提案がなされている。

しかし、この場合も、高電圧電界中に電界条件の悪いボ
ルト締めフランジ部２３が介在することになり、絶縁上
大きな問題となっていた。また、前記電極支持板２４．
２５に形成される開口部２６は、送風ダクト２０の開口
寸法とほぼ同一に形成されるため、電極支持板のほぼ全
長にわたって開口されることになる。従って、この電極
支持板２４．２５を放電電気回路として使用することは
できず、電極長手方向でレーザガス流と対向しない他の
側に、電気接続導体を配設する必要が生じ、放電電気回
路が長くなり、回路インダクタンスが大きくなるため、
放電特性を悪化させる原因となっていた。また、その構
造も複雑なものとなっていた。

本発明は以上の欠点を解消するために提案されたもので
、その目的は、放電電極部に層流状態の−様なレーザガ
スを供給することができ、また、放電電気回路長を短く
して、安定した放電を得ることのできるパルスレーザ発
振装置を提供することにある。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）本発明は、対向して配置された２つの主電極と、予備電
離電極、コンデンサ及びこれらを接続支持する電極支持
板によって構成された放電電極部、送風機、送風ダクト
、冷却器などをレーザ容器内に配設したパルスレーザ発
振装置において、放電電極部のレーザガス流に対向する
側面に配設された電極支持板に複数個の開口部を設け、
また、前記開口部間に枠板を設け、この枠板を放電電気
回路の一部としたことを特徴とするものでおる。

（作用）本発明のパルスレーザ発振装置によれば、放電電極部の
側面に配設された電極支持板に形成された開口部及び枠
板によってガス流路が形成されるので、放電電極部内に
流入するガス流を均一化することができる。また、前記
枠板を放電電気回路の一部として利用できるので、放電
電気回路長を短くすることができ、回路インダクタンス
を小さくすることができる。

（実施例）以下、本発明の一実施例を第１図乃至第３図に基づいて
具体的に説明する。

本実施例においては、第１図に示した様に、主電極１，
２、予備電離電極３及びピーキングコンデンサ４が、電
極支持板５，６．７によって支持され、また、レーザガ
ス流と対向する両側面に電極支持板８，９が取付けられ
ている。そして、この電極支持板８．９には、第２図及
び第３図に示した様に、前記予備電離電極３の配設間隔
Ｐに合わせて、同様の開口幅Ｐを有する複数個の開口部
１０が形成され、各開口部１０の間には枠板１１が設け
られている。また、レーザ容器１４の外部に配設された
電源（図示せず）と主電極１とは、電極支持板５を気密
に貫通する端子１５を介して電気的に接続され、一方、
主電極２は、電極支持板７、側面に配設された電極支持
板８，９、及び電極支持板５を気密に貫通する端子１６
を介して、前記電源に電気的に接続されている。

なお、放電電極部に配設される電極支持板の内、上部に
配設される電極支持板５は絶縁材から構成され、伯の電
極支持板６，７，８．９は導電材から構成されている。

この様な構成を有する本実施例のパルスレーザ発振装置
においては、放電電極部の入口に設けられた電極支持板
８に形成された開口部間の枠板１１によって、レーザガ
スを整流することができる。

また、この枠板１１の設置間隔と予備電離電極３の設置
間隔Ｐは同一となるように構成されているので、放電部
内における乱流発生要素を減らすことができる。

また、側方に配設された電極支持板８，９に形成された
枠板１１が電気回路となるので、放電電極の短手方向に
放電電気回路を構成することができ、回路長を短くする
ことができる。その結果、回路インダクタンスが小さく
なり、放電部へ短時間で高エネルギーを注入することが
できるので、放電が安定し、安定したレーザエネルギー
を得ることが可能となる。

この様に本実施例によれば、放電電極部のレーザガス流
と対向する側面に配設される電極支持板に形成された開
口部と枠仮によって、レーザガス流を均一化し、放電電
気回路長を短くすることができる。

なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
く、電極支持板に形成される枠板の間隔は、予備電離電
極の設置間隔と同一でなくても良い。

［発明の効果］以上述べた様に、本発明によれば、放電電極部のレーザ
ガス流に対向する側面に配設された電極支持板に複数個
の開口部を設け、また、前記開口部間に枠板を設け、こ
の枠板を放電電気回路の一部とするという簡単な手段に
よって、放電電極部に層流状態の−様なレーザガスを供
給することができ、また、放電電気回路長を短くして、
安定した放電を得ることのできるパルスレーザ発振装置
を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のパルスレーザ発振装置の一実施例を示
す断面図、第２図は第１図の側面図、第３図は第１図の
平面図、第４図は従来のパルスレーザ発振装置の一例を
示す側面図、第５図は整流板の取付は状態を示す側面図
である。１．２・・・主電極、３・・・予備電離電極、４・・・
ピーキングコンデンサ、５・・・電極支持板（絶縁材）
、６．７，８．９・・・電極支持板（導電材）、１０・
・・開口部、１１・・・枠板、１２・・・案内板、１３
・・・送風ダクト、１４・・・レーザ容器、１５，１６
・・・貫通端子、１７・・・ｌＩｉ電電極部、１８・・
・送風機、１９・・・冷却器、２０・・・送風ダクト、
２１・・・整流板付き送風ダクト、２２・・・整流板、
２３・・・フランジ、２４゜２５・・・電極支持板、２
６・・・開口部。

Claims

【特許請求の範囲】対向して配置された２つの主電極と、予備電離電極、コ
ンデンサ及びこれらを接続支持する電極支持板によつて
構成された放電電極部、送風機、送風ダクト、冷却器な
どをレーザ容器内に配設したパルスレーザ発振装置にお
いて、前記放電電極部のレーザガス流に対向する側面に配設さ
れた電極支持板に複数個の開口部を設け、また、前記開
口部間に枠板を設け、この枠板を放電電気回路の一部と
したことを特徴とするパルスレーザ発振装置。