JPH02138576A - 真空シール用複合ガスケット - Google Patents
真空シール用複合ガスケットInfo
- Publication number
- JPH02138576A JPH02138576A JP14896788A JP14896788A JPH02138576A JP H02138576 A JPH02138576 A JP H02138576A JP 14896788 A JP14896788 A JP 14896788A JP 14896788 A JP14896788 A JP 14896788A JP H02138576 A JPH02138576 A JP H02138576A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rings
- ring
- high molecular
- vacuum
- channels
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 21
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 11
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Gasket Seals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、真空装置に用いられる真空シール用ガスケッ
トに関するものである。
トに関するものである。
本発明は、真空装置に用いられる真空シール用ガスケッ
トに於いて、弾性力を持った構造を有する金属リングを
介して、そのシール面の上下に高分子のリングを設けた
ものであり、ベーキング時のガス発生量を低減し、速や
かに高真空を得ることを目的としたものである。
トに於いて、弾性力を持った構造を有する金属リングを
介して、そのシール面の上下に高分子のリングを設けた
ものであり、ベーキング時のガス発生量を低減し、速や
かに高真空を得ることを目的としたものである。
従来、真空装置に用いられる真空シール用ガスケットは
、第３図に示すように銅又は、アルミなどの塑性変形し
易い金属板からなる金属ガスケット１１か、第４図のよ
うな高分子材料からなるＯ ＩＪソング１が用いられて
いた。
、第３図に示すように銅又は、アルミなどの塑性変形し
易い金属板からなる金属ガスケット１１か、第４図のよ
うな高分子材料からなるＯ ＩＪソング１が用いられて
いた。
しかし、金属製のガスケットは、接合面の高精度化と高
度の組み込み技術を必要とし、一方、高分子製のものは
、真空装置をベーキングする際、その高分子０リングか
ら発生する放出ガスにより高真空が得にくいという欠点
があった。
度の組み込み技術を必要とし、一方、高分子製のものは
、真空装置をベーキングする際、その高分子０リングか
ら発生する放出ガスにより高真空が得にくいという欠点
があった。
そこで、この発明は、従来のこのような両者の欠点を解
決し、接合面の仕上精度の高精度を必要とせず、組み込
みが簡易で、しかもベーキングの際の放出ガスを大幅に
減少させ、速やかに高真空状態にすることのできるガス
ケットを得ることを目的としている。
決し、接合面の仕上精度の高精度を必要とせず、組み込
みが簡易で、しかもベーキングの際の放出ガスを大幅に
減少させ、速やかに高真空状態にすることのできるガス
ケットを得ることを目的としている。
上記問題点を解決する為に、この発明は、ばね性を有す
る金属リングを介して、その上下に高分子材料を挿入又
は、接合する構成とした。
る金属リングを介して、その上下に高分子材料を挿入又
は、接合する構成とした。
上記のように構成された複合ガスケットを用いると、高
分子単体のガスケットに比べ、真空側に露出する高分子
材料部分の表面積及び体積が大幅に減少する為、真空装
置をベーキングする際、この高分子材料から発生する放
出ガスを大幅に低減することができる。その為、速やか
に高真空の状態を得ることができる。
分子単体のガスケットに比べ、真空側に露出する高分子
材料部分の表面積及び体積が大幅に減少する為、真空装
置をベーキングする際、この高分子材料から発生する放
出ガスを大幅に低減することができる。その為、速やか
に高真空の状態を得ることができる。
（実施例〕
以下に、この発明の実施例を第１図と第２図により説明
する。第１図の断面図において、環状の断面で無端でつ
ながった金属パイプリング１の平面方向を主面とするシ
ール部材であり、この金属パイプリング１の上下に溝３
と３′を設け、その溝３．３′に高分子材料からなる２
本の高分子リング２と２′の外形を密着、又は必要に応
じて接着して設ける。この３者が一体的に構成されたガ
スケットを真空装置のフランジ部にセントして、フラン
ジを平面に直交する方向から締め込む。すると高分子リ
ング２，２′が押圧されるとともに、その間に挟まれた
金属パイプリング１が弾性体として作用し高分子リング
２，２′を全周にわたって均等な圧力で圧接し、有効な
シール作用を行う。
する。第１図の断面図において、環状の断面で無端でつ
ながった金属パイプリング１の平面方向を主面とするシ
ール部材であり、この金属パイプリング１の上下に溝３
と３′を設け、その溝３．３′に高分子材料からなる２
本の高分子リング２と２′の外形を密着、又は必要に応
じて接着して設ける。この３者が一体的に構成されたガ
スケットを真空装置のフランジ部にセントして、フラン
ジを平面に直交する方向から締め込む。すると高分子リ
ング２，２′が押圧されるとともに、その間に挟まれた
金属パイプリング１が弾性体として作用し高分子リング
２，２′を全周にわたって均等な圧力で圧接し、有効な
シール作用を行う。
第２図は別の実施例の断面図で金属リング５の弾性力が
より柔軟に作用する構造にしたもので、第１図に示した
金属パイプリングｌの代わりに非パイプ状の金属リング
５にしたものであり、Ω状の断面形状をなしている。そ
の他第１図と共通する部材は同じ符番で示しである。
より柔軟に作用する構造にしたもので、第１図に示した
金属パイプリングｌの代わりに非パイプ状の金属リング
５にしたものであり、Ω状の断面形状をなしている。そ
の他第１図と共通する部材は同じ符番で示しである。
これらの構造の選択は、その真空装置の封止の条件に応
じて任意に選択できる。
じて任意に選択できる。
上記した本発明による複合ガスケットと、従来からの高
分子材単体によるＯリングとの比較を試験した。その結
果、第５図に示すように、実線で示す従来の０リングに
比べ、本発明の複合ガスケットは、約半分の時間で所定
の圧力に到達した。
分子材単体によるＯリングとの比較を試験した。その結
果、第５図に示すように、実線で示す従来の０リングに
比べ、本発明の複合ガスケットは、約半分の時間で所定
の圧力に到達した。
この発明は、以上説明したように、弾性力を持った構造
の金属リングを挟んでその上・下に高分子材からなりリ
ングを設けた構造により、真空環境に接する高分子材の
部分を極力少なくすることにより、ベーキング時に放出
するガス量を大幅に低減することができ、短時間に目標
の真空度に到達することができ、各種、多様の真空機器
に大きな効果を与えるものである。
の金属リングを挟んでその上・下に高分子材からなりリ
ングを設けた構造により、真空環境に接する高分子材の
部分を極力少なくすることにより、ベーキング時に放出
するガス量を大幅に低減することができ、短時間に目標
の真空度に到達することができ、各種、多様の真空機器
に大きな効果を与えるものである。
第１図、第２図は、この発明による複合ガスケットの断
面図、第３図、第４図は、従来の金属ガスケット及び高
分子０リングの断面図、第５図は、本発明による複合ガ
スケットと従来からの高分子０リングを用いた場合の真
空装置の圧力特性の時間的変化を示した特性図である。 以上 第１図 第２図 一３図 第４図 木発Ｂ月とイ足采品の真空〒１１１１１青ａ区１５５
図
面図、第３図、第４図は、従来の金属ガスケット及び高
分子０リングの断面図、第５図は、本発明による複合ガ
スケットと従来からの高分子０リングを用いた場合の真
空装置の圧力特性の時間的変化を示した特性図である。 以上 第１図 第２図 一３図 第４図 木発Ｂ月とイ足采品の真空〒１１１１１青ａ区１５５
図
Claims (1)
- 平面方向に直交する方向に弾性力を待つ金属リングと、
該金属リンとほぼ等しいリング径の高分子リングを２本
設け、該高分子リングの間に前記金属リングを挟み、前
記平面方向に直交する方向から押圧されてシールするこ
とを特徴とする真空シール用複合ガスケット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14896788A JPH02138576A (ja) | 1988-06-16 | 1988-06-16 | 真空シール用複合ガスケット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14896788A JPH02138576A (ja) | 1988-06-16 | 1988-06-16 | 真空シール用複合ガスケット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02138576A true JPH02138576A (ja) | 1990-05-28 |
Family
ID=15464671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14896788A Pending JPH02138576A (ja) | 1988-06-16 | 1988-06-16 | 真空シール用複合ガスケット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02138576A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0650435A (ja) * | 1992-07-28 | 1994-02-22 | Hitachi Ltd | 超高真空用シ−ル材およびこれを用いた超高真空装置 |
| JP2023520511A (ja) * | 2020-04-03 | 2023-05-17 | カイロウ | カラーおよびシールを含む、チューブを連結するためのクランピングシステム |
-
1988
- 1988-06-16 JP JP14896788A patent/JPH02138576A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0650435A (ja) * | 1992-07-28 | 1994-02-22 | Hitachi Ltd | 超高真空用シ−ル材およびこれを用いた超高真空装置 |
| JP2023520511A (ja) * | 2020-04-03 | 2023-05-17 | カイロウ | カラーおよびシールを含む、チューブを連結するためのクランピングシステム |
| JP2023520512A (ja) * | 2020-04-03 | 2023-05-17 | カイロウ | カラーおよびシールを含む、チューブを連結するためのクランピングシステム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2900199A (en) | Pipe seal | |
| JPH0414681Y2 (ja) | ||
| US4109923A (en) | Pipe joint | |
| US4655463A (en) | Gasket assembly for oil pan valve covers and the like | |
| KR970063400A (ko) | 진공챔버 및 그 제조방법 | |
| US4765660A (en) | Elastic pipe connector | |
| RU94041734A (ru) | Муфта для труб | |
| JPS6455475A (en) | Vacuum device which can be baked | |
| EP0228179B1 (en) | Concentric sealing rings | |
| US3938361A (en) | Press containing a pressure cell with a flexible diaphragm and a forming pad influenced by said diaphragm | |
| US20150114133A1 (en) | Measuring Tube for a Flow Measuring Device | |
| US4550921A (en) | Ring joint gasket | |
| US3419290A (en) | Pipe coupling | |
| JPS6141035Y2 (ja) | ||
| JPH06241362A (ja) | 流体配管用継手 | |
| JPH051731Y2 (ja) | ||
| GB2043812A (en) | Glanded Connection | |
| JPS58124868A (ja) | 弁体のシ−ト構造 | |
| JPS6221172Y2 (ja) | ||
| JPH0235108Y2 (ja) | ||
| JPH0343441Y2 (ja) | ||
| SU1190132A1 (ru) | Быстроразъемное фланцевое соединение | |
| JPH082529Y2 (ja) | グロメット装置 | |
| JPS6228352B2 (ja) | ||
| US3788395A (en) | Fluid pressurized cover device |