JPH02138518A - 摺動部材および摺動装置 - Google Patents
摺動部材および摺動装置Info
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- JPH02138518A JPH02138518A JP28916088A JP28916088A JPH02138518A JP H02138518 A JPH02138518 A JP H02138518A JP 28916088 A JP28916088 A JP 28916088A JP 28916088 A JP28916088 A JP 28916088A JP H02138518 A JPH02138518 A JP H02138518A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、摺動部材および摺動装置に関し、特に、摩耗
粉の回収が容易な摺動部材および摺動装置に関する。
粉の回収が容易な摺動部材および摺動装置に関する。
従来の摺動摩耗粉を回収する装置としては、特開昭62
−24024号公報に記載されたような。
−24024号公報に記載されたような。
磁性材料からなる摺動部から発生した摩耗粉を磁気材に
よって吸着、捕捉するものが知られている。
よって吸着、捕捉するものが知られている。
上記従来技術では、非磁性材料よりなる摺動部材から発
生する摩耗粉の捕捉が考慮されていなかった。
生する摩耗粉の捕捉が考慮されていなかった。
本発明の課題は、非磁性材料よりなる摺動部材から発生
する摩耗粉の捕捉を容易にするにある。
する摩耗粉の捕捉を容易にするにある。
上記の課題は、非磁性材料中に磁性材料の微細な粒子が
均一に分布している摩耗摺動部材により達成される。ま
た、非摩耗摺動部材と摩耗する摺動部材とが相互に摺動
して摺動摩耗粉が生ずる摺動装置において、前記摩耗す
る摺動部材を請求項1に記載の摩耗摺動部材とし、該摩
耗摺動部材から生ずる摺動摩耗粉を磁性を利用して吸着
する手段を偏えることにより達成される。
均一に分布している摩耗摺動部材により達成される。ま
た、非摩耗摺動部材と摩耗する摺動部材とが相互に摺動
して摺動摩耗粉が生ずる摺動装置において、前記摩耗す
る摺動部材を請求項1に記載の摩耗摺動部材とし、該摩
耗摺動部材から生ずる摺動摩耗粉を磁性を利用して吸着
する手段を偏えることにより達成される。
吸着された摺動摩耗粉の量を吸着する手段から取り出す
ことなく計測する手段と、該計測された量に基づいて摺
動装置の寿命を判定する手段と、を僅えている請求項2
に記載の摺動装置としてもよく、吸着された摺動摩耗粉
の量を吸着する手段から取り出すことなく計測する手段
と、該計測された量に基づいて摺動を停止する手段と、
を備えている請求項2に記載の摺動装置としてもよい。
ことなく計測する手段と、該計測された量に基づいて摺
動装置の寿命を判定する手段と、を僅えている請求項2
に記載の摺動装置としてもよく、吸着された摺動摩耗粉
の量を吸着する手段から取り出すことなく計測する手段
と、該計測された量に基づいて摺動を停止する手段と、
を備えている請求項2に記載の摺動装置としてもよい。
また、摺動摩耗粉を磁性を利用して吸着する手段が、励
磁、消磁の切換えが可能な手段である請求項2に記載の
摺動装置としてもよく、摺動摩耗粉を磁性を利用して吸
着する手段が、非摩耗摺動部材の一部が磁化されたもの
である請求項2に記載の摺動装置としてもよい。
磁、消磁の切換えが可能な手段である請求項2に記載の
摺動装置としてもよく、摺動摩耗粉を磁性を利用して吸
着する手段が、非摩耗摺動部材の一部が磁化されたもの
である請求項2に記載の摺動装置としてもよい。
また、摺動摩耗粉を磁性を利用して吸着する手段が、脱
着可能に装置されている請求項2に記載の摺動装置とし
てもよい。
着可能に装置されている請求項2に記載の摺動装置とし
てもよい。
さらに、請求項1に記載の摩耗摺動部材が他の部材の端
面に固着され、該摩耗摺動部材が前記非摩耗摺動部材と
接して摺動面を形成している請求項2に記載の摺動装置
としてもよい。
面に固着され、該摩耗摺動部材が前記非摩耗摺動部材と
接して摺動面を形成している請求項2に記載の摺動装置
としてもよい。
非磁性材料中に、磁性材料が、微細な粒子として分布し
ている摩耗摺動部材としたので、摺動摩耗粉は、磁性材
料と非磁性材料を含み、全体として磁性を示す。
ている摩耗摺動部材としたので、摺動摩耗粉は、磁性材
料と非磁性材料を含み、全体として磁性を示す。
非摩耗摺動部材と前記摩耗摺動部材とが摺動して発生す
る摺動摩耗粉は磁性を示し、磁性を利用して摩耗粉を吸
着する手段により、吸着、捕捉され、摺動摩耗粉の外部
への飛散が防止される。
る摺動摩耗粉は磁性を示し、磁性を利用して摩耗粉を吸
着する手段により、吸着、捕捉され、摺動摩耗粉の外部
への飛散が防止される。
摺動摩耗粉が、外部に飛散することなく吸着、捕捉され
るから、捕捉された摩耗粉の量から、摺動部材の摩耗量
が判定される。摩耗量から、従って摺動部材の寿命が判
定される。
るから、捕捉された摩耗粉の量から、摺動部材の摩耗量
が判定される。摩耗量から、従って摺動部材の寿命が判
定される。
(実施例〕
第1図は、本発明による摩耗摺動部材の例を示す第1の
実施例の斜視図であり、この摩耗摺動部材1は、非磁性
材料1aに磁性材料2が微細な粒子として均一に分布し
ているものである。非磁性材料1aとしては、黄銅、砲
金、青銅、アームズワンズ、リン青銅、アルミ青銅、鉛
青銅、亜鉛青銅、ケルメツト、アルミ合金、銀、ホワイ
トメタル、カドミウム合金等の非磁性金属や、カーボン
グラファイト、プラスチック、ポリカーボネイ1〜等の
高分子材料が適当であり、磁性材料2としては、鉄、コ
バルト、ニッケル、クロム、ガドリニウム、テルビウム
等の強磁性材やその他磁石に吸着される物質が適当であ
る。
実施例の斜視図であり、この摩耗摺動部材1は、非磁性
材料1aに磁性材料2が微細な粒子として均一に分布し
ているものである。非磁性材料1aとしては、黄銅、砲
金、青銅、アームズワンズ、リン青銅、アルミ青銅、鉛
青銅、亜鉛青銅、ケルメツト、アルミ合金、銀、ホワイ
トメタル、カドミウム合金等の非磁性金属や、カーボン
グラファイト、プラスチック、ポリカーボネイ1〜等の
高分子材料が適当であり、磁性材料2としては、鉄、コ
バルト、ニッケル、クロム、ガドリニウム、テルビウム
等の強磁性材やその他磁石に吸着される物質が適当であ
る。
非磁性材料1a内に磁性材料2が微細な粒子として、均
一に分布して摩耗摺動部材1が形成されると、該部材1
から発生する摺動摩耗粉が磁性材料を含んで、磁性材的
挙動を示す。
一に分布して摩耗摺動部材1が形成されると、該部材1
から発生する摺動摩耗粉が磁性材料を含んで、磁性材的
挙動を示す。
第2図は本発明の第2の実施例である摺動装置を示す断
面図である。本実施例に示される摺動装置は、磁性材料
2が混入された非磁性材料からなる摩耗摺動部材1(以
下、単に摩耗摺動部材と記す)と、非摩耗摺動部材3と
、前記摩耗摺動部材1と非摩耗摺動部材3の摺動部から
発生する摺動摩耗粉5を磁性を利用して吸着する手段で
ある磁石4とを含んでいる。非摩耗摺動部材3は摩耗摺
動部材1と摺動しても、実質的に摩耗粉が発生しないと
考えてよい、摩耗摺動部材1に比べて硬い材料である。
面図である。本実施例に示される摺動装置は、磁性材料
2が混入された非磁性材料からなる摩耗摺動部材1(以
下、単に摩耗摺動部材と記す)と、非摩耗摺動部材3と
、前記摩耗摺動部材1と非摩耗摺動部材3の摺動部から
発生する摺動摩耗粉5を磁性を利用して吸着する手段で
ある磁石4とを含んでいる。非摩耗摺動部材3は摩耗摺
動部材1と摺動しても、実質的に摩耗粉が発生しないと
考えてよい、摩耗摺動部材1に比べて硬い材料である。
本実施例においては、非摩耗活動部材3に接して、該非
摩耗摺動部材3よりも幅のせまい摩耗摺動部材1が前記
非摩耗摺動部材1と摺動面20で摺動可能に配置され、
磁石4が非摩耗摺動部材3の外面に接して配置されてい
て、摩耗摺動部材1と磁石4の間に、溝部21が形成さ
れている。磁石4は、その磁束密度最大の部分が摺動面
20の位置にあり、その磁束の方向が摺動面20と平行
になるように配置されている。この磁石4は、摺動面2
0の長手方向(紙面に垂直の方向、以下同じ)に活動面
に沿って連続している。
摩耗摺動部材3よりも幅のせまい摩耗摺動部材1が前記
非摩耗摺動部材1と摺動面20で摺動可能に配置され、
磁石4が非摩耗摺動部材3の外面に接して配置されてい
て、摩耗摺動部材1と磁石4の間に、溝部21が形成さ
れている。磁石4は、その磁束密度最大の部分が摺動面
20の位置にあり、その磁束の方向が摺動面20と平行
になるように配置されている。この磁石4は、摺動面2
0の長手方向(紙面に垂直の方向、以下同じ)に活動面
に沿って連続している。
本実施例によれば、摺動摩耗材1から発生する摺動摩耗
粉5は磁性材的挙動を示し、摺動面2゜の外部に形成さ
れている溝部21に排出されたのち、該溝部の一側面を
形成している磁石4に吸着され、外部に飛散することが
ない。
粉5は磁性材的挙動を示し、摺動面2゜の外部に形成さ
れている溝部21に排出されたのち、該溝部の一側面を
形成している磁石4に吸着され、外部に飛散することが
ない。
第3図は本発明の第3の実施例を示す断面図である。非
摩耗摺動部材3と摺動面20で摺動する摩耗摺動部材1
は、非磁性材1aに磁性材料2の微細な粒子を均一に分
布させたものである。非摩耗摺動部材3には断面り形の
磁石4が活動面20の端部を覆うように該磁石の一部を
底面とする溝部21を形成して配置されている。また、
磁石4のN、Sいずれかの磁極の端面が摺動面20の端
部と対向し、かつ、該磁極端面(磁石のN極、S極を結
ぶ線に垂直な面、以下同じ)は摺動面20とほぼ垂直を
なして配置されている。さらに、磁石4は、前記第2の
実施例の場合と同様に、摺動面20の長手方向に摺動面
に沿って連続して設けられており、磁極の磁束密度が最
大である位置を摺動面の幅方向端部に対向させて配置さ
れている。
摩耗摺動部材3と摺動面20で摺動する摩耗摺動部材1
は、非磁性材1aに磁性材料2の微細な粒子を均一に分
布させたものである。非摩耗摺動部材3には断面り形の
磁石4が活動面20の端部を覆うように該磁石の一部を
底面とする溝部21を形成して配置されている。また、
磁石4のN、Sいずれかの磁極の端面が摺動面20の端
部と対向し、かつ、該磁極端面(磁石のN極、S極を結
ぶ線に垂直な面、以下同じ)は摺動面20とほぼ垂直を
なして配置されている。さらに、磁石4は、前記第2の
実施例の場合と同様に、摺動面20の長手方向に摺動面
に沿って連続して設けられており、磁極の磁束密度が最
大である位置を摺動面の幅方向端部に対向させて配置さ
れている。
本実施例によれば、前記第2の実施例と同様の効果が得
られるとともに、非摩耗摺動部材3の幅が摩耗摺動部材
1の幅と同じか、それより狭い場合にも適用可能である
。第3図には、磁石4が非摩耗摺動部材3に装着された
例を示したが、逆に摩耗摺動部材1に磁石を取りつける
ことも可能である。
られるとともに、非摩耗摺動部材3の幅が摩耗摺動部材
1の幅と同じか、それより狭い場合にも適用可能である
。第3図には、磁石4が非摩耗摺動部材3に装着された
例を示したが、逆に摩耗摺動部材1に磁石を取りつける
ことも可能である。
第4図は本発明の第4の実施例である摺動装置の断面図
である。本実施例においては、摩耗摺動部材1に摺動面
20で下方から接する非摩耗摺動部材1は、摺動面20
の幅方向両端部に切欠部22を備え、該切欠部22によ
り、非摩耗摺動部材3の摺動面20の幅は、摩耗摺動部
材1より狭くなっている。摩耗摺動部材1は、前記第1
の実施例に示された摩耗摺動部材である。切欠部22は
、摩耗摺動部材1を上側の1側面とし、非摩耗摺動部材
3を他の2側面とする溝部を形成し、該溝部に、磁石4
が設けられている。磁石4はその外面が非摩耗摺動部材
3および摩耗摺動部材3の外面に突出しない状態に固着
され、摩耗摺動部材1との間には隙間が設けられている
。また、磁石4は。
である。本実施例においては、摩耗摺動部材1に摺動面
20で下方から接する非摩耗摺動部材1は、摺動面20
の幅方向両端部に切欠部22を備え、該切欠部22によ
り、非摩耗摺動部材3の摺動面20の幅は、摩耗摺動部
材1より狭くなっている。摩耗摺動部材1は、前記第1
の実施例に示された摩耗摺動部材である。切欠部22は
、摩耗摺動部材1を上側の1側面とし、非摩耗摺動部材
3を他の2側面とする溝部を形成し、該溝部に、磁石4
が設けられている。磁石4はその外面が非摩耗摺動部材
3および摩耗摺動部材3の外面に突出しない状態に固着
され、摩耗摺動部材1との間には隙間が設けられている
。また、磁石4は。
磁極端面が摺動面20と垂直をなし、がっ、摺動の方向
と平行になるように配置されている。
と平行になるように配置されている。
本実施例によれば、前記第2の実施例と同様の効果が得
られるほか、摺動摩耗粉吸着用の磁石4が摺動部材1.
3の外面に突出しないので、外観が単純化される。
られるほか、摺動摩耗粉吸着用の磁石4が摺動部材1.
3の外面に突出しないので、外観が単純化される。
第5図は、本発明の第5の実施例を示す断面図である。
本実施例においては、切欠部が摩耗摺動部材1の摺動面
20の両端部に設けられ、摩耗摺動部材1の摺動面の幅
が、非摩耗摺動部材30幅よりせまい点が前記第4の実
施例と異なっている。
20の両端部に設けられ、摩耗摺動部材1の摺動面の幅
が、非摩耗摺動部材30幅よりせまい点が前記第4の実
施例と異なっている。
本実施例においても、前記第2の実施例と同様の効果が
得られるとともに、摺動面20で形成される摩耗粉は切
欠部と磁石4とで形成される溝部に排出され、そこで磁
石4に捕捉されるため、外部に飛散することがない。
得られるとともに、摺動面20で形成される摩耗粉は切
欠部と磁石4とで形成される溝部に排出され、そこで磁
石4に捕捉されるため、外部に飛散することがない。
第6A図は、本発明の第6の実施例を示し、非摩耗摺動
部材3の摺動面20の幅方向両端部に。
部材3の摺動面20の幅方向両端部に。
断面矩形の切欠部が設けられ、該非摩耗摺動部材と摺動
面20で接して摺動する摩耗摺動部材1にも、前記切欠
部に対向する位置に同様形状の切欠部が設けられている
。非摩耗摺動部材3の前記切欠部には、該切欠部と同一
断面形状の磁石4が、磁極端面を摺動面20の延長面上
に位置させ、該端面を摩耗摺動部材1の切欠部に対向さ
せて百己置されている、摩耗摺動部材1には、前記第1
の実施例に示された摩耗摺動部材が用いられている。
面20で接して摺動する摩耗摺動部材1にも、前記切欠
部に対向する位置に同様形状の切欠部が設けられている
。非摩耗摺動部材3の前記切欠部には、該切欠部と同一
断面形状の磁石4が、磁極端面を摺動面20の延長面上
に位置させ、該端面を摩耗摺動部材1の切欠部に対向さ
せて百己置されている、摩耗摺動部材1には、前記第1
の実施例に示された摩耗摺動部材が用いられている。
本実施例によれば、前記第2の実施例と同様の効果が得
られるとともに、摩耗粉の吸着された磁極端面に対向す
る位置が切欠部になっているので。
られるとともに、摩耗粉の吸着された磁極端面に対向す
る位置が切欠部になっているので。
磁極4に吸着、捕捉された摩耗粉を該磁極面から回収す
る作業が容易である。
る作業が容易である。
第6B図は、本発明の第7の実施例を示す。本実施例に
おいては、非摩耗摺動部材3は強磁性体で形成されてお
り、摺動面20で前記非摩耗摺動部材3と同一幅の摩耗
摺動部材1に接して摺動する。前記非摩耗摺動部材3の
摺動面20の幅方向両端部4は、外部の磁化装置により
磁化され、摺動面を磁極端面とする磁石を形成している
。摩耗摺動部材1には、前記第1の実施例で示した摩耗
摺動部材が用いられている。
おいては、非摩耗摺動部材3は強磁性体で形成されてお
り、摺動面20で前記非摩耗摺動部材3と同一幅の摩耗
摺動部材1に接して摺動する。前記非摩耗摺動部材3の
摺動面20の幅方向両端部4は、外部の磁化装置により
磁化され、摺動面を磁極端面とする磁石を形成している
。摩耗摺動部材1には、前記第1の実施例で示した摩耗
摺動部材が用いられている。
本実施例によれば、前記第2の実施例と同様の効果が得
られるとともに、磁石の装着が容易であるという利点が
得られる。尚、本実施例においては、摩耗摺動部材側に
切欠部が設けられていないが、前記第6A図に示された
実施例のように切欠部が設けられると、摩耗粉が外部に
飛散する前に磁極端面を通過するので、磁極に吸着され
やすくなる。
られるとともに、磁石の装着が容易であるという利点が
得られる。尚、本実施例においては、摩耗摺動部材側に
切欠部が設けられていないが、前記第6A図に示された
実施例のように切欠部が設けられると、摩耗粉が外部に
飛散する前に磁極端面を通過するので、磁極に吸着され
やすくなる。
第7図は本発明の第8の実施例を示す。本実施例におい
ては、非摩耗摺動部材3の摺動面2oの幅方向両端に、
摺動面の長手方向に沿って両側で断面形状の大きさの異
なる切欠部が設けられており、この非摩耗摺動部材3と
摺動面20で接して摺動する前記非摩耗摺動部材3と同
−輻の摩耗摺動部材1にも、前記切欠部と同様の切欠部
が設けられている。ただし、たがいに対向する切欠部の
大きさが異る大きさの切欠となるように、切欠が配置さ
れており、非摩耗摺動部材3の図面向って右側の切欠の
幅方向の大きさは対向する摩耗摺動部材1の切欠の幅方
向の大きさより小さく、逆に非摩耗摺動部材3の図面向
かって左側の切欠部の幅方向の大きさは、対向する摩耗
摺動部材1の切欠の幅方向の大きさより、大きくなって
いる。対向する切欠部のうちの幅方向の大きさが小さい
切欠に、磁石4a、4bが、それぞれ装着されており、
非摩耗摺動部材3の切欠に装着された磁石4bは対向す
る摩耗摺動部材1の切欠内に突出しているが、該摩耗摺
動部材1との間に隙間23を形成し、摩耗摺動部材1の
切欠に装置された磁石4aは対向する非摩耗摺動部材3
の切欠内に突出しているが該非摩耗摺動部材3との間に
隙間23を形成している。磁石4a、4bの磁極の端面
ば摺動面20に垂直に、かつ、摺動面の長手方向に平行
に配置されている。摩耗摺動部材1には、前記実施例1
に記載の摩耗摺動部材が用いられている。
ては、非摩耗摺動部材3の摺動面2oの幅方向両端に、
摺動面の長手方向に沿って両側で断面形状の大きさの異
なる切欠部が設けられており、この非摩耗摺動部材3と
摺動面20で接して摺動する前記非摩耗摺動部材3と同
−輻の摩耗摺動部材1にも、前記切欠部と同様の切欠部
が設けられている。ただし、たがいに対向する切欠部の
大きさが異る大きさの切欠となるように、切欠が配置さ
れており、非摩耗摺動部材3の図面向って右側の切欠の
幅方向の大きさは対向する摩耗摺動部材1の切欠の幅方
向の大きさより小さく、逆に非摩耗摺動部材3の図面向
かって左側の切欠部の幅方向の大きさは、対向する摩耗
摺動部材1の切欠の幅方向の大きさより、大きくなって
いる。対向する切欠部のうちの幅方向の大きさが小さい
切欠に、磁石4a、4bが、それぞれ装着されており、
非摩耗摺動部材3の切欠に装着された磁石4bは対向す
る摩耗摺動部材1の切欠内に突出しているが、該摩耗摺
動部材1との間に隙間23を形成し、摩耗摺動部材1の
切欠に装置された磁石4aは対向する非摩耗摺動部材3
の切欠内に突出しているが該非摩耗摺動部材3との間に
隙間23を形成している。磁石4a、4bの磁極の端面
ば摺動面20に垂直に、かつ、摺動面の長手方向に平行
に配置されている。摩耗摺動部材1には、前記実施例1
に記載の摩耗摺動部材が用いられている。
本実施例によれば、前記第2の実施例と同様の効果が得
られるとともに、磁石4bをあらがじめ部材3に装着し
て摺動部材ユニット30を形成し。
られるとともに、磁石4bをあらがじめ部材3に装着し
て摺動部材ユニット30を形成し。
磁石4aを部材1にあらかじめ装着して摺動部材ユニッ
ト40を形成しておくことが可能になり。
ト40を形成しておくことが可能になり。
摺動面20の形成が、摺動部材ユニット30と摺動部材
ユニット40の組合せで、容易になるという効果がある
。
ユニット40の組合せで、容易になるという効果がある
。
第8図は本発明の第9の実施例を示す。本実施例におい
ては、非摩耗摺動部材3の摺動面20を含む端面に、幅
方向両端から距離1だけ離れた位置に、摺動面長手方向
に沿って幅す、深さdなる断面矩形の溝24Aが形成さ
れ、この非摩耗摺動部材3と摺動面20で接して摺動す
る摩耗摺動部材1の摺動面幅方向両端部に、摺動面長手
方向に沿って、幅b+1.深さd′なる断面矩形の切欠
24Bが形成されている。溝24Aには、磁極の端面を
、摺動面20と平行にし、摩耗摺動部材1に対向させて
、磁石4′が溝の幅一杯に装着されている。ただし、摩
耗摺動部材1に対向する磁石の端面は、摺動面20より
も、溝24Aの底面側に位置している。また、非摩耗摺
動部材3の前記溝24Aと幅方向端面との間の摺動面2
0の延長面には、摩耗摺動部材1に設けられた切欠24
Bに突出する磁石4が、一方の磁極端面を非摩耗m動部
材3の幅方向端面に一致させ、摺動面20の長手方向に
沿って設けられている。この磁石4は、摩耗摺動部材1
と非摩耗摺動部材3とが、互いに摺動しても摩耗摺動部
材1に接触することのない大きさに形成されており、か
つ、その磁極の端面は、摺動面に垂直に、摺動面長手方
向に平行に配置されている。さらに、摺動部材内側に面
する磁極端面ば前記溝24A上に位置し、該磁極の極性
は該溝24A内の、摩耗摺動部材1に対向する磁極の極
性と反対の極性としである @耗活動部材1としては、
前記第1の実施例に記載された摩耗摺動材が用いられて
いる。
ては、非摩耗摺動部材3の摺動面20を含む端面に、幅
方向両端から距離1だけ離れた位置に、摺動面長手方向
に沿って幅す、深さdなる断面矩形の溝24Aが形成さ
れ、この非摩耗摺動部材3と摺動面20で接して摺動す
る摩耗摺動部材1の摺動面幅方向両端部に、摺動面長手
方向に沿って、幅b+1.深さd′なる断面矩形の切欠
24Bが形成されている。溝24Aには、磁極の端面を
、摺動面20と平行にし、摩耗摺動部材1に対向させて
、磁石4′が溝の幅一杯に装着されている。ただし、摩
耗摺動部材1に対向する磁石の端面は、摺動面20より
も、溝24Aの底面側に位置している。また、非摩耗摺
動部材3の前記溝24Aと幅方向端面との間の摺動面2
0の延長面には、摩耗摺動部材1に設けられた切欠24
Bに突出する磁石4が、一方の磁極端面を非摩耗m動部
材3の幅方向端面に一致させ、摺動面20の長手方向に
沿って設けられている。この磁石4は、摩耗摺動部材1
と非摩耗摺動部材3とが、互いに摺動しても摩耗摺動部
材1に接触することのない大きさに形成されており、か
つ、その磁極の端面は、摺動面に垂直に、摺動面長手方
向に平行に配置されている。さらに、摺動部材内側に面
する磁極端面ば前記溝24A上に位置し、該磁極の極性
は該溝24A内の、摩耗摺動部材1に対向する磁極の極
性と反対の極性としである @耗活動部材1としては、
前記第1の実施例に記載された摩耗摺動材が用いられて
いる。
本実施例によれば、摺動面で発生する摺動摩耗粉5は、
非摩耗摺動部材3の溝24A内の磁石4′の磁性と、前
記溝24A上に位置する磁石4の磁極との間に形成され
る磁束中に排出され、磁石4゜4′のいずれかに吸着・
捕捉されるので、前記第2の実施例と同様の効果が得ら
れるとともに、摺動摩耗粉が排出される個所の磁束密度
が高められたので、摺動摩耗粉が外部へ放出される恐れ
がさらに低下した。
非摩耗摺動部材3の溝24A内の磁石4′の磁性と、前
記溝24A上に位置する磁石4の磁極との間に形成され
る磁束中に排出され、磁石4゜4′のいずれかに吸着・
捕捉されるので、前記第2の実施例と同様の効果が得ら
れるとともに、摺動摩耗粉が排出される個所の磁束密度
が高められたので、摺動摩耗粉が外部へ放出される恐れ
がさらに低下した。
第9図は、本発明の第10の実施例を示す。非摩耗摺動
部材3の摺動面20の幅方向両端部には、断面矩形の切
欠部が、摺動面20の長手方向に沿って左右対称に形成
され、前記摺動面20に接して摺動する摩耗摺動部材1
の摺動面の幅方向両端部にも、非摩耗摺動部材3の前記
切欠部に対向する位置に、断面矩形の切欠部が、摺動面
20の長手方向に沿って左右対称に形成されている。非
摩耗摺動部材3と摩耗摺動部材1の幅方向寸法り。
部材3の摺動面20の幅方向両端部には、断面矩形の切
欠部が、摺動面20の長手方向に沿って左右対称に形成
され、前記摺動面20に接して摺動する摩耗摺動部材1
の摺動面の幅方向両端部にも、非摩耗摺動部材3の前記
切欠部に対向する位置に、断面矩形の切欠部が、摺動面
20の長手方向に沿って左右対称に形成されている。非
摩耗摺動部材3と摩耗摺動部材1の幅方向寸法り。
L′は同じであるが、非摩耗摺動部材3に形成された切
欠の摺動面20幅方向の寸法Cは、対向する摩耗摺動部
材1の摺動面幅方向の寸法C′より小さくしである。非
摩耗摺動部材3の両側の切欠部には、幅が切欠の幅Cよ
りやや大きく、高さか非摩耗摺動部材3の切欠の高さf
と、摩耗摺動部材1の切欠の高さf′の合計値よりやや
小さい断面矩形の電磁石4が脱着可能に装着されている
。
欠の摺動面20幅方向の寸法Cは、対向する摩耗摺動部
材1の摺動面幅方向の寸法C′より小さくしである。非
摩耗摺動部材3の両側の切欠部には、幅が切欠の幅Cよ
りやや大きく、高さか非摩耗摺動部材3の切欠の高さf
と、摩耗摺動部材1の切欠の高さf′の合計値よりやや
小さい断面矩形の電磁石4が脱着可能に装着されている
。
電磁石4は非摩耗摺動部材3と摩耗摺動部材1とが相互
に摺動しても、摩耗摺動部材1に接触することがないよ
うに配置され、かつ該電磁石4の磁束の方向が活動面と
平行になるように配置されている。摩耗摺動部材1とし
ては、前記実施例第1に記載された摩耗摺動部材が用い
られている。
に摺動しても、摩耗摺動部材1に接触することがないよ
うに配置され、かつ該電磁石4の磁束の方向が活動面と
平行になるように配置されている。摩耗摺動部材1とし
ては、前記実施例第1に記載された摩耗摺動部材が用い
られている。
本実施例によれば、第2の実施例と同様の効果が得られ
るとともに、摩耗粉を吸着した電磁石を取外し、他の場
所で消磁して、摩耗粉を回収することが可能となり、摩
耗粉の回収を所望の場所で簡単に行うこととができ、摩
耗粉回収の際に5周囲に摩耗粉を飛散させる恐れがなく
なった。
るとともに、摩耗粉を吸着した電磁石を取外し、他の場
所で消磁して、摩耗粉を回収することが可能となり、摩
耗粉の回収を所望の場所で簡単に行うこととができ、摩
耗粉回収の際に5周囲に摩耗粉を飛散させる恐れがなく
なった。
第10図は、本発明の第11の実施例を示す。
本実施例は、切欠部がm動部材1,2の摺動面20の幅
方向一方の端部にのみ設けられていること、該切欠部に
装着される磁石4′が永久磁石であること、非摩耗摺動
部材3の切欠のない側の端部に。
方向一方の端部にのみ設けられていること、該切欠部に
装着される磁石4′が永久磁石であること、非摩耗摺動
部材3の切欠のない側の端部に。
摺動面長手方向に沿って磁石4′が設けられていること
、該磁石4″と摺動部材1,3の間に溝部25が形成さ
れていること、が前記第10の実施例と異なる。
、該磁石4″と摺動部材1,3の間に溝部25が形成さ
れていること、が前記第10の実施例と異なる。
本実施例によれば、摺動部材の一方の側面に磁石を突出
させて配置するスペースがない場合にも、摺動摩耗粉が
吸着、捕捉される。
させて配置するスペースがない場合にも、摺動摩耗粉が
吸着、捕捉される。
第11図は、本発明の第12の実施例を示す。
非摩耗摺動材3の摺動面2oに1m動面2oの長手方向
に平行に断面矩形の溝24Aが複数個設けられ、該溝2
4A内に磁石4が磁極の端面を摺動面に平行にし、該端
面を摺動面20より下方にして摺動面長手方向に連続し
て配置されており、前記第1の実施例に記載されたと同
様の摩耗摺動部材1が、摺動面20に接してその上方に
配置されている。
に平行に断面矩形の溝24Aが複数個設けられ、該溝2
4A内に磁石4が磁極の端面を摺動面に平行にし、該端
面を摺動面20より下方にして摺動面長手方向に連続し
て配置されており、前記第1の実施例に記載されたと同
様の摩耗摺動部材1が、摺動面20に接してその上方に
配置されている。
本実施例によれば、非摩耗摺動部材3の摺動面20に磁
石を備えた複数個の溝が開口しているので、摺動面20
で発生した摩耗粉が摺動面から排出されて吸着されるま
でに移動する距離が短くてすみ、当該摩耗粉による摺動
面の摩耗の発生がすくなくなる。
石を備えた複数個の溝が開口しているので、摺動面20
で発生した摩耗粉が摺動面から排出されて吸着されるま
でに移動する距離が短くてすみ、当該摩耗粉による摺動
面の摩耗の発生がすくなくなる。
第12図は、本発明による第13の実施例を示す6本実
施例においては、非摩耗摺動部材3の摺動面2oに、複
数個の断面矩形の溝24Aが摺動面20の長手方向に沿
って配置され、政情24Aの下方に矩形断面の磁石4′
が磁極端面を摺動面20に平行にして配置されている。
施例においては、非摩耗摺動部材3の摺動面2oに、複
数個の断面矩形の溝24Aが摺動面20の長手方向に沿
って配置され、政情24Aの下方に矩形断面の磁石4′
が磁極端面を摺動面20に平行にして配置されている。
摩耗摺動部材lは、非摩耗活動部材3に活動面20で接
してt7I動する。摩耗摺動部材1は前記第1の実施例
に記載されたものと同じものである。
してt7I動する。摩耗摺動部材1は前記第1の実施例
に記載されたものと同じものである。
本実施例によれば、前記第12の実施例と同様の効果が
得られるとともに、配設する磁石が、1個であるので磁
石を装着する作業が容易になった。
得られるとともに、配設する磁石が、1個であるので磁
石を装着する作業が容易になった。
第13図は、本発明の第14の実施例を示す。
非摩耗摺動部材3と、該非摩耗摺動部材3に摺動面20
で接して摺動する摩耗摺動部材1とは同一の幅に形成さ
れており、摩耗摺動部材1は、前記第1の実施例に記載
された摩耗摺動部材と同じものである。非摩耗摺動部材
3および摩耗摺動部材1の摺動面幅方向両端部には、同
一の矩形断面の切欠が、摺動面長手方向に沿って設けら
れており、それぞれの切欠には、幅が切欠の幅と同じで
高さが切欠の高さよりも小さく、摺動面20の長手方向
に連続する磁石4が、たがいに逆の極性の磁極の端面を
対向させて装着されている。該磁極の端面は摺動面20
とほぼ平行に配置されている。
で接して摺動する摩耗摺動部材1とは同一の幅に形成さ
れており、摩耗摺動部材1は、前記第1の実施例に記載
された摩耗摺動部材と同じものである。非摩耗摺動部材
3および摩耗摺動部材1の摺動面幅方向両端部には、同
一の矩形断面の切欠が、摺動面長手方向に沿って設けら
れており、それぞれの切欠には、幅が切欠の幅と同じで
高さが切欠の高さよりも小さく、摺動面20の長手方向
に連続する磁石4が、たがいに逆の極性の磁極の端面を
対向させて装着されている。該磁極の端面は摺動面20
とほぼ平行に配置されている。
本実施例によれば、摺動面20の端部に該摺動面と垂直
の方向の磁束がIM動面端部の長手方向に沿って形成さ
れ、摺動面20から排出される摺動摩耗粉5は必ずこの
磁束を通過するので、必ずいずれかの磁石に確実に吸着
され、外部に飛散することがない。
の方向の磁束がIM動面端部の長手方向に沿って形成さ
れ、摺動面20から排出される摺動摩耗粉5は必ずこの
磁束を通過するので、必ずいずれかの磁石に確実に吸着
され、外部に飛散することがない。
第14図は、本発明の第15の実施例を示し。
摺動装置の寿命を判定する手段を備えた例である。
本実施例においては、非摩耗摺動部材3と、ム非摩耗摺
動部材3に摺動面20で接して摺動する摩耗摺動部材1
とが設けられ、摩耗摺動部材1の幅は、非摩耗摺動部材
1の幅よりも小さくしである。
動部材3に摺動面20で接して摺動する摩耗摺動部材1
とが設けられ、摩耗摺動部材1の幅は、非摩耗摺動部材
1の幅よりも小さくしである。
摩耗摺動部材1は前記第1の実施例に記載の摩耗摺動部
材と同じ材料からなっている。非摩耗摺動部材3の摺動
面の幅方向両端部外面に磁石4が、摺動面20の長手方
向に連続して設けられており、該磁石4の磁極の端面ば
、活動面20に垂直であるとともに、摺動面20の長手
方向に平行である。
材と同じ材料からなっている。非摩耗摺動部材3の摺動
面の幅方向両端部外面に磁石4が、摺動面20の長手方
向に連続して設けられており、該磁石4の磁極の端面ば
、活動面20に垂直であるとともに、摺動面20の長手
方向に平行である。
該磁極の端面と摩耗摺動部材1の外面を側面とし、非摩
耗摺動部材3の一部を底面とする溝26が形成され、前
記磁石4の外面には、磁束密度変化を感知するセンサ9
が設置されている。該センサ9の出力線はセンサプリア
ンプ8に接続され、センサプリアンプ8の出力線は摺動
装置の寿命を判定する手段であるコントローラ6に、コ
ントローラ6の出力線は摺動部を駆動する駆動系に接続
されている。コントローラ6は入力値があらかじめ定め
られた値より変化していたら、摺動装置の寿命限界であ
ると判断して、摺動部駆動系を停止する信号を出力する
。
耗摺動部材3の一部を底面とする溝26が形成され、前
記磁石4の外面には、磁束密度変化を感知するセンサ9
が設置されている。該センサ9の出力線はセンサプリア
ンプ8に接続され、センサプリアンプ8の出力線は摺動
装置の寿命を判定する手段であるコントローラ6に、コ
ントローラ6の出力線は摺動部を駆動する駆動系に接続
されている。コントローラ6は入力値があらかじめ定め
られた値より変化していたら、摺動装置の寿命限界であ
ると判断して、摺動部駆動系を停止する信号を出力する
。
本実施例によれば、センサ9は摺動摩耗粉の量を計測す
る手段であり、摺動面が駆動されて発生する摩耗粉5が
磁石4に吸着されるが、この吸着量が多くなると、セン
サ9を通る磁束密度が変化し、この変化がセンサ9で検
知されてセンサプリアンプ8に出力される。センサプリ
アンプ8は入力された信号を増幅してコントローラ6に
出力し、コントローラ6は、入力された信号をあらかじ
め設定されている値と比較し、入力された信号の値が、
あらかじめ設定された信号より変化していたら、摺動部
駆動系に対し、動作を停止する信号が出力される。すな
わち、磁石4に吸着、捕捉される摩耗粉が多いことは、
摩耗摺動部材1の摩耗量が多いことを示し、磁石に吸着
される摩耗粉の量に基づく磁束密度の変化により、摩耗
摺動部材1の余寿命が判定される。摺動部廃動系が停止
されたら、摩耗摺動部材1を交換する等の保守作業が行
われる。
る手段であり、摺動面が駆動されて発生する摩耗粉5が
磁石4に吸着されるが、この吸着量が多くなると、セン
サ9を通る磁束密度が変化し、この変化がセンサ9で検
知されてセンサプリアンプ8に出力される。センサプリ
アンプ8は入力された信号を増幅してコントローラ6に
出力し、コントローラ6は、入力された信号をあらかじ
め設定されている値と比較し、入力された信号の値が、
あらかじめ設定された信号より変化していたら、摺動部
駆動系に対し、動作を停止する信号が出力される。すな
わち、磁石4に吸着、捕捉される摩耗粉が多いことは、
摩耗摺動部材1の摩耗量が多いことを示し、磁石に吸着
される摩耗粉の量に基づく磁束密度の変化により、摩耗
摺動部材1の余寿命が判定される。摺動部廃動系が停止
されたら、摩耗摺動部材1を交換する等の保守作業が行
われる。
第15図および第16図は、本発明の第16の実施例を
示し、摺動摩耗粉の量を計測し、この量に基づいて摺動
を停止する手段を備えた例である。
示し、摺動摩耗粉の量を計測し、この量に基づいて摺動
を停止する手段を備えた例である。
この装置は、非摩耗摺動部材3と、該非摩耗摺動部材3
に摺動面20で接して摺動する前記非摩耗摺動部材3よ
り幅のせまい摩耗摺動部材1と、前記非摩耗摺動部材3
の外面に磁極の端面を接し、摺動面20の摩耗摺動部材
1側にまたがって設けられて、摩耗摺動部材1との間に
溝部25を形成している磁石4と、該溝部25に、該溝
部25の長手軸方向(摺動面20および磁極の端面に平
行の方向)に沿ってレーザ光10を入射させるレーザ発
光装置11と、レーザ光10の光軸上に配置されて、レ
ーザ光10を受光するレーザ受光装置12と、レーザ発
光装置11に接続されたレーザ発振器9と、レーザ受光
装置12の出力側に接続されたアンプ8と、該アンプ8
の出力側に接続されたコントローラ6と、を備え、該コ
ントローラ6は摺動部廓動系7に接続されている。
に摺動面20で接して摺動する前記非摩耗摺動部材3よ
り幅のせまい摩耗摺動部材1と、前記非摩耗摺動部材3
の外面に磁極の端面を接し、摺動面20の摩耗摺動部材
1側にまたがって設けられて、摩耗摺動部材1との間に
溝部25を形成している磁石4と、該溝部25に、該溝
部25の長手軸方向(摺動面20および磁極の端面に平
行の方向)に沿ってレーザ光10を入射させるレーザ発
光装置11と、レーザ光10の光軸上に配置されて、レ
ーザ光10を受光するレーザ受光装置12と、レーザ発
光装置11に接続されたレーザ発振器9と、レーザ受光
装置12の出力側に接続されたアンプ8と、該アンプ8
の出力側に接続されたコントローラ6と、を備え、該コ
ントローラ6は摺動部廓動系7に接続されている。
本実施例においては、摺動部から発生する摺動摩耗粉5
は、磁石4の溝25壁面の一部をなす磁極の端面に吸着
、捕捉される。吸着される摩耗粉5が増加していくと、
溝部25に入射されるレーザ光が摩耗粉5により散乱さ
れ、レーザ受光装置12に受光されるレーザ光量が低下
し、レーザ受光装置12の信号出力が小さくなる。レー
ザ発光装置11、およびレーザ受光装置12が摺動摩耗
粉の量を計測する手段をなしている。レーザ受光装置1
2の信号出力は、アンプ8で増幅されたのち、コントロ
ーラ6に入力され、コントローラ6は、この入力信号と
あらかじめ設定された値とを比較して、入力信号が小さ
いとき、摺動部乱動系へ駆動停止信号を出力する。
は、磁石4の溝25壁面の一部をなす磁極の端面に吸着
、捕捉される。吸着される摩耗粉5が増加していくと、
溝部25に入射されるレーザ光が摩耗粉5により散乱さ
れ、レーザ受光装置12に受光されるレーザ光量が低下
し、レーザ受光装置12の信号出力が小さくなる。レー
ザ発光装置11、およびレーザ受光装置12が摺動摩耗
粉の量を計測する手段をなしている。レーザ受光装置1
2の信号出力は、アンプ8で増幅されたのち、コントロ
ーラ6に入力され、コントローラ6は、この入力信号と
あらかじめ設定された値とを比較して、入力信号が小さ
いとき、摺動部乱動系へ駆動停止信号を出力する。
本実施例によっても、摺動部材の寿命が判定されるので
、摺動部の破損等の事故が生ずるまえに、摺動部材の交
換等の保守作業を行うことが可能となる。
、摺動部の破損等の事故が生ずるまえに、摺動部材の交
換等の保守作業を行うことが可能となる。
第17図は本発明の第17の実施例を示す。本実施例に
おいては、要摩耗摺動部材3の摺動面20に摩耗摺動部
材1が摺動し、該摩耗摺動部材1は、摺動面20と反対
側で、同じ幅の摺動部材3′に固着されている。非摩耗
摺動部材3の幅は、摩耗摺動部材1および摺動部材3′
の幅より大きく、非摩耗摺動部材3の幅方向の外面両側
には磁石4が、磁極の端面を摺動面20と垂直に、かつ
摺動面の長手方向と平行にして装置されている。
おいては、要摩耗摺動部材3の摺動面20に摩耗摺動部
材1が摺動し、該摩耗摺動部材1は、摺動面20と反対
側で、同じ幅の摺動部材3′に固着されている。非摩耗
摺動部材3の幅は、摩耗摺動部材1および摺動部材3′
の幅より大きく、非摩耗摺動部材3の幅方向の外面両側
には磁石4が、磁極の端面を摺動面20と垂直に、かつ
摺動面の長手方向と平行にして装置されている。
また、磁石4は摩耗摺動部材1、摺動部材3′および該
磁石4の磁極の端面を壁面とし、非摩耗摺動部材3の摺
動面を底面とする溝部25を形成するように配置されて
いる。
磁石4の磁極の端面を壁面とし、非摩耗摺動部材3の摺
動面を底面とする溝部25を形成するように配置されて
いる。
本実施例によれば、部材3が磁石に吸着されない材料で
あるとき、また、何らかの制約で磁石に吸着される材料
に変更できないとき、部材3と3′の間に摩耗摺動部材
1を介在させて摺動させることにより、発生する摩耗粉
が磁性を帯びたものとなり、磁石で吸着、捕捉され、外
部に摩耗粉が飛散することがない。
あるとき、また、何らかの制約で磁石に吸着される材料
に変更できないとき、部材3と3′の間に摩耗摺動部材
1を介在させて摺動させることにより、発生する摩耗粉
が磁性を帯びたものとなり、磁石で吸着、捕捉され、外
部に摩耗粉が飛散することがない。
本発明によれば、非磁性材料の摺動部材が使用される場
合においても、摺動摩耗粉が吸着・捕捉されるので、空
気中の塵埃量を低減する必要のあるクリーンルーム等に
おいて、非磁性の摺動部材の使用を可能とする効果があ
る。
合においても、摺動摩耗粉が吸着・捕捉されるので、空
気中の塵埃量を低減する必要のあるクリーンルーム等に
おいて、非磁性の摺動部材の使用を可能とする効果があ
る。
第1図は本発明の第1の実施例である摩耗摺動部材の例
を示す斜視図、第2図は本発明の第2の実施例である摺
動装置を示す断面図、第3図、第4図、第5図、第6A
図、第6B図、第7図、第8図、第9図、第10図、第
11図、第12図。 第13図は、本発明のそれぞれ第3〜第14の実施例で
ある摺動装置を示す断面図、第14図は本発明の第15
の実施例である摺動部の寿命判定手段を備えた摺動装置
を示す断面図、第15図は本発明の第16の実施例を示
す断面図、第16図は第15図のXVI−XVI線に沿
ってみた断面図で、第17図は本発明の第17の実施例
を示す断面図である。 1・・・摩耗摺動部材、1a・・・非磁性材料、2・−
・磁性材料、3・・・非摩耗摺動部材、4・・・摺動摩
耗粉を磁性を利用して吸着する手段(磁石)、5・・・
摺動摩耗粉、6・・・摺動装置の寿命を判定する手段、
摺動を停止する手段(コントローラ)、9・・・摺動摩
耗粉の量を計測する手段(センサ)、11.12・・・
摺動摩耗粉の量を計測する手段(レーザ発光装置、レー
ザ受光装置)、20・・・摺動面。
を示す斜視図、第2図は本発明の第2の実施例である摺
動装置を示す断面図、第3図、第4図、第5図、第6A
図、第6B図、第7図、第8図、第9図、第10図、第
11図、第12図。 第13図は、本発明のそれぞれ第3〜第14の実施例で
ある摺動装置を示す断面図、第14図は本発明の第15
の実施例である摺動部の寿命判定手段を備えた摺動装置
を示す断面図、第15図は本発明の第16の実施例を示
す断面図、第16図は第15図のXVI−XVI線に沿
ってみた断面図で、第17図は本発明の第17の実施例
を示す断面図である。 1・・・摩耗摺動部材、1a・・・非磁性材料、2・−
・磁性材料、3・・・非摩耗摺動部材、4・・・摺動摩
耗粉を磁性を利用して吸着する手段(磁石)、5・・・
摺動摩耗粉、6・・・摺動装置の寿命を判定する手段、
摺動を停止する手段(コントローラ)、9・・・摺動摩
耗粉の量を計測する手段(センサ)、11.12・・・
摺動摩耗粉の量を計測する手段(レーザ発光装置、レー
ザ受光装置)、20・・・摺動面。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、非磁性材料中に磁性材料の微細な粒子が均一に分布
している摩耗摺動部材 2、非摩耗摺動部材と摩耗する摺動部材とが相互に摺動
して摺動摩耗粉が生ずる摺動装置において、前記摩耗す
る摺動部材が請求項1に記載の摩耗摺動部材であること
と、該摩耗摺動部材から生ずる摺動摩耗粉を磁性を利用
して吸着する手段を備えていることと、を特徴とする摺
動装置。 3、吸着された摺動摩耗粉の量を吸着する手段から取り
出すことなく計測する手段と、該計測された量に基づい
て摺動装置の寿命を判定する手段と、を備えていること
を特徴とする請求項2に記載の摺動装置。 4、吸着された摺動摩耗粉の量を吸着する手段から取り
出すことなく計測する手段と、該計測された量に基づい
て摺動を停止する手段と、を備えていることを特徴とす
る請求項2に記載の摺動装置。 5、摺動摩耗粉を磁性を利用して吸着する手段が、励磁
、消磁の切換えが可能な手段であることを特徴とする請
求項2に記載の摺動装置。 6、摺動摩耗粉を磁性を利用して吸着する手段が、非摩
耗摺動部材の一部が磁化されたものであることを特徴と
する請求項2に記載の摺動装置。 7、摺動摩耗粉を磁性を利用して吸着する手段が、脱着
可能に装着されていることを特徴とする請求項2に記載
の摺動装置。 8、請求項1に記載の摩耗摺動部材が他の部材の端面に
固着され、該摩耗摺動部材が前記非摩耗摺動部材と接し
て摺動面を形成していることを特徴とする請求項2に記
載の摺動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28916088A JPH02138518A (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | 摺動部材および摺動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28916088A JPH02138518A (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | 摺動部材および摺動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02138518A true JPH02138518A (ja) | 1990-05-28 |
Family
ID=17739537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28916088A Pending JPH02138518A (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | 摺動部材および摺動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02138518A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000352417A (ja) * | 1999-06-14 | 2000-12-19 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 空気動圧軸受装置 |
| JP2006096841A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Thk Co Ltd | 固体潤滑膜およびその製造方法、固体潤滑膜が成膜される転がり摺動部材 |
| WO2018043353A1 (ja) * | 2016-09-02 | 2018-03-08 | Thk株式会社 | 異物検出装置、及びリニアガイド |
| JP2025093899A (ja) * | 2023-12-12 | 2025-06-24 | エイチピエスピ カンパニー リミテッド | 高圧基板処理装置 |
-
1988
- 1988-11-16 JP JP28916088A patent/JPH02138518A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000352417A (ja) * | 1999-06-14 | 2000-12-19 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 空気動圧軸受装置 |
| JP2006096841A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Thk Co Ltd | 固体潤滑膜およびその製造方法、固体潤滑膜が成膜される転がり摺動部材 |
| WO2018043353A1 (ja) * | 2016-09-02 | 2018-03-08 | Thk株式会社 | 異物検出装置、及びリニアガイド |
| JP2018035929A (ja) * | 2016-09-02 | 2018-03-08 | Thk株式会社 | 異物検出装置、及びリニアガイド |
| CN109661521A (zh) * | 2016-09-02 | 2019-04-19 | Thk株式会社 | 异物检测装置及线性引导件 |
| US10444302B2 (en) | 2016-09-02 | 2019-10-15 | Thk Co., Ltd. | Foreign matter detecting device and linear guide |
| CN109661521B (zh) * | 2016-09-02 | 2020-03-24 | Thk株式会社 | 异物检测装置及线性引导件 |
| DE112017004428B4 (de) * | 2016-09-02 | 2020-07-09 | Thk Co., Ltd. | Fremdstoffdetektionsvorrichtung und linearführung |
| JP2025093899A (ja) * | 2023-12-12 | 2025-06-24 | エイチピエスピ カンパニー リミテッド | 高圧基板処理装置 |
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