JPH02156568A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPH02156568A JPH02156568A JP63311212A JP31121288A JPH02156568A JP H02156568 A JPH02156568 A JP H02156568A JP 63311212 A JP63311212 A JP 63311212A JP 31121288 A JP31121288 A JP 31121288A JP H02156568 A JPH02156568 A JP H02156568A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- state image
- insulating film
- electrode
- interlayer insulating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 abstract description 11
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 abstract description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は受光素子部と電荷転送部を有する２次元ＣＯＤ
固体撮像素子に関し、特に多層配線電極の構造に関する
。
固体撮像素子に関し、特に多層配線電極の構造に関する
。
従来、この種の固体撮像素子の多層配線電極の構造とし
ては、第３図の如く受光素子部１に隣接した下部電極２
と上部電極３の重なり部分において、下部電極２及び上
部電極３が受光素子部１にほぼ接する構造となっていた
。
ては、第３図の如く受光素子部１に隣接した下部電極２
と上部電極３の重なり部分において、下部電極２及び上
部電極３が受光素子部１にほぼ接する構造となっていた
。
上述した従来の多層配線電極の構造では電極の重なる部
分が受光素子部にほぼ接する構造となっているので、こ
れらの電極を覆う層間絶縁膜を平滑化する場合に、特に
受光素子部の長手方向に接する電極の重なり部分の角が
露出しやすいため、上部電極とこの上に形成される配線
とが短絡して固体撮像素子が不良になるという欠点があ
る。
分が受光素子部にほぼ接する構造となっているので、こ
れらの電極を覆う層間絶縁膜を平滑化する場合に、特に
受光素子部の長手方向に接する電極の重なり部分の角が
露出しやすいため、上部電極とこの上に形成される配線
とが短絡して固体撮像素子が不良になるという欠点があ
る。
また、電極の重なり部分の角が露出しないように層間絶
縁膜を十分に厚くした場合には受光素子の特性が悪化す
るという欠点がある。
縁膜を十分に厚くした場合には受光素子の特性が悪化す
るという欠点がある。
上述した従来の固体撮像素子の多層配線電極の構造に対
し、本発明は電極の重なり部分の角がこの上に形成され
る層間膜上に突き出る事なく層間膜をできるだけ薄くす
る事ができるという相違点を有する。
し、本発明は電極の重なり部分の角がこの上に形成され
る層間膜上に突き出る事なく層間膜をできるだけ薄くす
る事ができるという相違点を有する。
本発明の固体撮像素子は受光素子に隣接した多層配線電
極の重なり部分において、電極パターンが切り欠かれた
構造を有している。
極の重なり部分において、電極パターンが切り欠かれた
構造を有している。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の実施例１の平面図である。受光素子部
１に隣接した下部電極２と上部電極３の重なり部分にお
いて、下部電極２が受光素子部１から少なくとも上部電
極３の厚さに相当する距離以上の間隔をあけて切り欠か
れた構造をしている。
１に隣接した下部電極２と上部電極３の重なり部分にお
いて、下部電極２が受光素子部１から少なくとも上部電
極３の厚さに相当する距離以上の間隔をあけて切り欠か
れた構造をしている。
第２図は本発明の実施例２の平面図である。受光素子部
１に隣接する下部電極２と上部電極３０重なり部分にお
いて、上部電極３が受光素子部１から任意の間隔をあけ
て切り欠かれた構造をしている。この実施例では上部電
極３が切り欠かれているため実施例１に比較して上部電
極３の角が受光素子部１より一層離すことができる利点
がある。
１に隣接する下部電極２と上部電極３０重なり部分にお
いて、上部電極３が受光素子部１から任意の間隔をあけ
て切り欠かれた構造をしている。この実施例では上部電
極３が切り欠かれているため実施例１に比較して上部電
極３の角が受光素子部１より一層離すことができる利点
がある。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は固体撮像素子の受光素子部
に隣接した多層配線電極の重なり部分において電極パタ
ーンが切り欠かれた構造にすることにより上部電極の角
が層間絶縁膜より露出して固体撮像素子が不良になる危
険を回避しながら層間絶縁膜を２０〜３０％程度薄くす
ることができ、これにより受光素子面積で規定された入
射光量に対して層間絶縁膜中での光の吸収を低減できる
ため受光素子内部に達する光量が増加して、ひいては固
体撮像素子の感度を向上できる効果がある。
に隣接した多層配線電極の重なり部分において電極パタ
ーンが切り欠かれた構造にすることにより上部電極の角
が層間絶縁膜より露出して固体撮像素子が不良になる危
険を回避しながら層間絶縁膜を２０〜３０％程度薄くす
ることができ、これにより受光素子面積で規定された入
射光量に対して層間絶縁膜中での光の吸収を低減できる
ため受光素子内部に達する光量が増加して、ひいては固
体撮像素子の感度を向上できる効果がある。
第１図は本発明の構造による実施例１の平面図、第２図
は実施例２の平面図、第３図は従来構造の平面図である
。 １・・・・・・受光素子部、２・・・・・・下部電極、
３・・・・・・上部電極。 代理人 弁理士 内 原 晋 １：受尤素１部 ２：丁名Ｐ電」８ ３：上−＃電紳 茅 １１！ｒ
は実施例２の平面図、第３図は従来構造の平面図である
。 １・・・・・・受光素子部、２・・・・・・下部電極、
３・・・・・・上部電極。 代理人 弁理士 内 原 晋 １：受尤素１部 ２：丁名Ｐ電」８ ３：上−＃電紳 茅 １１！ｒ
Claims (1)
- 受光素子部に隣接した多層配線電極の重なり部分におい
て、電極パターンが切り欠かれた構造を有する固体撮像
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63311212A JPH02156568A (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63311212A JPH02156568A (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02156568A true JPH02156568A (ja) | 1990-06-15 |
Family
ID=18014453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63311212A Pending JPH02156568A (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02156568A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01303975A (ja) * | 1988-06-01 | 1989-12-07 | Nec Corp | 固体撮像素子 |
| JPH0250683A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-20 | Nec Corp | インターライン転送型固体撮像素子の駆動方法 |
| JPH0254581A (ja) * | 1988-08-17 | 1990-02-23 | Nec Kyushu Ltd | 固体撮像素子 |
-
1988
- 1988-12-08 JP JP63311212A patent/JPH02156568A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01303975A (ja) * | 1988-06-01 | 1989-12-07 | Nec Corp | 固体撮像素子 |
| JPH0250683A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-20 | Nec Corp | インターライン転送型固体撮像素子の駆動方法 |
| JPH0254581A (ja) * | 1988-08-17 | 1990-02-23 | Nec Kyushu Ltd | 固体撮像素子 |
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