JPH02177401A - SrTiO↓3系電圧依存非直線抵抗体の製造方法 - Google Patents
SrTiO↓3系電圧依存非直線抵抗体の製造方法Info
- Publication number
- JPH02177401A JPH02177401A JP63329110A JP32911088A JPH02177401A JP H02177401 A JPH02177401 A JP H02177401A JP 63329110 A JP63329110 A JP 63329110A JP 32911088 A JP32911088 A JP 32911088A JP H02177401 A JPH02177401 A JP H02177401A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- atmosphere
- oxygen
- partial pressure
- heat treatment
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 title claims abstract description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 13
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 22
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 17
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 5
- 229910002370 SrTiO3 Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 229940063820 oxygen 99.5 % Drugs 0.000 abstract 1
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 abstract 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010252 TiO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000010405 reoxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Thermistors And Varistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、S r T i Oa系電圧依存非直線抵抗
体の製造方法に関し、更に詳細には、コンデンサ機能を
有するSrTiO3系電圧依存非直線抵抗体の!1造方
法に関する。
体の製造方法に関し、更に詳細には、コンデンサ機能を
有するSrTiO3系電圧依存非直線抵抗体の!1造方
法に関する。
(従来の技術)
従来から、サージ電圧を吸収する目的で、ZnO系の電
圧依存非直線抵抗体く以下、バリスタと称する)が用い
られてきた。
圧依存非直線抵抗体く以下、バリスタと称する)が用い
られてきた。
これに対して、最近、上記サージ電圧吸収機能に加えて
、高周波ノイズ吸収機能を有し、ノイズフィルタとして
も使用することが可能な5rTiO1系バリスタが開発
された。このS r T i Os系バリスタは、また
、上記2つの機催を有することにより、従来のZnO系
バリスタでは反応の遅れが見られた立ち上がりの早いパ
ルスに対しても、遅れを生ずることなく対応することが
できる。
、高周波ノイズ吸収機能を有し、ノイズフィルタとして
も使用することが可能な5rTiO1系バリスタが開発
された。このS r T i Os系バリスタは、また
、上記2つの機催を有することにより、従来のZnO系
バリスタでは反応の遅れが見られた立ち上がりの早いパ
ルスに対しても、遅れを生ずることなく対応することが
できる。
上記S r T j Os系バリスタは、一般的には、
下記の如く製造される。
下記の如く製造される。
まず、主成分となる5rTiOsと種々の少量添加物と
を混合し、バインダを加えて成形した後、得られた成形
体を、少量のH2ガスを含むN2ガス雰囲気中で130
0〜1450℃で焼成して半導体磁器(−次焼結体)を
得る。さらに、上記半導体磁器(−次焼結体)を大気中
でtooot前後で熱処理することにより、上記半導体
磁器の粒界近傍に酸素を拡散させ、電圧依存非直線抵抗
体磁器を得る。得られた上記磁器の表面に、電極層を塗
布し、焼き付けてS r T iO3系バリスタを得る
。
を混合し、バインダを加えて成形した後、得られた成形
体を、少量のH2ガスを含むN2ガス雰囲気中で130
0〜1450℃で焼成して半導体磁器(−次焼結体)を
得る。さらに、上記半導体磁器(−次焼結体)を大気中
でtooot前後で熱処理することにより、上記半導体
磁器の粒界近傍に酸素を拡散させ、電圧依存非直線抵抗
体磁器を得る。得られた上記磁器の表面に、電極層を塗
布し、焼き付けてS r T iO3系バリスタを得る
。
このようにして製造される5rTi○、系バリスタを、
上記の如くサージ電圧吸収機能を存するノイズフィルタ
として用いるためには、低バリスタ電圧Vl−A(電圧
依存非直線抵抗体磁器の表面に形成された一対の電極間
に、電流1mAが流れる際の両電極間の電圧値)、高α
値(非直線t@数)、および高い静電容量値が必要とさ
れる。
上記の如くサージ電圧吸収機能を存するノイズフィルタ
として用いるためには、低バリスタ電圧Vl−A(電圧
依存非直線抵抗体磁器の表面に形成された一対の電極間
に、電流1mAが流れる際の両電極間の電圧値)、高α
値(非直線t@数)、および高い静電容量値が必要とさ
れる。
ところが、上記半導体磁器(−次焼結体)を大気中で熱
処理した場合、磁器内部への酸素の拡散に伴って、バリ
スタ電圧Vl−A (V)が増大し、静電容量が減少
し、α値が一定の値まで増加した後、再び減少してしま
う。そこで、従来は、できるだけ高α値を得られるよう
に、高い温度で長時間の熱処理をしていた。
処理した場合、磁器内部への酸素の拡散に伴って、バリ
スタ電圧Vl−A (V)が増大し、静電容量が減少
し、α値が一定の値まで増加した後、再び減少してしま
う。そこで、従来は、できるだけ高α値を得られるよう
に、高い温度で長時間の熱処理をしていた。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、上記従来の製造工程では、高いα値を得
るために、高い温度で長時間の熱処理をしていたため、
上記磁器の結晶粒界近傍への酸素の拡散とともに、結晶
粒子内部へも酸化が進行してしまい、バリスタ電圧V1
mAが増大するとともに、静電容量が減少して、満足で
きる特性が得られなかった。
るために、高い温度で長時間の熱処理をしていたため、
上記磁器の結晶粒界近傍への酸素の拡散とともに、結晶
粒子内部へも酸化が進行してしまい、バリスタ電圧V1
mAが増大するとともに、静電容量が減少して、満足で
きる特性が得られなかった。
そこで、本発明は、上記従来の問題点を改善して、高い
α値と、低いバリスタ電圧v1MAと、大きな静電容量
を持つS r T i Os系バリスタを製造すること
のできるS r T j Os系電圧依存非直線抵抗体
の製造方法を提供することを目的とするものである。
α値と、低いバリスタ電圧v1MAと、大きな静電容量
を持つS r T i Os系バリスタを製造すること
のできるS r T j Os系電圧依存非直線抵抗体
の製造方法を提供することを目的とするものである。
(課題を解決するための手段)
本発明は、半導体磁器を得る工程と、得られた半導体磁
器を熱処理により再酸化させる工程とを有するS r
T i Os系電圧依存非直線抵抗体の製造方法におい
て、上記熱処理を、大気に比べ酸素分圧の高い雰囲気中
で行うことを特徴とするものである。
器を熱処理により再酸化させる工程とを有するS r
T i Os系電圧依存非直線抵抗体の製造方法におい
て、上記熱処理を、大気に比べ酸素分圧の高い雰囲気中
で行うことを特徴とするものである。
な右、上記雰囲気の酸素分圧は、例えば、0゜3〜10
0 k g f/cm”に設定される。
0 k g f/cm”に設定される。
(作用)
本発明のS r T i Os系電圧依存非直線抵抗体
の製造方法においては、半導体磁器の再酸化熱処理を、
大気に比べ酸素分圧の高い雰囲気中で行うことにより、
結晶粒子内部まで酸化するような高い温度で長時間熱処
理することなしに、上記磁器の結晶粒界近傍のみに酸素
を拡散させることができる。
の製造方法においては、半導体磁器の再酸化熱処理を、
大気に比べ酸素分圧の高い雰囲気中で行うことにより、
結晶粒子内部まで酸化するような高い温度で長時間熱処
理することなしに、上記磁器の結晶粒界近傍のみに酸素
を拡散させることができる。
(実施例)
支胤透ユ
純度99.5%のS r COs粉末147.6281
純度99.5%のT i O*粉末79.9gを秤量し
、これをボールミルでl0時間撹拌した。
純度99.5%のT i O*粉末79.9gを秤量し
、これをボールミルでl0時間撹拌した。
これを第1t分とし、第1成分100モル部に対し、純
度99.5%(DWOs ’m末ヲ2 、 5 % ル
部、純度99.0%のNaF粉末を0.5モル部、純度
99.0%のA I 20 s粉末を0.3モル部、純
度99.0%のBi25s粉末を0.5モル部を秤量し
、1言置機で20時間攪拌した。
度99.5%(DWOs ’m末ヲ2 、 5 % ル
部、純度99.0%のNaF粉末を0.5モル部、純度
99.0%のA I 20 s粉末を0.3モル部、純
度99.0%のBi25s粉末を0.5モル部を秤量し
、1言置機で20時間攪拌した。
これを油圧プレスによって円板状に成形し、得られた成
形物をN2雰囲気中で1450℃の温度で4時間保持し
、全所要時間12時間の焼成プロファイルで焼成し、直
径5.5mmφ、厚さ0゜8mmの一次焼結体を辱た。
形物をN2雰囲気中で1450℃の温度で4時間保持し
、全所要時間12時間の焼成プロファイルで焼成し、直
径5.5mmφ、厚さ0゜8mmの一次焼結体を辱た。
次に、純度99.5%の酸素と純度99.5%の窒素に
より、酸素分圧0.3kgf/cm”の混合ガスを作成
し、そのガス雰囲気下1150℃で180分保持するプ
ロファイルで熱処理した。
より、酸素分圧0.3kgf/cm”の混合ガスを作成
し、そのガス雰囲気下1150℃で180分保持するプ
ロファイルで熱処理した。
熱処理後の試料の表裏面に、直径5.Ommの円板状に
銀ペーストを塗布し、750℃で焼き付けして電極を形
成した。各焼結体についてバリスタ電圧v1.A Cv
〕を測定し、さらに、バリスタ電圧■1゜−A(v)を
測定し、得られた結果より、次式に従って電圧非直線指
数αを算出した。
銀ペーストを塗布し、750℃で焼き付けして電極を形
成した。各焼結体についてバリスタ電圧v1.A Cv
〕を測定し、さらに、バリスタ電圧■1゜−A(v)を
測定し、得られた結果より、次式に従って電圧非直線指
数αを算出した。
a = log(10”、 l)/log(V 1Oa
A÷vIIIA)また、静電容量Cとtanδを周波数
1 kHzで測定した。結果を第1表に示す。
A÷vIIIA)また、静電容量Cとtanδを周波数
1 kHzで測定した。結果を第1表に示す。
塞1目江zlピL旦
実施例1と同じ一次焼結体を表で示した条件下で酸化焼
成した。
成した。
1kgf/cm”以下の酸素分圧については、純度99
.5%の酸素と純度99.5%の窒素によって調整し、
また、1kgf/cm”より高い酸素分圧については、
純度99.5%の酸素の加圧によって調整した。
.5%の酸素と純度99.5%の窒素によって調整し、
また、1kgf/cm”より高い酸素分圧については、
純度99.5%の酸素の加圧によって調整した。
実施例2乃至5で得られた試料についても、実施例1と
同じ方法でバリスタ特性、コンデンサ特性の測定を行っ
た。結果を第1表に示す。
同じ方法でバリスタ特性、コンデンサ特性の測定を行っ
た。結果を第1表に示す。
本発明の効果をt’amするため、第1表に示すように
、酸化処理雰囲気の酸素分圧および焼成温度を変えて、
比較例1乃至2とした。この比較例1乃至2についても
、同様にしてバリスタ特性、コンデンサ特性の測定を行
った。結果を第1表に示す。
、酸化処理雰囲気の酸素分圧および焼成温度を変えて、
比較例1乃至2とした。この比較例1乃至2についても
、同様にしてバリスタ特性、コンデンサ特性の測定を行
った。結果を第1表に示す。
(以下余白)
実施例1〜3、比較例1は、焼成温度を一定にし、酸素
分圧を変えたものであるが、上記の測定の結果、通常の
大気焼成(比較例1)に比べ高い酸素分圧下で焼成する
ことにより、実施例のものは、短時間で同等のバリスタ
電圧vtaAを得ることができ、α値、静電容量も向上
した。
分圧を変えたものであるが、上記の測定の結果、通常の
大気焼成(比較例1)に比べ高い酸素分圧下で焼成する
ことにより、実施例のものは、短時間で同等のバリスタ
電圧vtaAを得ることができ、α値、静電容量も向上
した。
(発明の効果)
上記したように、本発明によれば、−次焼結体を酸素分
圧の高い雰囲気下で再酸化することにより、短時間で、
優れたα値と大きな静電容量を有し、かつ従来と同等の
バリスタ電圧V+a^をもつ5rTiOs系電圧依存非
直線抵抗体を製造することができる。
圧の高い雰囲気下で再酸化することにより、短時間で、
優れたα値と大きな静電容量を有し、かつ従来と同等の
バリスタ電圧V+a^をもつ5rTiOs系電圧依存非
直線抵抗体を製造することができる。
Claims (2)
- (1)半導体磁器を得る工程と、得られた半導体磁器を
熱処理により再酸化させる工程とを有するSrTiO_
3系電圧依存非直線抵抗体の製造方法において、前記熱
処理を、大気に比べ酸素分圧の高い雰囲気中で行うこと
を特徴とするSrTiO_3系電圧依存非直線抵抗体の
製造方法。 - (2)前記雰囲気の酸素分圧が、0.3〜100kgf
/cm^2であることを特徴とする請求項第1項記載の
SrTiO_3系電圧依存非直線抵抗体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63329110A JPH02177401A (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | SrTiO↓3系電圧依存非直線抵抗体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63329110A JPH02177401A (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | SrTiO↓3系電圧依存非直線抵抗体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02177401A true JPH02177401A (ja) | 1990-07-10 |
Family
ID=18217723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63329110A Pending JPH02177401A (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | SrTiO↓3系電圧依存非直線抵抗体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02177401A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7666332B2 (en) * | 2005-05-30 | 2010-02-23 | Asahi Glass Company, Limited | Process for producing optical glass element |
-
1988
- 1988-12-28 JP JP63329110A patent/JPH02177401A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7666332B2 (en) * | 2005-05-30 | 2010-02-23 | Asahi Glass Company, Limited | Process for producing optical glass element |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0157276B1 (en) | Voltage-dependent non-linear resistance ceramic composition | |
| JPS6257245B2 (ja) | ||
| JPH04218207A (ja) | 誘電体磁器組成物 | |
| JPH0223005B2 (ja) | ||
| JPH0524646B2 (ja) | ||
| JPS62278703A (ja) | 誘電体磁器組成物 | |
| JPH02177401A (ja) | SrTiO↓3系電圧依存非直線抵抗体の製造方法 | |
| JPS609102A (ja) | 電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物 | |
| JPS6320362B2 (ja) | ||
| JPS60170903A (ja) | 電圧依存非直線抵抗特性を有する磁器組成物 | |
| JPS6257244B2 (ja) | ||
| JPS606535B2 (ja) | 磁器組成物 | |
| JPH0248123B2 (ja) | ||
| JP2585121B2 (ja) | 電圧依存非直線抵抗体の製造方法 | |
| JP2990627B2 (ja) | バリスタの製造方法 | |
| JPS6179202A (ja) | 電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物の製造方法 | |
| JPH0239501A (ja) | 電圧依存非直線抵抗体の製造方法 | |
| JPH0142606B2 (ja) | ||
| JP2738087B2 (ja) | 酸化亜鉛バリスタの製造方法 | |
| JPH0524648B2 (ja) | ||
| JPH01187914A (ja) | 半導体磁器物質 | |
| JPH04206208A (ja) | 非還元性誘電体磁器組成物 | |
| JPS63315555A (ja) | サーミスタ磁器組成物 | |
| JPS609103A (ja) | 電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物 | |
| JPS62229602A (ja) | 還元再酸化型半導体コンデンサ用磁器組成物 |