JPH02278167A - パターン検査装置 - Google Patents
パターン検査装置Info
- Publication number
- JPH02278167A JPH02278167A JP1100474A JP10047489A JPH02278167A JP H02278167 A JPH02278167 A JP H02278167A JP 1100474 A JP1100474 A JP 1100474A JP 10047489 A JP10047489 A JP 10047489A JP H02278167 A JPH02278167 A JP H02278167A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- pattern
- label
- area
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000002372 labelling Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 19
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はパターン検査装置、特に辞書をもちいて、プリ
ント板等の配線パターンの断線、ショート、ピンホール
、黒点の欠陥を検出するパターン検査装置に関する。
ント板等の配線パターンの断線、ショート、ピンホール
、黒点の欠陥を検出するパターン検査装置に関する。
従来のパターン検査装置は、２組の光学系を用いた比較
装置により、良品パターンと被検査パターンとをハード
ウェア主体で比較してパターンの欠陥を検出していた。
装置により、良品パターンと被検査パターンとをハード
ウェア主体で比較してパターンの欠陥を検出していた。
上述した従来のパターン検査装置は、厳密な位置決め精
度が要求されるという欠点があった。
度が要求されるという欠点があった。
本発明のパターン検査装置は、入力パターンを光電変換
しビデオ信号を出力する光電変換回路と、前記ビデオ信
号を二値化し二値化信号を出力する二値化回路と、前記
二値化信号に基づき前記入力パターンをラベリングする
ラベリング回路と、前記ラベリング回路でラベリングし
た各ラベルに対応する図形の面積を算出する面積算出回
路と、基準パターンを前記入力パターンとして前記面積
算出回路で算出した各ラベルに対応する面積を記憶する
記憶回路と、前記面積算出回路で算出した被検査パター
ンを前記入力パターンとして前記面積算出回路で算出し
た各ラベルに対応する面積と前記記憶回路に記憶した基
準パターンの各ラベルに対応する面積をラベル毎に比較
しその差が基準値以上なら被検査パターンに欠陥がある
と判定する欠陥検出回路とを含んで構成される。
しビデオ信号を出力する光電変換回路と、前記ビデオ信
号を二値化し二値化信号を出力する二値化回路と、前記
二値化信号に基づき前記入力パターンをラベリングする
ラベリング回路と、前記ラベリング回路でラベリングし
た各ラベルに対応する図形の面積を算出する面積算出回
路と、基準パターンを前記入力パターンとして前記面積
算出回路で算出した各ラベルに対応する面積を記憶する
記憶回路と、前記面積算出回路で算出した被検査パター
ンを前記入力パターンとして前記面積算出回路で算出し
た各ラベルに対応する面積と前記記憶回路に記憶した基
準パターンの各ラベルに対応する面積をラベル毎に比較
しその差が基準値以上なら被検査パターンに欠陥がある
と判定する欠陥検出回路とを含んで構成される。
次に、本発明について、図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図に示すパターン検査装置は、入力パターンを光電
変換し、ビデオ信号りを出力する光電変換回路１、ビデ
オ信号りを入力して、二値化処理を行い、二値化信号ｉ
を出力する二値化回路２、二値化信号ｉを入力し、入力
した二値化図形のラベリングを行い、ラベリング信号ｊ
を出力するラベリング回路３、ラベリング信号ｊを入力
し、ラベリングされな二値化図形の面積を算出し、面積
算出信号ｋを出力する面積算出回路４、基準パターンの
面積算出信号ｋを入力して、記憶し、面精算出読みだし
信号１を出力する記憶回路５、基準パターンの面積算出
読みだし信号１と被検査パターンの面積算出信号ｋを入
力し、欠陥検出を行い、欠陥検出信号ｍを出力する欠陥
検出口路６とを含んで構成される。
変換し、ビデオ信号りを出力する光電変換回路１、ビデ
オ信号りを入力して、二値化処理を行い、二値化信号ｉ
を出力する二値化回路２、二値化信号ｉを入力し、入力
した二値化図形のラベリングを行い、ラベリング信号ｊ
を出力するラベリング回路３、ラベリング信号ｊを入力
し、ラベリングされな二値化図形の面積を算出し、面積
算出信号ｋを出力する面積算出回路４、基準パターンの
面積算出信号ｋを入力して、記憶し、面精算出読みだし
信号１を出力する記憶回路５、基準パターンの面積算出
読みだし信号１と被検査パターンの面積算出信号ｋを入
力し、欠陥検出を行い、欠陥検出信号ｍを出力する欠陥
検出口路６とを含んで構成される。
ここで光電変換回路１では、入力パターン画像を収り込
み、二値化回路２で二値化する。入力パターン画像とし
て、最初に基準パターンを取り込み、以後被検査パター
ンを取り込む。
み、二値化回路２で二値化する。入力パターン画像とし
て、最初に基準パターンを取り込み、以後被検査パター
ンを取り込む。
ラベリング回路３では二値化信号ｉを入力し、ラベリン
グを行う。ラベリングとは、連続して存在する図形を１
つの集合と考えた時、各集合に一般には左上から順番を
付けてゆく処理のことをいい、付けられた順番のことを
ラベルと呼ぶ。例えば黒白画像の黒の部分の信号を二値
化回路２で”１″゛とし、黒の部分からなる図形に順番
を付ける。印刷配線の透過光によるパターンでは、ピン
ホールは白い部分となるがラベリングでピンホールも１
つの図形として扱えるように、−度ラベリングした後、
画像データの白黒を反転した状態で再度ラベリングを行
うく白黒を反転する前の図形の順番に続けて白黒反転後
の図形に順番を付ける）。この後、各ラベルをラベリン
グ信号）として出力する。
グを行う。ラベリングとは、連続して存在する図形を１
つの集合と考えた時、各集合に一般には左上から順番を
付けてゆく処理のことをいい、付けられた順番のことを
ラベルと呼ぶ。例えば黒白画像の黒の部分の信号を二値
化回路２で”１″゛とし、黒の部分からなる図形に順番
を付ける。印刷配線の透過光によるパターンでは、ピン
ホールは白い部分となるがラベリングでピンホールも１
つの図形として扱えるように、−度ラベリングした後、
画像データの白黒を反転した状態で再度ラベリングを行
うく白黒を反転する前の図形の順番に続けて白黒反転後
の図形に順番を付ける）。この後、各ラベルをラベリン
グ信号）として出力する。
１Ｍ積算出回路４ではラベリング信号ｊを入力し、各ラ
ベル毎にその図形の面積を算出し、面積算出信号１を出
力する。
ベル毎にその図形の面積を算出し、面積算出信号１を出
力する。
記憶回路５では、基準パターンの面積算出信号１を入力
し、各ラベル毎にその面積を記憶する。
し、各ラベル毎にその面積を記憶する。
欠陥検出回路６では、記憶回路５にあらかじめ記憶して
あった基準パターンの面積算出信号１を読み出した面積
算出読みだし信号にと、検査パターンの面積算出信号】
を入力し、各ラベル毎に面積を比較し、画像の取り込み
時に生じる面積の誤差を考慮して設定した基準値より、
基準パターンと検査パターンの面積に差がある場合は、
ピンホール、黒点、断線またはショートの欠陥があると
判定し、欠陥検出信号ｍを出力する。
あった基準パターンの面積算出信号１を読み出した面積
算出読みだし信号にと、検査パターンの面積算出信号】
を入力し、各ラベル毎に面積を比較し、画像の取り込み
時に生じる面積の誤差を考慮して設定した基準値より、
基準パターンと検査パターンの面積に差がある場合は、
ピンホール、黒点、断線またはショートの欠陥があると
判定し、欠陥検出信号ｍを出力する。
欠陥検出信号ｍが出力された時は、取り込んだ入力パタ
ーンに欠陥があると判定され、その時点で検査を終了す
る。本実施例では、設定した基準値以上の大きい欠けや
、突起の検出も可能である。
ーンに欠陥があると判定され、その時点で検査を終了す
る。本実施例では、設定した基準値以上の大きい欠けや
、突起の検出も可能である。
また検査を小エリアに分割して行えば、欠陥の有り無し
だけでなく、対象製品のおおよその欠陥存在位置の検出
が可能である。
だけでなく、対象製品のおおよその欠陥存在位置の検出
が可能である。
本発明のパターン検査装置は、検査パターンと基準パタ
ーン図形をラベリングし、各ラベル毎に対応する図形の
面積を比較することによって欠陥を検出するため、位置
決め精度に厳密性が要求されないという効果がある。
ーン図形をラベリングし、各ラベル毎に対応する図形の
面積を比較することによって欠陥を検出するため、位置
決め精度に厳密性が要求されないという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
１・・・光電変換回路、２・・・二値化回路、３・・・
ラベリング回路、４・・・面積算出回路、５・・・記憶
回路、６・・・欠陥検出回路、ｈ・・・ビデオ信号、ｉ
・・・二値化信号、ｊ・・・ラベリング信号、ｋ・・・
面積算出信号、１・・・面積読みだし信号、ｍ・・・欠
陥検出信号。
ラベリング回路、４・・・面積算出回路、５・・・記憶
回路、６・・・欠陥検出回路、ｈ・・・ビデオ信号、ｉ
・・・二値化信号、ｊ・・・ラベリング信号、ｋ・・・
面積算出信号、１・・・面積読みだし信号、ｍ・・・欠
陥検出信号。
Claims (1)
- 入力パターンを光電変換しビデオ信号を出力する光電
変換回路と、前記ビデオ信号を二値化し二値化信号を出
力する二値化回路と、前記二値化信号に基づき前記入力
パターンをラベリングするラベリング回路と、前記ラベ
リング回路でラベリングした各ラベルに対応する図形の
面積を算出する面積算出回路と、基準パターンを前記入
力パターンとして前記面積算出回路で算出した各ラベル
に対応する面積を記憶する記憶回路と、前記面積算出回
路で算出した被検査パターンを前記入力パターンとして
前記面積算出回路で算出した各ラベルに対応する面積と
前記記憶回路に記憶した基準パターンの各ラベルに対応
する面積をラベル毎に比較しその差が基準値以上なら被
検査パターンに欠陥があると判定する欠陥検出回路とを
含むことを特徴とするパターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1100474A JPH02278167A (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1100474A JPH02278167A (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | パターン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02278167A true JPH02278167A (ja) | 1990-11-14 |
Family
ID=14274912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1100474A Pending JPH02278167A (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | パターン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02278167A (ja) |
-
1989
- 1989-04-19 JP JP1100474A patent/JPH02278167A/ja active Pending
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