JPH02184979A - パターン検査装置 - Google Patents
パターン検査装置Info
- Publication number
- JPH02184979A JPH02184979A JP1005161A JP516189A JPH02184979A JP H02184979 A JPH02184979 A JP H02184979A JP 1005161 A JP1005161 A JP 1005161A JP 516189 A JP516189 A JP 516189A JP H02184979 A JPH02184979 A JP H02184979A
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- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 29
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 17
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- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 7
- 206010064127 Solar lentigo Diseases 0.000 claims description 5
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Landscapes
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はパターン検査装置、特にピンポール黒点、欠け
、突起等の欠陥を検出するパターン検査装置に関する。
、突起等の欠陥を検出するパターン検査装置に関する。
従来のパターン検査装置は、例えば２組の光学系を用い
た比較装置により、良品パターンと被検査パターンを機
械的に比較している。
た比較装置により、良品パターンと被検査パターンを機
械的に比較している。
したがって上述した従来のパターン検査装置は、必然的
に厳密な位置決め精度が要求されるという欠点がある。
に厳密な位置決め精度が要求されるという欠点がある。
これを避けるために良品パターンをメモリに収容すると
、パターンが複雑な場合には莫大なメモリ容量が必要で
あるという欠点も発生する。
、パターンが複雑な場合には莫大なメモリ容量が必要で
あるという欠点も発生する。
本発明のパターン検査装置は、被検査パターンを光電変
換しビデオ信号を出力する光電変換回路と、前記ビデオ
信号を二値化し二値化信号を出力する二値化回路と、前
記二値化信号に基づき算出した入力図形の周囲長が被検
査パターンの最小パッドの周囲長以下に設定された欠陥
判定基準値よりも小さい場合には前記入力図形がピンホ
ールあるいは黒点の欠陥であると判定するピンホール・
黒点検出回路と、前記ピンホール・黒点検出回路で欠陥
と判定された図形以外の図形をラベリングするラベリン
グ回路と、前記ラベリング回路でラベリングされた図形
に対して図形の輪郭の点列を追跡しながら各点列画素の
曲率を算出する曲率算出回路と、基準となるパターンの
輪郭点列の曲率を前記曲率算出回路で算出して記憶する
記憶回路と、前記曲率算出回路で算出した被検査品の輪
郭点列の曲率と前記記憶回路に記憶した同一レベルの良
品の輪郭点列の曲率とを各点列毎に比較し２つの曲率の
差の絶対値が基準値より大きいものがある場合そのラベ
ル図形に欠陥があると判定する欠け・突起検出回路とを
含む。
換しビデオ信号を出力する光電変換回路と、前記ビデオ
信号を二値化し二値化信号を出力する二値化回路と、前
記二値化信号に基づき算出した入力図形の周囲長が被検
査パターンの最小パッドの周囲長以下に設定された欠陥
判定基準値よりも小さい場合には前記入力図形がピンホ
ールあるいは黒点の欠陥であると判定するピンホール・
黒点検出回路と、前記ピンホール・黒点検出回路で欠陥
と判定された図形以外の図形をラベリングするラベリン
グ回路と、前記ラベリング回路でラベリングされた図形
に対して図形の輪郭の点列を追跡しながら各点列画素の
曲率を算出する曲率算出回路と、基準となるパターンの
輪郭点列の曲率を前記曲率算出回路で算出して記憶する
記憶回路と、前記曲率算出回路で算出した被検査品の輪
郭点列の曲率と前記記憶回路に記憶した同一レベルの良
品の輪郭点列の曲率とを各点列毎に比較し２つの曲率の
差の絶対値が基準値より大きいものがある場合そのラベ
ル図形に欠陥があると判定する欠け・突起検出回路とを
含む。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。同
図においてパターン検査装置は、（Ａ）被検査パターン
を光電変換し、ビデオ信号りを出力する光電変換回路１
、 （Ｂ）ビデオ信号りを二値化し、二値化信号ｉを出力す
る二値化回路２、 （Ｃ）二値化信号ｉを入力し、入力した二値化図形の周
囲長を算出し、算出した周囲長がパターンの最小パッド
の周囲長以下に設定した欠陥判定基準値よりも小さい場
合には、入力した二値化図形がピンホールあるいは黒点
の欠陥であると判定し、欠陥信号ｊを出力するピンホー
ル・黒点検出回路３、 （Ｄ）二値化信号ｉと欠陥検出信号ｊを入力し、ピンホ
ール・黒点検出回路３で入カバターンが欠陥と判定され
た図形以外の時に入力された二値化図形のラベリングを
行い、ラベリング信号ｋを出力するラベリング回路４、 （Ｅ）ラベリング信号ｋを入力し、ラベリングされた二
値化図形の輪郭点列を追跡し、各画素毎に輪郭線の曲率
を算出し、曲率信号ｐを出力する曲率算出回路５、 （Ｆ）曲率信号ｇが良品のパターンのものである時、曲
率信号ｊを記憶し、曲率読みだし信号ｍを出力する記憶
回路６、 （Ｇ）良品の曲率読みだし信号ｍと被検査品の曲率信号
１を入力し、各点列毎に２つの曲率の差の絶対値を算出
し、パターンの画像取り込み誤差を考慮して設定した基
準値以上よりも２つの曲率の差の絶対値が大きい点列が
存在する場合は、被検査パターンのそのラベルの入力図
形に欠けあるいは突起の欠陥があると判定し、欠陥検出
信号ｎを出力する欠け・突起検出回路７、 とを含んで構成される。
図においてパターン検査装置は、（Ａ）被検査パターン
を光電変換し、ビデオ信号りを出力する光電変換回路１
、 （Ｂ）ビデオ信号りを二値化し、二値化信号ｉを出力す
る二値化回路２、 （Ｃ）二値化信号ｉを入力し、入力した二値化図形の周
囲長を算出し、算出した周囲長がパターンの最小パッド
の周囲長以下に設定した欠陥判定基準値よりも小さい場
合には、入力した二値化図形がピンホールあるいは黒点
の欠陥であると判定し、欠陥信号ｊを出力するピンホー
ル・黒点検出回路３、 （Ｄ）二値化信号ｉと欠陥検出信号ｊを入力し、ピンホ
ール・黒点検出回路３で入カバターンが欠陥と判定され
た図形以外の時に入力された二値化図形のラベリングを
行い、ラベリング信号ｋを出力するラベリング回路４、 （Ｅ）ラベリング信号ｋを入力し、ラベリングされた二
値化図形の輪郭点列を追跡し、各画素毎に輪郭線の曲率
を算出し、曲率信号ｐを出力する曲率算出回路５、 （Ｆ）曲率信号ｇが良品のパターンのものである時、曲
率信号ｊを記憶し、曲率読みだし信号ｍを出力する記憶
回路６、 （Ｇ）良品の曲率読みだし信号ｍと被検査品の曲率信号
１を入力し、各点列毎に２つの曲率の差の絶対値を算出
し、パターンの画像取り込み誤差を考慮して設定した基
準値以上よりも２つの曲率の差の絶対値が大きい点列が
存在する場合は、被検査パターンのそのラベルの入力図
形に欠けあるいは突起の欠陥があると判定し、欠陥検出
信号ｎを出力する欠け・突起検出回路７、 とを含んで構成される。
ラベリングとは、連続して存在する図形の１つの集合と
考えた時、各集合に一般には左上がら順番を付けてゆく
処理のことをいい、付けられた順番のことをラベルと呼
ぶ。ピンホールを１つの図形としてラベリングするため
に、−度ラベリングした後、画像データを白黒を反転し
て再度ラベリングを行う。
考えた時、各集合に一般には左上がら順番を付けてゆく
処理のことをいい、付けられた順番のことをラベルと呼
ぶ。ピンホールを１つの図形としてラベリングするため
に、−度ラベリングした後、画像データを白黒を反転し
て再度ラベリングを行う。
輪郭点列とは、二次元で表現されている二値化画像デー
タの輪郭を構成する画素を一般に左上がら順に追跡して
行く時、その画素のつながりのことを指す。
タの輪郭を構成する画素を一般に左上がら順に追跡して
行く時、その画素のつながりのことを指す。
輪郭点列の曲率とは、点列毎にその画素を通り輪郭に接
触する円の半径の逆数をいう。欠け・突起検出回路７で
の２つの曲率の差の絶対値の算出は、良品および検査品
の同一ラベルの入力回路について、それぞれの入力図形
の点列の順番に各画素の曲率を取り出して行う。
触する円の半径の逆数をいう。欠け・突起検出回路７で
の２つの曲率の差の絶対値の算出は、良品および検査品
の同一ラベルの入力回路について、それぞれの入力図形
の点列の順番に各画素の曲率を取り出して行う。
欠陥検出信号ｊが発生した場合はピンホールあるいは黒
点の欠陥があると判定される。また、欠陥信号ｎが発生
した場合は欠陥または突起の欠陥が含まれていると判定
される。
点の欠陥があると判定される。また、欠陥信号ｎが発生
した場合は欠陥または突起の欠陥が含まれていると判定
される。
記憶回路６に必要な情報は入力図形の輪郭点列の曲率デ
ータだけでよいので、記憶回路６の容量は少なくてすむ
。また欠陥の検出方法に二値化画像の輪郭のラベリング
情報と輪郭点列の曲率を用いているので厳密な位置決め
は要求されない。
ータだけでよいので、記憶回路６の容量は少なくてすむ
。また欠陥の検出方法に二値化画像の輪郭のラベリング
情報と輪郭点列の曲率を用いているので厳密な位置決め
は要求されない。
本発明のパターン検査装置は位置決め精度に厳密性を要
求せず、さらにメモリ容量を少なくできるという効果が
ある。
求せず、さらにメモリ容量を少なくできるという効果が
ある。
検出回路、ｈ・・・ビデオ信号、ｉ・・・二値化信号、
ｊ・・・欠陥検出信号、ｋ・・・ラベリング信号、ｇ・
・・曲率信号、ｍ・・・曲率読みだし信号、ｎ・・・欠
陥検出信号。
ｊ・・・欠陥検出信号、ｋ・・・ラベリング信号、ｇ・
・・曲率信号、ｍ・・・曲率読みだし信号、ｎ・・・欠
陥検出信号。
Claims (1)
- 被検査パターンを光電変換しビデオ信号を出力する光電
変換回路と、前記ビデオ信号を二値化し二値化信号を出
力する二値化回路と、前記二値化信号に基づき算出した
入力図形の周囲長が被検査パターンの最小パッドの周囲
長以下に設定された欠陥判定基準値よりも小さい場合に
は前記入力図形がピンホールあるいは黒点の欠陥である
と判定するピンホール・黒点検出回路と、前記ピンホー
ル・黒点検出回路で欠陥と判定された図形以外の図形を
ラベリングするラベリング回路と、前記ラベリング回路
でラベリングされた図形に対して図形の輪郭の点列を追
跡しながら各点列画素の曲率を算出する曲率算出回路と
、基準となるパターンの輪郭点列の曲率を前記曲率算出
回路で算出して記憶する記憶回路と、前記曲率算出回路
で算出した被検査品の輪郭点列の曲率と前記記憶回路に
記憶した同一レベルの良品の輪郭点列の曲率とを各点列
毎に比較し２つの曲率の差の絶対値が基準値より大きい
ものがある場合そのラベル図形に欠陥があると判定する
欠け・突起検出回路とを含むことを特徴とするパターン
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1005161A JPH02184979A (ja) | 1989-01-11 | 1989-01-11 | パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1005161A JPH02184979A (ja) | 1989-01-11 | 1989-01-11 | パターン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02184979A true JPH02184979A (ja) | 1990-07-19 |
Family
ID=11603525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1005161A Pending JPH02184979A (ja) | 1989-01-11 | 1989-01-11 | パターン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02184979A (ja) |
-
1989
- 1989-01-11 JP JP1005161A patent/JPH02184979A/ja active Pending
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