JPH02169184A - 金属管の真空封止装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、容器内を真空に封止する装置に係り。

特に、容器内を所定の真空度に対し、バラツキ無く真空
封止するのに好適な装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の装置は、特開昭５６−６３７８０号公報に記載さ
れ、第１図に示すように５封止用金属管２の先端に真空
源１５を装着し、封止用金属管２．及び。

その先の貯槽１を真空引きした後、封ｆ用金ｇｔＭ？を
加圧ヘッド５で挟んで、管の壁を密着させた後。

通電加熱し、真空封止を行っている。なお、この他に、
関連するものに特開昭５８−１５４４６４号公報があり
、これははじめ、管内壁に溶剤を塗布し同様の手順で溶
着封止を行うものである。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、封止用金属管とこの金属管。

及び、貯槽を真空にする真空源との接続法について考慮
がされておらず、 （１）接続部での洩れ （２）接続に腹雑な操作を要し、自動化が困雅（３）封
止用金属管が長くなる。

という問題点があった。

即ち、第３図の公知例では、封止用金属管２を真空接続
口２０に挿入し１弾力性密封部材１８に空圧源１９より
空気を供給して金属管の外周周りに膨らませて、仮密封
した後、真空源１５で金属管２．貯槽１から成る容器３
を真空引きする。その後、所定の真空度適例いた後、加
圧ヘッド５で、金属管２を挟み、管の壁を互いに強く密
着させた後、その壁を溶接し、真空封止している。

しかし、この方法では、 （１）弾力性密封部材で金属管との間を仮密封している
が、金属管の外径２表面粗さを高精度に加工しないと、
仮密封が困難で、封止後も、真空封止ができなくて、貯
槽に空気の残留する恐れがある。又、金属管を弾力性密
封部材１８の中へ挿入する時、金属管端面で弾力性密封
部材を傷つけ、所定の真空度に到達せずに封入する恐れ
がある。

金属管の外周を加工し、外径を均一にし表面粗さを高精
度にするには、多大の工数を要する。

（２）封止時、金属管を押し潰して、管壁を互いに密着
させる操作が要るため１弾力性密封部材１８と金属管２
の仮密封位置は、金属管の加圧ヘッドによる封正位百よ
りも十分に離し、金属管を押し潰しても変形の及ばぬ位
置にする必要があり、封止用金属管を長くせざるを得な
い。

（３）その他にも真空源と金属管の接続法とし、ねじ込
み継手を用いる方法もあるが、真空に対する信頼性と繰
作の容易さに欠けるという問題点があった。

（４）また、１８接時、金属管の内面が真空で、外面側
が大気圧のため５圧力差により、金ｍ溶融時に溶は落ち
、溶接不良となる恐れがあった。

（５）更に、加圧ヘッドに通電し、金属管壁を溶接する
際に、加圧ヘッドが過熱し、金属が溶着して、以後、溶
接が不安定になるという問題があった。

本発明の目的は、 （１）真空封止する容器を常に一定の所定の真空度で、
且つ、能率良く封止すること、 （２）ｉｆｌ接する金属管の内外面の圧力差を無くシ。

金属溶融時の溶は落ちを防ぎ、溶接不良を防止すること （３）金属管を溶接する際に加圧ヘッドに金属が溶着す
ることを防ぎ、安定した溶接封止を行うこと を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は容器に収納する物質をＭ蔵するＩ′ｌ？槽と
貯槽の上部に取付けた金属管より構成した容器を開閉扉
より真空容器の中に入れ、この真空容器内を真空排気す
ることにより、容器の内外を所定の真空度とし、しかる
後に、金属管を真空容器内の加圧ヘッドで圧着し、適当
な通電加圧条件で溶接することにより達成される。

〔作用〕

容器は真空容器の開閉扉より、出し入れする。

開閉扉は、必要真空度に応じて、（４頼性の高い確実な
シール機構を選択採用できるので、封止する容器の交換
毎に容器内の到達真空度（真空封」−後の容器内真空度
）がバラツクことかない。

真空容器に入れて、真空排気するので、封止容器交換毎
の真空源との接続が不要となる。又、そのため、金属管
を高精度に加トすることが不要となる。更に、金５ｃ管
は、圧着後１通電溶接される長さ丈あれば良い。

金属管の内外を真空引きするので、内外で圧力差が無い
ので、薄肉金属管の場合でも、全５Ｉ管溶接時、）容融
全属が溶は落ちることが無く、溶接可能条件範囲が広く
なる。

封止する容器の内外の真空度を所定の値にした後、加圧
シリンダの加圧力と加圧時間１通電量と通′社時間、通
電と加圧のタイミングを調“）さすることにより、加圧
ヘラ１−の過熱を防ぎ、加圧ヘッドに金属の溶着するの
を防ぐ。

〔実施例〕

以下１本発明の一実施例を第１図により説明する。

真空封止される容器３の金属管２を挟むように対向して
、溶接時のｆｆ１ｌ’＋を段用する加圧ヘッド５が配置
され、この加圧ヘッド５は、スライトロツドロの先端に
装着されている。スライドロッド６は電極部軸受１１に
よって支持され、電極部軸受１１とスライドロッドには
Ｏリング９が、設置されている。真空容器４には真空容
器フランジ１２が設置され、このフランジ１２Ｎこ電極
部軸受１１が、テフロン製の絶縁スペーサ１０を介して
取付けられている。真空容器フランジ１２．電極部軸受
１１にはシールのため、Ｏリング８．７が装着されてい
る。スライドロッド６の後端には、加圧シリンダ１３が
装着され、溶接電源１４が接続されている。

真空容器４の端面には、封止する容器３を出し入れする
ための開閉扉１７が装着され１間に装入された０リング
１７でシールされている。又、真空容器４は真空源であ
る真空ポンプ１５と恒久的に接続されている。

真空容器の開閉Ｂ％１７より真空容器４内に挿入された
容器３は、真空容器４内が真空ポンプ１５により真空排
気されるに伴い、容器３の貯槽１゜封止用金属管２とも
真空となる。所定の真空度が得られると、先ず、加圧シ
リンダ１３がｇ勤し、スライドロッド６が、電極部軸受
１１内を滑り。

スライドロッド６の先端の加圧ヘッド５が、左右より封
止用金属管２を押し、金属管壁を密着させる。その後、
加圧しながら、電源１４より通電することにより、金属
管２ｇを溶接する。溶接電源１４はスライドロッド６に
接続され、スライドロッド６が絶縁スペーサ１０により
真空容器・１と電気的に絶縁されているので、溶接電流
は溶１妾電源１・１よりスライドロッド６を通して金属
管２．対向側の加圧ヘッド５．スライドロッド６と流れ
て溶接される。

金属管溶接時の加圧力、加圧時間１通電量２通電時間９
通電と加圧のタイミング、間隔は第２図のパターンで実
施する。加ｆ丁ヘッドと金属管接触後、−回目の通電を
行い、加圧状態で１通電を一時停止後、第二回目の通電
を行う。

二回目通電停止後も加圧のまま溶接部を冷却する。−同
口通電の完了後の通電停止、Ｉ−により、加圧ヘッドの
温度がＦす、過熱を防ぐ。又、加圧状態で冷却すること
により、溶接変形やスプリングバックを防ぐ。

本実施例によれば、絶縁スペーサ１０で、電気的絶縁と
真空シールとを行い、加圧シリンダを真空容器４外へ出
すことにより、真空容器の大きさを封止する金属容器の
大きさに対し過度にならぬよう効率的な大きさにするこ
とができ、容器製作上のコスト低減と、真空排気を容易
にすることができる。

〔発明の効果〕 本発明によれば、容器内を常に安定した真空状態に保つ
ことができ、真空封止後の真空度が高精度な容器を製作
することができる。

真空封止時、容器毎に真空源との接続が不要のため、複
雑な操作及び金属管の高精度な加工が不要となり、生産
の自動化を容易にし、加工工数を減らすことができる。

接続代分金属管を短かくでき、狭い容積に多くの封止容
器を収納できる。

真空封止の信頼性を高める効果がある。

また、加圧１通電条件の選定により、加圧ヘッドに金属
の溶ｎするのを防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は、第１図
の加圧・通電条件を示す図、第３図は従来例の断面図で
ある。 １・・・貯槽、２・・封止用金属管、３・・・容器、４
・・真空容器、５・・・加圧ヘッド、６・・・スライド
ロッド、７．８，９．１７・・・○リング、１０・・・
絶縁スペーサ、１１・・電極部軸受、１２・・・真空容
器フランジ、Ｊ３　・加圧シリンダ、１４・・・溶接電
源、１５・・・真空源、１６・・開閉が、１７・・弾力
性密封部材。 １つ　空圧源、２０・・・金属管挿入口。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、金属管を通気口としてもつ容器を真空に封止する装
   置において、 前記容器を真空容器に入れ、前記真空容器内を真空排気
   することにより、封止する前記容器内を真空にする手段
   と、前記金属管に通電すると共に圧着させる手段と、こ
   れ等を制御する手段とを備えたことを特徴とする金属管
   の真空封止装置。 ２、真空度が所定の値になるように真空排気後、加圧力
   、加圧時間、通電量、通電時間、通電と加圧のタイミン
   グ、及び、間隔を溶接条件とすることを特徴とする特許
   請求項第１項の真空封止装置。