JPH02172565A - 塗装装置の制御方法 - Google Patents
塗装装置の制御方法Info
- Publication number
- JPH02172565A JPH02172565A JP32691288A JP32691288A JPH02172565A JP H02172565 A JPH02172565 A JP H02172565A JP 32691288 A JP32691288 A JP 32691288A JP 32691288 A JP32691288 A JP 32691288A JP H02172565 A JPH02172565 A JP H02172565A
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- JP
- Japan
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- coating
- conveyor
- gun
- painting
- coating gun
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B13/00—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
- B05B13/02—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
- B05B13/04—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work the spray heads being moved during spraying operation
- B05B13/0447—Installation or apparatus for applying liquid or other fluent material to conveyed separate articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B05B13/0405—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work the spray heads being moved during spraying operation with reciprocating or oscillating spray heads
Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Spray Control Apparatus (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、コンベアの側部に対向して配備され、該コン
ベアの搬送方向に対して略直角の領域内で往復移動され
る塗装ガンから塗料を噴出させて上記コンベアにより搬
送される被塗装物を塗装する塗装装置の制御方法に関す
るものである。
ベアの搬送方向に対して略直角の領域内で往復移動され
る塗装ガンから塗料を噴出させて上記コンベアにより搬
送される被塗装物を塗装する塗装装置の制御方法に関す
るものである。
従来のこの種の塗装装置の一例を第４図に示す。
上記従来の塗装装置ｌでは、同図に示す如く、塗装装置
本体２の例えば上下方向（長手方向、Ｙ方向）に、塗装
ガン３を支持するアーム３ｄが移動自在に配備されてい
る。更に上記アーム３．は、上記塗装装置本体２に対し
てＺ方向へも移動可能である。
本体２の例えば上下方向（長手方向、Ｙ方向）に、塗装
ガン３を支持するアーム３ｄが移動自在に配備されてい
る。更に上記アーム３．は、上記塗装装置本体２に対し
てＺ方向へも移動可能である。
上記塗装装置１は、コンベア４（第５図参照）の側部に
対向して配備され、該コンベア４により矢印５方向（Ｘ
方向）へ搬送される被塗装物６に対し、上記塗装ガン３
を上下方向へ移動させると同時に、該塗装ガン３から塗
料を噴出させることにより、上記被塗装物６の塗装が行
われる。
対向して配備され、該コンベア４により矢印５方向（Ｘ
方向）へ搬送される被塗装物６に対し、上記塗装ガン３
を上下方向へ移動させると同時に、該塗装ガン３から塗
料を噴出させることにより、上記被塗装物６の塗装が行
われる。
被塗装物が立体的形状を有する場合、上記塗装ガン３は
Ｚ方向へも移動制御されて、該塗装ガン３から塗料が噴
出される。
Ｚ方向へも移動制御されて、該塗装ガン３から塗料が噴
出される。
即ち、上記塗装ガン３は、上記コンヘア４の搬送方向（
Ｘ方向）に対してほぼ直角の領域内で往復移動しつつ塗
料を噴出させる。
Ｘ方向）に対してほぼ直角の領域内で往復移動しつつ塗
料を噴出させる。
ところが、上記構成による従来の塗装装置１においては
、矢印５方向へ搬送される被塗装物６に対して、塗装ガ
ン３がＸ方向及びＺ方向にのみ移動可能である為、被塗
装物６に対する塗装ガン３の相対的な移動軌跡は、例え
ば第５図に示すように■字形状となる。
、矢印５方向へ搬送される被塗装物６に対して、塗装ガ
ン３がＸ方向及びＺ方向にのみ移動可能である為、被塗
装物６に対する塗装ガン３の相対的な移動軌跡は、例え
ば第５図に示すように■字形状となる。
その結果、被塗装置１３６上での塗装パターンも■字形
状（第６図参照）・となり、塗膜が不均一化し、塗装品
質上大きな問題となっていた。
状（第６図参照）・となり、塗膜が不均一化し、塗装品
質上大きな問題となっていた。
即ち、第６図に於いて、被塗装物６上のＢ部では適切な
塗膜が形成されるが、Ａ部では塗膜が薄くなり、他方、
０部では塗膜が厚くなる。
塗膜が形成されるが、Ａ部では塗膜が薄くなり、他方、
０部では塗膜が厚くなる。
さらに、上記塗装装置１で塗装を行う場合、被塗装物が
ボンベ類などのようにＸ方向に縦長のものや、Ｘ方向に
縦長のスリットを存する物である場合など、これらの被
塗装物の塗装面に対しても均一な塗膜を形成することが
できない。
ボンベ類などのようにＸ方向に縦長のものや、Ｘ方向に
縦長のスリットを存する物である場合など、これらの被
塗装物の塗装面に対しても均一な塗膜を形成することが
できない。
そこで、本発明の目的とするところは、コンヘアにより
搬送される被塗装物に対する塗装ガンの相対的な移動軌
跡を、被塗装物の搬送方向に対して直角方向になるよう
にし、被塗装物に対して均一な塗膜を形成して塗装の品
質向上を図ることのできる塗装装置の制御方法を提供す
ることである。
搬送される被塗装物に対する塗装ガンの相対的な移動軌
跡を、被塗装物の搬送方向に対して直角方向になるよう
にし、被塗装物に対して均一な塗膜を形成して塗装の品
質向上を図ることのできる塗装装置の制御方法を提供す
ることである。
上記目的を達成するために、本発明が採用する主たる手
段は、その要旨とするところが、コンベアの側部に対向
して配備され、該コンヘアの搬送方向に対して略直角の
領域内で往復移動される塗装ガンから塗料を噴出させて
上記コンベアにより搬送される被塗装物を塗装する塗装
装置の制御方法において、上記塗装ガンを上記コンベア
の搬送方向と略平行に移動させる移動手段を具備し、上
記塗装ガンを塗装装置本体の長手方向に設けられた往復
路上を往動作及び復動作させつつ上記移動手段により塗
装ガンを上記コンヘアに追従させて移動させ、上記塗装
ガンの往動作及び復動作が終了する毎に該塗装ガンを上
記搬送方向と略平行に上記復動作及び往動作の各始端側
へ復帰させ、塗装ガンを略８の字形状の移動軌跡上を無
端状に周回させるようにした点に係る塗装装置の制御方
法である。
段は、その要旨とするところが、コンベアの側部に対向
して配備され、該コンヘアの搬送方向に対して略直角の
領域内で往復移動される塗装ガンから塗料を噴出させて
上記コンベアにより搬送される被塗装物を塗装する塗装
装置の制御方法において、上記塗装ガンを上記コンベア
の搬送方向と略平行に移動させる移動手段を具備し、上
記塗装ガンを塗装装置本体の長手方向に設けられた往復
路上を往動作及び復動作させつつ上記移動手段により塗
装ガンを上記コンヘアに追従させて移動させ、上記塗装
ガンの往動作及び復動作が終了する毎に該塗装ガンを上
記搬送方向と略平行に上記復動作及び往動作の各始端側
へ復帰させ、塗装ガンを略８の字形状の移動軌跡上を無
端状に周回させるようにした点に係る塗装装置の制御方
法である。
以下添付図面を参照して、本発明を具体化した実施例に
つき説明し、本発明の理解に供する。尚、以下の実施例
は本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範
囲を限定する性格のものではない。
つき説明し、本発明の理解に供する。尚、以下の実施例
は本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範
囲を限定する性格のものではない。
ここに第１図は本発明の一実施例に係る制御方法を実施
し得る塗装装置の平面図、第２図は上記塗装装置を用い
て上記制御方法を実施した場合の塗装ガンの移動軌跡を
示すパターン図、第３図（ａ）。
し得る塗装装置の平面図、第２図は上記塗装装置を用い
て上記制御方法を実施した場合の塗装ガンの移動軌跡を
示すパターン図、第３図（ａ）。
（ｂ）、 （Ｃ）はそれぞれ上記制御方法を用いて被塗
装物を塗装する場合の該被塗装物に対する上記塗装ガン
の相対的な移動軌跡を示すパターン図である。
装物を塗装する場合の該被塗装物に対する上記塗装ガン
の相対的な移動軌跡を示すパターン図である。
まず、本発明の一実施例に係る制御方法を実施し得る塗
装装置の一例を第１図に基づいて説明する。
装装置の一例を第１図に基づいて説明する。
この実施例に係る塗装装置７では、同図に示す如く、コ
ンベア４の側部に対向して塗装装置本体８が配備されて
おり、此の塗装装置本体８の長手方向（同図の紙面に対
して垂直方向であって第２図におけるＸ方向）に設けら
れた往復路に、支持体９が移動可能に配備されている。
ンベア４の側部に対向して塗装装置本体８が配備されて
おり、此の塗装装置本体８の長手方向（同図の紙面に対
して垂直方向であって第２図におけるＸ方向）に設けら
れた往復路に、支持体９が移動可能に配備されている。
上記支持体９には、例えば４連の塗装ガンｌＯを具備し
たアーム１１が、コンベア４の搬送方向（Ｘ方向）に対
して略平行に移動し得るように設けられている。
たアーム１１が、コンベア４の搬送方向（Ｘ方向）に対
して略平行に移動し得るように設けられている。
上記支持体９及びアーム１１により、上記塗装ガン１０
を上記コンベア４の搬送方向と平行に移動させる移動手
段１２が構成されている。
を上記コンベア４の搬送方向と平行に移動させる移動手
段１２が構成されている。
上記のような塗装装置７においては、上記塗装ガン１０
を同図中に二点鎖線で示すような位１に取付変更し、塗
装装置本体８を第１図における紙面に対して９０度面回
転せて取付変更された塗装ガン１０を上記コンヘア４の
側部に対向させることにより、前記従来の塗装装置Ｉの
場合とほぼ同様の構成とすることががきる（第４図参照
）。即ち、前記従来の塗装装置ｌの塗装装置本体２をコ
ンヘア４に対して９０度面回転せると共に、塗装ガン３
のみをコンベア４の側部に対向し得る位置に取付変更す
ることにより、上記塗装装置７とほぼ同様の構成とする
ことができる。
を同図中に二点鎖線で示すような位１に取付変更し、塗
装装置本体８を第１図における紙面に対して９０度面回
転せて取付変更された塗装ガン１０を上記コンヘア４の
側部に対向させることにより、前記従来の塗装装置Ｉの
場合とほぼ同様の構成とすることががきる（第４図参照
）。即ち、前記従来の塗装装置ｌの塗装装置本体２をコ
ンヘア４に対して９０度面回転せると共に、塗装ガン３
のみをコンベア４の側部に対向し得る位置に取付変更す
ることにより、上記塗装装置７とほぼ同様の構成とする
ことができる。
引き続き、第１図及び第２図に基づいて、上記のような
塗装装置７の制ｆｎ方法について説明する。
塗装装置７の制ｆｎ方法について説明する。
上記塗装ガン１０は、塗装装置本体８の長手方向に設け
られた往復路上を往復移動可能であるが、まず、上記塗
装ガンｌＯを往動作させつつ上記移動手段１２により上
記コンヘア４に追従させて移動制御する。この時の移動
軌跡を第２図中のａで示す、その結果、上記塗装ガン１
０は、」−記コンベア４により搬送される被塗装物に対
する相対的な移動軌跡を、上記被塗装物の搬送方向に対
して直角方向とすることができ、この状態で上記塗装ガ
ン１０から塗料を噴出させることにより、上記被塗装物
に対してこの被塗装物の搬送方向に対してほぼ直角方向
の均一な塗膜を形成することができる。
られた往復路上を往復移動可能であるが、まず、上記塗
装ガンｌＯを往動作させつつ上記移動手段１２により上
記コンヘア４に追従させて移動制御する。この時の移動
軌跡を第２図中のａで示す、その結果、上記塗装ガン１
０は、」−記コンベア４により搬送される被塗装物に対
する相対的な移動軌跡を、上記被塗装物の搬送方向に対
して直角方向とすることができ、この状態で上記塗装ガ
ン１０から塗料を噴出させることにより、上記被塗装物
に対してこの被塗装物の搬送方向に対してほぼ直角方向
の均一な塗膜を形成することができる。
上記塗装ガンｌＯの往動作が終了すると、この塗装ガン
１０を上記移動手段１２により、コンベア４の搬送方向
と平行にこの塗装ガン１０を復動作させる際の始端側へ
復帰させる。この時の移動軌跡を第２図中のｂで示す。
１０を上記移動手段１２により、コンベア４の搬送方向
と平行にこの塗装ガン１０を復動作させる際の始端側へ
復帰させる。この時の移動軌跡を第２図中のｂで示す。
引き続き、上記塗装ガン１０を上記塗装装置本体８の往
復路上を復動作させつつ、上記移動手段１２により上記
コンベア４に追従させて移動制御する。この時の移動軌
跡を第２図中のＣで示す。
復路上を復動作させつつ、上記移動手段１２により上記
コンベア４に追従させて移動制御する。この時の移動軌
跡を第２図中のＣで示す。
その結果、上記塗装ガン１０の上記コンベア４により搬
送される被塗装物に対する相対的な移動軌跡を、この被
塗装物の搬送方向に対して直角方向とすることができる
。そして、この状態で上記塗装ガン１０から塗料を噴出
させることにより、上記被塗装物には、この被塗装物の
搬送方向に対して直角方向に均一な塗膜を形成すること
ができ上記塗装ガン１０の復動作が終了すると、この塗
装ガン１０は上記移動手段１２により、コンベア４の搬
送方向に対して平行に上記塗装ガン１０の前記往動作（
移動軌跡ａ）の始端側へ復帰される。この時の移動軌跡
を第２図中のｄで示す。
送される被塗装物に対する相対的な移動軌跡を、この被
塗装物の搬送方向に対して直角方向とすることができる
。そして、この状態で上記塗装ガン１０から塗料を噴出
させることにより、上記被塗装物には、この被塗装物の
搬送方向に対して直角方向に均一な塗膜を形成すること
ができ上記塗装ガン１０の復動作が終了すると、この塗
装ガン１０は上記移動手段１２により、コンベア４の搬
送方向に対して平行に上記塗装ガン１０の前記往動作（
移動軌跡ａ）の始端側へ復帰される。この時の移動軌跡
を第２図中のｄで示す。
即ち、上記塗装ガンｌＯを略８の字形状の移動軌跡ａ、
ｂ、ｃ、ｄ上をコンベア４に追従させて無端上に周回さ
せることにより、例えば第３図ｆａ）に示す平板状の被
塗装物１３に対して、この塗装ガン１０の相対的な移動
軌跡を搬送方向に対してほぼ直角方向となるように形成
することができる。
ｂ、ｃ、ｄ上をコンベア４に追従させて無端上に周回さ
せることにより、例えば第３図ｆａ）に示す平板状の被
塗装物１３に対して、この塗装ガン１０の相対的な移動
軌跡を搬送方向に対してほぼ直角方向となるように形成
することができる。
従って、上記移動軌跡ａ、ｂ、ｃ、ｄ上を無端上に周回
させながら、往復動作中に上記塗装ガン１０から適宜塗
料を噴出させることにより、従来の塗装装置ｌのような
塗膜の濃淡部が形成されず、被塗装物１３に対して常に
均一な塗膜を形成することができる。
させながら、往復動作中に上記塗装ガン１０から適宜塗
料を噴出させることにより、従来の塗装装置ｌのような
塗膜の濃淡部が形成されず、被塗装物１３に対して常に
均一な塗膜を形成することができる。
即ち、上記制御方法を用いることにより、被塗装物が例
えばＹ方向に縦長のボンベ類や同方向へのスリントを有
するものである場合でも、従来のように斜め方向に塗膜
が形成されることはなく、常に均一な塗膜を形成するこ
とができる。
えばＹ方向に縦長のボンベ類や同方向へのスリントを有
するものである場合でも、従来のように斜め方向に塗膜
が形成されることはなく、常に均一な塗膜を形成するこ
とができる。
尚、上記制御方法においては、塗装ガンｌＯの往復動作
中にコンベア４に対して移動手段１２により追従制御さ
れるため、塗装作業中にコンヘア４の移動速度が変化し
た場合でも、このコンベア４の速度に追従して常に均一
な塗膜を形成し得ることはいうまでもない。
中にコンベア４に対して移動手段１２により追従制御さ
れるため、塗装作業中にコンヘア４の移動速度が変化し
た場合でも、このコンベア４の速度に追従して常に均一
な塗膜を形成し得ることはいうまでもない。
第３図（ｂ）、 （Ｃ）に、上記制御方法により塗装ガ
ン１０を移動させた場合のＰ＆塗装物１４．１５に対す
るこの塗装ガン１０の相対的な移動軌跡のパターンを示
す。
ン１０を移動させた場合のＰ＆塗装物１４．１５に対す
るこの塗装ガン１０の相対的な移動軌跡のパターンを示
す。
尚、本実施例に係る制御方法は、第４図に示した従来の
塗装装置ｌにＸ軸方向への移動機構を設けて実施するこ
とも可能である。
塗装装置ｌにＸ軸方向への移動機構を設けて実施するこ
とも可能である。
本発明は、上記したように、コンベアの側部に対向して
配備され、該コンベアの搬送方向に対して略直角の領域
内で往復移動される塗装ガンから塗料を噴出させて上記
コンヘアにより搬送される被塗装物を塗装する塗装装置
の制御方法において、上記塗装ガンを上記コンベアの搬
送方向と略平行に移動させる移動手段を具備し、上記塗
装ガンを塗装装置本体の長平方向に設けられた往復路上
を往動作及び復動作させつつ上記移動手段により塗装ガ
ンを上記コンヘアに追従させて移動させ、上記塗装ガン
の往動作及び復動作が終了する毎に該塗装ガンを上記搬
送方向と略平行に上記復動作及び往動作の各始端側へ復
帰させ、塗装ガンを略８の字形状の移動軌跡上を無端状
に周回させるようにしたことを特徴とする塗装装置の制
御方法であるから、コンベアにより搬送される被塗装物
に対する塗装ガンの相対的な移動軌跡を被塗装物の搬送
方向に対して直角方向とすることができる。従って、被
塗装物に対しては常に均一な塗膜を形成することができ
、塗装品質を向上させることができる。
配備され、該コンベアの搬送方向に対して略直角の領域
内で往復移動される塗装ガンから塗料を噴出させて上記
コンヘアにより搬送される被塗装物を塗装する塗装装置
の制御方法において、上記塗装ガンを上記コンベアの搬
送方向と略平行に移動させる移動手段を具備し、上記塗
装ガンを塗装装置本体の長平方向に設けられた往復路上
を往動作及び復動作させつつ上記移動手段により塗装ガ
ンを上記コンヘアに追従させて移動させ、上記塗装ガン
の往動作及び復動作が終了する毎に該塗装ガンを上記搬
送方向と略平行に上記復動作及び往動作の各始端側へ復
帰させ、塗装ガンを略８の字形状の移動軌跡上を無端状
に周回させるようにしたことを特徴とする塗装装置の制
御方法であるから、コンベアにより搬送される被塗装物
に対する塗装ガンの相対的な移動軌跡を被塗装物の搬送
方向に対して直角方向とすることができる。従って、被
塗装物に対しては常に均一な塗膜を形成することができ
、塗装品質を向上させることができる。
第１図は本発明の一実施例に係る制御方法を実施し得る
塗装装置の平面図、第２図は上記塗装装置を用いて上記
制御方法を実施した場合の塗装ガンの移動軌跡を示すパ
ターン図、第３図（ａ）、 （ｂ）。 （Ｃ）はそれぞれ上記制御方法を用いて被塗装物を塗装
する場合の該被塗装物に対する上記塗装ガンの相対的な
移動軌跡を示すパターン図、第４図は従来の塗装装置の
概略構成を示す斜視図、第５図はコンベアにより搬送さ
れる被塗装物の搬送状態を示す側面図、第６図は上記従
来の塗装装置により被塗装物を塗装した場合の塗装パタ
ーン図である。 （符号の説明〕 ４・・・コンベア ７・・・塗装装置８・・・塗
装装置本体 ９・・・支持体ｌＯ・・・塗装ガン
１１・・・アーム１２・・・移動手段 １３．１４．１５・・・被塗装物 ａ、・ｂ、ｃ、ｄ・・・移動軌跡。
塗装装置の平面図、第２図は上記塗装装置を用いて上記
制御方法を実施した場合の塗装ガンの移動軌跡を示すパ
ターン図、第３図（ａ）、 （ｂ）。 （Ｃ）はそれぞれ上記制御方法を用いて被塗装物を塗装
する場合の該被塗装物に対する上記塗装ガンの相対的な
移動軌跡を示すパターン図、第４図は従来の塗装装置の
概略構成を示す斜視図、第５図はコンベアにより搬送さ
れる被塗装物の搬送状態を示す側面図、第６図は上記従
来の塗装装置により被塗装物を塗装した場合の塗装パタ
ーン図である。 （符号の説明〕 ４・・・コンベア ７・・・塗装装置８・・・塗
装装置本体 ９・・・支持体ｌＯ・・・塗装ガン
１１・・・アーム１２・・・移動手段 １３．１４．１５・・・被塗装物 ａ、・ｂ、ｃ、ｄ・・・移動軌跡。
Claims (1)
- １、コンベアの側部に対向して配備され、該コンベアの
搬送方向に対して略直角の領域内で往復移動される塗装
ガンから塗料を噴出させて上記コンベアにより搬送され
る被塗装物を塗装する塗装装置の制御方法において、上
記塗装ガンを上記コンベアの搬送方向と略平行に移動さ
せる移動手段を具備し、上記塗装ガンを塗装装置本体の
長手方向に設けられた往復路上を往動作及び復動作させ
つつ上記移動手段により塗装ガンを上記コンベアに追従
させて移動させ、上記塗装ガンの往動作及び復動作が終
了する毎に該塗装ガンを上記搬送方向と略平行に上記復
動作及び往動作の各始端側へ復帰させ、塗装ガンを略８
の字形状の移動軌跡上を無端状に周回させるようにした
ことを特徴とする塗装装置の制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63326912A JPH0671574B2 (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | 塗装装置の制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63326912A JPH0671574B2 (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | 塗装装置の制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02172565A true JPH02172565A (ja) | 1990-07-04 |
| JPH0671574B2 JPH0671574B2 (ja) | 1994-09-14 |
Family
ID=18193140
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63326912A Expired - Fee Related JPH0671574B2 (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | 塗装装置の制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0671574B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014064966A (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-17 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 膜の製造方法及び膜の製造装置 |
| JP2020037064A (ja) * | 2018-09-03 | 2020-03-12 | 株式会社アピロス | 塗布方法及び塗布装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6223467A (ja) * | 1985-07-24 | 1987-01-31 | Yutaka Oe | 薄膜形成装置 |
-
1988
- 1988-12-23 JP JP63326912A patent/JPH0671574B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6223467A (ja) * | 1985-07-24 | 1987-01-31 | Yutaka Oe | 薄膜形成装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014064966A (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-17 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 膜の製造方法及び膜の製造装置 |
| JP2020037064A (ja) * | 2018-09-03 | 2020-03-12 | 株式会社アピロス | 塗布方法及び塗布装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0671574B2 (ja) | 1994-09-14 |
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