JPH0215646A - Ｉｃウエハテスト方法 - Google Patents
Ｉｃウエハテスト方法Info
- Publication number
- JPH0215646A JPH0215646A JP63165331A JP16533188A JPH0215646A JP H0215646 A JPH0215646 A JP H0215646A JP 63165331 A JP63165331 A JP 63165331A JP 16533188 A JP16533188 A JP 16533188A JP H0215646 A JPH0215646 A JP H0215646A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test
- wafer
- testing
- wafer test
- stored
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- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は２回以上同−ウエバをテストするウェハテス
トにおいて、メモリ媒体を使用したＩＣウェハテスト方
法に関するものである。
トにおいて、メモリ媒体を使用したＩＣウェハテスト方
法に関するものである。
第２図は従来、２回以上ウェハテストを行なっているＩ
Ｃウェハテスト方法に関するフローチャートであり、（
ＩＩ）はウェハテスト（Ｉ）、（２）はウェハテスト（
ＩＩ）である。
Ｃウェハテスト方法に関するフローチャートであり、（
ＩＩ）はウェハテスト（Ｉ）、（２）はウェハテスト（
ＩＩ）である。
次に動作について説明する。同一ウェハにおいて、ウェ
ハ上の全チップのウェハテスト（Ｉ） （ＩＩ）を行っ
た後、ウェハ上の全チップのウェハテスト（ＩＩ） （
２）を実施する。
ハ上の全チップのウェハテスト（Ｉ） （ＩＩ）を行っ
た後、ウェハ上の全チップのウェハテスト（ＩＩ） （
２）を実施する。
従来の２回以上ウェハテストを実施するものは以上のよ
うに構成されているので、全チップに対してテストしな
ければならず、ウェハごとのテスト処理時間が長（なっ
たり、固定プローブ針の摩耗が早いなどの問題があり、
その対策が課題であった。
うに構成されているので、全チップに対してテストしな
ければならず、ウェハごとのテスト処理時間が長（なっ
たり、固定プローブ針の摩耗が早いなどの問題があり、
その対策が課題であった。
この発明は上記のような課題を解決するためになされた
もので、ウェハごとのテスト処理時間を短縮することが
できるとともに、固定プローブ針の摩耗を低減すること
を目的とする。
もので、ウェハごとのテスト処理時間を短縮することが
できるとともに、固定プローブ針の摩耗を低減すること
を目的とする。
この発明に係るテスト方法はウェハテスト（Ｉ）の結果
をメモリ媒体に記憶させ、ウェハテスト（ＩＩ）におい
てメモリ媒体よりテスト結果を読み出し、すでに不良と
なっているものはテストを実施せず、良品となっている
ものだけをテストするようにしたものである。
をメモリ媒体に記憶させ、ウェハテスト（ＩＩ）におい
てメモリ媒体よりテスト結果を読み出し、すでに不良と
なっているものはテストを実施せず、良品となっている
ものだけをテストするようにしたものである。
この発明におけるウェハテスト方法は２回以上ウェハテ
ストを実施するウエノ１テストにおいてメモリ媒体に記
憶されたテスト結果を使用してウェハテストを実施する
ことにより、良品だけをテストすることが可能となり、
テスト時間の短縮、固定プローブ針の摩耗の低減を可能
とする。
ストを実施するウエノ１テストにおいてメモリ媒体に記
憶されたテスト結果を使用してウェハテストを実施する
ことにより、良品だけをテストすることが可能となり、
テスト時間の短縮、固定プローブ針の摩耗の低減を可能
とする。
第１図はこの発明の一実施例によるＩＣウェハテスト方
法のフローチャートであり、（ＩＩ）はウエノ１テスト
（Ｉ）、 （２）はウェハテスト（ＩＩ）、（３）はテ
スト結果を記憶するフロッピーデスクを示している。
法のフローチャートであり、（ＩＩ）はウエノ１テスト
（Ｉ）、 （２）はウェハテスト（ＩＩ）、（３）はテ
スト結果を記憶するフロッピーデスクを示している。
以下、動作について説明する。ウェハテスト（Ｉ）（Ｉ
Ｉ）においてテストを実施しながら、ウェハ上のチップ
対応のテスト結果をフロッピーディスク（３）（以下Ｆ
Ｄと示す）に記憶させる。次にウエノ）テス） （ＩＩ
） （２）を実施する際、ウェハテスト（Ｉ） （ＩＩ
）の結果を記憶させたＦ Ｄ （３）よりテスト結果を
読み出し、ウェハテスト（Ｉ）において良品となったチ
ップのみのテストを実施させる。
Ｉ）においてテストを実施しながら、ウェハ上のチップ
対応のテスト結果をフロッピーディスク（３）（以下Ｆ
Ｄと示す）に記憶させる。次にウエノ）テス） （ＩＩ
） （２）を実施する際、ウェハテスト（Ｉ） （ＩＩ
）の結果を記憶させたＦ Ｄ （３）よりテスト結果を
読み出し、ウェハテスト（Ｉ）において良品となったチ
ップのみのテストを実施させる。
なお、上記実施例では、メモリ媒体としてフロッピーデ
ィスク（３）を示したが、ハードディスク・磁気テープ
等信のメモリ媒体でも構わない。また、上記実施例では
ウェハテストＩ（ＩＩ）とウェハテスト１（２）は続け
て行われているが、間に別の作業が入っても構わない。
ィスク（３）を示したが、ハードディスク・磁気テープ
等信のメモリ媒体でも構わない。また、上記実施例では
ウェハテストＩ（ＩＩ）とウェハテスト１（２）は続け
て行われているが、間に別の作業が入っても構わない。
以上のように、この発明によれば２回以上ウェハテスト
を行なう同一ウェハにおいてウェハテストをメモリ媒体
を使用してテストするように構成したので、テスト時間
が短縮でき、また固定プローブの摩耗を低減する効果が
ある。
を行なう同一ウェハにおいてウェハテストをメモリ媒体
を使用してテストするように構成したので、テスト時間
が短縮でき、また固定プローブの摩耗を低減する効果が
ある。
第１図はこの発明の一実施例によるＩＣウェハテスト方
法のブロック図、第２図は従来例によるウェハテスト方
法のブロック図である。 図において（ＩＩ）はウェハテスト（Ｉ）、（２）はウ
ェハテスト（ＩＩ）、 （３）はフロッピーディスクで
ある。なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示
す。
法のブロック図、第２図は従来例によるウェハテスト方
法のブロック図である。 図において（ＩＩ）はウェハテスト（Ｉ）、（２）はウ
ェハテスト（ＩＩ）、 （３）はフロッピーディスクで
ある。なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示
す。
Claims (1)
- ウェハテスト（Ｉ）結果をメモリ媒体に記憶させ、記憶
させた情報を用いて、ウェハテスト（II）を実施するこ
とを特徴とするＩＣウェハテスト方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63165331A JPH0215646A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | Ｉｃウエハテスト方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63165331A JPH0215646A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | Ｉｃウエハテスト方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0215646A true JPH0215646A (ja) | 1990-01-19 |
Family
ID=15810305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63165331A Pending JPH0215646A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | Ｉｃウエハテスト方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0215646A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6042109A (en) * | 1997-08-29 | 2000-03-28 | Hewlett-Packard Company | Sheet feeding device with compact media path for paper-based and photographic media |
-
1988
- 1988-07-01 JP JP63165331A patent/JPH0215646A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6042109A (en) * | 1997-08-29 | 2000-03-28 | Hewlett-Packard Company | Sheet feeding device with compact media path for paper-based and photographic media |
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