JPH02173876A - パターン検査装置 - Google Patents
パターン検査装置Info
- Publication number
- JPH02173876A JPH02173876A JP63330359A JP33035988A JPH02173876A JP H02173876 A JPH02173876 A JP H02173876A JP 63330359 A JP63330359 A JP 63330359A JP 33035988 A JP33035988 A JP 33035988A JP H02173876 A JPH02173876 A JP H02173876A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- defect
- circuit
- outputs
- perimeter
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はパターン検査装置、特に、辞書を用いて、ピン
ホール、黒点、欠け、突起等の欠陥を検出するパターン
検査装置に関する。
ホール、黒点、欠け、突起等の欠陥を検出するパターン
検査装置に関する。
従来の技術としては、例えば、２組の光学系を用いた比
較装置により、良品パターンと被検査パターンとをハー
ドウェア主体で比較するものがあった。
較装置により、良品パターンと被検査パターンとをハー
ドウェア主体で比較するものがあった。
上述した従来のパターン検査装置は、厳密な位置決め精
度が要求されるという欠点があった。
度が要求されるという欠点があった。
これを避けるため、良品パターンをメモリに収容すると
、パターンが複雑な場合は莫大なメモリ容量が必要にな
るという欠点があった。
、パターンが複雑な場合は莫大なメモリ容量が必要にな
るという欠点があった。
本発明のパターン検査装置は、
（Ａ）被検査パターンを光電変換し、ビデオ信号を出力
する光電変換回路。
する光電変換回路。
（Ｂ）前記ビデオ信号を二値化し、二値化信号を出力す
る二値化回路、 （Ｃ）前記二値化信号にもとづいて、二値化画像のラベ
ル付けを行ないラベリング信号を出力するラベリング回
路、 （Ｉｔ）前記二値化信号にもとづいて、前記二値化画像
の輪郭を抽出し、それぞれの前記輪郭の周囲長を算出し
、各算出周囲長信号を出力する周囲長算出回路、 （Ｅ）前記各算出周囲長信号が、前記被検査パターンの
最小パッドの周囲長以下に設定された第１の欠陥判定基
準値よりも小さい場合には、ラベル付けされた第１の欠
陥信号を出力する第１の欠陥判定回路、 （Ｆ）前記第１の欠陥信号が発生しない場合は、前記各
算出周囲長信号と辞書となる良品パターン中の同一ラベ
ルのパターンの周囲長である各周囲長標準値とを順次比
較してゆき比較信号を出力し、前記第１の欠陥信号が発
生した場合は、次の番号にラベル付けされている前記算
出周囲長信号と前記周囲長標準値とを比較し前記比較信
号として出力する比較回路、 （Ｇ）前記比較信号が、前記光電変換回路での変換過程
で生ずる前記被検査パターンの取り込み誤差を考慮して
設定された偏差値を越えている場合は、第２の欠陥信号
を出力する第２の欠陥判定回路、 とを含んで構成される。
る二値化回路、 （Ｃ）前記二値化信号にもとづいて、二値化画像のラベ
ル付けを行ないラベリング信号を出力するラベリング回
路、 （Ｉｔ）前記二値化信号にもとづいて、前記二値化画像
の輪郭を抽出し、それぞれの前記輪郭の周囲長を算出し
、各算出周囲長信号を出力する周囲長算出回路、 （Ｅ）前記各算出周囲長信号が、前記被検査パターンの
最小パッドの周囲長以下に設定された第１の欠陥判定基
準値よりも小さい場合には、ラベル付けされた第１の欠
陥信号を出力する第１の欠陥判定回路、 （Ｆ）前記第１の欠陥信号が発生しない場合は、前記各
算出周囲長信号と辞書となる良品パターン中の同一ラベ
ルのパターンの周囲長である各周囲長標準値とを順次比
較してゆき比較信号を出力し、前記第１の欠陥信号が発
生した場合は、次の番号にラベル付けされている前記算
出周囲長信号と前記周囲長標準値とを比較し前記比較信
号として出力する比較回路、 （Ｇ）前記比較信号が、前記光電変換回路での変換過程
で生ずる前記被検査パターンの取り込み誤差を考慮して
設定された偏差値を越えている場合は、第２の欠陥信号
を出力する第２の欠陥判定回路、 とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図に示すパターン検査装置は、
（Ａ）被検査パターンを光電変換し、ビデオ信号りを出
力する光電変換回路１、 （Ｂ）ビデオ信号りを二値化し、二値化信号ｉを出力す
る二値化回路２、 （Ｃ）二値化信号りにもとづいて、二値化画像のラベル
付けを行ないラベリング信号ｊを出力するラベリング回
路３、 （Ｄ）二値化信号ｉにもとづいて、前記二値化画像の輪
郭を抽出し、それぞれの前記輪郭の周囲長を算出し、各
算出周囲長信号ｋを出力する周囲長算出回路４、 （Ｅ）各算出周囲長信号ｋが、前記被検査パターンの最
小パッドの周囲長以下に設定された第１の欠陥判定基準
値よりも小さい場合には、ラベル付けされた第１の欠陥
信号ｎを出力する第１の欠陥判定回路７、 （Ｆ）欠陥信号ｎが発生しない場合は、各算出周囲長信
号にと辞書となる良品パターン中の同一ラベルのパター
ンの周囲長である各周囲長標準値とを順次比較してゆき
比較信号ｌを出力し、欠陥信号ｎが発生した場合は、次
の番号にラベル付けされている算出周囲長信号にと前記
周囲長標準値とを比較し前記比較信号ｌとして出力する
比較回路５、 （Ｇ）比較信号１が、光電変換回路１での変換過程で生
ずる前記被検査パターンの取り込み誤差を考慮して設定
された偏差値を越えている場合は、第２の欠陥信号ｍを
出力する第２の欠陥判定回路６、 とを含んで構成される。
力する光電変換回路１、 （Ｂ）ビデオ信号りを二値化し、二値化信号ｉを出力す
る二値化回路２、 （Ｃ）二値化信号りにもとづいて、二値化画像のラベル
付けを行ないラベリング信号ｊを出力するラベリング回
路３、 （Ｄ）二値化信号ｉにもとづいて、前記二値化画像の輪
郭を抽出し、それぞれの前記輪郭の周囲長を算出し、各
算出周囲長信号ｋを出力する周囲長算出回路４、 （Ｅ）各算出周囲長信号ｋが、前記被検査パターンの最
小パッドの周囲長以下に設定された第１の欠陥判定基準
値よりも小さい場合には、ラベル付けされた第１の欠陥
信号ｎを出力する第１の欠陥判定回路７、 （Ｆ）欠陥信号ｎが発生しない場合は、各算出周囲長信
号にと辞書となる良品パターン中の同一ラベルのパター
ンの周囲長である各周囲長標準値とを順次比較してゆき
比較信号ｌを出力し、欠陥信号ｎが発生した場合は、次
の番号にラベル付けされている算出周囲長信号にと前記
周囲長標準値とを比較し前記比較信号ｌとして出力する
比較回路５、 （Ｇ）比較信号１が、光電変換回路１での変換過程で生
ずる前記被検査パターンの取り込み誤差を考慮して設定
された偏差値を越えている場合は、第２の欠陥信号ｍを
出力する第２の欠陥判定回路６、 とを含んで構成される。
ラベル付けとは、連続して存在する図形を１つの集合と
して考えた時、各集合に一般に左上から順番をつけてゆ
く処理をいい、つけられた順番のことをラベルと呼ぶ。
して考えた時、各集合に一般に左上から順番をつけてゆ
く処理をいい、つけられた順番のことをラベルと呼ぶ。
ピンホールは１つの集合図形としてラベル付けを行なう
ため、−度ラベル付けをした後、画像データの白黒を反
転し、再度ラベル付けを行なう。
ため、−度ラベル付けをした後、画像データの白黒を反
転し、再度ラベル付けを行なう。
欠陥信号ｎが発生した場合は、ピンホールまたは黒点の
欠陥があると判断される。
欠陥があると判断される。
欠陥信号ｍが発生した場合は、欠損または突起の欠陥が
含まれていると判断される。
含まれていると判断される。
比較回路５中に必要なメモリ容量は、良品パターン数に
対応した周辺長データだけでよいがら、少なくて済む。
対応した周辺長データだけでよいがら、少なくて済む。
本発明のパターン検査装置は、位置決め精度に厳密性が
要求されず、メモリ容量が少なくできるという効果があ
る。
要求されず、メモリ容量が少なくできるという効果があ
る。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
１・・・・・・光電変換回路、２・・・・・・二値化回
路、３・・・・・・ラベリング回路、４・・・・・・周
辺長算出回路、５・・・・・比較回路、６．７・・・・
・・欠陥判定回路。 １〕・・・・・・ビデオ信号、ｉ・・・・・・二値化信
号、ｊ・・・・・・ラベリング信号、ｋ・・・・・・算
出周辺長信号、１・・・・・・比較信号、ｍ、ｎ・・・
・・・欠陥信号。 代理人 弁理士 内 原 晋
路、３・・・・・・ラベリング回路、４・・・・・・周
辺長算出回路、５・・・・・比較回路、６．７・・・・
・・欠陥判定回路。 １〕・・・・・・ビデオ信号、ｉ・・・・・・二値化信
号、ｊ・・・・・・ラベリング信号、ｋ・・・・・・算
出周辺長信号、１・・・・・・比較信号、ｍ、ｎ・・・
・・・欠陥信号。 代理人 弁理士 内 原 晋
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （Ａ）被検査パターンを光電変換し、ビデオ信号を出力
する光電変換回路、 （Ｂ）前記ビデオ信号を二値化し、二値化信号を出力す
る二値化回路、 （Ｃ）前記二値化信号にもとづいて、二値化画像のラベ
ル付けを行ないラベリング信号を出力するラベリング回
路、 （Ｄ）前記二値化信号にもとづいて、前記二値化画像の
輪郭を抽出し、それぞれの前記輪郭の周囲長を算出し、
各算出周囲長信号を出力する周囲長算出回路、 （Ｅ）前記各算出周囲長信号が、前記被検査パターンの
最小パッドの周囲長以下に設定された第１の欠陥判定基
準値よりも小さい場合には、ラベル付けされた第１の欠
陥信号を出力する第１の欠陥判定回路、 （Ｆ）前記第１の欠陥信号が発生しない場合は、前記各
算出周囲長信号と辞書となる良品パターン中の同一ラベ
ルのパターンの周囲長である各周囲長標準値とを順次比
較してゆき比較信号を出力し、前記第１の欠陥信号が発
生した場合は、次の番号にラベル付けされている前記算
出周囲長信号と前記周囲長標準値とを比較し前記比較信
号として出力する比較回路、 （Ｇ）前記比較信号が、前記光電変換回路での変換過程
で生ずる前記被検査パターンの取り込み誤差を考慮して
設定された偏差値を越えている場合は、第２の欠陥信号
を出力する第２の欠陥判定回路、 とを含むことを特徴とするパターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63330359A JPH02173876A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63330359A JPH02173876A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | パターン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02173876A true JPH02173876A (ja) | 1990-07-05 |
Family
ID=18231729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63330359A Pending JPH02173876A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | パターン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02173876A (ja) |
-
1988
- 1988-12-26 JP JP63330359A patent/JPH02173876A/ja active Pending
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