JPH02298294A - 薄膜の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の利用分野〕 本発明は薄膜の製造方法に関し、詳しくはアルミニウム
などの卑金属を用いた陰極上に、強固に付着した薄膜を
極めて効率良く製造する方法に関する。

〔従来の技術及び発明が解決しようとする課題〕従来か
ら、疎水性物質のミセル溶液を電解制御して電極表面に
薄膜を形成する方法、いわゆるミセル電解法が知られて
いる（特開昭６３−２４３２９８号公報等参照）、また
、このように製造される薄膜はカラーフィルター、光電
変換材料など種々の用途への発展が見込まれている。

しかし、ここに開示されている方法によれば、陽極上に
薄膜を形成することはできるものの、陽分極により容易
に溶解してしまう卑金属上には製膜が極めて困難であっ
た。

一方、感光材料の分野ではアルミニウム等の卑金属基板
上への製膜が望まれており、卑金属上に強固に付着した
薄膜を形成する方法の開発が期待されている。

【課題を解決するための手段〕

そこで本発明者は、卑金属上に均一で強固に付着した薄
膜を形成する方法を開発すべく鋭意研究を重ねた。その
結果、フェロセン誘導体よりなるミセル化剤を用いると
ともに、特定の条件下にて通電処理を行うことにより、
目的とする薄膜が製造できることを見出した０本発明は
かかる知見に基いて完成したものである。

すなわち、本発明は疎水性物質を水性媒体中でフェロセ
ン誘導体よりなるミセル化剤を用いて分散あるいは可溶
化して得た分散液あるいは溶液を、陰極上に前記疎水性
物質の薄膜が生成する条件下で、通電処理することを特
徴とする薄膜の製造方法を提供するものである。

本発明の方法で用いる疎水性物質としては、フェロセン
誘導体を用いて水性媒体に可溶化あるいは分散し得る物
質であれば種々の物質があげられる。例えばペリレン、
レーキ顔料、フタロシアニンブルー、フタロシアニング
リーン、アントラキノンをはじめフタロシアニン、フタ
ロシアニンの金属錯体およびこれらの誘導体、ナフタロ
シアニン、ナフタロシアニンの金属錯体およびこれらの
誘導体、ポルフィリン、ポルフィリンの金属錯体および
これらの誘導体などの光メモリー用色素や有機色素をは
じめ１，１°−ジヘプチル−４，４゜−ビビリジニウム
ジブロマイド、１．１°−ジドデシル−４，４゛−ビビ
リジニウムジブロマイドなどのエレクトロクロミック材
料、６−ニトロ−１，３，３−１−リンチルスピロー（
２°Ｈ−１’−ベンゾピラン−２，２°−インドリン）
（通称スピロピラン）などの感光材料（フォトクロミッ
ク材料）や光センサー材料、ｐ−アゾキシアニソールな
どの液晶表示用色素、更に「カラーケミカル事典」株式
会社シーエムシー、１９８８年３月２８日発行の第５４
２〜７１７頁に列挙されているエレクトロニクス用色素
、記録用色素、環境クロミズム用色素、写真用色素、エ
ネルギー用色素、バイオメディカル用色素１食品・化粧
用色素、染料。

顔料、特殊着色用色素のうちの疎水性の化合物などがあ
げられる。また、７，７，８．８−テトラシアノキノン
ジメタン（ＴＣＮＱ）とテトラチアフルバレン（ＴＴＦ
）との１：１錯体などの有機導電材料やガスセンサー材
料、ペンタエリスリトールジアクリレートなどの光硬化
性塗料、ステアリン酸などの絶縁材料、■−フェニルア
ゾー２−ナフトールなどのジアゾタイプの感光材料や塗
料等をあげることができる。さらには、水に不溶性のポ
リマー、例えばポリカーボネートポリスチレン、ポリエ
チレン、ポリプロピレン、ポリアミド、ポリフェニレン
サルファイド（ＰＰＳ）、ポリフェニレンオキサイド（
Ｐ　Ｐ　Ｏ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）などの
汎用ポリマー、またポリフェニレン、ポリピロール、ポ
リアニリン。

ポリチオフェン、アセチルセルロース、ポリビニルアセ
テート、ポリビニルブチラールをはじめ、各種各様のポ
リマー（ポリビニルピリジンなど）あるいはコポリマー
（メタクリル酸メチルとメタクリル酸とのコポリマーな
ど）をあげることができる。

このような疎水性物質を可溶化あるいは分散させるフェ
ロセン誘導体としては、各種のものをあげることができ
る０例えば一般式 〔式中、Ｒ’及びＲｔはそれぞれ炭素数６以下のアルキ
ル基、炭素数６以下のアルコキシ基、アミノ基、ジメチ
ルアミノ基、水酸基、アセチルアミノ基、カルボキシル
基、メトキシカルボニル基。

アセトキシ基、アルデヒド基あるいはハロゲンを示し、
Ｒ３は水素又は炭素数４〜１８の直鎖あるいは分岐アル
キル基又はアルケニル基を示し、Ｒ４及びＲ５はそれぞ
れ水素又はメチル基を示す。Ｙは酸素あるいはオキシカ
ルボニル基を示し、ａは０〜４の整数、ｂはＯ〜４の整
数１ｍは１〜１８の整数、ｎは２．０〜７０．０の実数
を示す。〕で表わされるフェロセン誘導体を代表的なも
のとしてあげることができる。ここで、一般式（１）中
の各記号は前述した通りである。つまり、国際公開ＷＯ
３Ｂ１０７５３Ｂ、ＷＯ３９１０１９３９゜特願昭６３
−２３３７９７号、その他に記載される如く、Ｒ１及び
Ｒ１はそれぞれ炭素数６以下のアルキル基（メチル基（
ＣＨり、エチル基（Ｃ！　Ｈｓ）等）、アルコキシ基（
メトキシ基（ＯＣＨ３）、エトキシ基（ＯＣ！Ｈ２）等
）、アミノ基（ＮＨ，）。

ジメチルアミノ基　（Ｎ（Ｃ１（ｓ）ｇ））、水酸基（
ＯＨ）。

アセチルアミノ基（ＮＨＣＯＣＨ，）、カルボキシル基
（ＣＯＯＨ）、７セトキシ基（ＯＣＯＣＨ，）。

メトキシカルボニル基（ＣＯＯＣＨ，）、アルデヒド基
（ＣＨＯ）あるいはハロゲン（塩素、臭素。

フッ素、沃素等）を示す。Ｒ１及びＲ１は同一であって
も異なってもよく、さらにＲ１及びＲｚがそれぞれ複数
個フェロセンの五員環に存在した場合にも、複数の置換
基がそれぞれ同一であっても異なっていてもよい。また
、Ｒ３は水素又は炭素数４〜１８の直鎖あいは分岐アル
キル基またはアルケニル基を示している。

さらにＹは酸素（−０−）又はオキシカルボニル基（−
Ｃ−０−）を示し、Ｒ４，Ｒ１１は水素又はメチル基（
ＣＨ，）を示す。従って、−０（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）、Ｉ
Ｈ。

−０（ＣＨＩＣＨＯ）、）Ｉ、　−〇（ＣＨＣＨ，Ｏ）
、ＨＩ３ ＣＨｓ　　　　　　　ＣＨ５ −Ｃ−０（ＣＨ２ＣＨｔＯ）、ＩＨあるいは等である。

またｍは１〜１８の整数を示す。従って、環員炭素原子
と上記酸素又はオキシカルボニル基との間に、エチレン
基、プロピレン基等の炭素数１〜１８のアルキレン基が
介在したものとなる。さらにｎは上記オキシエチレン基
などのオキシアルキレン基の繰り返し数を示すもので、
２．０〜７０６０の整数のみならず、これらを含む実数
を意味し、オキシアルキレン基などの繰り返し数の平均
（ｆｆｉヲ示すものである。

本発明におけるフェロセン誘導体は、上記一般式［１〕
で表わされるもののほかに、様々なものがあり、アンモ
ニウムタイプ、ピリジンタイプ（国際公開ＷＯ３８１０
７５３８等）をはじめ、特願昭６３−２３３７９７号明
細書、同６３−２３３７９８号明細書、同６３−２４８
６００号明細書、同６３−２４８６０１号明細書、特願
平１−４５３７０号明細書、同１−５４９５６号明細書
、同１−７０６８０号明細書、同１−７０６８１号明細
書、同１−７６４９８号明細書および同１−７６４９９
号明細書に記載されたフェロセン誘導体を挙げることが
できる。

これらのフェロセン誘導体は極めて効率良く疎水性物質
を水性媒体に可溶化あるいは分散し得るものである。

本発明では、ミセル溶液あるいは分散液を調製するにあ
たって様々な方法があるが、具体的には水性媒体中に、
前記一般式（１）のフェロセン誘導体をはじめとする各
種のフェロセン誘導体（ミセル化剤）を濃度を限界ミセ
ル濃度以上として、必要に応じて支持塩を加え、また疎
水性有機物質を加えて超音波、ホモジナイザーあるいは
撹拌機等により充分に分散させてミセルを形成せしめれ
ばよい。また、このようにして得た疎水性有機物質の可
溶化液（ミセル溶液あるいは分、散液）から、その後必
要に応じて過剰の疎水性有機物質を除去する。

上記必要に応じて加えられる支持塩としては、具体的に
は一般に広く支持塩として用いられている硫酸塩（リチ
ウム、カリウム、ナトリウム、ルビジウム、アルミニウ
ムなどの塩）、酢酸塩（リチウム、カリウム、ナトリウ
ム、ルビジウム、ベリリウム、マグネシウム、カルシウ
ム、ストロンチウム、バリウム、アルミニウムなどの塩
〕、ハロゲン化物塩（リチウム５カリウム、ナトリウム
。

ルビジウム、カルシウム、マグネシウム、アルミニウム
などの塩）、水溶性酸化物塩　（リチウム。

カリウム、ナトリウム、ルビジウム、カルシウム。

マグネシウム、アルミニウムなどの塩）が好適である。

これらの支持塩の濃度は、特に制限なく可溶化物質ある
いは分散物質の析出を妨げない濃度であれはよいが、通
常過セル化剤の濃度の１０〜３００倍、好ましくは５０
〜２００倍である。

このようにして製造されたミセル溶液あるいは分散液中
において、ミセル電解法にて陰極上に薄膜を生成する条
件にて通電処理を行い、薄膜を製造する。

本発明で用いられる電極としては各種のものがあるが、
フェロセン誘導体の酸化電位（＋０．１５ｖ〜＋０．３
０Ｖ対飽和甘コウ電極）より責な金属もしくは導電体が
好ましい、具体的には陽極としてはＩＴＯ（酸化インジ
ウムと酸化スズとの混合酸化物）、白金、金、銀、グラ
ジ−カーボン、導電性金属酸化物、有機ポリマー導電体
などが挙げられる。また、陰極としては、アルミニウム
、鉄。

亜鉛、コバルト、錫などの卑金属をはじめ、銅。

ステンレス鋼、金、白金、銀、グラジ−カーボン。

導電性金属酸化物、導電性ポリマー、ＩＴＯなどが挙げ
られる。

この通電処理は、通常、撹拌を加えながら行う。

また、通電処理中に疎水性有機物質をミセル溶液に補充
添加してもよく、あるいは陽極近傍のミセル溶液を系外
へ抜き出し、抜き出したミセル溶液に疎水性有機物質を
加えて充分に混合撹拌し、しかる後にこの液を陰極近傍
へ戻す循環回路を併設してもよい。

この際の通電処理は、可溶化物質あるいは分散物質が陰
極上に薄膜を形成する条件下で行う。このような条件と
しては、液温０〜７０°Ｃ５好ましくは５〜４０℃であ
り、陰極の電位としては、−０，０３〜−５，００Ｖ、
好ましくは−０，０５〜−２，００Ｖである。また、電
流密度は一１０ｍ　Ａ　／　ｃｌＩ”以下、好ましくは
一５０〜３００μＡ／ｃｍ”とする。

この条件下で通電処理を行うと、陰極近傍でｐＨの環境
条件が大幅に変わり、その結果ミセルが不安定となり離
散する。このようなミセルの離散に伴って、可溶化して
いた疎水性物質が陰極上に析出し、陰極上に強固に付着
した均一な薄膜が形成される。

〔実施例〕

次に本発明を実施例によりさらに詳しく説明する。

実施例１ １００ｃｃの水に構造式１で示されるフェロセン誘導体
ミセル化剤を加え２ｍＭ溶液とし、このミセル溶液２０
ｃｃにフタロシアニンを０．１ｇｍ、ｔて超音波で１０
分間、攪拌して分散可溶化させた。

さらに、スターシーにより二昼夜攪拌した後、得られた
分散可溶化ミセル溶液を、２０００ｒｐａ＋で３０分間
遠心分離を行った。この上澄み液の可視吸収スペクトル
から、フタロシアニンが分散していることを確認した。

この分散可溶化ミセル溶液に、臭化リチウムを０．１Ｍ
の濃度になるように加え、スターシーで１０分間攪拌し
た。この溶液を電解液として、陽極に白金板、陰極にＩ
ＴＯガラス電極、参照極として飽和材コウ電極を用いて
、２５“Ｃで印加電圧−０，５Ｖにて定電位電解を行っ
た。この時の電流密度は−１１，０μＡ／ｃｄ、通電時
間は３０分間、通電量は０．０２クーロン（Ｃ）であっ
た。

その結果、フタロシアニンの薄膜がＩＴＯ透明ガラス電
極上に得られた。このＩＴＯ透明ガラスを極上のフタロ
シアニンの吸収スペクトルと分散可溶化ミセル溶液の吸
収スペクトルが一致することから、ＩＴＯ透明ガラス電
極上の薄膜はフタロシアニンであり、その吸光度より膜
厚が０．６μｍであることが判った。

実施例２ １００ｃｃの水に構造式２で示されるフェロセン誘導体
ミセル化剤を加え２ｍＭ溶液とし、このミセル溶液２０
ｃｃにペリレン系顔料（Ｋ３５８０）（ＢＡＳＦ社製）
を０．１ｇ加えて超音波で１０分間、攪拌して分散可溶
化させた。さらに、スターシーにより二昼夜攪拌した後
、得られた分散可溶化ミセル溶液を、２０００ｒｐ−で
３０分間遠心分離を行った。この上澄み液の可視吸収ス
ペクトルから、Ｋ３５８０が分散していることを確認し
た。

この分散可溶化ミセル溶液に、臭化リチウムを０．１Ｍ
の濃度になるように加え、スターシーで１０分間攪拌し
た。この溶液を電解液として、陽極に白金板、陰極にア
ルミニウム電極、参照極として飽和材コウ電極を用いて
、２５℃で印加電圧−０，８Ｖにて定電位電解を行った
。この時の電流密度は−２２，０μＡ／ｃｄ、通電時間
は３０分間、通電量は０．０３Ｃであった。

その結果、Ｋ３５８０の薄膜がアルミニウム電極上に得
られた。このアルミニウム電極上のに３５８０の反射ス
ペクトルと分散可溶化ミセル溶液の吸収スペクトルのピ
ーク波長が一致することより、アルミニウム電極上の薄
膜はに３５８０であり、断層電子顕微鏡写真より膜厚は
０．４μｍであることがわかった。

実施例３ １００ｃｃの水に構造式３で示されるフェロセン誘導体
ミセル化剤を加え２ｍＭ溶液とし、このミセル溶液２０
ｃｃに銅フタロシアニン（大日精化■製）を０．１ｇ加
えて超音波で１０分間、攪拌して分散可溶化させた。さ
らに、スターシーにより二昼夜攪拌した後、得られた分
散可溶化ミセル溶液を２０００ｒｐ−で３０分間遠心分
離を行った。この上澄み液の可視吸収スペクトルから、
銅フタロシアニンが分散していることを確認した。

この分散可溶化ミセル溶液に、臭化リチウムを０゜ＩＭ
の濃度になるように加え、スターシーで１０分間攪拌し
た。この溶液を電解液として、陽極に白金板、陰極にア
ルミニウム電極、参照極として飽和材コウ電極を用いて
、２５℃で印加電圧−０，３■にて定電位電解を行った
。この時の電流密度は−７，６μＡ　／　ｄ、通電時間
は３０分間、通電量は０．０１５Ｃであった。

その結果、銅フタロシアニンの薄膜がアルミニウム電極
上に得られた。このアルミニウム電極上の銅フタロシア
ニンの反射スペクトルと分散可溶化ミセル溶液の吸収ス
ペクトルのピーク波長が一敗することより、アルミニウ
ム電極上の薄膜は銅フタロシアニンであり、断層電子顕
微鏡写真より膜厚は０．２５μｍであることが判った。

実施例４ １００ｃｃの水に構造式４で示されるフェロセン誘導体
ミセル化剤を加え２ｍＭ溶液とし、このミセル溶液２０
ｃｃにビオロゲンを０．１ｇ加えて超音波で１０分間、
攪拌して分散可溶化させた。さらに、スターシーにより
二昼夜攪拌した後、得られた分散可溶化ミセル溶液を２
００Ｏｒｐｍで３０分間遠心分離を行った。この上澄み
液の可視吸収スペクトルから、ビオロゲンが分散してい
ることを確認した。

この分散可溶化ミセル溶液に臭化リチウムを、０、１　
Ｍの濃度になるように加え、スターシーで１０分間攪拌
した。この溶液を電解液として、陽極に白金板、陰極に
銅電極、参照極として飽和材コウ電極を用いて、２５℃
で印加電圧−０，７■にて定電位電解を行った。この時
の電流密度は−１７，６μＡ／ｃｄ、通電時間は３０分
間、通電量は０．０３０であった。

その結果、ビオロゲンの薄膜が銅電極上に得られた。こ
の銅電極上のビオロゲンの反射スペクトルと分散可溶化
ミセル溶液の吸収スペクトルのピーク波長が一致するこ
とより、銅電極上の薄膜はビオロゲンであり、断層電子
顕微鏡写真より膜厚は０．６５μｍであることが判った
。

実施例５ １００ｃｃの水に構造式５で示されるフェロセン誘導体
ミセル化剤を加え２ｍＭ溶液とし、このミセル溶液２０
ＣＣにＣｕＰｃＣｌｍＢｒａ　（Ｌ　９３６１　）（Ｂ
ＡＳＦ社製）を０．１ｇ加えて超音波で、１０分間攪拌
して分散可溶化させた。さらに、スターラーにより二昼
夜攪拌した後、得られた分散可溶化ミセル溶液を２００
Ｏｒｐｍで３０分間遠心分離を行った。この上澄み液の
可視吸収スペクトルから、Ｌ９３６１が分散しているこ
とを確認した。

この分散可溶化ミセル溶液に臭化リチウムを０、１　Ｍ
の濃度になるように加え、スターラーで１０分間攪拌し
た。この溶液を電解液として、陽極に白金板、陰極にポ
リアニリン／ＩＴＯ電極、参照極として飽和材コウ電極
を用いて、２５°Ｃで印加電圧−０，７ｖにて定電位電
解を行った。この時の電流密度は−１１，３μＡ　／　
ｃｄ、通電時間は３０分間、通電量は０．０２Ｃであっ
た。

その結果、Ｌ９３６１の薄膜がポリアニリン／ＩＴＯ電
極上に得られた。このポリアニリン／ＩＴＯ電極上のＬ
９３６１の反射スペクトルと分散可溶化ミセル溶液の吸
収スペクトルのピーク波長が一致することより、ポリア
ニリン／ＩＴＯ電極上の薄膜はＬ９３６１であり、断層
電子顕微鏡写真より膜厚は０．６μｍであることが判っ
た。

構造式５ １００ｃｃの水に構造式６で示されるフェロセン誘導体
ミセル化剤を加え２ｍＭ溶液とし、このミセル溶液２０
ｃｃにスダンｌを０．１ｇ加えて超音波で１０分間攪拌
して分散可溶化させた。さらに、スターラーにより二昼
夜攪拌した後、得られた分散可溶化ミセル溶液を２００
０ｒｐａ＋で３０分間遠心分離を行った。この上澄み液
の可視吸収スペクトルから、スダンＩが分散しているこ
とを確認した。

この分散可溶化ミセル溶液に、臭化リチウムを０、　Ｉ
　Ｍの濃度になるように加え、スターラーで１０分間攪
拌した。この溶液を電解液として、陽極に白金板、陰極
にステンレス電極、参照極として飽和材コウ電極を用い
て、２５°Ｃで印加電圧−０，５Ｖにて定電位電解を行
った。この時の電流密度は−８．６μＡ／ｃｉｉ！、通
電時間は３０分間、通電量はｏ、ｏｉｃであった。

その結果、スダン■の薄膜がステンレス電極上に得られ
た。このステンレス電極上のスダンｒの反射スペクトル
と分散可溶化ミセル溶液の吸収スペクトルのピーク波長
が一致することより、ステンレス電極上の薄膜はスダン
Ｉであり、断層電子顕微鏡写真より膜厚は０．２μｍで
あることが判た。

実施例７ １００ｃｃの水に構造式７で示されるフェロセン誘導体
ミセル化剤を加え２ｍＭ溶液とし、このミセル溶液２０
ｃｃにテトラフェニルポルフィリン亜鉛錯体（Ｚｎ−Ｔ
ＰＰ）を０．１ｇ加えて超音波で１０分間攪拌して分散
可溶化させた。さらに、スターラーにより二昼夜攪拌し
た後、得られた分散可溶化ミセル溶液を２０００ｒｐｎ
＋で３０分間遠心分離を行った。この上澄み液の可視吸
収スペクトルから、Ｚｎ−ＴＰＰが分散していることを
確認した。

この分散可溶化ミセル溶液に、臭化リチウムを０．１Ｍ
の濃度になるように加え、スターラーで１０′土間攪拌
した。この溶液を電解液として、陽極に白金板、陰極に
白金電極：参照極として飽和材コウ電極を用いて、２５
°Ｃで印加電圧−〇、６ｖにて定電位電解を行った。こ
の時の電流密度は−１７，２μＡ／ｃｄ、通電時間は３
０分間、通電量は０．０３Ｃであった。

その結果、Ｚｎ−ＴＰＰの薄膜が白金電極上に得られた
。この白金電極上のＺｎ−ＴＰＰの反射スペクトルと分
散可溶化ミセル溶液の吸収スペクトルのピーク波長が一
致することより、白金電極上の薄膜はＺｎ−ＴＰＰであ
り、断層電子顕微鏡写真より膜厚は０．１８μｍである
ことが判った。

構造式７ １００ｃｃの水に構造式８で示されるフェロセン誘導体
ミセル化剤を加え２ｍＭ溶液とし、このミセル溶液２０
ｃｃにトリフェニルアミンを０．１ｇ加えて超音波で１
０分間、攪拌して分散可溶化させた。さらに、スターシ
ーにより二昼夜攪拌した後、得られた分散可溶化ミセル
溶液を２００Ｏｒｐｍで３０分間遠心分離を行った。こ
の上澄み液の可視吸収スペクトルから、トリフェニルア
ミンが分散していることをＶａＵ’ｆｆｌ　ｔ、た。

この分散可溶化ミセル溶液に、臭化リチウムを０、１　
Ｍの濃度になるように加え、スターシーで１０分間攪拌
した。この溶液を電解液として、陽極に白金板、陰極に
アルミニウム電極、参照極として飽和甘コウ電極を用い
て、２５°Ｃで印加電圧−０，９Ｖにて定電位電解を行
った。この時の電流密度は−２５，３μＡ　／　ｃｆｆ
ｌ　、通電時間は３０分間、通電量は０．０４Ｃであっ
た。

その結果、トリフェニルアミンの薄膜がアルミニウム電
極上に得られた。このアルミニウム電極上のトリフェニ
ルアミンの反射スペクトルと分散可溶化ミセル溶液の吸
収スペクトルのピーク波長が一敗することより、アルミ
ニウム電極上の薄膜はトリフェニルアミンであり、断層
電子顕微鏡写真より膜厚は０．４５μｍであることが判
った。

構造式８ 実施例９ １００ｃｃの水に構造式９で示されるフェロセン誘導体
ミセル化剤を加え２ｍＭ溶液とし、このミセル溶液２０
ｃｃにレーキ顔料（Ｋ３７００）（ＢＡＳＦ社製）を０
．１　ｇ加えて超音波で１０分間、攪拌して分散可溶化
させた。さらに、スターシーにより二昼夜攪拌した後、
得られた分散可溶化ミセル溶液を２００Ｏｒｐｍで３０
分間遠心分離を行った。この上澄み液の可視吸収スペク
トルから、Ｋ３７００が分散していることを確認した。

この分散可溶化ミセル溶液に、臭化リチウムを０、１　
Ｍの濃度になるように加え、スターシーで１０分間攪拌
した。この溶液を電解液として、陽極に白金板、陰極に
グラジ−カーボン（ＧＣ）電極、参照極として飽和甘コ
ウ電極を用いて、２５°Ｃで印加電圧−〇、８ｖにて定
電位電解を行った。この時の電流密度は−１２，８μＡ
　／　ｃｄ、通電時間は３０分間、通電量は０．２５　
Ｃであった。

その結果、Ｋ３７００の薄膜がＧＣ電極上に得られた。

このＧＣ電極上のに３７００の反射スペクトルと分散可
溶化ミセル溶液の吸収スペクトルのピーク波長が一致す
ることより、ＧＣ電極上の薄膜はに３７００であり、断
層電子顕微鏡写真より膜厚は０．４μｍであることが判
った。

構造式９ １００ｃｃの水に構造式１０で示されるフェロセン誘導
体ミセル化剤を加え２ｍＭ溶液とし、このミセル溶液２
０ｃｃにナフトールＡｓを０．１ｇ加えて超音波で１０
分間、攪拌して分散可溶化させた。さらに、スターシー
により二昼夜攪拌した後、得られた分散可溶化ミセル溶
液を２００Ｏｒｐｍで３０分間遠心分離を行った。この
上澄み液の可視吸収スペクトルから、ナフトールＡＳが
分散していることを確認した。

この分散可溶化ミセル溶液に、臭化リチウムを０．１Ｍ
の濃度になるように加え、スターシーで１０分間攪拌し
た。この溶液を電解液として、陽極に白金板、陰極にＩ
ＴＯガラス電極、参照極として飽和甘コウ電極を用いて
、２５°Ｃで印加電圧−０，５■にて定電位電解を行っ
た。この時の電流密度は−５，５μＡ／ｃｄ、通電時間
は３０分間、通電量は０．０ＩＣであった。

その結果、ナフトールＡｓの薄膜がＩＴＯガラス電極上
に得られた。このＩＴＯガラス電極上のナフトールＡｓ
の吸収スペクトルと分散可溶化ミセル溶液の吸収スペク
トルのピーク波長が一致することより、ＩＴＯガラス電
極上の薄膜はナフトールＡｓであり、断層電子顕微鏡写
真より膜厚は０．４μｍであることが判った。

〔発明の効果〕

以上述べた如く、本発明の方法によれば溶液の凝集を起
こすことなく、比較的低い電圧にて効率良く卑金属等の
陰極上に薄膜を形成することができる。また、得られる
薄膜は強固に陰極上に付着しており、安定したものであ
る。

このように本発明の方法は、有用な薄膜を高い生産性に
て製造することができるため、電子写真感光体、カラー
フィルターなどの分野に利用が期待される。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）疎水性物質を水性媒体中でフェロセン誘導体より
   なるミセル化剤を用いて分散あるいは可溶化して得た分
   散液あるいは溶液を、陰極上に前記疎水性物質の薄膜が
   生成する条件下で、通電処理することを特徴とする薄膜
   の製造方法。
2. （２）陰極が卑金属である請求項１記載の薄膜の製造方
   法。