JPH0790539B2 - グリーンシートのスルーホール形成方法 - Google Patents
グリーンシートのスルーホール形成方法Info
- Publication number
- JPH0790539B2 JPH0790539B2 JP1133189A JP1133189A JPH0790539B2 JP H0790539 B2 JPH0790539 B2 JP H0790539B2 JP 1133189 A JP1133189 A JP 1133189A JP 1133189 A JP1133189 A JP 1133189A JP H0790539 B2 JPH0790539 B2 JP H0790539B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- hole
- green sheet
- belt
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title 1
- 239000010802 sludge Substances 0.000 claims description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 claims 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 6
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000005467 ceramic manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はグリーンシートのスルーホール形成方法、特
に、セラミック多層配線基板の製造に用いるシート状の
セラミックスで焼成前のバインダを含むいわゆるグリー
ン（生の）シートのスルーホール形成に適用しうるグリ
ーンシートのスルーホール形成方法に関する。
に、セラミック多層配線基板の製造に用いるシート状の
セラミックスで焼成前のバインダを含むいわゆるグリー
ン（生の）シートのスルーホール形成に適用しうるグリ
ーンシートのスルーホール形成方法に関する。
従来のグリーンシートのスルーホール形成方法は、例え
ば文献「セラミック製造プロセスＩ」素木洋一（しらき
よういち）著、技報堂出版、昭和53年10月10日発行、P2
72−P286に記されているように、泥漿をベルト上へ流れ
出し、ドクターブレードで一定の厚さのシート状とし、
このシート状の泥漿を乾燥した後プレス型で打ち抜いて
スルーホールを形成するという方法を取っている。
ば文献「セラミック製造プロセスＩ」素木洋一（しらき
よういち）著、技報堂出版、昭和53年10月10日発行、P2
72−P286に記されているように、泥漿をベルト上へ流れ
出し、ドクターブレードで一定の厚さのシート状とし、
このシート状の泥漿を乾燥した後プレス型で打ち抜いて
スルーホールを形成するという方法を取っている。
上述した従来のグリーンシートのスルーホール形成方法
は、泥漿をドクターブレードで一定の厚さのシート状と
し、乾燥した後プレス型で機械的に打ち抜いてスルーホ
ールを形成するため、プレス型の凸型と凹型とのクリア
ランスによる機械的ストレスがスルーホールの周囲に加
わるので亀裂を生じるという欠点があった。
は、泥漿をドクターブレードで一定の厚さのシート状と
し、乾燥した後プレス型で機械的に打ち抜いてスルーホ
ールを形成するため、プレス型の凸型と凹型とのクリア
ランスによる機械的ストレスがスルーホールの周囲に加
わるので亀裂を生じるという欠点があった。
本発明のグリーンシートのスルーホール形成方法は光硬
化樹脂を混合した泥漿をスルーホール部を遮光するパタ
ーンが描かれている無色透明のベルトの上に流し出し一
定の厚さのシート状とする第１の工程と、一定厚となっ
たシート状の前記泥漿を加熱し乾燥したシートとする第
２の工程と、乾燥した前記シートの下側から前記ベルト
を通して光を当てる第３の工程と、前記光を当てて前記
パターンにより遮光された前記スルーホール部を除去す
る第４の工程を含んで構成される。
化樹脂を混合した泥漿をスルーホール部を遮光するパタ
ーンが描かれている無色透明のベルトの上に流し出し一
定の厚さのシート状とする第１の工程と、一定厚となっ
たシート状の前記泥漿を加熱し乾燥したシートとする第
２の工程と、乾燥した前記シートの下側から前記ベルト
を通して光を当てる第３の工程と、前記光を当てて前記
パターンにより遮光された前記スルーホール部を除去す
る第４の工程を含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図である。
第１図（ａ）は、泥漿１をパターン３を有する無色透明
のベルト２に一定厚で塗布しシート状とする第１の工程
を示す断面図である。第１図（ｂ）は、第１の工程で一
定厚のシート状となった泥漿１を乾燥しいわゆるグリー
ンシート８とする第２の工程を示す断面図である。
のベルト２に一定厚で塗布しシート状とする第１の工程
を示す断面図である。第１図（ｂ）は、第１の工程で一
定厚のシート状となった泥漿１を乾燥しいわゆるグリー
ンシート８とする第２の工程を示す断面図である。
第１図（ｃ）は、第２の工程で作ったグリーンシート８
にベルト２の下側から光12を当てパターン３に対応した
スルーホール部11と光硬化部10を作る第３の工程を示す
断面図である。第１図（ｄ）は、第３の工程で作ったス
ルーホール部11を除去してスルーホール13を形成し光硬
化部10を残す第４の工程を示す断面図である。
にベルト２の下側から光12を当てパターン３に対応した
スルーホール部11と光硬化部10を作る第３の工程を示す
断面図である。第１図（ｄ）は、第３の工程で作ったス
ルーホール部11を除去してスルーホール13を形成し光硬
化部10を残す第４の工程を示す断面図である。
次に、動作を説明する。
泥漿１には光硬化樹脂が混合してあり、この泥漿１は第
１図（ａ）中の供給機７によってベルト２の上に流し出
される。ベルト２はグリーンシート８に形成するスルー
ホール部11に光12が当たらないよう光を遮光するパター
ン３が描かれている。第１図（ａ）に示す第１の工程は
ベルト２をベルトの進行方向６へ送ることで泥漿１をガ
イド４へ送られドクターブレード５によって一定の厚さ
にすり切りしシート状とする工程である。第１の工程で
シート状となった泥漿１は第２の工程で乾燥させいわゆ
るグリーンシート８となる。第１図（ｃ）は乾燥したグ
リーンシート８にベルト２の下側から光12を当てた状態
を示している。グリーンシート８には光硬化樹脂が混合
してあるため、ベルト２に描かれたパターン３を通して
光12が当った部分は光硬化し、それ以外の部分は光硬化
しない。すなわち第１図（ｃ）に示す第３の工程はベル
ト２のパターン３に対応した光硬化部10とスルーホール
部11を作る工程である。第１図（ｄ）に示す第４の工程
は前述の第３の工程で形成した光硬化部分を残しスルー
ホール部11を除去してスルーホール13を形成するいわゆ
る現像工程で、例えば、泥漿１中に含まれるビヒクルに
エチルセルロースを使用し有機溶剤を用いてスルーホー
ル部11を除去する。
１図（ａ）中の供給機７によってベルト２の上に流し出
される。ベルト２はグリーンシート８に形成するスルー
ホール部11に光12が当たらないよう光を遮光するパター
ン３が描かれている。第１図（ａ）に示す第１の工程は
ベルト２をベルトの進行方向６へ送ることで泥漿１をガ
イド４へ送られドクターブレード５によって一定の厚さ
にすり切りしシート状とする工程である。第１の工程で
シート状となった泥漿１は第２の工程で乾燥させいわゆ
るグリーンシート８となる。第１図（ｃ）は乾燥したグ
リーンシート８にベルト２の下側から光12を当てた状態
を示している。グリーンシート８には光硬化樹脂が混合
してあるため、ベルト２に描かれたパターン３を通して
光12が当った部分は光硬化し、それ以外の部分は光硬化
しない。すなわち第１図（ｃ）に示す第３の工程はベル
ト２のパターン３に対応した光硬化部10とスルーホール
部11を作る工程である。第１図（ｄ）に示す第４の工程
は前述の第３の工程で形成した光硬化部分を残しスルー
ホール部11を除去してスルーホール13を形成するいわゆ
る現像工程で、例えば、泥漿１中に含まれるビヒクルに
エチルセルロースを使用し有機溶剤を用いてスルーホー
ル部11を除去する。
本発明のグリーンシートのスルーホール形成方法は、シ
ートをプレス型を用いて機械的に打つ抜く代りに、パタ
ーンを有する無色透明のベルトを用いてシート上のスル
ーホールを形成する部分の光を遮光してスルーホール以
外の部分を光硬化させた後に機械的ストレスを加えるこ
となく現像という手法によってスルーホールを形成する
のでスルーホールに亀裂を生じることがなくなり品質が
向上する。また、スルーホール位置精度について、従来
はプレス型の機械精度によっていたが、本発明の方法は
光学的方法によるのでスルーホールの位置精度を向上で
きるという効果もある。
ートをプレス型を用いて機械的に打つ抜く代りに、パタ
ーンを有する無色透明のベルトを用いてシート上のスル
ーホールを形成する部分の光を遮光してスルーホール以
外の部分を光硬化させた後に機械的ストレスを加えるこ
となく現像という手法によってスルーホールを形成する
のでスルーホールに亀裂を生じることがなくなり品質が
向上する。また、スルーホール位置精度について、従来
はプレス型の機械精度によっていたが、本発明の方法は
光学的方法によるのでスルーホールの位置精度を向上で
きるという効果もある。
第１図（ａ）〜（ｄ）は本発明の一実施例を示す第１〜
第４の工程を説明する断面図である。 １……泥漿、２……ベルト、３……パターン、４……ガ
イド、５……ドクターブレード、６……ベルトの進行方
向、７……泥漿供給機、８……グリーンシート、10……
光硬化部、11……スルーホール部、12……光、13……ス
ルーホール。
第４の工程を説明する断面図である。 １……泥漿、２……ベルト、３……パターン、４……ガ
イド、５……ドクターブレード、６……ベルトの進行方
向、７……泥漿供給機、８……グリーンシート、10……
光硬化部、11……スルーホール部、12……光、13……ス
ルーホール。
Claims (1)
- 【請求項１】光硬化樹脂を混合した泥漿をスルーホール
部を遮光するパターンが描かれている無色透明のベルト
の上に流し出し一定の厚さのシート状とする第１の工程
と、一定厚となったシート状の前記泥漿を加熱し乾燥し
たシートとする第２の工程と、乾燥した前記シートの下
側から前記ベルトを通して光を当てる第３の工程と、前
記光を当てて前記パターンにより遮光された前記スルホ
ール部を除去する第４の工程とを含むことを特徴とする
グリーンシートのスルーホール形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1133189A JPH0790539B2 (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | グリーンシートのスルーホール形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1133189A JPH0790539B2 (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | グリーンシートのスルーホール形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02190308A JPH02190308A (ja) | 1990-07-26 |
| JPH0790539B2 true JPH0790539B2 (ja) | 1995-10-04 |
Family
ID=11775050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1133189A Expired - Lifetime JPH0790539B2 (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | グリーンシートのスルーホール形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0790539B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ATE280742T1 (de) * | 1996-06-17 | 2004-11-15 | Toray Industries | Lichtempfendliche keramische grünfolie, keramische packung , verfahren zu deren herstellung sowie verwendung |
| JP4573025B2 (ja) * | 2003-08-28 | 2010-11-04 | Ｔｄｋ株式会社 | セラミックグリーンシートの製造方法および当該セラミックグリーンシートを用いた電子部品の製造方法 |
| KR100835094B1 (ko) * | 2006-09-29 | 2008-06-04 | 삼성전기주식회사 | 시트성형장치 |
-
1989
- 1989-01-20 JP JP1133189A patent/JPH0790539B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02190308A (ja) | 1990-07-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2424338C2 (de) | Verfahren zum Aufbringen von Mustern dünner Filme auf einem Substrat | |
| KR920000463A (ko) | 물체의 다수의 단면 부분으로 부터 일체의 삼차원 물체를 조립하기 위한 방법 및 장치 | |
| DE10391811T5 (de) | Verfahren zum Zerlegen eines Halbleiterwafers | |
| BR8204592A (pt) | Processo para a fabricacao de um molde de impressao plana | |
| JPS59181342A (ja) | 剥離現像方法 | |
| JPH0790539B2 (ja) | グリーンシートのスルーホール形成方法 | |
| FR2453428A1 (fr) | Procede de production d'une image polymerique et element photosensible a utiliser dans ce but | |
| DE60030206D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung von Flachdruckplatten | |
| EP0029348B1 (en) | Metal printing screen for flat screen printing | |
| DE3216658C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Fotolackmusters auf einem Halbleitersubstrat | |
| DE698994C (de) | Verfahren zum Herstellen von gerasterten Kopiervorlagen fuer den Hochdruck | |
| JPH0241423B2 (ja) | ||
| GB2067784A (en) | Preparation of interference filters | |
| JPS584928A (ja) | 薄膜パタ−ン形成方法 | |
| DE3149907A1 (de) | Verfahren zur herstellung einer lichtleitenden platte | |
| JP2969984B2 (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
| JPH0454564B2 (ja) | ||
| ATE7633T1 (de) | Verfahren zum gravieren von druckformen. | |
| JPS6399907A (ja) | グリ−ンシ−ト製造装置 | |
| JP2687616B2 (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
| CN118714749A (zh) | 一种光模块板金手指及其引线的湿膜制作方法 | |
| JPH04145691A (ja) | スルーホール形成方法 | |
| JP3063528B2 (ja) | シャドウマスクの製造方法 | |
| JPH02134638A (ja) | 印刷配線板の製造方法 | |
| JPS63236394A (ja) | プリント回路板 |