JPH02200797A - 有機薄膜の製造方法 - Google Patents

有機薄膜の製造方法

Info

Publication number
JPH02200797A
JPH02200797A JP1765989A JP1765989A JPH02200797A JP H02200797 A JPH02200797 A JP H02200797A JP 1765989 A JP1765989 A JP 1765989A JP 1765989 A JP1765989 A JP 1765989A JP H02200797 A JPH02200797 A JP H02200797A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
micelle
solution
substance
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1765989A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH068515B2 (ja
Inventor
Seiichiro Yokoyama
横山 清一郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Idemitsu Kosan Co Ltd
Original Assignee
Idemitsu Kosan Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Idemitsu Kosan Co Ltd filed Critical Idemitsu Kosan Co Ltd
Priority to JP1765989A priority Critical patent/JPH068515B2/ja
Publication of JPH02200797A publication Critical patent/JPH02200797A/ja
Publication of JPH068515B2 publication Critical patent/JPH068515B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
  • Colloid Chemistry (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は有機薄膜の製造方法に関し、詳し7くは特定の
ミセル化剤を用い、また、非水溶媒と水性媒体との混合
液を用いると共に、電気化学的手法を講じることによっ
て、光メモリー材料、感光材料をはじめ電子材料、コー
ティング材料等に利用しうる有機薄膜を効率よく製造す
る方法に関する。
〔従来の技術及び発明が解決しよ・)とする課題〕近年
、有機薄膜の形成技術については、様々な手法が開発さ
れており、フタロシアニンあるいはその誘導体等の色素
をはじめとする疎水性の有機物質については、一般に真
空蒸着法、熱CVD法。
プラズマCVD法、超高真空(イオンビーム、分子線エ
ピタキシー)法、LB法、キャスト法などによって薄膜
化されている。さらに最近では、所謂ミセル電解法なる
薄膜形成技術が開発されるに至り(特開昭63−243
298号公報参照)、上述した疎水性の有機物質の薄膜
化が容易になると同時に、薄膜の均質化、y4肉化等が
一段と改善され、高品質の薄膜を形成することが可能と
なっている。このミセル電解法は、疎水性の有機物質の
一次粒子あるいは二次粒子の形状を保持したまま製膜で
きる点に特徴がある。
し2かし、上述したミセル電解法は、−成粒子や二次粒
子の形状を保持したまま製膜できるものの、分子状に分
散させた状態の薄膜杏形成することはできなかった。
そこで、本発明者は上記ミセル電解法ではなし得なかっ
た分子状に分散した薄膜を形成する方法を開発すべく鋭
意研究を重ねた。
その結果、従来のミセル溶液に疎水性有機物質を分散1
可溶化させる代わりに、非水溶媒C,7疎水性有機物質
を溶解させ、その溶液をミセル化剤及び水性媒体と混合
させたものを通電処理するごとによって、所期の1・]
的が達成できることを見出した。本発明はかかる知見に
基いて完成りまたものである。
〔課題を解決するための手段〕
すなわら、本発明は(a)疎水性有機物質をJ[水溶媒
に溶解させた溶液、 (1,、)水性媒体及び(c) 
−,7−zロセン誘導体よりなるミセル化剤を混合し、
得られる混合液を通電処理して電穫上に前記疎水性有機
物質の薄膜を形成″4ることを特徴とする有機薄膜の製
造方法を捷供するものである。
本発明の方法に用いる疎水性有機物質は、様々なもの壱
あげることができるが12例えばペリレン。
ペリレンの金@錯体およびこれらの誘導体、レー:t#
1月、フクロシア−、ン、フタ1コシアニンの金属錯体
およびこれらの誘導体くフタロシアニンプルフタロシア
ニングリ−j、12など)、ナソタロシ”7ニン、ナツ
タ1!シア、−ンの金属錯体およびこれらの誘導体、ポ
ルフィリン、ポルフィリンの金属錯体およびこれらの誘
導体、アントラキノン、アゾ色素、キナクリドン9 ビ
オ11ゲン、スーダンなどの光メモリー用色素や有機色
素をはじめ1.1”−ジヘブヂル−4,4“−ビビリジ
ニウムジブロマイド 1. 1”−ジドデシル−4,4
−ビビリュ;クニウムジブロ′ンイドなどの工1/クト
aクロミック材料、6−・ニトロ−1,3,3−4リメ
チルスビロー(2’H〜1゛−ベンゾビランー 2.2
=−インドリン)(通称スピロピラン)などの感光材料
(フォトりしjミック材料)や光センサー材料、Pアゾ
4−シアニソールなどの液晶表示用色素、更に「カラー
ゲミカル事典1株式会社シーエムシ、198ン313月
281]発行の第542へ・71′1頁に列挙されてい
る工し・クトロで−ジス用色素5記録用色素、環境クロ
ミズム用色素1写真用色素エネルギー用色素。バイオメ
ディカル用色素1食品・化粧用色素、染料、顔料、特殊
着色用色素のうちの疎水性の化合物などがあげられる。
また、7.7,8.8−テトラシアノキノンジメタン(
TCNQ)とテトラシアフルバレ=/(TTF)との]
 : 1. SR体などの有機導電材料やガスセ:/サ
ー材料、ベンタエリスリトールジアクリレー トなどの
光硬化性塗料、ステ“7リン酸などの絶縁材料、1、−
−フェニルアゾ−2−ナフトールなどのジ”7ゾタイブ
の感光材料や塗料等をあげることができる。
次6ご、上記疎水性有機物質を溶解$=る非水溶媒とし
、では、様々のものがあげられ、例えば−・4−サン、
・・ブタン等の脂肪族炭化水素、テトラヒドロフラン(
1’HF)等の環状エーテル、メタン・−ル。
エタノール、プロパツール等のアルコール、アセトン、
メチルエチルゲトン等のケトン、酢酸エチル等のエーテ
・ル、ベンセ“ン′、トルエン、キシレ・ン笠の芳香族
炭化水素、そのほかジメヂルボルムアミド(DMF)、
  ダメナルスルホキシド5アセト、ニートリル5塩化
メチレン、りIニア0ナフタレンなどを好適なものとし
Cあげることができる。いずれにしても、十記疎水性有
機物質を溶解するものであれば、(t))水性媒体に対
して相溶性を有するか否かを問わず、各種の有機溶媒が
使用可能である。
本発明の方法では、前記の疎水性有機物質を井水溶媒に
溶解させた溶液を(a)成分とし、これに(1))水性
媒体と(c)ミセル化剤を混合するが、ここでα))水
性媒体としては、水をはじめ、水とアルコールの混合液
、水とアセトンの混合液など様々な水を基調とする媒体
をあげることができる。
一方、(c)成分として用いるミセル化剤は、フ、7゜
ロセン誘導体よりなるものである。ここで、使用可能な
フェロセン誘導体には、様々なものがあるが、例えば特
開昭63−243298号公報に示されるアンモニウム
型のフェロセン誘導体、′JL8191昭62−212
718号明細書に示されるエーテル型のソエし1センf
f11体、[[s 3−52696号明細書に示される
ピリジニウム型のフェロセン誘導体、さらには特願昭6
:l−233798号明細書、同63−・248600
号明細書、同63−248601号明細書等に示される
様々なタイプのフェロセン誘導体がある。
本発明の方法では、前記(a)、 0))及び(c)成
分を混会してなる混合液を用いる。この混合液は、(a
)成分中の非水溶媒& (b)成分である水性媒体とが
不溶性Cある場合には、疎水性(′1機物質を非水溶媒
Gご溶解させた溶液((a)成分)が、ミセル化剤を含
む水性媒体中で乳化L ’?:エマルジゴンになるとと
もに、疎水性有機物′6は、4ミセル化剤によっこ1、
その−・部が水性媒体に溶解(分子ik )すると考え
られる。また、前記非水溶媒と水11媒体とが相溶性で
ある場合?、こは1.T′?ルジョンを形成する、二と
なく、疎水性有機物nがミセル化剤によって、系全体に
分散し、ミセル化剤中に取り込まれると考えられる。い
ずれのIF5合も疎水性有機物質は、分子状に分散ある
いは可溶化す゛るθ)で、その後の、IJ]1電処理に
よって、分子状に分散して形成した薄1摸となる。
本発明の方法で行う通電処理は、−1−述の(a)、 
(11))及び(c)成分よりなるイ・l1合液を用い
るものであり(の結果電極l−に疎水性有機物質の薄、
膜が形成される。
本発明の方法の操作手順は、様々な態様が考えられるが
、その−例をあげれば次の通りである。
即ち、まず水性媒体中にノコーロセン誘導体よりなるミ
セル化剤を入れてミセル溶液を調製する。
なお、この際のミセル化剤の濃度は、、特に制限はない
が、通常は限界ミセル濃度以り、具体的には10μM 
〜IM、好ましくは0.5〜5rnMの範囲で選定する
。、τのミセル溶液には所望に応じて支持塩を加えるこ
とも有効である。支持塩を加誠る場合、その支持塩の種
類は、疎水性有機物質のiiJ溶化の進行や電極・\の
析出を妨げることなく、1水性媒体の電気伝導度を調節
しうるちのでに5れば特に制限はない。具体的には各種
の硫酸塩、酢酸塩、ハロゲン化塩1水溶性酸什、物塩な
どが1V・ぼられる、また支持塩の添加量は通常番、シ
ヒ記ミセル化剤のO〜300倍程度の濃度、好ましくは
10〜200倍程度の濃度を目安とVる。。
一方、非水溶媒には疎水性有機物質を、適宜;温度、通
常は飽和堆以上の濃度で溶解させておき、この疎水性有
機物質の溶液を、前述(へヨ、セル溶液と混合する。こ
の混合に際し7ては2超音波、ホモジナイザーあるいは
撹拌機等により充分混合攪t’Pを行い、その後必要に
応じてjの剰の疎水性有機物質を除去し、得られた混合
液を静置したままあるいは若干の撹拌を加えながら電極
を用いて通電処理する。また、1lll電処理中に、疎
水性有機物質4非水溶媒に熔解させた溶液を前記混合液
に補充添加してもよく、あるいは陽極近傍の混合液を系
外へ彷き出し51、夫き出した混合凍り前記溶′a、(
疎水性41機物質を非水溶媒に)電解させた溶液)を加
えて充分に混1↑撹拌し7、t7かる後r;二この液を
陰極近傍へ戻t−循環回路含併設しても34、い。この
際の通電条件は、各種状況に応じて適宜選定すればA、
いが、通常は液温0〜70°C1好ましくは20〜30
°C,、電圧0゜03へ・1.5■、好ましくは0.1
ヘー・0.5■の範囲に設定する。また、通電時間につ
いては、状況により異なるがm=・般には30分・〜2
時間程度で充分である。
なお、この際に用いる電極は、ミセル化剤Cあるフ、y
、ロセン誘導体の酸化電位(+0.10〜0.30v対
p和甘コウ電極)より責な金属もしくは導電体であれば
、1、い、具体的には1TO(酸化インジウ・ムと酸化
スズとのl琵合酸化物)、白金、金、iff。
グラジ−カーボン、導電性金属酸化物、有機ポリマー導
電体などがあげらtする。
このように、前記(a)、(b)及び(c)成分よりな
る混合液を通電処?P、 1°ることによゲζ、疎水性
有機物質の分子状Gこ分散した薄膜が形成される。この
薄膜は、従来のミセル電解法で得られる疎水性fi@f
J賞粒子が分散しご形成される薄膜とは、その微細構造
が著[、<異なるものである。
〔実施例〕
次に、本発明を実施例及び比較例によりさらに詳しく説
明する。
実施例1 テトラフ4)−二ルポルフィリンをエタノール中に溶解
し、飽和色素溶液を調製し2だ。この飽和色素/8液の
旬視吸収スペクトルを第1凹(印A)に示す。
一方、、100+fiの水に を加え2mMのミセル2容ン夜とし、このミセル電解液
25eeに前記飽和色素溶液3 cc シ加え、スター
ラーにて1時間撹拌し、混合液(ミセル混合溶液)とし
た。さらに、ごのミセル混合溶液に支持塩とし−(Q化
すチウムを0.1 Mの濃度になるように加え、ミセル
電解液とした。このミセル電解液の1lii?j!吸収
スペクトルを第1図(印B)に示ず。
このミセル電解液に陽極とj7てITO透明ガラス電極
1陰極に白金、参照極として飽和甘口1つ電極を用いて
、25“C2印加電圧0.5Vで定電位電解を行−4、
た。このときの電流密度は6.87!A/ e+fl 
、通電時間は30分1通電量は0601クー・1・゛コ
ン(c)であった。
その結果、I’l’O透明ガラス電穫」二に色素薄膜を
得た。この薄膜の可視スペクトルを第1図(印C)に示
す。後述の比較例1で製造した薄膜の可視吸収スペクト
ル(第1図(印D))に比べ、飽和色素溶液に近いスペ
クトルを示し、溶解(単分子分散)に近い構造をとって
いることが判る。
以上から、実施例1では、分子状に分散した薄膜を得る
ことができた。
比較例1 テトラフェニルポルフィ )容解せず、その0.1gをそのままミセル2容ン夜に
分散,可溶化したこと以外は、、実施例1と同じ方法で
薄膜の製造を行った。
その結果、ITO透明電極上に色素薄膜を得た。
この薄膜の可視吸収スペクトルを第1図(印D ”)に
示す。
実施例2 テトラフェニルポルフィリンをトルエン中に)容解し、
飽和色素溶液を調製した。この飽和色素溶液の可視吸収
スペクトルを第2図(印A)に示す。
一方、1.、 O O mlの水に ヲ加え′ζ2rriMのミセル溶液とし、このミセル溶
)夜25ccに前記飽和色素)電液3ccを加え、スタ
ーラーにて1時間撹1↑し、ミヒル混合)′:4液とし
た。
さC・に、このミセル混合溶液に支持塩とし゛(臭化り
子カムをO.i.Mの濃度になるよ・うに加λ、ミ1、
・ル電′fI液とした。ごのミセル電解:夜の可視吸収
スペクトルを第2図(EIIB)に示す。
ごのミセル電解液に、陽極としでド1゛0透明ガラス電
極,陰極に白金,参照極とし2て飽和t」コウ電極を用
いご、25’C.印加電圧Q.5Vで定電位電解を行,
た。このときの電流密度は11.5μノへ17c己1通
電時間は30分,通電量は0. 0 2 Cであった。
その結果、! TO透明ガ・ノス電極1−に色素薄膜を
得た,2この薄膜のijl視吸収スペクトルを第2図(
印C)4.:示す。比較例1で製造し,へ・薄)1りの
可視スペクトル(第1図(rJ]D))に比べ、飽和色
素溶液に近いスペクトルを示し溶解(単分子分散)に近
い構造をとっていることが判る。
以上から、。実施例2では、分子状に分散した薄膜を得
ることかびきた。
実施例3 テトラフ兎ニルポルフィリン亜鉛錯体を1タノール中に
溶解し、飽和色素溶液を調製した。この飽和色素溶液の
可視吸収スベク1ルを第13図(印パ)にボず。
一方、100dの水に を加え゛で2 rr+ !viのミセル溶液とし、この
ミヒル溶液2 5 cc.に前記飽和色素溶液3 cc
を加え スター−、)−にて1時間撹拌し、ミセル混合
溶液とC7た。
さらに、このミセル混合溶液に支持塩として臭化1チウ
ムを0.1.Mの濃度になるように加え、ミセル電解液
とした。このミセル電解液の可視吸収スペクトルを第3
図(印B )に示した。
このミセル電解液に、陽極としてITO透明ガラス電極
1陰極に白金、参照極として飽和41゛コウ電極を用い
て、25”C5印加電圧0,5■で定電位電解を行った
。このときの電流密度は、15.671A/c[、通電
時間は30分1通電量は0.0250であった。
(の結果、ITO透明ガラス電極上に色素薄膜を得た。
この薄膜の可視吸収スペクトルを第3図(印C)に示す
。後述の比較例2で製造した薄膜の可視吸収スペクトル
(第3図(印D))に比べ、飽和色素溶液に近いスペク
トルを示し7、溶解(単分子分散)に近い構造をとって
いることかillる。
以上から、実施例3では、分子状に分散した薄膜を得る
ことができた。
比較例2 テ)・ラフェニルボルフィリン亜鉛錯体をエタノール中
に溶解セす、その0.1gを、そのままミセル溶液に分
散、可溶化したこと以外は、実施例3と同じ方法で薄膜
の製造を行った。
その結果、ITO透明電極上C,′、色素薄膜を得た。
この薄膜の可視吸収スペクトルを第3図(印D)に示し
た。
実施例4 フタロシアニンをクロロ・ノ゛フタレン中に溶解し、飽
和色素溶液を調製した。この飽和色素溶液の可視吸収ス
ペクトルを第4図(印A)に示す。
一方、100−の水にFPEGを加え2mMのミセル溶
液とし、このミセル溶液25ccに前記飽和色素溶液3
eeを加え、スターラーにて1時間撹拌し、ミセル混合
溶液とした。さらに、このミセル混合溶液に支持塩とし
て臭化リチウムを0.1へイの濃度になるように加え、
ミセル電解液とした。
このミセル電解液の可視吸収スペクトルを第4図(印!
3 )に示した。
このミセル電解液に、陽極としてITO透明ガラス電極
、陰極に白金、参照極とし、て飽和1[コ・′)電極を
用いて、25°C2印加電圧0,5■で定電位電解を行
った。このときの電流密度は8.6μA/ +=ffl
 、通電時間は30分1通’1tilハ0.015 C
ごあった。
その結果、[TO透明ガラス電極上に色素薄膜を得た。
この薄膜の可視吸収スペクトルを第4図(印C)にボす
。後述の比較例3で製造した薄膜の可視吸収スペクトル
(第4図(印I〕))に比べ、飽和色素溶液に近いスペ
クトルを示し溶解(単分子分散)に近い構造をとっ−ζ
いることが判る。
以上より、実施例4では、分子状に分散した薄膜を得る
ことができた。
比較例3 フタロシアニンをクロロナフタレン中に?電解セず、そ
の0.1gを、そのままミセル)容7夜に分散。
可溶化したこと以外は、実施例4と同じ方法で薄膜の製
造を行った。
ぞの結果1.ITO透明電極上に色素薄膜を得た。
この薄膜の]視吸収スペクトルを第4図(印D)に示し
た。
実施例5 マグネシウムツタτ」シアニンをエタノール中に溶解し
、飽和色素溶液を調製した。この飽和色素溶液の可視吸
収スペクトルを第5図(印A)に示ず6 −・方、1.00mNの水にFPEGを加えて2m、M
のミセル溶液とし、このミセル溶液25 ccに前記飽
和色素溶液3ccを加え、スターラーにて1時間撹拌し
、ミセル混合溶液とした。さらに、このミセル混合溶液
に、支持塩として臭化リチウムを0.1Mの濃度になる
ように加え、ミセル電解液とした。このミセル電解液の
可視吸収スペクトルを第5図(印B)に示した。
このミセル電解液に、陽極としてITO透明ガラス電極
、陰極に白金、参照極として飽和せコウ電極を用いて、
25゛c、印加電圧0.5Vで定電位電解を行った。こ
のときの電流密度は9.111A/ cd 、通電時間
は30分、 it■ハ0.015 Cであった。
その結果、ビJ゛0透明ガラス電極上Cご色素薄膜を得
た。この薄膜の可視吸収スペクトルを215図(印C)
に示す。後述のけ較例4で製造した薄膜の可視吸収スペ
クトル(第5図(印1〕))に比べ、飽和色素溶液に近
いスペクトルを示し溶解(単分子分散)に近い構造をと
っζいることが判る。
以Fより、実施例5では、7分子状に分散した薄膜を得
ることができた。
比較例4 マグネシウムフタロシアニンをエタノール中に溶解せず
、その0.1gを、そのままミセル溶液に、分散、可溶
化したこと以外は、実施例5と同じ方法で薄膜の製造を
行った。
その結果、ITO透明電極上に色素薄膜を得た。
この)W膜の可視吸収スペクトルを第5図(印I))に
小ξた。
(発明の効果) 叙上の如く、本発明の方法によれば、各種の疎水性有機
物質からなる薄膜を、膜厚を極め、二薄く、しかも分子
−状に分散(即ち、単分子分散)し7た杖態で形成する
ことができる。
そのため、。本発明の方法で製造される有機薄膜は、光
レスポンスが高く、光デイスク材料、光メモリー材料、
フォトホールバーニング(PHB)メモリー材料、感光
材料、フォトクロミンク材料。
カラーフィルター、太陽電池、電子材料、コーティング
材料等として有効な利用が期待される。
【図面の簡単な説明】
第1〜5図は、それぞれ実施例1〜5及び比較例i〜4
で得られた飽和色素溶液、ミセル電解液。 薄膜のiiI視吸収スペクトルを示す。 特許出願人  出光興産株式会社 【7パ・・−・二 代理人 弁理上 人 谷   保!ト:・−、・130
0」 第:9 [を 波 1”で−’l””””’−’i−’−”−1−’−’−
”’r−−+−1−−!−1l−−T−’−t−’1−
1’−−ゝr宇”−” ’+”””−1−”−’11−
−−1600           7α’I    
    ’i’ 8 C)侵 (nrh) −51,、3−

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)(a)疎水性有機物質を非水溶媒に溶解させた溶
    液、(b)水性媒体及び(c)フェロセン誘導体よりな
    るミセル化剤を混合し、得られる混合液を通電処理して
    電極上に前記疎水性有機物質の薄膜を形成することを特
    徴とする有機薄膜の製造方法。
JP1765989A 1989-01-30 1989-01-30 有機薄膜の製造方法 Expired - Fee Related JPH068515B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1765989A JPH068515B2 (ja) 1989-01-30 1989-01-30 有機薄膜の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1765989A JPH068515B2 (ja) 1989-01-30 1989-01-30 有機薄膜の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02200797A true JPH02200797A (ja) 1990-08-09
JPH068515B2 JPH068515B2 (ja) 1994-02-02

Family

ID=11949975

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1765989A Expired - Fee Related JPH068515B2 (ja) 1989-01-30 1989-01-30 有機薄膜の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH068515B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH068515B2 (ja) 1994-02-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0359998B2 (ja)
Nelson Influence of biologically active compounds on the monomolecular gramicidin channel function in phospholipid monolayers
JPH068515B2 (ja) 有機薄膜の製造方法
JP2647946B2 (ja) 有機薄膜の製造方法
JPS6020754B2 (ja) 電解表示セル
US20230128623A1 (en) Method of preparation of a gold electrode
JP2021071556A (ja) エレクトロクロミック素子
JP2885467B2 (ja) 薄膜および電子写真感光体の製造方法
JPH0826476B2 (ja) 有機薄膜の製造方法
JP2738457B2 (ja) 薄膜の製造方法
JPH0794718B2 (ja) 有機薄膜の製造方法
JPH0288798A (ja) 薄膜の洗浄方法
JPH02101199A (ja) 電極の洗浄方法
JPH068516B2 (ja) 薄膜の製造方法
JPH02164435A (ja) 薄膜の製造方法
JPH02173295A (ja) 薄膜の製造法
JPH0762275B2 (ja) フタロシアニン化合物銅錯体薄膜の製造方法
JPH02173296A (ja) 薄膜の製造方法
JP2659638B2 (ja) ミセル分散液あるいはミセル可溶化溶液,薄膜およびカラーフィルタの製造方法
Gan et al. Multi-component deep eutectic solvents achieve high stability zinc deposition and dissolution for electrochromic devices
JPH02298294A (ja) 薄膜の製造方法
JPH0336528A (ja) エレクトロクロミック素子及びその製造方法
JPH034202A (ja) 薄膜の多段製膜法
JPH03102302A (ja) カラーフィルタ及びその製造方法
JPH02225697A (ja) フタロシアニン系顔料の成膜方法

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees