JPH02190308A - グリーンシートのスルーホール形成方法 - Google Patents
グリーンシートのスルーホール形成方法Info
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- JPH02190308A JPH02190308A JP1133189A JP1133189A JPH02190308A JP H02190308 A JPH02190308 A JP H02190308A JP 1133189 A JP1133189 A JP 1133189A JP 1133189 A JP1133189 A JP 1133189A JP H02190308 A JPH02190308 A JP H02190308A
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Landscapes
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はグリーンシートのスルーホール形成方法、特ｔ
こ、セラミック多層配線基板の製造に用いるシート状の
セラミックスで焼成前のバインダを含むいわゆるグリー
ン（生の）シートのスルーホール形成に適用しつるグリ
ーンシートのスルーホール形成方法ｌこ関する。
こ、セラミック多層配線基板の製造に用いるシート状の
セラミックスで焼成前のバインダを含むいわゆるグリー
ン（生の）シートのスルーホール形成に適用しつるグリ
ーンシートのスルーホール形成方法ｌこ関する。
従来のグリーンシートのスルーホール形成方法は、例え
ば文献「セラミック製造プロセス１」素木洋−（しらき
よういち）著、技報堂出版、昭和５３年１０月１０日発
行、Ｐ２７２−Ｐ２Ｓ５ に記されているように、泥
漿をベルト上へ流れ出し、ドクターブレードで一定の厚
さのシート状とし、このシート状の泥漿を乾燥した後プ
レス型で打ち抜いてスルーホールを形成するという方法
を取っている。
ば文献「セラミック製造プロセス１」素木洋−（しらき
よういち）著、技報堂出版、昭和５３年１０月１０日発
行、Ｐ２７２−Ｐ２Ｓ５ に記されているように、泥
漿をベルト上へ流れ出し、ドクターブレードで一定の厚
さのシート状とし、このシート状の泥漿を乾燥した後プ
レス型で打ち抜いてスルーホールを形成するという方法
を取っている。
上述した従来のグリーンシートのスルーホール形成方法
は、泥漿をドクターブレードで一定の厚さのシート状と
し、乾燥した後プレス型で機械的に打ち抜いてスルーホ
ールを形成するため、プレス型の凸型と凹型とのクリア
ランスによる機械的ストレスがスルーホールの周囲に加
わるので亀裂を生じるという欠点があった。
は、泥漿をドクターブレードで一定の厚さのシート状と
し、乾燥した後プレス型で機械的に打ち抜いてスルーホ
ールを形成するため、プレス型の凸型と凹型とのクリア
ランスによる機械的ストレスがスルーホールの周囲に加
わるので亀裂を生じるという欠点があった。
本発明のグリーンシートのスルーホール形成方法は光硬
化樹脂を混合し九泥漿をスルーホール部を遮光するパタ
ーンが描かれている無色透明のベルトの上に流し出し一
定の厚さのシート伏とする第１の工程と、一定厚となっ
たシート状の前記泥漿を加熱し乾燥したシートとするＩ
Ｉ２の工程と、乾燥し九前記シートの下側から前記ベル
トを通して光を当てる第３の工程と、前記光を当てて前
記パターンにより遮光された前記スルーホール部を除去
する第４の工程を含んで構成される。
化樹脂を混合し九泥漿をスルーホール部を遮光するパタ
ーンが描かれている無色透明のベルトの上に流し出し一
定の厚さのシート伏とする第１の工程と、一定厚となっ
たシート状の前記泥漿を加熱し乾燥したシートとするＩ
Ｉ２の工程と、乾燥し九前記シートの下側から前記ベル
トを通して光を当てる第３の工程と、前記光を当てて前
記パターンにより遮光された前記スルーホール部を除去
する第４の工程を含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図である。
第１図（ａ）は、泥漿１をパターン３を有する無色透明
のベルト２に一定厚で塗布しシート伏とする第１の工程
を示す断面図である。第１図（ｂ）は、第１の工程で一
定厚のシート状となった泥漿１を乾燥しいわゆるグリー
ンシート８とする第２の工程を示す断面図である。
のベルト２に一定厚で塗布しシート伏とする第１の工程
を示す断面図である。第１図（ｂ）は、第１の工程で一
定厚のシート状となった泥漿１を乾燥しいわゆるグリー
ンシート８とする第２の工程を示す断面図である。
第１図（ψは、第２の工程で作ったグリーンシー）８Ｊ
こベルト２の下側から光１２を当てパターン３に対応し
たスルーホール部１１と光硬化部１０を作る第３の工程
を示す断面図である。第１図（φは、第３の工程で作っ
たスルーホール部１１を除去してスルーホール１３を形
成し光硬化部ＩＯを残す第４の工程を示す断面図である
。
こベルト２の下側から光１２を当てパターン３に対応し
たスルーホール部１１と光硬化部１０を作る第３の工程
を示す断面図である。第１図（φは、第３の工程で作っ
たスルーホール部１１を除去してスルーホール１３を形
成し光硬化部ＩＯを残す第４の工程を示す断面図である
。
次に、動作を説明する。
泥漿１には光硬化樹脂が混合してあり、仁の泥漿１は第
１図（ａ）中の供給機７によってベルト２の上に流し出
される。ベルト２はグリーンシート８に形成するスルー
ホール部１８こ光１２が尚たらないよう光を遮光するパ
ターン３が描かれている。
１図（ａ）中の供給機７によってベルト２の上に流し出
される。ベルト２はグリーンシート８に形成するスルー
ホール部１８こ光１２が尚たらないよう光を遮光するパ
ターン３が描かれている。
第１図（ａ）に示す第１の工程はベルト２をベルトの進
行方向６へ送ることで泥漿１をガイド４へ送られドクタ
ーブレード５によって一定の厚さにすり切りしシート伏
とする工程である。第１の工程でシート状となった泥漿
１は第２の工程で乾燥させいわゆるグリーンシート８と
なる。第１図（ｄは乾燥したグリーンシート８にベルト
２の下側から光１２を当てた状態を示している。グリー
ンシート８には光硬化樹脂が混合しである友め、ベルト
２に描かれたパターン３を通して光１２が当うた部分は
光硬化し、それ以外の部分は光硬化しない。
行方向６へ送ることで泥漿１をガイド４へ送られドクタ
ーブレード５によって一定の厚さにすり切りしシート伏
とする工程である。第１の工程でシート状となった泥漿
１は第２の工程で乾燥させいわゆるグリーンシート８と
なる。第１図（ｄは乾燥したグリーンシート８にベルト
２の下側から光１２を当てた状態を示している。グリー
ンシート８には光硬化樹脂が混合しである友め、ベルト
２に描かれたパターン３を通して光１２が当うた部分は
光硬化し、それ以外の部分は光硬化しない。
すなわち第１図（Ｃ）に示す第３の工程はベルト２のパ
ターン３に対応した光硬化部１０とスルーホール部１１
を作る工程である。第１図（Φに示す第４の工程は前述
の第３の工程で形成した光硬化部分を残しスルーホール
部１１を除去してスルーホール１３を形成するいわゆる
現像工程で、例えば、泥漿１中に含まれるビヒクルにエ
チルセルロースを使用し有機溶剤を用いてスルーホール
部１１を除去する。
ターン３に対応した光硬化部１０とスルーホール部１１
を作る工程である。第１図（Φに示す第４の工程は前述
の第３の工程で形成した光硬化部分を残しスルーホール
部１１を除去してスルーホール１３を形成するいわゆる
現像工程で、例えば、泥漿１中に含まれるビヒクルにエ
チルセルロースを使用し有機溶剤を用いてスルーホール
部１１を除去する。
本発明のグリーンシートのスルーホール形成方法は、シ
ートをプレス型を用いて機械的に打ち抜く代りに、パタ
ーンを有する無色透明のベルトを用いてシート上のスル
ーホールを形成する部分の光を遮光してスルーホール以
外の部分を光硬化させた後に機械的ストレスを加えるこ
となく現像という手法によってスルーホールを形成する
のでスルーホールに亀裂を生じることがなくなり品質が
向上する。また、スルーホール位ｆ［Ｉｌ＆について、
従来はプレス型の機械＄１９によっていたが、本発明の
方法は光学的方法によるのでスルーホールの位置精凌を
向上できるという効果もある。
ートをプレス型を用いて機械的に打ち抜く代りに、パタ
ーンを有する無色透明のベルトを用いてシート上のスル
ーホールを形成する部分の光を遮光してスルーホール以
外の部分を光硬化させた後に機械的ストレスを加えるこ
となく現像という手法によってスルーホールを形成する
のでスルーホールに亀裂を生じることがなくなり品質が
向上する。また、スルーホール位ｆ［Ｉｌ＆について、
従来はプレス型の機械＄１９によっていたが、本発明の
方法は光学的方法によるのでスルーホールの位置精凌を
向上できるという効果もある。
第１図（荀〜（由は本発明の一実施例を示すｗＥ１〜第
１〜工程を説明する断面図である。 ｌ・・・・・・泥漿、２・川・・ベルト、３・川・・パ
ターン、４・・・・・ガイド、５・・・・・・ドクター
ブレード、６・・・・・・ベルトの進行方向、７・・・
・・・泥漿供給機、８・・・・・・グリーンシート、１
０・・・・・・光硬化部、１１・・・・・・スルーホー
ル９．１２・・・・・・光、１３・・・・・・スルーホ
ール。 代理人 弁理士 内 原 音
１〜工程を説明する断面図である。 ｌ・・・・・・泥漿、２・川・・ベルト、３・川・・パ
ターン、４・・・・・ガイド、５・・・・・・ドクター
ブレード、６・・・・・・ベルトの進行方向、７・・・
・・・泥漿供給機、８・・・・・・グリーンシート、１
０・・・・・・光硬化部、１１・・・・・・スルーホー
ル９．１２・・・・・・光、１３・・・・・・スルーホ
ール。 代理人 弁理士 内 原 音
Claims (1)
- 光硬化樹脂を混合した泥漿をスルーホール部を遮光する
パターンが描かれている無色透明のベルトの上に流し出
し一定の厚さのシート伏とする第１の工程と、一定厚と
なったシート状の前記泥漿を加熱し乾燥したシートとす
る第２の工程と、乾燥した前記シートの下側から前記ベ
ルトを通して光を当てる第３の工程と、前記光を当てて
前記パターンにより遮光された前記スルホール部を除去
する第４の工程とを含むことを特徴とするグリーンシー
トのスルーホール形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1133189A JPH0790539B2 (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | グリーンシートのスルーホール形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1133189A JPH0790539B2 (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | グリーンシートのスルーホール形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02190308A true JPH02190308A (ja) | 1990-07-26 |
| JPH0790539B2 JPH0790539B2 (ja) | 1995-10-04 |
Family
ID=11775050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1133189A Expired - Lifetime JPH0790539B2 (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | グリーンシートのスルーホール形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0790539B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6159322A (en) * | 1996-06-17 | 2000-12-12 | Toray Industries, Inc. | Photosensitive ceramic green sheet, ceramic package, and process for producing the same |
| JP2005097095A (ja) * | 2003-08-28 | 2005-04-14 | Tdk Corp | セラミックグリーンシートの製造方法および当該セラミックグリーンシートを用いた電子部品の製造方法 |
| KR100835094B1 (ko) * | 2006-09-29 | 2008-06-04 | 삼성전기주식회사 | 시트성형장치 |
-
1989
- 1989-01-20 JP JP1133189A patent/JPH0790539B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6159322A (en) * | 1996-06-17 | 2000-12-12 | Toray Industries, Inc. | Photosensitive ceramic green sheet, ceramic package, and process for producing the same |
| JP2005097095A (ja) * | 2003-08-28 | 2005-04-14 | Tdk Corp | セラミックグリーンシートの製造方法および当該セラミックグリーンシートを用いた電子部品の製造方法 |
| KR100835094B1 (ko) * | 2006-09-29 | 2008-06-04 | 삼성전기주식회사 | 시트성형장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0790539B2 (ja) | 1995-10-04 |
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