JPH03270149A - 半導体装置の検査方法 - Google Patents
半導体装置の検査方法Info
- Publication number
- JPH03270149A JPH03270149A JP7031490A JP7031490A JPH03270149A JP H03270149 A JPH03270149 A JP H03270149A JP 7031490 A JP7031490 A JP 7031490A JP 7031490 A JP7031490 A JP 7031490A JP H03270149 A JPH03270149 A JP H03270149A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- inspection
- test
- results
- conditions
- Prior art date
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- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半導体装置の電気的特性の検査方法に関する
。
。
［従来の技術］
従来の半導体装置の検査方法は、専用の検査装置により
半導体装置が良品もしくは不良品と識別［課題を解決す
るための手段］ 本発明の半導体装置の検査方法は、異なる複数の検査項
目から戊り立つ一連の電気的特性検査におち・て、個々
の半導体装置の検査項目ごとの測定結果により引き続く
検査項目内容を変更することを特徴とする特 ［作用］ 半導体装置の特性は製造時の熱履歴、イオン打ち込み量
、パターンサイズ等に大きく影響される。半導体装置は
上記製造時のパラメータの変動分を考慮して検査規格が
決められている。このため全ての変動分を含む形で検査
内容を決定しているため、個々の半導体装置にとっては
効率が悪い。
半導体装置が良品もしくは不良品と識別［課題を解決す
るための手段］ 本発明の半導体装置の検査方法は、異なる複数の検査項
目から戊り立つ一連の電気的特性検査におち・て、個々
の半導体装置の検査項目ごとの測定結果により引き続く
検査項目内容を変更することを特徴とする特 ［作用］ 半導体装置の特性は製造時の熱履歴、イオン打ち込み量
、パターンサイズ等に大きく影響される。半導体装置は
上記製造時のパラメータの変動分を考慮して検査規格が
決められている。このため全ての変動分を含む形で検査
内容を決定しているため、個々の半導体装置にとっては
効率が悪い。
一方、−半導体装置内ではこれらのパラメータは安定し
ている。したがって、同内容の検査項目では、同様の検
査結果となることが多い。このため、上記のように検査
項目ごとの結果で引き続く検査内容を変えることで効率
的な検査をすることができるのである。
ている。したがって、同内容の検査項目では、同様の検
査結果となることが多い。このため、上記のように検査
項目ごとの結果で引き続く検査内容を変えることで効率
的な検査をすることができるのである。
［実施例コ
以下に本発明の実施例をフローチャートにもとづいて説
明する。
明する。
第１図において、最初に半導体装置の基本的特性を検査
する（α）。半導体装置の基本的特性とはトランジスタ
のしきい値電圧、電流増幅率、各種抵抗値等をさす。基
本的特性の検査結果より、半導体装置の機能試験時の検
査条件を決定し分岐実行する（ｂ−ｔ）。個々の検査項
目からも次の検査結果が予測される場合はそれにそうか
たちで検査条件を変更実行する（ ／−ｙ ）。
する（α）。半導体装置の基本的特性とはトランジスタ
のしきい値電圧、電流増幅率、各種抵抗値等をさす。基
本的特性の検査結果より、半導体装置の機能試験時の検
査条件を決定し分岐実行する（ｂ−ｔ）。個々の検査項
目からも次の検査結果が予測される場合はそれにそうか
たちで検査条件を変更実行する（ ／−ｙ ）。
検査条件の決定は、■良品、不良品を確実に判別するこ
と、■検査時間をできるだけ短いものとすることの２点
を満足するかたちで行う。例えば、従来は電圧条件を規
格値の最大、中央、最小のすべての条件で検査していた
のを、前検査のトランジスタのしきい値電圧測定結果よ
りその半導体装置は最小の電圧条件で動作しづらいこと
が判っていれば最小の条件でのみ検査を行う。また、し
きい値電圧、電流増幅率、配線抵抗値からその半導体装
置の最高動作速度を予測し、できるだけ早い速度で機能
試験を行う。逆に前検査結果より通常の検査項目だけで
は不良を検出できないことが予想される場合はその試験
を追加する。
と、■検査時間をできるだけ短いものとすることの２点
を満足するかたちで行う。例えば、従来は電圧条件を規
格値の最大、中央、最小のすべての条件で検査していた
のを、前検査のトランジスタのしきい値電圧測定結果よ
りその半導体装置は最小の電圧条件で動作しづらいこと
が判っていれば最小の条件でのみ検査を行う。また、し
きい値電圧、電流増幅率、配線抵抗値からその半導体装
置の最高動作速度を予測し、できるだけ早い速度で機能
試験を行う。逆に前検査結果より通常の検査項目だけで
は不良を検出できないことが予想される場合はその試験
を追加する。
このように同一機種の半導体製造装置の検査条件を前検
査結果より変更することで平均検査時間の短縮と不良混
入率の低減を実現することができ、効率よく検査するこ
とができる。
査結果より変更することで平均検査時間の短縮と不良混
入率の低減を実現することができ、効率よく検査するこ
とができる。
［発明の効果コ
本発明により、半導体装置単位での、検査結果から予想
される試験の除去・追加２機能試験の高速化による検査
の最適化が行え、その結果検査時間の短縮によるコスト
ダウン及び必要な検査追加による信頼性向上が可能であ
る。
される試験の除去・追加２機能試験の高速化による検査
の最適化が行え、その結果検査時間の短縮によるコスト
ダウン及び必要な検査追加による信頼性向上が可能であ
る。
第１図
第１図は、本発明の半導体装置の検査方法の７０−チャ
ート。 第２図は、従来の半導体装置の検査方法のフローチャー
ト。 以上
ート。 第２図は、従来の半導体装置の検査方法のフローチャー
ト。 以上
Claims (1)
- 半導体装置の異なる複数の検査項目から成り立つ一連
の電気的特性検査において、個々の半導体装置の検査項
目ごとの測定結果により引き続く次の検査項目内容を変
更することを特徴とする半導体装置の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7031490A JPH03270149A (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 半導体装置の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7031490A JPH03270149A (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 半導体装置の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03270149A true JPH03270149A (ja) | 1991-12-02 |
Family
ID=13427871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7031490A Pending JPH03270149A (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 半導体装置の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03270149A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110749813A (zh) * | 2018-07-24 | 2020-02-04 | 华邦电子股份有限公司 | 测试系统及适应性测试制法产生方法 |
-
1990
- 1990-03-20 JP JP7031490A patent/JPH03270149A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110749813A (zh) * | 2018-07-24 | 2020-02-04 | 华邦电子股份有限公司 | 测试系统及适应性测试制法产生方法 |
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