JPH0716056B2 - パルスレーザ発振装置 - Google Patents
パルスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH0716056B2 JPH0716056B2 JP63282454A JP28245488A JPH0716056B2 JP H0716056 B2 JPH0716056 B2 JP H0716056B2 JP 63282454 A JP63282454 A JP 63282454A JP 28245488 A JP28245488 A JP 28245488A JP H0716056 B2 JPH0716056 B2 JP H0716056B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- discharge
- laser
- plate
- openings
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、放電部へのレーザガス流路の構成に改良を施
したパルスレーザ発振装置に関するものである。
したパルスレーザ発振装置に関するものである。
（従来の技術） ガスを媒介としたレーザにおいて、良好なレーザ発振を
得るためには、レーザ媒質中で空間的に均一な放電の生
成を必要とするが、TEA、TEMA−CO2レーザやエキシマレ
ーザなとの短パルスレーザ光を発生させるパルスレーザ
発振装置においては、その動作ガス圧力が数気圧もの高
圧力となる。しかし、パルスレーザ発振装置を構成する
放電電極、送風機、送風ダクト、冷却器などを、それぞ
れ耐圧構造とすることは困難である。そのため、これら
構成要素を圧力容器内に収納配設し、同圧とすることに
より、各要素を簡易化し、圧力容器外部に配設した電源
と放電電極を電気的に接続することが通常行なわれてい
る。
得るためには、レーザ媒質中で空間的に均一な放電の生
成を必要とするが、TEA、TEMA−CO2レーザやエキシマレ
ーザなとの短パルスレーザ光を発生させるパルスレーザ
発振装置においては、その動作ガス圧力が数気圧もの高
圧力となる。しかし、パルスレーザ発振装置を構成する
放電電極、送風機、送風ダクト、冷却器などを、それぞ
れ耐圧構造とすることは困難である。そのため、これら
構成要素を圧力容器内に収納配設し、同圧とすることに
より、各要素を簡易化し、圧力容器外部に配設した電源
と放電電極を電気的に接続することが通常行なわれてい
る。
第４図に従来のパルスレーザ発振装置の構成を示した。
即ち、主電極、予備電離電極、ピーキングコンデンサな
どから成る放電電極部17が、電極支持板24,25により支
持され、それぞれに設けられた開口部26がレーザガスの
流路となっている。また、前記レーザガスは、冷却器19
及び送風機18を備えた送風ダクト20によって、冷却され
た状態で放電電極部17へ循環されるように構成されてい
る。さらに、前記送風ダクトのレーザガス供給側端部に
は、ガス流を均一化するための整流板22が設けられてい
る。
即ち、主電極、予備電離電極、ピーキングコンデンサな
どから成る放電電極部17が、電極支持板24,25により支
持され、それぞれに設けられた開口部26がレーザガスの
流路となっている。また、前記レーザガスは、冷却器19
及び送風機18を備えた送風ダクト20によって、冷却され
た状態で放電電極部17へ循環されるように構成されてい
る。さらに、前記送風ダクトのレーザガス供給側端部に
は、ガス流を均一化するための整流板22が設けられてい
る。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、送風ダクト20は通常薄板で構成され、前
記整流板22は、第５図に示した様に、送風ダクト20に溶
接によって取付けられていた。そのため、溶接工程にお
いて、送風ダクトに熱変形を生じやすく、さらに、表面
処理もやりにくくなっていた。そこで、第４図に示した
様に、整流板22部分を単独のダクト21とし、フランジ23
を介して送風ダクト20と接続するように構成することに
より、上記の欠点を解消しようという提案がなされてい
る。
記整流板22は、第５図に示した様に、送風ダクト20に溶
接によって取付けられていた。そのため、溶接工程にお
いて、送風ダクトに熱変形を生じやすく、さらに、表面
処理もやりにくくなっていた。そこで、第４図に示した
様に、整流板22部分を単独のダクト21とし、フランジ23
を介して送風ダクト20と接続するように構成することに
より、上記の欠点を解消しようという提案がなされてい
る。
しかし、この場合も、高電圧電界中に電界条件の悪いボ
ルト締めフランジ部23が介在することになり、絶縁上大
きな問題となっていた。また、前記電極支持板24,25に
形成される開口部26は、送風ダクト20の開口寸法とほぼ
同一に形成されるため、電極支持板のほぼ全長にわたっ
て開口されることになる。従って、この電極支持板24,2
5を放電電気回路として使用することはできず、電極長
手方向でレーザガス流と対向しない他の側に、電気接続
導体を配設する必要が生じ、放電電気回路が長くなり、
回路インダクタンスが大きくなるため、放電特性を悪化
させる原因となっていた。また、その構造も複雑なもの
となっていた。
ルト締めフランジ部23が介在することになり、絶縁上大
きな問題となっていた。また、前記電極支持板24,25に
形成される開口部26は、送風ダクト20の開口寸法とほぼ
同一に形成されるため、電極支持板のほぼ全長にわたっ
て開口されることになる。従って、この電極支持板24,2
5を放電電気回路として使用することはできず、電極長
手方向でレーザガス流と対向しない他の側に、電気接続
導体を配設する必要が生じ、放電電気回路が長くなり、
回路インダクタンスが大きくなるため、放電特性を悪化
させる原因となっていた。また、その構造も複雑なもの
となっていた。
本発明は以上の欠点を解消するために提案されたもの
で、その目的は、放電電極部に層流状態の一様なレーザ
ガスを供給することができ、また、放電電気回路長を短
くして、安定した放電を得ることのできるパルスレーザ
発振装置を提供することにある。
で、その目的は、放電電極部に層流状態の一様なレーザ
ガスを供給することができ、また、放電電気回路長を短
くして、安定した放電を得ることのできるパルスレーザ
発振装置を提供することにある。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明は、対向して配置された２つの主電極と、予備電
離電極、コンデンサ及びこれらを接続支持する電極支持
板によって構成された放電電極部、送風機、送風ダク
ト、冷却器などをレーザ容器内に配設したパルスレーザ
発振装置において、放電電極部のレーザガス流に対向す
る側面に配設された電極支持板に複数個の開口部を設
け、また、前記開口部間に枠板を設け、この枠板を放電
電気回路の一部としたことを特徴とするものである。
離電極、コンデンサ及びこれらを接続支持する電極支持
板によって構成された放電電極部、送風機、送風ダク
ト、冷却器などをレーザ容器内に配設したパルスレーザ
発振装置において、放電電極部のレーザガス流に対向す
る側面に配設された電極支持板に複数個の開口部を設
け、また、前記開口部間に枠板を設け、この枠板を放電
電気回路の一部としたことを特徴とするものである。
（作用） 本発明のパルスレーザ発振装置によれば、放電電極部の
側面に配設された電極支持板に形成された開口部及び枠
板によってガス流路が形成されるので、放電電極部内に
流入するガス流を均一化することができる。また、前記
枠板を放電電気回路の一部として利用できるので、放電
電気回路長を短くすることができ、回路インダクタンス
を小さくすることができる。
側面に配設された電極支持板に形成された開口部及び枠
板によってガス流路が形成されるので、放電電極部内に
流入するガス流を均一化することができる。また、前記
枠板を放電電気回路の一部として利用できるので、放電
電気回路長を短くすることができ、回路インダクタンス
を小さくすることができる。
（実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図乃至第３図に基づいて
具体的に説明する。
具体的に説明する。
本実施例においては、第１図に示した様に、主電極1,
2、予備電離電極３及びピーキングコンデンサ４が、電
極支持板5,6,7によって支持され、また、レーザガス流
と対向する両側面に電極支持板8,9が取付けられてい
る。そして、この電極支持板8,9には、第２図及び第３
図に示した様に、前記予備電離電極３の配設間隔Ｐに合
わせて、同様の開口幅Ｐを有する複数個の開口部10が形
成され、各開口部10の間には枠板11が設けられている。
また、レーザ容器14の外部に配設された電源（図示せ
ず）と主電極１とは、電極支持板５を気密に貫通する端
子15を介して電気的に接続され、一方、主電極２は、電
極支持板７、側面に配設された電極支持板8,9、及び電
極支持板５を気密に貫通する端子16を介して、前記電源
に電気的に接続されている。
2、予備電離電極３及びピーキングコンデンサ４が、電
極支持板5,6,7によって支持され、また、レーザガス流
と対向する両側面に電極支持板8,9が取付けられてい
る。そして、この電極支持板8,9には、第２図及び第３
図に示した様に、前記予備電離電極３の配設間隔Ｐに合
わせて、同様の開口幅Ｐを有する複数個の開口部10が形
成され、各開口部10の間には枠板11が設けられている。
また、レーザ容器14の外部に配設された電源（図示せ
ず）と主電極１とは、電極支持板５を気密に貫通する端
子15を介して電気的に接続され、一方、主電極２は、電
極支持板７、側面に配設された電極支持板8,9、及び電
極支持板５を気密に貫通する端子16を介して、前記電源
に電気的に接続されている。
なお、放電電極部に配設される電極支持板の内、上部に
配設される電極支持板５は絶縁材から構成され、他の電
極支持板6,7,8,9は導電材から構成されている。
配設される電極支持板５は絶縁材から構成され、他の電
極支持板6,7,8,9は導電材から構成されている。
この様な構成を有する本実施例のパルスレーザ発振装置
においては、放電電極部の入口に設けられた電極支持板
８に形成された開口部間の枠板11によって、レーザガス
を整流することができる。また、この枠板11の設置間隔
と予備電離電極３の設置間隔Ｐは同一となるように構成
されているので、放電部内における乱流発生要素を減ら
すことができる。
においては、放電電極部の入口に設けられた電極支持板
８に形成された開口部間の枠板11によって、レーザガス
を整流することができる。また、この枠板11の設置間隔
と予備電離電極３の設置間隔Ｐは同一となるように構成
されているので、放電部内における乱流発生要素を減ら
すことができる。
また、側方に配設された電極支持板8,9に形成された枠
板11が電気回路となるので、放電電極の短手方向に放電
電気回路を構成することができ、回路長を短くすること
ができる。その結果、回路インダクタンスが小さくな
り、放電部へ短時間で高エネルギーを注入することがで
きるので、放電が安定し、安定したレーザエネルギーを
得ることが可能となる。
板11が電気回路となるので、放電電極の短手方向に放電
電気回路を構成することができ、回路長を短くすること
ができる。その結果、回路インダクタンスが小さくな
り、放電部へ短時間で高エネルギーを注入することがで
きるので、放電が安定し、安定したレーザエネルギーを
得ることが可能となる。
この様に本実施例によれば、放電電極部のレーザガス流
と対向する側面に配設される電極支持板に形成された開
口部と枠板によって、レーザガス流を均一化し、放電電
気回路長を短くすることができる。
と対向する側面に配設される電極支持板に形成された開
口部と枠板によって、レーザガス流を均一化し、放電電
気回路長を短くすることができる。
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
く、電極支持板に形成される枠板の間隔は、予備電離電
極の設置間隔と同一でなくても良い。
く、電極支持板に形成される枠板の間隔は、予備電離電
極の設置間隔と同一でなくても良い。
［発明の効果］ 以上述べた様に、本発明によれば、放電電極部のレーザ
ガス流に対向する側面に配設された電極支持板に複数個
の開口部を設け、また、前記開口部間に枠板を設け、こ
の枠板を放電電気回路の一部とするという簡単な手段に
よって、放電電極部に層流状態の一様なレーザガスを供
給することができ、また、放電電気回路長を短くして、
安定した放電を得ることのできるパルスレーザ発振装置
を提供することができる。
ガス流に対向する側面に配設された電極支持板に複数個
の開口部を設け、また、前記開口部間に枠板を設け、こ
の枠板を放電電気回路の一部とするという簡単な手段に
よって、放電電極部に層流状態の一様なレーザガスを供
給することができ、また、放電電気回路長を短くして、
安定した放電を得ることのできるパルスレーザ発振装置
を提供することができる。
第１図は本発明のパルスレーザ発振装置の一実施例を示
す断面図、第２図は第１図の側面図、第３図は第１図の
平面図、第４図は従来のパルスレーザ発振装置の一例を
示す側面図、第５図は整流板の取付け状態を示す側面図
である。 1,2……主電極、３……予備電離電極、４……ピーキン
グコンデンサ、５……電極支持板（絶縁材）、6,7,8,9
……電極支持板（導電材）、10……開口部、11……枠
板、12……案内板、13……送風ダクト、14……レーザ容
器、15,16……貫通端子、17……放電電極部、18……送
風機、19……冷却器、20……送風ダクト、21……整流板
付き送風ダクト、22……整流板、23……フランジ、24,2
5……電極支持板、26……開口部。
す断面図、第２図は第１図の側面図、第３図は第１図の
平面図、第４図は従来のパルスレーザ発振装置の一例を
示す側面図、第５図は整流板の取付け状態を示す側面図
である。 1,2……主電極、３……予備電離電極、４……ピーキン
グコンデンサ、５……電極支持板（絶縁材）、6,7,8,9
……電極支持板（導電材）、10……開口部、11……枠
板、12……案内板、13……送風ダクト、14……レーザ容
器、15,16……貫通端子、17……放電電極部、18……送
風機、19……冷却器、20……送風ダクト、21……整流板
付き送風ダクト、22……整流板、23……フランジ、24,2
5……電極支持板、26……開口部。
Claims (1)
- 【請求項１】対向して配置された２つの主電極と、予備
電離電極、コンデンサ及びこれらを接続支持する電極支
持板によって構成された放電電極部、送風機、送風ダク
ト、冷却器などをレーザ容器内に配設したパルスレーザ
発振装置において、 前記放電電極部のレーザガス流に対向する側面に配設さ
れた電極支持板に複数個の開口部を設け、また、前記開
口部間に枠板を設け、この枠板を放電電気回路の一部と
したことを特徴とするパルスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63282454A JPH0716056B2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | パルスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63282454A JPH0716056B2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | パルスレーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02129981A JPH02129981A (ja) | 1990-05-18 |
| JPH0716056B2 true JPH0716056B2 (ja) | 1995-02-22 |
Family
ID=17652637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63282454A Expired - Lifetime JPH0716056B2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | パルスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0716056B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63217687A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-09 | Agency Of Ind Science & Technol | ガスレ−ザ発振器 |
-
1988
- 1988-11-10 JP JP63282454A patent/JPH0716056B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02129981A (ja) | 1990-05-18 |
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