JPH02146155U - - Google Patents
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- JPH02146155U JPH02146155U JP5338389U JP5338389U JPH02146155U JP H02146155 U JPH02146155 U JP H02146155U JP 5338389 U JP5338389 U JP 5338389U JP 5338389 U JP5338389 U JP 5338389U JP H02146155 U JPH02146155 U JP H02146155U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wall
- vacuum evaporation
- electrons
- reflected
- electron gun
- Prior art date
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- Pending
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案真空蒸着装置の壁面の構造例を
示し、第２図は従来の真空蒸着装置の概略図、第
３図はその壁面の電子の軌跡を示す説明図、第４
図は本考案の作用を説明するための説明図である
。 １……電子銃、２……電子ビーム、３……電磁
コイル、４……るつぼ、５……金属蒸気、６……
壁、７……蒸着板、８……加熱器、９……真空チ
ヤンバ、１０……蒸着金属、１１……反射電子（
散乱熱流束）、１２……２次反射電子、１３……
内壁、１４……開口部、１５……外壁、１６……
内壁と外壁との間の空間、１７……内壁の冷却管
、１８……外壁の冷却管、１９……反射電子。
示し、第２図は従来の真空蒸着装置の概略図、第
３図はその壁面の電子の軌跡を示す説明図、第４
図は本考案の作用を説明するための説明図である
。 １……電子銃、２……電子ビーム、３……電磁
コイル、４……るつぼ、５……金属蒸気、６……
壁、７……蒸着板、８……加熱器、９……真空チ
ヤンバ、１０……蒸着金属、１１……反射電子（
散乱熱流束）、１２……２次反射電子、１３……
内壁、１４……開口部、１５……外壁、１６……
内壁と外壁との間の空間、１７……内壁の冷却管
、１８……外壁の冷却管、１９……反射電子。
Claims (1)
- 電子銃加熱による真空蒸着装置において、るつ
ぼ内蒸着金属表面から反射する電子が到達する壁
を二重にし、内壁の開口比を４０％〜６０％とし
て、反射電子の壁面からの２次反射を低減させる
ようにしたことを特徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5338389U JPH02146155U (ja) | 1989-05-11 | 1989-05-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5338389U JPH02146155U (ja) | 1989-05-11 | 1989-05-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02146155U true JPH02146155U (ja) | 1990-12-12 |
Family
ID=31574516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5338389U Pending JPH02146155U (ja) | 1989-05-11 | 1989-05-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02146155U (ja) |
-
1989
- 1989-05-11 JP JP5338389U patent/JPH02146155U/ja active Pending
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