JPH02191073A - パターン検査装置 - Google Patents
パターン検査装置Info
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- JPH02191073A JPH02191073A JP1011337A JP1133789A JPH02191073A JP H02191073 A JPH02191073 A JP H02191073A JP 1011337 A JP1011337 A JP 1011337A JP 1133789 A JP1133789 A JP 1133789A JP H02191073 A JPH02191073 A JP H02191073A
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- Japan
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- circuit
- vector
- signal
- labeling
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- Pending
Links
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- 239000013598 vector Substances 0.000 abstract description 34
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 17
- 238000002372 labelling Methods 0.000 abstract description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 7
- 206010027146 Melanoderma Diseases 0.000 description 5
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はパターン検査装置に関し、特に辞書を用いてピ
ンホールや黒点や欠けや突起等の欠陥を検出するための
パターン検査装置に関する。
ンホールや黒点や欠けや突起等の欠陥を検出するための
パターン検査装置に関する。
従来のパターン検査装置は、例えば２組の光学系を用い
た比較装置によって良品のパターンと被検査パターンと
をハードウェアを主体として比較するという手段が用い
られている。
た比較装置によって良品のパターンと被検査パターンと
をハードウェアを主体として比較するという手段が用い
られている。
上述のような従来のパターン検査装置は、良品のパター
ンと被検査パターンとを精度よく厳密に位置決めするこ
とが必要であるという欠点を有している。これを避ける
ため、良品のパターンをメモリに収容しておくようにす
ると、パターンの形状が複雑な場合は、莫大な容量のメ
モリが必要であるという問題点がある。
ンと被検査パターンとを精度よく厳密に位置決めするこ
とが必要であるという欠点を有している。これを避ける
ため、良品のパターンをメモリに収容しておくようにす
ると、パターンの形状が複雑な場合は、莫大な容量のメ
モリが必要であるという問題点がある。
本発明のパターン検査装置は、被検査パターンを光電変
換してビデオ信号を出力する光電変換回路と、前記ビデ
オ信号をデジタル変換して二値化信号を出力する二値化
回路と、前記二値化信号に基いて入力図形の周囲長を算
出して被検査パターンの最小パッドの周囲長以下に設定
された欠陥判定基準値よりも小さい場合に前記入力図形
がピンホールまたは黒点の欠陥であると判定するピンホ
ール黒点検出回路と、前記ピンホール黒点検出回路にお
いて欠陥と判定された入力図形以外の入力図形をラベリ
ングするラベリング回路と、前記ラベリング回路でラベ
リングした入力図形に対してその図形の輪郭の点列を追
跡して前記点列の進行方向のベクトルを算出するベクト
ル算出回路と、基準となるパターンの輪郭のベクトルを
前記ベクトル算出回路で算出したのちに記憶する記憶回
路と、前記ベクトル算出回路で算出された被検査品の輪
郭ベクトルと前記記憶回路に記憶した同一レベルの良品
の輪郭ベクトルとを比較してそれらが一致しない場合は
そのラベル図形に欠陥があると判定する欠は突起検出回
路とを備えている。
換してビデオ信号を出力する光電変換回路と、前記ビデ
オ信号をデジタル変換して二値化信号を出力する二値化
回路と、前記二値化信号に基いて入力図形の周囲長を算
出して被検査パターンの最小パッドの周囲長以下に設定
された欠陥判定基準値よりも小さい場合に前記入力図形
がピンホールまたは黒点の欠陥であると判定するピンホ
ール黒点検出回路と、前記ピンホール黒点検出回路にお
いて欠陥と判定された入力図形以外の入力図形をラベリ
ングするラベリング回路と、前記ラベリング回路でラベ
リングした入力図形に対してその図形の輪郭の点列を追
跡して前記点列の進行方向のベクトルを算出するベクト
ル算出回路と、基準となるパターンの輪郭のベクトルを
前記ベクトル算出回路で算出したのちに記憶する記憶回
路と、前記ベクトル算出回路で算出された被検査品の輪
郭ベクトルと前記記憶回路に記憶した同一レベルの良品
の輪郭ベクトルとを比較してそれらが一致しない場合は
そのラベル図形に欠陥があると判定する欠は突起検出回
路とを備えている。
〔実施例〕
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図に示す実施例は、被検査パターンを光電変換して
ビデオ信号１１を出力する光電変換回路１と、ビデオ信
号１１をデジタル変換して二値化信号１２を出力する二
値化回路２と、二値化信号１２を入力して入力した二値
化信号のあられず図形（二値化図形）の周囲長を算出し
、この算出した周囲長がパターンの最小パッドの周囲長
以下に設定した欠陥判定基準値よりも小さい場合は入力
しな二値化図形がピンホールまたは黒点の欠陥であると
判定して欠陥検出信号１３を出力するピンホール黒点検
出回路３と、二値化信号１２と欠陥検出信号１３とを入
力してピンホール黒点検出回路３において入カバターン
が欠陥であると判定された図形以外のときに入力した二
値化図形のラベリングを行ってラベリング信号１４を出
力するラベリング回路４と、ラベリング信号１４を入力
してラベリングした二値化図形の輪郭点列を追跡し、各
画素毎に追跡方向のベクトルを算出してベクトル信号１
５を出力するベクトル算出回路５と、ベクトル信号１５
が良品のパターンのものであるときにベクトル信号１５
を記憶してベクトル読出し信号１６を出力する記憶回路
６と、良品のベクトル読出し信号１６と被検査品のベク
トル信号１５とを入力してこの二つの信号のベクトルの
差の絶対値を算出し、パターンの画像取込み誤差を考慮
してあらかじめ設定しである基準値以上よりもこの二つ
の信号のベクトル差の絶対値が大きい点列が存在する場
合に被検査パターンのそのラベルの入力図形に欠けまた
は突起の欠陥があると判定して欠陥検出信号１７を出力
する欠は突起検出回路７とを備えている。
ビデオ信号１１を出力する光電変換回路１と、ビデオ信
号１１をデジタル変換して二値化信号１２を出力する二
値化回路２と、二値化信号１２を入力して入力した二値
化信号のあられず図形（二値化図形）の周囲長を算出し
、この算出した周囲長がパターンの最小パッドの周囲長
以下に設定した欠陥判定基準値よりも小さい場合は入力
しな二値化図形がピンホールまたは黒点の欠陥であると
判定して欠陥検出信号１３を出力するピンホール黒点検
出回路３と、二値化信号１２と欠陥検出信号１３とを入
力してピンホール黒点検出回路３において入カバターン
が欠陥であると判定された図形以外のときに入力した二
値化図形のラベリングを行ってラベリング信号１４を出
力するラベリング回路４と、ラベリング信号１４を入力
してラベリングした二値化図形の輪郭点列を追跡し、各
画素毎に追跡方向のベクトルを算出してベクトル信号１
５を出力するベクトル算出回路５と、ベクトル信号１５
が良品のパターンのものであるときにベクトル信号１５
を記憶してベクトル読出し信号１６を出力する記憶回路
６と、良品のベクトル読出し信号１６と被検査品のベク
トル信号１５とを入力してこの二つの信号のベクトルの
差の絶対値を算出し、パターンの画像取込み誤差を考慮
してあらかじめ設定しである基準値以上よりもこの二つ
の信号のベクトル差の絶対値が大きい点列が存在する場
合に被検査パターンのそのラベルの入力図形に欠けまた
は突起の欠陥があると判定して欠陥検出信号１７を出力
する欠は突起検出回路７とを備えている。
ラベリングとは、連続して存在する図形を一つの集合と
考えたとき、通常各集合に左上から順番に番号を付ける
処理のことであり、付けられた番号のことをラベルとい
う。
考えたとき、通常各集合に左上から順番に番号を付ける
処理のことであり、付けられた番号のことをラベルとい
う。
ピンホールを一つの図形としてラベリングするために、
−度ラベリングした後に画像データの白黒を反転して再
度ラベリングを行う。
−度ラベリングした後に画像データの白黒を反転して再
度ラベリングを行う。
輪郭点列とは、二次元で表現しな二値化画像データの輪
郭を構成する画素を通常左上がら順に追跡して行くとき
、その画素のつながりのことをいう。
郭を構成する画素を通常左上がら順に追跡して行くとき
、その画素のつながりのことをいう。
輪郭点列の追跡方向を表すベクトルとは、輪郭点列を追
跡して行くときの接線方向を表すベクトルのことをいう
。このベクトル方向を疑似的に算出する方法の一例とし
ては、注目している画素とその画素から点列に沿った数
個光の画素とを取出し、これらの二つの画素間のベクト
ルを計算する方法かある。
跡して行くときの接線方向を表すベクトルのことをいう
。このベクトル方向を疑似的に算出する方法の一例とし
ては、注目している画素とその画素から点列に沿った数
個光の画素とを取出し、これらの二つの画素間のベクト
ルを計算する方法かある。
欠は突起検出回路７での二つのベクトルの差の絶対値の
算出は、良品と検査品との同一のラベルの入力図形につ
いて、それぞれの入力図形の点列の順番に各画素の追跡
方向ベクトルを取出してベクトルの差をとり、その絶対
値を求めることによって行う。
算出は、良品と検査品との同一のラベルの入力図形につ
いて、それぞれの入力図形の点列の順番に各画素の追跡
方向ベクトルを取出してベクトルの差をとり、その絶対
値を求めることによって行う。
欠陥検出信号１３が発生した場合は、ピンホールまたは
黒点の欠陥があると判定する。
黒点の欠陥があると判定する。
欠陥信号１７が発生した場合は、欠損または突起の欠陥
が含まれていると判定する。
が含まれていると判定する。
記憶回路６に必要なメモリの容量は、入力図形の輪郭追
跡方向のベクトルデータを記憶たけの容量でよいために
小さな容量で充分である。
跡方向のベクトルデータを記憶たけの容量でよいために
小さな容量で充分である。
また、欠陥の検出方法に二値化画像の輪郭のラベリング
情報と輪郭点列追跡方向のベクトル値とを用いているた
め、位置決め精度にそれほどの厳密さが要求されない。
情報と輪郭点列追跡方向のベクトル値とを用いているた
め、位置決め精度にそれほどの厳密さが要求されない。
以上説明したように、本発明のパターン検査装置は、位
置決め精度にさほどの厳密さが要求されず、またメモリ
容量を小さくすることができるという効果がある。
置決め精度にさほどの厳密さが要求されず、またメモリ
容量を小さくすることができるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
１・・・光電変換回路、２・・・二値化回路、３・・・
ピンホール黒点検出回路、４・・・ラベリング回路、５
・・ベクトル算出回路、６・・・記憶回路、７・・・欠
は突起検出回路。
ピンホール黒点検出回路、４・・・ラベリング回路、５
・・ベクトル算出回路、６・・・記憶回路、７・・・欠
は突起検出回路。
Claims (2)
- （１）複数個の可変抵抗器と、スイッチング素子とを備
え、前記複数個の可変抵抗器は、一端子を共通接続し、
かつ直列に抵抗を介して電源と接続するとともに、前記
複数個の可変抵抗器の他方の端子に各々前記スイッチン
グ素子を接続し、判定の必要なタイミングでのみ、対象
となる前記スイッチング素子を選択、ＯＮさせ、前記可
変抵抗器の共通接続した端子の電圧を判別する構成とし
た可変抵抗器判定回路。 - （２）前記可変抵抗器をリモコンに設け、前記スイッチ
ング素子の駆動信号をシリアル伝送する構成とした請求
項（１）記載の可変抵抗器判定回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1011337A JPH02191073A (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1011337A JPH02191073A (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | パターン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02191073A true JPH02191073A (ja) | 1990-07-26 |
Family
ID=11775219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1011337A Pending JPH02191073A (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | パターン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02191073A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5555315A (en) * | 1993-02-03 | 1996-09-10 | Nippondenso Co., Ltd. | Pinhole inspection device and method |
| JP2012237649A (ja) * | 2011-05-12 | 2012-12-06 | Ckd Corp | 錠剤検査装置及びｐｔｐ包装機 |
-
1989
- 1989-01-20 JP JP1011337A patent/JPH02191073A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5555315A (en) * | 1993-02-03 | 1996-09-10 | Nippondenso Co., Ltd. | Pinhole inspection device and method |
| JP2012237649A (ja) * | 2011-05-12 | 2012-12-06 | Ckd Corp | 錠剤検査装置及びｐｔｐ包装機 |
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