JPH02147254A - サーマルヘッドの製造方法 - Google Patents
サーマルヘッドの製造方法Info
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- JPH02147254A JPH02147254A JP63301177A JP30117788A JPH02147254A JP H02147254 A JPH02147254 A JP H02147254A JP 63301177 A JP63301177 A JP 63301177A JP 30117788 A JP30117788 A JP 30117788A JP H02147254 A JPH02147254 A JP H02147254A
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- thermal head
- heating resistor
- metal
- resistor layer
- manufacturing
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はファクシミリ、フルカラープリンタ、ワードプ
ロセッサなどの印字装置に用いるサーマルヘッドに関す
るものであり、特に印字品質の優れたサーマルヘッドに
関するものである。
ロセッサなどの印字装置に用いるサーマルヘッドに関す
るものであり、特に印字品質の優れたサーマルヘッドに
関するものである。
従来の技術
熱転写、感熱印字方式プリンタなどの印字装置に用いら
れるサーマルヘッドは従来次の二つの種類のものがある
。第一のものは、第３図（ａ）、（ｂ）に示スヨうに、
グレーズアルミナ基板３１の上に蒸着モジ＜ハスバッタ
リングのような真空薄膜形成プロセスにより得たＴａ−
５１などよりなる発熱抵抗体層３３、旧、Ｏｒなどより
なる電極層３２ａ、３２ｂ１ＳＩＣなどよりなる耐摩耗
層３４をホトリソエ、、チング法をもちいてパターン形
成したもので、いわゆる薄膜型サーマルヘッドと呼ばれ
るものである。第二のものは、第４図（ａ）、（ｂ）に
示すように、グレーズ絶縁基板４！の上に、電極層４２
ａ＋４２ｂｔ 発熱抵抗体層４３、耐摩耗層４４をそ
れぞれペーストの印刷焼成により形成するもので、いわ
ゆる厚膜型サーマルヘッドと呼ばれるものである。
れるサーマルヘッドは従来次の二つの種類のものがある
。第一のものは、第３図（ａ）、（ｂ）に示スヨうに、
グレーズアルミナ基板３１の上に蒸着モジ＜ハスバッタ
リングのような真空薄膜形成プロセスにより得たＴａ−
５１などよりなる発熱抵抗体層３３、旧、Ｏｒなどより
なる電極層３２ａ、３２ｂ１ＳＩＣなどよりなる耐摩耗
層３４をホトリソエ、、チング法をもちいてパターン形
成したもので、いわゆる薄膜型サーマルヘッドと呼ばれ
るものである。第二のものは、第４図（ａ）、（ｂ）に
示すように、グレーズ絶縁基板４！の上に、電極層４２
ａ＋４２ｂｔ 発熱抵抗体層４３、耐摩耗層４４をそ
れぞれペーストの印刷焼成により形成するもので、いわ
ゆる厚膜型サーマルヘッドと呼ばれるものである。
発明が解決しようとする課題
上に述べた二つの種類のサーマルヘッドはそれぞれ長所
と短所を有する。すなわち、薄膜型サーマルヘッドは発
熱抵抗体層の形状（面積、厚さなど）が各ドツト間で均
一であり、その熱容量が均一であることから印字の時の
紙への熱の伝達が均一に行われる。また各ドツト間の抵
抗値もあるレベルまでは均一なものが得られ、総合的に
見て印字品質の優れたサーマルヘッドである。また、発
熱抵抗体層の厚さが薄（１０００〜５０００ 、Ｊであ
ることから熱容量が小さく、パルス印加ＯＮ、ＯＦＦ時
の発熱抵抗体層温度の立ち上がり、立ち下がり時定数は
優れたものになり印字発熱効率も高い。しかしながら従
来の薄膜型サーマルヘッドではドツト間の抵抗値のばら
つきは±５％以下にすることは難しく、さらに優れた印
字品質を望むことは困難である。
と短所を有する。すなわち、薄膜型サーマルヘッドは発
熱抵抗体層の形状（面積、厚さなど）が各ドツト間で均
一であり、その熱容量が均一であることから印字の時の
紙への熱の伝達が均一に行われる。また各ドツト間の抵
抗値もあるレベルまでは均一なものが得られ、総合的に
見て印字品質の優れたサーマルヘッドである。また、発
熱抵抗体層の厚さが薄（１０００〜５０００ 、Ｊであ
ることから熱容量が小さく、パルス印加ＯＮ、ＯＦＦ時
の発熱抵抗体層温度の立ち上がり、立ち下がり時定数は
優れたものになり印字発熱効率も高い。しかしながら従
来の薄膜型サーマルヘッドではドツト間の抵抗値のばら
つきは±５％以下にすることは難しく、さらに優れた印
字品質を望むことは困難である。
また薄膜プロセスのため、設備コスト、バ・ソチ生産な
ど生産性、低コスト化の点から解決するべき問題点が多
い。
ど生産性、低コスト化の点から解決するべき問題点が多
い。
一方、厚膜型サーマルヘッドは印刷焼成法を用いること
から設備コストが低いこと、連続生産が容易なことなど
利点が多いが、発熱抵抗体層が酸化ルテニウム粉末など
の金属酸化物粉末とガラスフリットとの混合物から成る
ペーストを印刷焼成して形成したものであることから発
熱抵抗体層中の金属酸化物層の均一分散が得られ難く、
各ドツト間の抵抗値ばらつきを少なくすることが困難で
ある。厚膜型サーマルヘッドでは過負荷トリミング法に
よってこの抵抗値ばらつきを±１％以下にすることが可
能である。しかしながら一つのドツトの中のミクロな電
流パスに注目するとトリミングの不均一性などが要改善
点として残されている。
から設備コストが低いこと、連続生産が容易なことなど
利点が多いが、発熱抵抗体層が酸化ルテニウム粉末など
の金属酸化物粉末とガラスフリットとの混合物から成る
ペーストを印刷焼成して形成したものであることから発
熱抵抗体層中の金属酸化物層の均一分散が得られ難く、
各ドツト間の抵抗値ばらつきを少なくすることが困難で
ある。厚膜型サーマルヘッドでは過負荷トリミング法に
よってこの抵抗値ばらつきを±１％以下にすることが可
能である。しかしながら一つのドツトの中のミクロな電
流パスに注目するとトリミングの不均一性などが要改善
点として残されている。
これらの短所は、原模型サーマルヘッドの発熱抵抗体層
の大きな熱容量に起因するところ大であり、発熱印字の
時の時定数が太きい、印字熱効率が悪い、印字品質が悪
いなどの結果に至っている。
の大きな熱容量に起因するところ大であり、発熱印字の
時の時定数が太きい、印字熱効率が悪い、印字品質が悪
いなどの結果に至っている。
以上の問題点を克服するものとして、発明者らは先に金
属もしくは類金属を含む有機化合物の分解反応生成物よ
りなる厚さ１．０μｍ以下の発熱抵抗体層を用いたサー
マルヘッドを提供した（特願昭１１ｉ３−１８４３５６
号）。該サーマルヘッドは印字熱効率において大きく改
良されたが、印字品質は若干薄膜型サーマルヘッドより
劣るものであった。
属もしくは類金属を含む有機化合物の分解反応生成物よ
りなる厚さ１．０μｍ以下の発熱抵抗体層を用いたサー
マルヘッドを提供した（特願昭１１ｉ３−１８４３５６
号）。該サーマルヘッドは印字熱効率において大きく改
良されたが、印字品質は若干薄膜型サーマルヘッドより
劣るものであった。
本発明は印字時定数、熱効率、および印字品質の改善を
目的とするもので印刷焼成法によるサーマルヘッドの改
善に関するものである。
目的とするもので印刷焼成法によるサーマルヘッドの改
善に関するものである。
課題を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明のサーマルヘッドの
製造方法は、基板上に前記基板の特定領域を覆う発熱抵
抗体層と、前記発熱抵抗体層に通電するための電極層と
、前記発熱抵抗体層の全部および電極層の一部を覆う耐
摩耗層とを設け、前記発熱抵抗体層が金属もしくは類金
属を含む有機化合物の分解反応生成物よりなり、かつ成
ＩＶＸ後ドライエツチング法によりパターン化すること
を特徴とするものである。
製造方法は、基板上に前記基板の特定領域を覆う発熱抵
抗体層と、前記発熱抵抗体層に通電するための電極層と
、前記発熱抵抗体層の全部および電極層の一部を覆う耐
摩耗層とを設け、前記発熱抵抗体層が金属もしくは類金
属を含む有機化合物の分解反応生成物よりなり、かつ成
ＩＶＸ後ドライエツチング法によりパターン化すること
を特徴とするものである。
作用
本発明のサーマルヘッドの製造方法は、発熱抵抗体層を
金属もしくは類金属を含む有機化合物の分解反応生成物
により構成することにより、発熱抵抗体層の膜厚が薄く
なり、発熱抵抗体層の熱容量を小さくすることが可能と
なると共に、発熱抵抗体層層の各成分の均一分散が得易
くなるため、発熱印字の時の時定数、印字熱効率、印字
品質などを改善することができる。また、本発明のサー
マルヘッドの製造方法によると、発熱抵抗体層の膜厚が
薄くなるため、ドライエツチング法により発熱抵抗体層
のパターン化を行ない、隣接ドツトと完全に分離させる
ことが可能となり、従来のライン状の発熱抵抗体層を用
いた場合より印字品質を改善することができる。
金属もしくは類金属を含む有機化合物の分解反応生成物
により構成することにより、発熱抵抗体層の膜厚が薄く
なり、発熱抵抗体層の熱容量を小さくすることが可能と
なると共に、発熱抵抗体層層の各成分の均一分散が得易
くなるため、発熱印字の時の時定数、印字熱効率、印字
品質などを改善することができる。また、本発明のサー
マルヘッドの製造方法によると、発熱抵抗体層の膜厚が
薄くなるため、ドライエツチング法により発熱抵抗体層
のパターン化を行ない、隣接ドツトと完全に分離させる
ことが可能となり、従来のライン状の発熱抵抗体層を用
いた場合より印字品質を改善することができる。
実施例
以下に本発明の具体的な実施例を示す。
実施例１
第１図（ａ）、（ｂ）に示す様に、厚さ０．８＋ａｍの
グレーズアルミナ基板１１の上に印刷焼成法によってラ
イン状の発熱抵抗体層（膜厚数千へ） ＋３を形成した
。
グレーズアルミナ基板１１の上に印刷焼成法によってラ
イン状の発熱抵抗体層（膜厚数千へ） ＋３を形成した
。
印刷に用いた発熱抵抗体ペーストは、ルテニウムの脂肪
酸エステル（炭素数７、液体）、鉛の脂肪酸エステル、
硼素の脂肪酸エステル、シリコンの脂肪酸エステル、エ
チルセルロース及びテルピネオールよりなる混合組成ペ
ーストである。成膜後ホトレジストにより必要とする発
熱抵抗体層部をマスキングし、ケミカルドライエツチン
グ法により不要部をエツチングした。エツチングは真空
度；２〜２０Ｐａ、 放電用カニ １〜３ｋＶ１１
００〜４００ｍＡの条件下で行なった。導入ガスとして
は、アルゴン、四弗化炭素、四塩化炭素、−塩化三弗化
炭素、炭化水素、アルコールよりなる群から選ばれた少
なくとも１種類以上のガスを用いて行なった。特に、メ
チルアルコール、エチルアルコール、メタン、エタン、
プロパン、ブタン等のアルコールモジは炭化水素を併用
することにより、発熱抵抗体層のエツチング速度が飛躍
的に向上した。中でも、メチルアルコール、エチルアル
コールが効果が大きかった。
酸エステル（炭素数７、液体）、鉛の脂肪酸エステル、
硼素の脂肪酸エステル、シリコンの脂肪酸エステル、エ
チルセルロース及びテルピネオールよりなる混合組成ペ
ーストである。成膜後ホトレジストにより必要とする発
熱抵抗体層部をマスキングし、ケミカルドライエツチン
グ法により不要部をエツチングした。エツチングは真空
度；２〜２０Ｐａ、 放電用カニ １〜３ｋＶ１１
００〜４００ｍＡの条件下で行なった。導入ガスとして
は、アルゴン、四弗化炭素、四塩化炭素、−塩化三弗化
炭素、炭化水素、アルコールよりなる群から選ばれた少
なくとも１種類以上のガスを用いて行なった。特に、メ
チルアルコール、エチルアルコール、メタン、エタン、
プロパン、ブタン等のアルコールモジは炭化水素を併用
することにより、発熱抵抗体層のエツチング速度が飛躍
的に向上した。中でも、メチルアルコール、エチルアル
コールが効果が大きかった。
これは、理由は定かでないが、放電により炭化水素が分
解して生成した水素ラジカルもしくはメチルラジカル等
が酸化状態にある発熱抵抗体層組成を還元状態とするこ
とによりエツチング速度を高めているものと思われる。
解して生成した水素ラジカルもしくはメチルラジカル等
が酸化状態にある発熱抵抗体層組成を還元状態とするこ
とによりエツチング速度を高めているものと思われる。
以上の成膜法により発熱抵抗体層を形成後、金を含む有
機化合物のペーストの印刷焼成及びホトリソエツチング
によって電極層＋２ａ，＋２ｂを形成し、この王にガラ
スペーストの印刷焼成により耐摩耗層（膜厚的５μｍ）
＋４を形成した。
機化合物のペーストの印刷焼成及びホトリソエツチング
によって電極層＋２ａ，＋２ｂを形成し、この王にガラ
スペーストの印刷焼成により耐摩耗層（膜厚的５μｍ）
＋４を形成した。
実施例２
第２図（ａ）、（ｂ）に示す様に、厚さ０．８ｍｍのグ
レーズアルミナ基板２１の上に金を含むを様化合物のペ
ーストの印刷焼成及びホトリソエツチングによって電極
層２２ａ．２２ｂを形成し、さらに、その上に印刷焼成
によってライン状の発熱抵抗体層（膜厚数千へ）２３を
形成した。印刷に用いた発熱抵抗体ペーストは、ルテニ
ウムの脂肪酸エステル（炭素数７、液体）、鉛の脂肪酸
エステル、硼素の脂肪酸エステル、シリコンの脂肪酸エ
ステル、エチルセルロース及びテルピネオールよりなる
混合組成ペーストである。成膜後ホトレジストにより必
要とする発熱抵抗体層部をマスキングし、実施例１と同
様にしてケミカルドライエツチング法により不要部をエ
ツチングした。
レーズアルミナ基板２１の上に金を含むを様化合物のペ
ーストの印刷焼成及びホトリソエツチングによって電極
層２２ａ．２２ｂを形成し、さらに、その上に印刷焼成
によってライン状の発熱抵抗体層（膜厚数千へ）２３を
形成した。印刷に用いた発熱抵抗体ペーストは、ルテニ
ウムの脂肪酸エステル（炭素数７、液体）、鉛の脂肪酸
エステル、硼素の脂肪酸エステル、シリコンの脂肪酸エ
ステル、エチルセルロース及びテルピネオールよりなる
混合組成ペーストである。成膜後ホトレジストにより必
要とする発熱抵抗体層部をマスキングし、実施例１と同
様にしてケミカルドライエツチング法により不要部をエ
ツチングした。
以上の成膜法により発熱抵抗体層を形成後、この上にガ
ラスペーストの印刷焼成により耐摩耗屑（膜厚的５μｍ
）２４を形成した。
ラスペーストの印刷焼成により耐摩耗屑（膜厚的５μｍ
）２４を形成した。
比較例１
代表的な従来の原模型サーマルヘッドであり、発熱抵抗
体ペーストとして酸化ルテニウム粉末と硼珪酸ガラスフ
リットとエチルセルロースとターピネオールとの混合組
成ペーストを用い、他の構成および材料は実施例１と同
様にしてサーマルヘッドを作成した。
体ペーストとして酸化ルテニウム粉末と硼珪酸ガラスフ
リットとエチルセルロースとターピネオールとの混合組
成ペーストを用い、他の構成および材料は実施例１と同
様にしてサーマルヘッドを作成した。
比較例２
実施例１に用いたのと同じブレースアルミナ基板上に、
旧よりなる電極層、Ｔａ−Ｓ１合金よりなる発熱抵抗体
層、ＳｉＣよりなる耐摩耗層とを各々薄青法により形成
してサーマルヘッドを形成した。
旧よりなる電極層、Ｔａ−Ｓ１合金よりなる発熱抵抗体
層、ＳｉＣよりなる耐摩耗層とを各々薄青法により形成
してサーマルヘッドを形成した。
比較例３
千鳥型電極構造を有する従来の原模型サーマルヘッドに
おいて、ルテニウムの金属化合物を出発原料として、印
刷焼成によってライン状の発熱抵抗体層を形成し、他の
構成および材料は実施例１と同様にしてサーマルヘッド
を作成した。
おいて、ルテニウムの金属化合物を出発原料として、印
刷焼成によってライン状の発熱抵抗体層を形成し、他の
構成および材料は実施例１と同様にしてサーマルヘッド
を作成した。
第１表に本発明の実施例によるサーマルヘッドの特性を
示す。表中の抵抗値ばらつきは各ドツト抵抗値の標準偏
差を平均抵抗値で割った値を示す。
示す。表中の抵抗値ばらつきは各ドツト抵抗値の標準偏
差を平均抵抗値で割った値を示す。
印字濃度ばらつきは、サーマルヘッド形成後の各ドツト
のそれぞれの発熱部の抵抗値を通電過負荷トリミング法
（発熱抵抗体の自己発生ジュール熱により抵抗値を調整
する方法）を用いてトリミングすることにより、発熱部
の抵抗値を±１％以内にそろえた後、０．４Ｗ／ｄｏｔ
、１／４ｄｕｔｙ、ｌａｍｓ／ｃｙｃｌｅの駆動条件で
感熱紙に印字し、各ドツトの発色点の濃度をマイクロ濃
度計で測定した結果を示す。また、時定数は赤外線顕微
鏡により求めた発熱部の温度プロファイルから算出した
。
のそれぞれの発熱部の抵抗値を通電過負荷トリミング法
（発熱抵抗体の自己発生ジュール熱により抵抗値を調整
する方法）を用いてトリミングすることにより、発熱部
の抵抗値を±１％以内にそろえた後、０．４Ｗ／ｄｏｔ
、１／４ｄｕｔｙ、ｌａｍｓ／ｃｙｃｌｅの駆動条件で
感熱紙に印字し、各ドツトの発色点の濃度をマイクロ濃
度計で測定した結果を示す。また、時定数は赤外線顕微
鏡により求めた発熱部の温度プロファイルから算出した
。
第１表
第１表に示すごとく、実施例１〜２に示したサーマルヘ
ッドは、従来の様なガラスフリットをバインダとして用
いたサーマルヘッド（比較例１）より非常に薄い発熱抵
抗体層（膜厚蓋μｍ以下）を得ることができるため、発
熱抵抗体層の熱容量を小さくすることができ、かつ発熱
抵抗体層中の分解反応生成物の均一分散が得られ易いた
め、抵抗値ばらつき、印字濃度ばらつきが小さく、時定
数も小さくなる。また、発熱抵抗体層をエツチングによ
り隣接ドツトと分離独立を図ることにより、構成材料は
同一でライン状の発熱抵抗体層を用いたサーマルヘッド
（比較例３）に較べ、特に、印字品質に関してより優れ
ていることが分かった。
ッドは、従来の様なガラスフリットをバインダとして用
いたサーマルヘッド（比較例１）より非常に薄い発熱抵
抗体層（膜厚蓋μｍ以下）を得ることができるため、発
熱抵抗体層の熱容量を小さくすることができ、かつ発熱
抵抗体層中の分解反応生成物の均一分散が得られ易いた
め、抵抗値ばらつき、印字濃度ばらつきが小さく、時定
数も小さくなる。また、発熱抵抗体層をエツチングによ
り隣接ドツトと分離独立を図ることにより、構成材料は
同一でライン状の発熱抵抗体層を用いたサーマルヘッド
（比較例３）に較べ、特に、印字品質に関してより優れ
ていることが分かった。
なお、実施例１〜２において、発熱抵抗体ペーストに用
いた鉛の脂肪酸エステル、硼素の脂肪酸エステル、シリ
コンの脂肪酸エステルは、これらのうちの１種類もしく
は２種類を用いても同様な結果が得られた。
いた鉛の脂肪酸エステル、硼素の脂肪酸エステル、シリ
コンの脂肪酸エステルは、これらのうちの１種類もしく
は２種類を用いても同様な結果が得られた。
さらに、耐摩耗層として、アルミナ、酸化ジルコニウム
、炭化珪素、窒化珪素、炭化チタンよりなる群から選ば
れた少なくとも１つ以上のセラミック粉末を分散した低
軟化点ガラスの焼成膜を用いたサーマルヘッドも本実施
例のサーマルヘッドが持つ特徴を損ねること無く耐摩耗
性を向上させることができた。
、炭化珪素、窒化珪素、炭化チタンよりなる群から選ば
れた少なくとも１つ以上のセラミック粉末を分散した低
軟化点ガラスの焼成膜を用いたサーマルヘッドも本実施
例のサーマルヘッドが持つ特徴を損ねること無く耐摩耗
性を向上させることができた。
また、金属をもしくは類金属を含む有機化合物として、
ルテニウムの脂肪酸エステルの代わりにルテニウムの多
環式有機化合物、ルテニウムの液体状脂肪酸エステル（
炭素数７）、ルテニウムの固体状脂肪酸エステル（炭素
数２０）の中から少なくとも１種類を用い、鉛、硼素も
しくはシリコンの脂肪酸エステル、鉛のアルコラート、
硼素のアルコラート、シリコンのアルコラートの中から
少なくとも１種類を用いて、エチルセルロース及びテル
ピネオールと混合して作成した混合組成ペーストを印刷
焼成して発熱抵抗体層として用いてもよい。
ルテニウムの脂肪酸エステルの代わりにルテニウムの多
環式有機化合物、ルテニウムの液体状脂肪酸エステル（
炭素数７）、ルテニウムの固体状脂肪酸エステル（炭素
数２０）の中から少なくとも１種類を用い、鉛、硼素も
しくはシリコンの脂肪酸エステル、鉛のアルコラート、
硼素のアルコラート、シリコンのアルコラートの中から
少なくとも１種類を用いて、エチルセルロース及びテル
ピネオールと混合して作成した混合組成ペーストを印刷
焼成して発熱抵抗体層として用いてもよい。
さらに、金属もしくは類金属を含む有機化合物として、
白金族金属、金、銀、ニッケル、クロム、シリコン、ゲ
ルマニウム、タンタル、アルミニウム、ジルコニウム、
チタン、硼素、ビスマス、バナジウム、鉛よりなる群か
ら選ばれた少なくとも１種類以上の金属もしくは類金属
を含む有機化合物であれば前記実施例と同様の効果が得
られた。
白金族金属、金、銀、ニッケル、クロム、シリコン、ゲ
ルマニウム、タンタル、アルミニウム、ジルコニウム、
チタン、硼素、ビスマス、バナジウム、鉛よりなる群か
ら選ばれた少なくとも１種類以上の金属もしくは類金属
を含む有機化合物であれば前記実施例と同様の効果が得
られた。
なお、上記の金属もしくは類金属を含む化合物は、単独
もしくは２種類以上の混合物のいずれでも使用し得る。
もしくは２種類以上の混合物のいずれでも使用し得る。
さらに、金属もしくは類金属を含む有機化合物としては
炭素数が２０までの脂肪酸塩、脂肪酸のエステル、アル
コラート、メルカプチド、環状カルボン酸塩などの多環
式有機金属化合物、その他のレジネート、ロジネートの
単体もしくは２種類以上の混合物であれば良いことが分
かった。
炭素数が２０までの脂肪酸塩、脂肪酸のエステル、アル
コラート、メルカプチド、環状カルボン酸塩などの多環
式有機金属化合物、その他のレジネート、ロジネートの
単体もしくは２種類以上の混合物であれば良いことが分
かった。
発明の効果
以上記載のように、本発明によれば従来の様なガラスフ
リットをバインダに用いないためにその厚さの非常に薄
い発熱抵抗体層を得ることができる。このため発熱抵抗
体層の熱容量が小さくなり薄膜プロセスによるものと同
等になるため印字の時のＯＮ、ＯＦＦ時定数、印字品質
いずれの点でも優れた特性を有するサーマルヘッドが低
コストで連続的に生産できる。
リットをバインダに用いないためにその厚さの非常に薄
い発熱抵抗体層を得ることができる。このため発熱抵抗
体層の熱容量が小さくなり薄膜プロセスによるものと同
等になるため印字の時のＯＮ、ＯＦＦ時定数、印字品質
いずれの点でも優れた特性を有するサーマルヘッドが低
コストで連続的に生産できる。
第１図（ａ）、（ｂ）及び第２図（ａ）、（ｂ）は本発
明の実施例におけるサーマルヘッドの代表的な構成を示
す平面図および断面図、第３図（ａ）、（ｂ）及び第４
図（ａ）、（ｂ）は従来例におけるサーマルヘッドの代
表的な構成を示す平面図及び断面図である。 ＩＩ、２１．３１，４１・・・グレーズアルミナ基板、
１２ａ、＋２ｂ、２２ａ、２２ｂ、３２ａ、３２ｂ、４
２ａ、４２ｂｅ 参ａ電極層、１３．２３，３３，４３
・・・発熱抵抗体層、＋４．２４，３４．４４拳・・耐
摩耗層。
明の実施例におけるサーマルヘッドの代表的な構成を示
す平面図および断面図、第３図（ａ）、（ｂ）及び第４
図（ａ）、（ｂ）は従来例におけるサーマルヘッドの代
表的な構成を示す平面図及び断面図である。 ＩＩ、２１．３１，４１・・・グレーズアルミナ基板、
１２ａ、＋２ｂ、２２ａ、２２ｂ、３２ａ、３２ｂ、４
２ａ、４２ｂｅ 参ａ電極層、１３．２３，３３，４３
・・・発熱抵抗体層、＋４．２４，３４．４４拳・・耐
摩耗層。
Claims (5)
- （１）基板上に前記基板の特定領域を覆う発熱抵抗体層
と、前記発熱抵抗体層に通電するための電極層と、前記
発熱抵抗体層の全部および電極層の一部を覆う耐摩耗層
とを設け、前記発熱抵抗体層が金属もしくは類金属を含
む有機化合物の分解反応生成物よりなり、かつ成膜後ド
ライエッチング法によりパターン化することを特徴とす
るサーマルヘッドの製造方法。 - （２）発熱抵抗体層をパターン化するドライエッチング
法が、低級アルコールを用いたケミカルドライエッチン
グ法である請求項１に記載のサーマルヘッドの製造方法
。 - （３）低級アルコールがメチルアルコールである請求項
２に記載のサーマルヘッドの製造方法。 - （４）金属もしくは類金属を含む有機化合物が白金族金
属、金、銀、ニッケル、クロム、シリコン、ゲルマニウ
ム、タンタル、アルミニウム、ジルコニウム、チタン、
硼素、ビスマス、バナジウム、鉛よりなる群から選ばれ
た少なくとも一種類以上の金属もしくは類金属を含む有
機化合物である請求項１から３のいずれか一項に記載の
サーマルヘッドの製造方法。 - （５）金属もしくは類金属を含む有機化合物が炭素数が
２０までの脂肪酸塩、脂肪酸のエステル、アルコラート
、メルカプチド、多環式有機金属化合物、その他のレジ
ネート、ロジネートの単体もしくはいずれかの混合物で
ある請求項１から４のいずれか一項に記載のサーマルヘ
ッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63301177A JPH02147254A (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | サーマルヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63301177A JPH02147254A (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | サーマルヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02147254A true JPH02147254A (ja) | 1990-06-06 |
Family
ID=17893714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63301177A Pending JPH02147254A (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | サーマルヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02147254A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0478546A (ja) * | 1990-07-20 | 1992-03-12 | Rohm Co Ltd | サーマルプリントヘッドの製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56111229A (en) * | 1980-01-25 | 1981-09-02 | Chiyou Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai | Dry etching method of insulation film |
| JPS6063174A (ja) * | 1983-09-17 | 1985-04-11 | Alps Electric Co Ltd | サ−マルヘッドの製法 |
| JPS62119057A (ja) * | 1985-11-20 | 1987-05-30 | Oki Electric Ind Co Ltd | サ−マルヘツド及びその製造方法 |
| JPS62292453A (ja) * | 1986-06-11 | 1987-12-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サ−マルヘツド |
-
1988
- 1988-11-29 JP JP63301177A patent/JPH02147254A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56111229A (en) * | 1980-01-25 | 1981-09-02 | Chiyou Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai | Dry etching method of insulation film |
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| JPS62119057A (ja) * | 1985-11-20 | 1987-05-30 | Oki Electric Ind Co Ltd | サ−マルヘツド及びその製造方法 |
| JPS62292453A (ja) * | 1986-06-11 | 1987-12-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サ−マルヘツド |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH0478546A (ja) * | 1990-07-20 | 1992-03-12 | Rohm Co Ltd | サーマルプリントヘッドの製造方法 |
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