JPH02139918A - ヘテロ構造体の製造方法 - Google Patents

ヘテロ構造体の製造方法

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JPH02139918A JP63291101A JP29110188A JPH02139918A JP H02139918 A JPH02139918 A JP H02139918A JP 63291101 A JP63291101 A JP 63291101A JP 29110188 A JP29110188 A JP 29110188A JP H02139918 A JPH02139918 A JP H02139918A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は半導体もしくは金属シリサイドからなる単結晶
層の製造方法に係り、特にヘテロ構造の半導体素子の製
造に好適なヘテロ構造体の製造方法に関する。
［従来の技術］ 従来、ヘテロ構造を有する単結晶層の製造方法について
は、応用物理、第５５巻、第８号（１９８６年）、第７
９１頁から第７９４頁において論じられている。
上記従来技術においては、シリコン（Ｓｉ）単結晶基板
上にＳｉ以外の半導体を形成する方法としてヘテロ・エ
ピタキシャル法が提案されている。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、Ｓｉと異種半導体とでは格子定数が異な
る為、ヘテロ・エピタキシャル成長後にＳｉと異種半導
体とのヘテロ界面に多くの欠陥が残留する問題があった
。
本発明の目的は、これらの欠陥を除去し、高品質のヘテ
ロ界面を有するヘテロ構造体を形成する方法を提供する
ことにある。
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために本発明は、半導体あるいは金
属シリサイドからなる第１の単結晶層の表面上に水素原
子もしくはハロゲン原子を付着する工程、および上記原
子を付着した上記第１の単結晶上に上記第１の単結晶層
の材料とは異なる半導体あるいは金属シリサイドからな
る第２の単結晶層をヘテロ・エピタキシャル成長させる
工程を有するヘテロ構造体の製造方法であって、上記２
つの工程は上記ヘテロ構造体を製造装置外に取出すこと
なく連続的に行なわれることを特徴とする。
上記第１および第２の単結晶層の材料としては、Ｓｉ、
ＧａＡｓあるいはＩｎＰ等の半導体単結晶材料、または
ＮｉＳｉ２あるいはＣｏ５ｔ、等の金属シリサイド単結
晶材料を用いる。上記第１および第２の単結晶層の材料
の組合せは任意に可能であるが、両者の格子定数に大幅
な違いがある場合にはヘテロ界面に欠陥が生じやすく好
ましくない。したがって両者の格子定数の差が２０％以
内、より好ましくは１０％以内の材料の組合せが有効で
ある。上記例示した各材料はこの観点において好ましい
ものである。
また、上記水素もしくはハロゲン原子の付着は、例えば
超高真空中に保持された試料（第１の単結晶層）上にノ
ズルより上記原子を吹きつけることによって行なうこと
ができる。この際の試料の温度は６５０℃以下程度とす
るのが好ましく、圧力は１０−７〜１０−”Ｔｏｒｒと
するのが好ましい。より具体的な付着の方法については
実施例において詳述する。
さらに上記第１の単結晶層は、所定基板上に形成した単
結晶層であっても良いし、あるいは基板として例えばＳ
ｉ単結晶基板を用いるような場合にはこの基板自体を第
１の単結晶層とすることも可能である。
［作用］ 上記付着した水素原子もしくはハロゲン原子は。
上記第１および第２の単結晶層の間のヘテロ界面におい
て格子不整に起因して生じるダングリング・ボンドを埋
める（ターミネイトする）役割を果たす。これによって
ヘテロ界面の欠陥を低減できる。上記ダングリング・ボ
ンドをターミネイトするためには、上記付着する水素原
子もしくはハロゲン原子の数が上記ダングリング・ボン
ドの数を中心として±５０％の範囲内にあるのが好まし
く、両者の数が一致しているのが最も望ましい。
尚、ダングリング・ボンドの数は１例えば電子スピン共
鳴（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　５ｐｉｎ　Ｒｅ５ｏｎａｎｃｅ
）法を用いて簡単に測定することができる。
［実施例］ 以下実施例により本発明の詳細な説明する。第１図（ａ
）〜（ｈ）は本発明の詳細な説明図である６図面の順番
に対応させて工程順に製造方法を説明する。
第１図（ａ）　〜（ｄ）は単結晶Ｓｉ基板（第１の単結
晶層）１上にＨ又はＦ、ＣＱの如きハロゲン原子を所望
の量だけ付着させる工程であり、いわゆる分子線蒸着（
ＭＢＥ）装置として知られている超高真空装置の中で処
理が行なわれる工程である。Ｆ原子を付着させる場合を
例にとり典形的なシーケンスを以下に説明する。先ずＳ
ｉ基板１を９００℃迄昇温（約１５分）させ、Ｓｉ基板
表面を清浄にする（第１図（ａ））。次いでＳＬ基板の
温度を６５０℃迄下げ、ノズルよりＦガスを吹きつける
。この場合、Ｆを多量に吹きつけても常に一原子層（〜
６ｘ１０１４個／ｃｍ”）のＦが安定に存在する（第１
図（ｂ））、これは５ｉ−Ｆの結合がＦ−Ｆの結合より
も強い為である。
６５０℃以下程度の温度範囲においては二層目以上のＦ
はＦ−Ｆ結合が切れ蒸発するが、−層目のＦはＳｉと強
く結合している為に安定に存在する。
Ｓｉ表面に付着しているＦ原子の数は、その後試料を７
５０℃程度で数百秒程度加熱する事により自由に制御す
る事ができる（第１図（Ｃ））。例えば７５０℃で２０
０秒又は５００秒加熱する事により、当初付着していた
Ｆ［子（６Ｘ　１０”’個／ｃｍ”）は各々６　Ｘ　１
０”個／Ｃｍ’又は６Ｘ１０”個／Ｃ♂に迄減少してい
る。
勿論ノズルより吹き出すＦの圧力を制御してＳｉ表面に
付着するＦの量を制御する事も可能である。この場合に
は再加熱する事無く一度の処理で所望のＦ原子をＳＬ表
面上に付着する事ができる（第１図（ｄ））。例えば温
度６５０℃下において２　Ｘ　１０”’Ｔｏｒｒの圧力
で吹き出すＦ原子を５秒又は１０秒間Ｓｊ基板に照射す
る事により各々８　Ｘ　１０”個／ｃｉ又は２　Ｘ　１
０１４個／ｃｍのＦ原子がＳｉ基板に付着する。
第２の工程は、上記第１図（ｃ）または（ｄ）に示した
試料の上に引き続きヘテロ単結晶薄膜を形成する工程で
あり、所謂分子線エピタキシャル成長法（第１図（ｆ）
）、或いは固相エピタキシャル成長法（第１図（ｅ）お
よび（ｇ））を用いる。第１の単結晶層たるＳＬ基板１
上に形成する第２の単結晶層としてＧａＡｓの場合を例
に取り説明をする。
分子線エピタキシャル成長の場合には基板温度を１５０
〜４００℃とし、この低い温度領域でバッファ層となる
非晶質Ｇ　ａ　Ａ　ｓを先ず２０ｎｍ程度堆積する。引
き続き基板温度を７００〜７５０℃に上げ分子線エピタ
キシャル成長を約３００ｎｍ行う。この際、基板温度が
高い為、最初に形成した非晶質Ｇ　ａ　Ａ　ｓは単結晶
化し、それと同時に２回目に成長するＧａＡｓも単結晶
ＧａＡｓ４となる（第１図（ｆ））。
第１図（ｅ）および（ｇ）に示す固相エピタキシャル成
長法も分子線エピタキシャル成長法と良く似たプロセス
であるが、この場合には比較的厚い非晶質ＧａＡｓ３を
堆積しく第１図（ｅ））、その後熱処理の・みにより単
結晶化して単結晶ＧａＡＳ４となる（第１図（ｇ））。
即ち第１図（ｅ）は１５０〜４００℃の温度領域で非晶
質Ｇ　ａ　Ａ　ｓを３２０ｎｍ程度堆積する工程であり
第１図（ｇ）はその非晶質ＧａＡｓを７００℃程度の温
度で３０分〜１時間アニールし単結晶化する工程である
。
即ち第１図（ｇ）が所謂同相エピタキシャル成長法と呼
ばれる工程である。
以上、説明して来た工程、すなわち第１図（ａ）〜（ｆ
）、もしくは（ａ）〜（ｇ）の工程をくり返す事により
、ＧａＡｓとＳｉとの多層のヘテロ構造を形成する事が
可能となる。第１図（ｈ）はその完成した構造体の一例
であり、第２のＧａＡｓ１４’／Ｓｉ層１′／第１のＧ
ａＡｓ層４　／　Ｓ　ｉ基板１の４層の構造となってい
る。
以上１分子線エピタキシャル成長法、あるいは固相エピ
タキシャル成長法を用いＧａＡｓ／Ｓｉのヘテロ構造を
形成する方法について説明して来たが、本発明が他の材
料よりなるヘテロ構造及び他の形成手法にも適用できる
事は自明である。
ところで以上の実施例に於いては、結晶成長の過程でヘ
テロ界面にＦ［子等のハロゲン原子を導入する方法を説
明した。勿論ＧａＡｓ／ＳＬ構造の如きヘテロ構造材料
を先ず形成し、その後イオン打込み等の手段を用いＦ等
のハロゲン原子を導入しヘテロ界面の格子欠陥をターミ
ネイトする事も可能である。しかしながら、この場合に
はＦ原子はある深さ分布をもってＳｉ基板、ヘテロ界面
及びＧａＡｓ膜に存在する事になる。即ち余分のＦ原子
がＳｉ基板及びＧ　ａ　Ａ　ｓ膜中に存在する事になり
第１図で説明した本発明の方法よりも効果的にはおどる
と考えられる。
第１図に示した方法で形成したＧａＡｓ／Ｓｉ結晶の格
子欠陥密度を電子顕微鏡観察を用い評価した結果を第２
図（図中（６）の曲線）に示す。Ｆ原子を導入する事に
より格子欠陥密度が減少しており、本発明の有効性が良
くわかる。尚図中に示すＩは格子欠陥密度の実験的なバ
ラツキの範囲を示すものである。又、格子欠陥密度を最
小にするにはヘテロ界面に導入するＦ原子の数に最適値
のある事がわかる。第２図には本発明をＣｏＳｉ、／Ｓ
ｉ（図中曲線（５））、ＩｎＰ／Ｓｉ　（図中曲線（７
））等の他のヘテロ構造の形成に適用した例も示しであ
るが、大略ＧａＡｓ／Ｓｉの場合と同じ結果が得られて
おり、本発明が広範囲のヘテロ材料に適用できる事が良
くわかる。又、Ｆ原子以外のハロゲン原子又はＨ原子を
ヘテロ界面に導入しても、第２図と大略同じ結果の得ら
れる事が実験的に確認されている。
次に、本発明を特に有効とするＨ原子及びハロゲン原子
の量に関し第２図を用い説明をする。
ＧａＡｓ／Ｓｔ構造を例に取ると各々の格子定数は５．
６５３人（ＧａＡｓ）、５．４３１人（Ｓｉ）であるか
ら両者の間には４％の格子不整が存在する事になる。言
い換えるとヘテロ界面には５．４×１０１１個／ｃ＋ｓ
”のダングリング・ボンドが存在する。又ＣｏＳｉ、／
Ｓｉ、Ｉｎｋ／Ｓｉ等のヘテロ構造の場合には各々１．
２％及び８．０％の格子不整が存在し、それらのヘテロ
界面には４．９　Ｘ　１０”個／ａｍ”及び２．２Ｘ１
０”個／ｃｌＩ２のタングリング・ボンドが存在する。
これらの試料に本発明を適用した実験結果（第２図）を
みると、ダングリング・ボンドの数は格子欠陥密度を最
小とするのに必要なハロゲン原子の数と定量的に一致し
ている事がわかる。即ちヘテロ界面に存在するダングリ
ング・ボンドを丁度塩めるだけのＨ原子又はハロゲン原
子を導入する事が本発明を最も有効にする条件である事
が良くわかる。
上記の条件を一般的な式にして以下に示す。基板となる
材料の格子定数をｄ（人）、その上に形成するヘテロ材
料の格子定数をｄ±（ｘ／１００）（人）とする（即ち
、この場合の格子不整率はＸ（％）となる）と、ヘテロ
界面に存在するダングリ（ａｍ−”　）と書き表す事が
できる。
従って格子欠陥密度を最小にするのに必要なハロゲン原
子の数（Ｎ）と、格子不整率（Ｘ）との関係は Ｎ　（ｃ＋ａ−”）＝　ｘ”／　（ｄ　Ｘ　１０−’）
　”　　となる。
基板材料がＳｉの場合にはｄ＝５．４３１人であるから
、上式は Ｎ　　（ｃｍ−”）　　＝　　３．４　　Ｘ　　１　０
”　　・　ｘ”と書き直す事ができる。
上記の基本式を基にして、本発明を広範囲なヘテロ構造
（ＮｉＳｉ、／Ｓｉ、ＧａＰ／Ｓｉ、ＣｏＳｉ。
／Ｓｉ、　ＧａＡｓ／Ｓｉ、　Ｇｅ／Ｓｉ、　ＩｎＰ／
Ｓｉ）に適用した結果を第３図に示す。縦軸は格子欠陥
密度を最小とするのに必要なハロゲン原子の数であり、
又横軸は格子不整率である。格子不整率が０．５〜１０
％と広い範囲において、上記の基本式が成立しており、
本発明が多くのヘテロ材料に対して有効である事が良く
わかる。ところで、第３図の図中の曲線８は格子欠陥密
度を最小とするのに必要なハロゲン原子と格子不整率の
関係、即ちＮ　（ａｍ−”）　＝　３．４　Ｘ　１０”
−ｘ”であり、又曲線９及び１０は本発明を有効とする
ハロゲン原子の数の上限及び下限を実験的に決めたもの
である。
即ち、格子欠陥密度の面内バラツキ及び実験的な誤差（
第２図参照）を考慮すると、曲線８の基本式を中心にし
て±５０％のハロゲン原子数の領域が本発明のより好ま
しい範囲である事がわかる。
［発明の効果］ 本発明によれば、Ｈ原子又はハロゲン原子を用いダング
リング・ボンドをターミネイトする事によりヘテロ界面
の結晶性を向上する事ができるので、高品質のヘテロ構
造半導体素子に好適なヘテロ構造体を形成することがで
きるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例の製造工程説明図であり、第２
図及び第３図は本発明の効果を示す図である。 １・・・単結晶Ｓｉ基板、１′・・・単結晶Ｓｉ層、２
・・・Ｈ原子又はハロゲン原子、３・・・非晶質ＧａＡ
ｓ、４゜４’＝・・単結晶Ｇ　ａ　Ａ　ｓ　ａ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、半導体あるいは金属シリサイドからなる第１の単結
    晶層の表面上に水素原子もしくはハロゲン原子を付着す
    る工程、および上記原子を付着した上記第１の単結晶層
    上に上記第１の単結晶層の材料とは異なる半導体あるい
    は金属シリサイドからなる第２の単結晶層をヘテロ・エ
    ピタキシャル成長させる工程を有するヘテロ構造体の製
    造方法であって、上記２つの工程は上記ヘテロ構造体を
    製造装置外に取出することなく連続的に行なわれること
    を特徴とするヘテロ構造体の製造方法。 ２、上記付着する水素原子もしくはハロゲン原子の数が
    、上記第１の単結晶層と上記第２の単結晶層とのヘテロ
    界面に存在するタングリング・ボンドの数に等しいか、
    又はその値を中心にして±５０％の範囲内にあることを
    特徴とする請求項１記載のヘテロ構造体の製造方法。
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