JPH02154164A - 半導体テスト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体素子のバッチ処理テスト装置に関するも
のである。

〔従来の技術〕

第２図は従来の半導体テスト装置を示すブａンク図であ
る。この第２図において、ｆ１＋はテスター（３）はテ
スター（１）と接続し、複数の半導体素子を接続するソ
ケットを有し１度にテストを行うための治具（以下テス
トトレーと呼ぶ。）　、（５１は被測定半導体素子、（
ａｌ）、　（ａ２）はそれぞれテスターｆｌ）とテスト
トレー（３）の両者の端部に設けられこれらを接続する
ためのコネクターである。

次に動作について説明する。上記のように装置を接続し
、テストトレー（３）を恒温槽に入れ、測定を行なう環
境条件にした後にテスター（１）を動作させる。テスタ
ーｆｌ）はテストトレー（３）に接続された各半導体素
子（５）それぞれについてテストを行なう。

テスト終了後テスト結果はテスター（１１よりプリント
アウトされる。プリントアウトされた結果とテストトレ
ー（３）に接続されている半導体素子（５）を照合し選
別する。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の半導体テスト装置は以上のように構成されている
のでテスター（１１よりプリントアウトされたテスト結
果の指示とテストトレー（３）に接続された半導体素子
（５）の照合をテストトレー（３）上に記されている番
号により行なっていた。そしてその作業にはミスが非常
に多いという欠点があった。

本発明は上記のような欠点を解消するためになされたも
ので、半導体素子を複数個同時にテストするに際し、テ
スト結果の指示とテストトレー上の半導体素子を照合す
る作業を無くし良品、不良品に選別するときのミスを少
なくすることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係わる半導体素子の試験装置は、複数の半導体
素子を同時に同一環境条件で測定するテスターと、この
テスターと接続されると共に前記複数の半導体素子を収
容し前記テスターと接続される複数のソケットを存する
測定治具とを備えたものにおいて、前記テスターとはオ
ンラインで接続され前記複数の半導体素子個別の測定結
果を記憶し出力する記憶装置と、前記複数のソケットに
対応してこのソケットに接続される前記半導体素子の良
否を前記記憶手段からの測定データに応じて表示する表
示手段を備えたことを特徴とする半導体素子の試験装置
である。

（作用〕 本発明によれば測定結果と被検査半導体素子との照合を
行なう必要がなくなる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図に従って説明する。

第１図は本発明をブロック図で示したものである。

図において第２図と同一部分または相当部分には同一符
号を付す。ｉｌｌはテスター、（２）はテスターから受
は取ったテスト結果を記憶してテストトレー（３）に表
示の指示と与える機能を持った装置（以下判定指示装置
と記す、　）　＋３１はＬＥＤによるテスト結果表示機
能を付は加えたテストトレー、（４）はテスト結果表示
手段としてテストトレー（３）に付加されたＬ　Ｅ　Ｄ
　、　＋５１は被測定半導体素子、　Ｃａ１）はテスタ
ーに設けたコネクター、（ｂｌ）は判定指示装置に設け
たコネクターである。　（ａ２）はテスターｆｉｌと接
続するためにテストトレー（３）に設けられたコネクタ
ー、（ｂ２）は判定指示装置（２）と接続するためにテ
ストトレー（３）に設けられたコネクターである。

次に動作について説明する。初めにテストトレー（３）
に検査する半導体素子（５）を接続しておきそのコネク
ター（ａ２）とテスター（１）のコネクター（ａｌ）と
を接続する。テストトレー（３）を恒温槽に入れ測定を
行なう環境条件にした後に、テスター（１）によりテス
トを実行する。テスター（１１と判定指示装置（２）は
オンラインで接続されており、テスター（１）はテスト
終了後テスト結果を判定指示装置（２）に入力する０判
定指示装置（２）では送られたデータを記憶しておく。

次にテストトレー〈３）を恒温槽から取り出し、テスタ
ー（１）との接続を外す０判定指示装置（２）のコネク
ター（ｂｌ）とテストトレー（３）のコネクター（ｂ２
）とを接Ｍ”Ｔ、、判定指示装置（２）からテストトレ
ー（３）にテスト結果を入力する。テストトレー（３）
ではこれを受けてそれぞれの半導体素子（５）について
各々のＬ　Ｅ　Ｄ　（４１によりテスト結果を表示する
。最後に、この表示にもとすき半導体素子（５）を選別
する。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、複数の半導体素子を同時
に同一環境条件で測定するテスターと、このテスターと
接続されると共に前記複数の半導体素子を収容し前記テ
スターと接続される複数のソゲ・／トを有する測定治具
とを備えたものにおいて、前記テスターとはオンライン
で接続され前記複数の半導体素子個別の測定結果を記憶
し出力する記憶装置と、前記複数のソケットに対応して
このソゲノドに接続される前記半導体素子の良否を前記
記憶手段からの測定データに応じて表示する表示手段を
備えたことにより、各々の半導体素子とそのテスト結果
が一目でわかり、これまでのように被測定半導体素子と
出力されたテスト結果を照合する必要がなくなる。これ
によりテスト結果による半導体素子の選別が非常に容易
となり、また選別ミスも大幅に削減できると考えられる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を利用した実施例をブロック図で示した
ものである。第２図は従来のテスト装置を示したブロッ
ク図である。 ｉｌ＋・・・テスター、（２）・・・判定指示装置、（
３）・・・テストトレー、（４）・・・ＬＥＤ、（５）
・・・測定用半導体素子。 （ａｌ）、　（ａ２）、　（ｂｌ）、　（ｂ２１・・コ
ネクターなお、各図中同一符号は同一または相当部分を
示す。 代理人　　　　大　　岩　　増　　雄 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数の半導体素子を同時に同一環境条件で測定するテス
   ターと、このテスターと接続されると共に前記複数の半
   導体素子を収容し前記テスターと接続される複数のソケ
   ットを有する測定治具とを備えたものにおいて、前記テ
   スターとはオンラインで接続され前記複数の半導体素子
   個別の測定結果を記憶し出力する記憶装置と、前記複数
   のソケットに対応してこのソケットに接続される前記半
   導体素子の良否を前記記憶手段からの測定データに応じ
   て表示する表示手段を備えたことを特徴とする半導体テ
   スト装置。