JPH0213023B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

本発明は鉄（Fe），クロム（Cr），コバルト
（Co）にタングステン（Ｗ），モリブデン（Mo），
ニオブ（Nb）およびタンタル（Ta）の１種ある
いは２種以上の合計が0.01〜15％の添加元素と、
少量の不純物を含むストレインゲージ用合金およ
びその製造方法に関するもので、その目的とする
ところはゲージ率が大きく、ゲージ率の組成に対
する変化が小さく、他の諸特性に優れかつ加工が
容易なストレインゲージ用合金を提供するにあ
る。 ストレインゲージは、一般に弾性歪によつてゲ
ージ細線またはゲージ箔の電気抵抗が変化する現
象を利用し、逆にその抵抗変化を測定することに
よつて歪の量あるいは応力を計測するもので、広
く歪測定に用いられるばかりでなく、近年は平衡
型記録計等の工業機器の機械量−電気量変換器要
素、所謂ストレインセンサとしても利用される。 ストレインゲージ材料に課せられる条件は、 １ ゲージ率が大きいこと ２ 対銅熱起電力が小さいこと ３ 比電気抵抗が大きいこと ４ 比電気抵抗の温度係数が小さいこと ５ 加工性がよく、機械的性質がよいこと ６ 安価なこと などに要約される。 ところで、ストレインゲージはその構造が金属
細線（13〜25μｍφ）または箔（厚さ３〜5μｍ）
を格子状あるいはロゼツト状に配置してなり、ま
たその使用法としては前記ゲージを被測定物に接
着剤で貼付し、被測定物に生じた歪をゲージの抵
抗変化から間接的に測定するものである。 ストレインゲージの感度はゲージ率Ｋによつて
決まり、Ｋの値は一般に次の式で表わされる。 Ｋ＝ΔR／Ｒ／Δl／ｌ＝１＋2σ＋Δρ／ρ／Δl
／ｌ ここでＲはゲージ細線の全抵抗 σはゲージ細線のボアソン比 ρはゲージ細線の比電気抵抗 ｌはゲージ細線の全長 上式でσは金属においてほぼ0.3であるから、
ゲージ率Ｋを大きくするためにはΔρ／ρ・（Δl／
ｌ）^-1を大きくしなければならない。すなわち引
張変形を与えた時に、材料の長さ方向の電子構造
が大幅に変化して、ρが増すという性質を具備す
る必要がある。 さてストレインゲージは、近年マイクロコンピ
ユーターの進歩に伴つて、その応用領域がますま
す拡大して高感度な圧力変換器やロードセルに多
用されつつある。特にロードセルにおいては、民
生面での料金ばかりの他にホツパースケールやタ
ンクスケールの力量計、圧延や押出加工機におけ
る圧力計、コンスタントフイーダや車輌重量計や
クレーン荷重計等の工業用はかりに用いられ、マ
イクロコンピユータと共に部品の個数、重量ある
いは圧力等の検出と指示の他に、自動制御による
工場管理において製品の高品位安定化や歩留まり
の向上ばかりでなく、省力および省エネルギーの
目的も担つている。 ところが自動制御技術において、計測機器の高
精度および高信頼性を得るためにはロードセルに
用いられているストレインゲージ素子の特性が重
要な決定要因となる。第１表には、現在知られて
いる主要なストレインゲージ素子の材料につい
て、そのゲージ率Ｋ，対銅熱起電力Emf、比電気
抵抗ρとρの温度係数C_fが示してある。

【表】 第１表のうちCu−Ni系合金が従来最も多く用
いられている。この合金は比電気抵抗ρの温度係
数C_fの小さい特長を有する反面、ゲージ率Ｋおよ
び比電気抵抗ρの値も小さすぎ、また対銅熱起電
力Emfが大きいために、ストレインゲージ用材料
の特性としては十分とはいえない。また同一ロツ
ト内またはロツト間における性能のばらつきが５
〜10％にも達し非常に不安定である。その他の合
金の特性についても一長一短があり、従来用いら
れてきたストレインゲージ用材料の代替として
は、その特性が十分とはいい難かつた。 本発明者らは先にゲージ率Ｋが大きく、かつ他
の諸特性に優れたストレインゲージ用材料として
Fe−Cr−Co系合金が非常に有望であることを提
案してきた（特公昭45−13229号）。しかし上記合
金系はそのゲージ率Ｋが組成に対して大きく変化
する欠点、即ち組成に対するゲージ率Ｋの変動が
20％にも達するため、ばらつきの少ない安定した
製品を製造することは至難であつた。そこで上記
の欠点を解決するために本発明者らはさらに研究
を続けた結果、上記Fe−Cr−Co系合金における
ゲージ率Ｋの組成に対する大きなばらつきがNi
添加によつて改善されることを明らかにした。こ
の合金はNi量の極く狭い範囲に限つて安定なゲ
ージ率が得られるだけでなく、ゲージ率ＫもFe
−Cr−Co3元系合金より小さくなる欠点がある。 よつて本発明者らは、ゲージ率Ｋが大きく、し
かも組成に対するゲージ率の変化が少なく、他の
諸特性が優れ、そして鍛造や圧延、引抜きの如き
加工性の良好なストレインゲージ用合金の開発お
よびその製造方法を得る目的で研究を続け、上記
Fe−Cr−Co系合金の改良を試みた結果、Cr3〜
35％，Co17〜70％およびW9％以下、Mo10％以
下、Nb7％以下、Ta10％以下のうち１種または
２種以上の合計0.01〜15％，少量の不純物を含有
し、残部は実質的にFeからなる合金はゲージ率
Ｋが大きく、組成に対するゲージ率Ｋの変化が極
めて小さく、その他の諸特性に優れ、かつ加工が
容易であるストレインゲージ用合金を見い出し
た。 以下、図面を参照して本発明を詳細に説明す
る。 本発明合金を製造するには、上記合金組成にな
るようにCr3〜35％，Co17〜70％およびW9％以
下、Mo10％以下、Nb7％以下、Ta10％以下のう
ち１種または２種以上の合計0.01〜15％と残部Fe
の適量を空気中、好ましくは非酸化性雰囲気中あ
るいは真空中において適当な溶解炉を用いて溶解
した後、カルシウム合金、マグネシウム合金ある
いはその他の脱酸剤、脱硫剤を少量（１％以下）
添加してできるだけ不純物を取り除き、充分に撹
拌し、組成的に均一な溶融合金を得る。 つぎにこれを適当な形および大きさの鋳型に注
入して健全な鋳魂を得、さらにこの鋳魂を高温あ
るいは常温において、鍛造、圧延あるいは引抜き
等の方法によつて、加工率１％以上の冷間加工を
施し、目的の形状のもの例えば直径0.06mmの線材
あるいは厚さ0.02mmの箔材を造り、この線材また
は箔材を上記の加工後そのまま、あるいは水素中
その他の適当な非酸化性ガス中もしくは真空中で
400℃以下の温度で１分以上100時間以下加熱する
熱処理を加えて目的の試料を得る。そして上記方
法により得られた合金試料についてゲージ率Ｋ，
対銅熱起電力Emf、比電気抵抗ρおよび比電気抵
抗の温度係数C_fを測定したところ、Ｋ：２〜5.7，
Emf：±3μV／℃以下、ρの最大値：90μΩ−cm
およびC_f：＋７×10^-4／℃以下の特性を有し、か
つゲージ率Ｋの組成依存性が極めて小さい特長を
有するストレインゲージ用合金が得られる。 第１図は４種類の合金試料のゲージ率Ｋにおよ
ぼす冷間加工率の効果を調べたものである。図か
らわかるように、加工を施す前のゲージ率Ｋはい
ずれの合金試料の場合でも２以下で小さいが、加
工率が増すとともにゲージ率Ｋは急激に増加し
て、ほぼ一定値となる。そしてゲージ率Ｋが２以
上を示す加工率はいずれの合金試料の場合におい
ても１％以上であることが明白である。したがつ
て上記冷間加工は緻密な加工組成を形成すること
により、高いゲージ率Ｋを得る効果があるが、特
に加工率約20％以上を施した場合が著しい。また
上記の冷間加工についで行われる加熱処理（再結
晶温度以下の温度と時間）は加工による内部歪の
一部を除去し、ゲージ率およびその他の諸特性を
安定化する効果がある。その場合加熱温度が高い
ほど、あるいは加熱時間が長いほど効果が著し
い。ここで加熱温度が高ければ加熱時間はより短
かくてよく、また逆に加熱温度が低ければ加熱時
間はより長くしなければならないことは当然であ
る。 次に本発明の実施例について述べる。 実施例 １ 合金番号111（組成Fe＝52.3％，Cr＝14.3％，
Co＝28.6％，Ｗ＝4.8％）の合金の製造 原料としては99.97％純度の電解鉄、99.44％純
度の金属クロム、99.59％純度の電解コバルトお
よび99.9％純度の金属タングステンを用いた。試
料を造るには原料を全重量100ｇでアルミナ坩堝
に入れ、酸化を防ぐため表面にアルゴンガスを吹
きつけながら、空気中で高周波誘導電気炉を用い
て溶かした。その後よく撹拌して均質な溶融合金
とした。つぎにその溶融合金を内径10mm、高さ
120mmの鉄型に鋳込み、得られた鋳塊を1000℃で
鍛造して外径５mmの丸棒とした。さらに1000℃で
中間焼鈍した後、スエージングおよび冷間引抜き
により直径0.5mmとし、再び1000℃で中間焼鈍を
して冷間引抜きにより直径0.06mmの細線とし、長
さ70cmに切断して試料とした。この場合の最終加
工率（減面率）は98％である。これらの各種加工
は高温においても常温においても容易に行うこと
ができた。この試料の加工および熱処理条件と対
応した特性は第２表のとおりである。

【表】 実施例 ２ 合金番号222（組成Fe＝51.5％，Cr＝14.0％，
Co＝28.0％，Mo＝6.5％）の合金の製造 原料は実施例１と同じ純度の鉄、クロム、コバ
ルトと99.9％純度のモリブデンを用いた。試料の
製造方法は実施例１と同じである。試料に種々の
加工および熱処理を施して第３表に示すような特
性を得た。

【表】 実施例 ３ 合金番号333（組成Fe＝53.4％，Cr＝14.6％，
Co＝29.1％，Nb＝2.9％）の合金の製造 原料は実施例１および実施例２と同じ純度の
鉄、クロム、コバルトと99.95％純度の金属ニオ
ブを用いた。試料の製造方法は実施例１と同じで
ある。試料に種々の加工および熱処理を施して第
４表に示すような特性を得た。

【表】 実施例 ４ 合金番号444（組成Fe＝50.4％，Cr＝13.8％，
Co＝27.5％，Ta＝8.3％）の合金の製造 原料は実施例１乃至実施例３と同じ純度の鉄、
クロム、コバルトと99.9％純度の金属タンタルを
用いた。試料の製造方法は実施例１と同じであ
る。試料に種々の加工および熱処理を施して第５
表に示すような特性を得た。

【表】 実施例 ５ 合金番号555（組成Fe＝36.9％，Cr＝13.9％，
Co＝41.7％，Ｗ＝6.5％，Nb＝1.0％）の合金の製
造 原料は実施例１乃至実施例４と同じ純度の鉄、、
クロム、コバルトと実施例１と同じ純度のタング
ステン並びに実施例３と同じ純度のニオブを用い
た。試料の製造方法は実施例１と同じである。試
料に種々な加工および熱処理を施して第６表に示
すような特性を得た。

【表】 なお本発明合金領域に属する代表的な合金の特
性値を、Fe−Cr−Co3元合金およびFe−Cr−Co
−Ni4元合金との比較で示すと第７表のとおりで
ある。

【表】

【表】 第２図乃至第５図はそれぞれFe−Cr−Co3元
系合金にW5％，Mo5％，Nb3％あるいはTa9％
を添加した各種試料について、Cr一定量で加工
率98％の場合におけるゲージ率ＫとCo量との関
係を示す曲線図である。これらの図には参考のた
めに比較合金として、Fe−15％Cr−Co3元合金
およびFe−15％Cr−Co＋20％Ni4元合金の曲線
が示してある。いずれの図からもわかるように、
本発明合金のゲージ率ＫはCo量の増加とともに
減少するが、比較合金であるFe−Cr−Co系の減
少より少なく、緩やかな曲線を示している。これ
らの曲線からＷ，Mo，NbおよびTa元素はゲー
ジ率Ｋを高める効果のあることがわかる。また本
発明合金のゲージ率Ｋは比較合金Fe−Cr−Co−
Ni系のそれより大きく、第２図乃至第５図のい
ずれの場合もCo70％において３以上の値を示す。 すなわち本発明合金のゲージ率Ｋは組成に対す
る変化が極めて少ないばかりでなく、その値も
Co20〜40％の範囲では実用材のそれより約２倍
大きい等の特長を有している。 第６図は加工率20％以上で冷間引抜して得た
Fe−Cr−Co−Ｗ系合金、Fe−Cr−Co−Mo系合
金、Fe−Cr−Co−Nb系合金ならびにFe−Cr−
Co−Ta系合金の各試料（但し、全てCr15％，
Co30％一定量を含有）について、ゲージ率Ｋと
Ｗ，Mo，NbならびにTaの各添加量との関係を
示す曲線図である。全ての合金のゲージ率Ｋは４
±0.2の範囲内の値を示しており、Ｗ，Mo，Nb
あるいはTa量に対する変化が非常に少ない。特
にＷ添加の場合、W9％まではＫ＝4.1の一定値を
示す。図において破線で示す組成の合金は細線お
よび圧延加工が困難であつた。 以上のように本発明合金のゲージ特性は広い範
囲の組成に亘つて優秀である。すなわち前記実施
例１乃至実施例５、第７表および第２図乃至第６
図からもわかるように、Cr3〜35％、Co17〜70％
およびW9％以下、Mo10％以下、Nb7％以下、
Ta10％以下のうち１種または２種以上の合計
0.01〜15％および残部Feからなる多元合金におい
てゲージ率Ｋが２〜5.7、対銅熱起電力Emfが±
3μV／℃以下、比電気抵抗ρが60〜90μΩ−cm、
ρの温度係数C_fが７×10^-4／℃以下の特性が得ら
れる。これらのゲージ特性は先の第１表に示した
実用材Cu−Ni合金の各値、Ｋ＝2.04〜2.12、Emf
＝−43μV／℃、ρ＝45〜49μΩ−cmおよびC_f＝±
0.2×10^-4／℃に比較して総合的評価を行うと全
く孫色なく、極めて優秀である。 本発明合金は特にゲージ率Ｋが大きく、かつＫ
の組成依存性がほとんどないという従来比類をみ
ない特長を有しているので、高感度高安定性が要
求されているロードセル用ストレインゲージ用材
料として非常に好適である。本発明合金は加工状
態かあるいは約400℃以下の低温度の熱処理を施
して使用するが、実施例にみられるように300℃
以下ではゲージ特性は僅かの変化しか示さない。
しかし400℃以上では特性が急速に変化する。ま
た本発明合金は常温においてもまた高温において
も鍛造、圧延、引抜き、スエージング等の加工が
容易で工業上利するところが大きい。 第７図は80％冷間加工後250℃で12時間加熱し
たFe−Cr−30％Co＋５％Ｗ＋５％Moの組成の
本発明合金とFe−Cr−30％Coの比較合金のゲー
ジ特性（Ｋ，ρ，CfおよびEmf）とCr量との関
係を示す特性図である。 第８図は80％冷間加工後250℃で12時間加熱し
たFe−15％Cr−Co＋５％Ｗ＋５％Moの組成の
本発明合金とFe−15％Cr−Co比較合金のゲージ
特性（Ｋ，ρ，CfおよびEmf）とＣ量との関係を
示す特性図である。第９図乃至第１２図は80％冷
間加工後250℃で12時間加熱したFe−15％Cr−
Co＋（Ｗ，Mo，NbあるいはTa）合金について
それぞれCo量とＷ量、Mo量、Nb量あるいはTa
量に対してＫ，ρ，Cfおよび加工範囲を示した
特性図である。 次に本発明合金において、合金の組成をCr3〜
35％、Co17〜70％、W9％以下、Mo10％以下、
Nb7％以下、Ta10％以下のうち１種または２種
以上の合計0.01〜15％および残部Feと限定した理
由は次の通りである。 (1) クロム（Cr）８〜35％； 第７図において、Cr8％以下の組成の場合で
は、加工性は優れているが、ゲージ率Ｋが著しく
減少し２以下の小さい値となり、比電気抵抗ρが
急激に小さくなるだけでなく比電気抵抗の温度係
数Cfが10×10^-4／℃以上の大きな値を有するもの
となるので、本発明合金としては不適当である。
またCr35％以上の組成では比電気抵抗ρが
90μΩ・cm以上で極めて大きくなり、また比電気
抵抗の温度係数Cfと対銅熱起電力Emfの両者が小
さくなるので、ストレインゲージ用合金として好
ましいがゲージ率Ｋが２以下で小さくしかも加工
性が極めて悪化するので、本発明合金としては不
適当である。 (2) コバルト（Co）17〜70％； 第８図において、Co17％以下の組成では、ゲ
ージ率Ｋが４以上で大きな値を示しストレインゲ
ージ用合金としては好ましいが、Co量の減少と
ともに比電気抵抗ρが急激に低下し、比電気抵抗
の温度係数Cfと対銅熱起電力Emfが増加するので
本発明合金としては不適当である。またCo70％
以上の組成では、対銅熱起電力Emfは極めて小さ
いが、ゲージ率Ｋが急激に減少するだけでなく比
電気抵抗の温度係数Cfが10×10^-4／℃以上の大き
な値を示し、しかも第９図〜第１２図に示すよう
に加工性が悪化するので、本発明合金として不適
当である。 (3) タングステン（Ｗ）９％以下； Ｗを含む合金の加工性はCr量やCo量などによ
つても異なるが、第９図に示すようにCr15％一
定のFe−Cr−Co−Ｗ系の場合では０〜９％Ｗの
範囲において冷間加工が可能であり、ゲージ率Ｋ
が約３以上および比電気抵抗ρが50〜90μΩ・cm
のようにそれぞれ大きな値を有するので、ストレ
インゲージ用合金として適している。しかしＷを
含まない合金（Ｗ＝０％）の場合では、比電気抵
抗の温度係数Cfが10×10^-4／℃以上の大きな値と
なるので、本発明合金としては不適当である。ま
たＷが９％を越えると加工が著しく困難となるの
で、本発明合金としては不適当である。 (4) モリブデン（Mo）10％以下； Moを含む合金の加工性はCr量やCo量などによ
つても異なるが、第１０図に示すようにCr15％
一定のFe−Cr−Co−Mo系の場合では０〜10Mo
の範囲において冷間加工が可能であり、ゲージ率
Ｋが約３以上および比電気抵抗ρが50〜90μΩ・
cmのそれぞれ大きな値を有するので、ストレイン
ゲージ用合金としては適している。しかしMoを
含まない合金（Mo＝０％）の場合では比電気抵
抗の温度係数Cfが10×10^-4／℃以上の大きな値と
なるので、本発明合金としては不適当である。ま
たMo量が10％を越えると加工が著しく困難とな
るので、本発明合金として不適当である。 (5) ニオブ（Nb）７％以下； Nbを含む合金の加工性はCr量やCo量などによ
つても異なるが、第１１図に示すようにCr15％
一定のFe−Cr−Co−Nb系の場合では０〜７％
Nbの範囲において冷間加工が可能であり、ゲー
ジ率Ｋが約３以上および比電気抵抗ρが50〜
90μΩ・cmのそれぞれ大きな値を有するので、ス
トレインゲージ用合金としては適している。しか
しNbを含まない合金（Nb＝０％）の場合では、
比電気抵抗の温度係数Cfが10×10^-4／℃以上の大
きな値となるので、本発明合金としては不適当で
ある。またNb量が７％を越えると加工が著しく
困難となるので、本発明合金としては不適当であ
る。 (6) タンタル（Ta）10％以下； Taを含む合金の加工性はCr層やCo量などによ
つても異なるが、第１２図に示すようにCr15％
一定のFe−Cr−Co−Ta系の場合では０〜10Ta
の範囲において冷間加工が可能であり、ゲージ率
Ｋが約３以上および比電気抵抗ρが50〜90μΩ・
cmのそれぞれ大きな値を有するので、ストレイン
ゲージ用合金としては適している。しかしTaを
含まない合金（Ta＝０％）の場合では、比電気
抵抗の温度係数Cfが10×10^-4／℃以上の大きな値
となるので、本発明合金としては不適当である。
またTa量が10％を越えると加工が著しく困難と
なるので、本発明合金としては不適当である。 第２図乃至第６図、第７図乃至第１２図、各実
施例および第７表で明らかなように、その組成範
囲のゲージ率Ｋは２以上で、その他のゲージ特性
も優れ、かつ加工性も良好であるが、組成がこの
範囲をはずれるとゲージ特性は劣化し初期の要求
特性が得られなくなるはかりでなく、加工が困難
となりストレインゲージ用合金として不適当とな
るので本発明合金の組成を上記のとおり限定し
た。 また本発明合金において冷間加工率（減面率）
を１％以上98％以下と限定した理由は第１図で明
らかなように加工率１％以上のゲージ率Ｋは２以
上の高い値を示すが、これ以下の加工率ではゲー
ジ率Ｋが小さいばかりでなく、製造工程における
加工率の制御が困難となるので、ストレインゲー
ジ用合金の製造方法として不適当となるからであ
る。また加工率が98％を越えると、加工が極端に
悪化し極細線や箔材など所望の形状のものが得ら
れないので、ストレインゲージ用合金の製造方法
としては不適当である。 以上の理由で冷間加工率は１％以上98％以下と
限定した。 また本発明合金において冷間加工後の加熱温度
を120℃以上400℃以下と限定した理由は、第２表
乃至第８表からも明らかなように、400℃以下で
はゲージ特性は僅かしか変化しないが、400℃の
温度で加熱を行うと比電気抵抗の温度係数Cfが
10×10^-4／℃以上の値を越えてしまい、ストレイ
ンゲージの要求特性からはずれるため、ストレイ
ンゲージ用合金の製造方法として不適当となるか
らである。また加熱温度が120℃以下の場合では、
本発明合金を極細線や箔材としてストレインゲー
ジ素子に応用化した場合、該極細線や箔材の表面
にコーテイングした電気的絶縁材の乾燥が100時
間以上でも不十分となるだけでなく、合金の内部
応力により絶縁材と合金に生ずる見掛けの歪みが
発生してゲージ率Ｋの値が不安定となるので、ス
トレインゲージ用合金の製造法としては不適当で
ある。 第８表に組成と各種条件の関係を示す。

【表】 ○：良化 −：変化なし ×：悪化
また本発明合金において、冷間加工率（減面
率）を１％以上と限定した理由は第１図で明らか
なように加工率１％以上のゲージ率Ｋは２以上の
高い値を示すが、これ以下の加工率ではゲージ率
Ｋが小さいばかりでなく、製造工程における加工
率の制御が困難となるので、ストレインゲージ用
合金の製造方法として不適当となるからである。 また本発明合金において冷間加工後の加熱温度
を400℃以下と限定した理由は、第２表乃至第６
表からも明らかなように、400℃以下ではゲージ
特性は僅かしか変化しないが、400℃の温度で加
熱を行うと比電気抵抗の温度係数C_fが10×10^-4以
上の値を越えてしまい、ストレインゲージの要求
特性からはずれてしまうため、ストレインゲージ
用合金の製造方法として不適当となるからであ
る。 最後に本発明合金において、冷間加工後、さら
に400℃以下の温度で加熱を行う場合、加熱時間
を１分以上100時間以下と限定した理由は、第２
表乃至第６表からも明らかなように、上記時間の
範囲内で加熱処理を行うとゲージ特性はあまり変
化しないだけでなく、加工歪の一部が除去される
ためゲージ特性が安定し、そのため経年変化の少
ないストレインゲージ用合金を提供することが可
能である。しかし加熱時間を１分未満とする場合
はゲージ特性の安定性が劣り、また100時間を越
えるとゲージ特性が急速に劣化することによるた
め、ストレインゲージ用合金の製造方法として不
適当となるからである。 以上本発明によれば従来実用されているNi−
Cu系合金あるいは公知のFe−Cr−Co系合金やFe
−Cr−Co−Ni系合金等に比較してゲージ率Ｋの
組成に対するばらつきが皆無な材料を得ることが
できるばかりでなく、かつ優れたゲージ特性と良
好な加工性を有する合金とその製造方法を提供す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は代表的な本発明合金のゲージ率Ｋと冷
間加工率との関係を示す曲線図、第２図乃至第５
図は98％冷間加工を施したFe−15％Cr−Co＋
（５％Ｗ，５％Mo，３％Nbあるいは９％Ta）合
金と、Fe−15％Cr−Co比較合金ならびにFe−15
％Cr−Co＋20％Ni比較合金のゲージ率ＫとCo量
との関係を示す曲線図および第６図は20％以上の
冷間加工を施したFe−15％Cr−30％Co＋（Ｗ，
Mo，NbあるいはTa）合金のゲージ率ＫとＷ，
Mo，NbあるいはTa量との関係を示す曲線図、
第７図は80％冷間加工後250℃で12時間加熱した
Fe−Cr−30％Co＋５％Ｗ＋５％Moの組成の本
発明合金とFe−Cr−30％Coより成る比較合金の
ゲージ特性（Ｋ，ρ，CfおよびEmf）とCr量と
の関係を示す特性図、第８図は80％冷間加工後
250℃で12時間加熱したFe−15％Cr−Co＋５％
Ｗ＋５％Moより成る本発明合金とFe−15％Cr−
Co比較合金のゲージ特性（Ｋ，ρ，Cfおよび
Emf）とCo量との関係を示す特性図および第９
図乃至第１２図は80％冷間加工後250℃で12時間
加熱したFe−15％Cr−Co＋（Ｗ，Mo，Nbある
いはTa）合金についてそれぞれCo量とＷ量、
Mo量、Nb量あるいはTa量に対してＫ，ρ，Cf
および加工範囲を示した特性図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 重量比にてクロム３〜35％、コバルト17〜70
   ％およびW9％以下、Mo10％以下、Nb7％以下、
   Ta10％以下のうち１種または２種以上の合計
   0.01〜15％と少量の不純物を含有し、残部は実質
   的に鉄からなり、ゲージ率が２以上を有すること
   を特徴とするストレインゲージ用合金。 ２ 重量比にてクロム３〜35％、コバルト17〜70
   ％およびW9％以下、Mo10％以下、Nb7％以下、
   Ta10％以下のうち１種または２種以上の合計
   0.01〜15％と少量の不純物を含有し、残部は実質
   的に鉄からなる合金に加工率１％以上98％以下の
   冷間加工を施し、さらにこれを120℃以上400℃以
   下の温度で１分以上100時間以下加熱することに
   よりゲージ特性が安定で、ゲージ率が２以上を有
   する合金を得ることを特徴とするストレインゲー
   ジ用合金の製造方法。