JPH02216609A - 磁気記録媒体とその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体とその製造方法Info
- Publication number
- JPH02216609A JPH02216609A JP3507089A JP3507089A JPH02216609A JP H02216609 A JPH02216609 A JP H02216609A JP 3507089 A JP3507089 A JP 3507089A JP 3507089 A JP3507089 A JP 3507089A JP H02216609 A JPH02216609 A JP H02216609A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- oxygen
- magnetic recording
- film
- coercive force
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、磁気記録媒体に係り、特にＣｒ下地膜を有し
てなるＣｏ系合金のスパッタ型長手方向記録の磁気記録
媒体に関する。
てなるＣｏ系合金のスパッタ型長手方向記録の磁気記録
媒体に関する。
（従来の技術）
最近、高密度記録の可能な磁気記録媒体としてＣｏ系合
金を用いたものがよく使われている。特に、Ｃｒ下地膜
のＣｏ系媒体を用いたリジッドディスク等の磁気記録媒
体においては、保磁力Ｈｃを増加させるなめにＣｒ下地
膜に種々の元素を添加する方法が検討されている。この
方法によると、Ｇｄ、Ｃｅ、Ｃｕ、Ｓｌ等の元素をＣｒ
下地膜に添加すると約１ａｔ％添加すると、添加しない
場合に比べて保磁力は１００〜２０００ｅ程度増加する
のが見られ、それ以上では逆に保磁力Ｈｃは減少する傾
向があることが知られている。（第１２回日本応用磁気
学会学術講演概要集“ＣｏＮ １Ｃｒ ／ Ｃｒハード
ディスクの下地Ｃｒ層への添加元素の影響”） （発明が解決しようとする課題） しかし、高密度磁気記録媒体としては１００〜２０００
ｅ程度の保磁力Ｈｃが増加しただけでは不十分であり、
また、この様な媒体を作製するために添加元素をｆａｔ
％付近に制御するのは非常に難しかった。
金を用いたものがよく使われている。特に、Ｃｒ下地膜
のＣｏ系媒体を用いたリジッドディスク等の磁気記録媒
体においては、保磁力Ｈｃを増加させるなめにＣｒ下地
膜に種々の元素を添加する方法が検討されている。この
方法によると、Ｇｄ、Ｃｅ、Ｃｕ、Ｓｌ等の元素をＣｒ
下地膜に添加すると約１ａｔ％添加すると、添加しない
場合に比べて保磁力は１００〜２０００ｅ程度増加する
のが見られ、それ以上では逆に保磁力Ｈｃは減少する傾
向があることが知られている。（第１２回日本応用磁気
学会学術講演概要集“ＣｏＮ １Ｃｒ ／ Ｃｒハード
ディスクの下地Ｃｒ層への添加元素の影響”） （発明が解決しようとする課題） しかし、高密度磁気記録媒体としては１００〜２０００
ｅ程度の保磁力Ｈｃが増加しただけでは不十分であり、
また、この様な媒体を作製するために添加元素をｆａｔ
％付近に制御するのは非常に難しかった。
（課題を解決するための手段）
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであ
り、記録媒体基体上にＣｒ下地膜を有するＣｏ系合金磁
気記録媒体において、前記Ｃｒ下地膜に４〜５０ａｔ％
の酸素を含有してなることを特徴とする磁気記録媒体と
その製造方法を提供しようとするものである。
り、記録媒体基体上にＣｒ下地膜を有するＣｏ系合金磁
気記録媒体において、前記Ｃｒ下地膜に４〜５０ａｔ％
の酸素を含有してなることを特徴とする磁気記録媒体と
その製造方法を提供しようとするものである。
（実施例）
第１図は本発明になる磁気記録媒体１００の構成を示す
断面図である。同図において１は例えばガラス基板から
なる記録媒体基体であり、２は４〜５０ａｔ％の酸素を
含有するＣｒ下地膜であり記録媒体基体１上に形成され
ている。３はＣｏ系合金からなる磁性層であり、前記Ｃ
ｒ下地ＷＡ２の上に形成されている。４はカーボン等か
らなる保護膜であり、前記磁性層３の上に形成されてい
る。
断面図である。同図において１は例えばガラス基板から
なる記録媒体基体であり、２は４〜５０ａｔ％の酸素を
含有するＣｒ下地膜であり記録媒体基体１上に形成され
ている。３はＣｏ系合金からなる磁性層であり、前記Ｃ
ｒ下地ＷＡ２の上に形成されている。４はカーボン等か
らなる保護膜であり、前記磁性層３の上に形成されてい
る。
上述の様に４〜５０ａｔ％の酸素を含有するＣｒ下地膜
を形成したことで、従来の酸素を含有しないものに比較
して２００〜８０００ｅ程度保磁力Ｈｃの大きな磁気記
録媒体が得られた。
を形成したことで、従来の酸素を含有しないものに比較
して２００〜８０００ｅ程度保磁力Ｈｃの大きな磁気記
録媒体が得られた。
この理由を以下に示す。
結晶性の磁性層の場合、結晶粒を単磁区粒子に近づける
ことにより保磁力Ｈｃを増加させ得ることは良く知られ
ている事実である。
ことにより保磁力Ｈｃを増加させ得ることは良く知られ
ている事実である。
本発明者は、上記の事実から、もしＣｒ下地膜の結晶粒
を微細化することができ、その上に結晶性の磁性層を形
成したとしたら、その磁性層ら微細化し高保磁力の磁気
記録媒体が形成できるのではないかと考えた。
を微細化することができ、その上に結晶性の磁性層を形
成したとしたら、その磁性層ら微細化し高保磁力の磁気
記録媒体が形成できるのではないかと考えた。
そして、鋭意研究を重ねた結果、Ｃｒの結晶はｂｃｃ構
造であり、酸素を含有しない場合は結晶性が良く結晶粒
も大きいが、酸素を含有させていくとＣｒ単体の結晶粒
は微細化し、単磁区粒子に近づき、それに伴いその上に
形成された結晶性の磁性層の結晶粒も微細化するという
ことを見出し、保磁力Ｈｃが増大することを確かめるこ
とができせな時のＣｏＰｔ／Ｃｒ０Ｍの表面の粒子ｍ造
を示す走査下表の通りである。
造であり、酸素を含有しない場合は結晶性が良く結晶粒
も大きいが、酸素を含有させていくとＣｒ単体の結晶粒
は微細化し、単磁区粒子に近づき、それに伴いその上に
形成された結晶性の磁性層の結晶粒も微細化するという
ことを見出し、保磁力Ｈｃが増大することを確かめるこ
とができせな時のＣｏＰｔ／Ｃｒ０Ｍの表面の粒子ｍ造
を示す走査下表の通りである。
とじた時のＣｏＰｔ／Ｃｒ０１１の表面の粒子構造を示
す走査型電子顕微鏡写真である。
す走査型電子顕微鏡写真である。
同図より、酸素含有量が多い方がＣｏＰｔの結晶粒が微
細化しているのがわかる。
細化しているのがわかる。
この様に、酸素により結晶粒の微細化が可能であること
が確認されたので、高保磁力を有する磁気記録媒体を作
製することを目的として実験を行なった。
が確認されたので、高保磁力を有する磁気記録媒体を作
製することを目的として実験を行なった。
次に本発明になる磁気記録媒体１００の製造方法を説明
する。
する。
ガラス暴板面上に、ＤＣマグネトロンスパッタ装置を用
いて、Ｃｒ下地膜及び磁性膜であるＣｏ系合金としてＣ
ｏＰｔ （ＰｔｌＯａｔ％）のスパッタリングを行ない
膜厚的０．２５μｍの金属膜（Ｃｒ膜： ０．２μｍ
、ＣｏＰｔ膜：０．０５μｍ）を成膜する。なお、この
時のスパッタ条件はこの後、例えばカーボン等の保護膜
を前記磁性膜上に成膜する。
いて、Ｃｒ下地膜及び磁性膜であるＣｏ系合金としてＣ
ｏＰｔ （ＰｔｌＯａｔ％）のスパッタリングを行ない
膜厚的０．２５μｍの金属膜（Ｃｒ膜： ０．２μｍ
、ＣｏＰｔ膜：０．０５μｍ）を成膜する。なお、この
時のスパッタ条件はこの後、例えばカーボン等の保護膜
を前記磁性膜上に成膜する。
本発明者は、上記の様な条件のもとて実験を行ない、Ｃ
ｒ下地膜を有するＣｏ系合金磁気記録媒体の前記Ｃｒ下
地膜に酸素を含ませることによって第３図に示すような
結果を得た。
ｒ下地膜を有するＣｏ系合金磁気記録媒体の前記Ｃｒ下
地膜に酸素を含ませることによって第３図に示すような
結果を得た。
第３図はスパッタ中の酸素分圧の変化に伴う保磁力Ｈｃ
（１０）及びＣｒ膜中の酸素含有量（２０）の変化を示
すグラフである。
（１０）及びＣｒ膜中の酸素含有量（２０）の変化を示
すグラフである。
スパッタを用いてＣｒ下地膜を成膜する際に、従来の様
に酸素を導入しない場合は保磁力Ｈｃは１００ｉ）Ｏｅ
程度であるのに対しアルゴン及び酸素混合ガス雰囲気中
の、酸素分圧を１〜２０％とすることにより、Ｃｒ下地
膜中の酸素含有量を４〜５０ａｔ％と直線的に増加させ
ることができた。
に酸素を導入しない場合は保磁力Ｈｃは１００ｉ）Ｏｅ
程度であるのに対しアルゴン及び酸素混合ガス雰囲気中
の、酸素分圧を１〜２０％とすることにより、Ｃｒ下地
膜中の酸素含有量を４〜５０ａｔ％と直線的に増加させ
ることができた。
保磁力は、酸素分圧１％付近（即ち酸素含有量４ａｔ％
付近）とした時に成膜を行なった時の値が１２０００ｅ
となり、そして、酸素分圧を７゜５％付近（即ち酸素含
有量が２０ａｔ％付近）で成膜を行なった時の値が約１
８０００ｅとなり、酸素を含有しない時の値に比べ８０
００ｅも高い値を得ることができた。また、７．５％以
上の酸素分圧で成膜を行なうと徐々に保磁力は減少して
いったが、酸素分圧２０％付近（即ち酸素含有量５０ａ
ｔ％付近）までは１２０００ｅ程度の保磁力は保てるこ
とが確認できた。即ち、酸素分圧１〜２０％（即ち酸素
含有量４〜５０ａｔ％）において１２０００ｅ以上の保
磁力を有する高密度記録用の磁気記録媒体を製造するこ
とが可能となったのである。
付近）とした時に成膜を行なった時の値が１２０００ｅ
となり、そして、酸素分圧を７゜５％付近（即ち酸素含
有量が２０ａｔ％付近）で成膜を行なった時の値が約１
８０００ｅとなり、酸素を含有しない時の値に比べ８０
００ｅも高い値を得ることができた。また、７．５％以
上の酸素分圧で成膜を行なうと徐々に保磁力は減少して
いったが、酸素分圧２０％付近（即ち酸素含有量５０ａ
ｔ％付近）までは１２０００ｅ程度の保磁力は保てるこ
とが確認できた。即ち、酸素分圧１〜２０％（即ち酸素
含有量４〜５０ａｔ％）において１２０００ｅ以上の保
磁力を有する高密度記録用の磁気記録媒体を製造するこ
とが可能となったのである。
なお、ここでは記録媒体基体の材料としてガラスを用い
たが、ＮｉＰメツキされたＡＩ基板を用いても同様の効
果が期待できる。
たが、ＮｉＰメツキされたＡＩ基板を用いても同様の効
果が期待できる。
また、ここでは磁性膜としてＣｏＰｔｌＯａｔ％のもの
を用いたが、ＣｏＰｔの場合ｐｔの含有量を更に増加す
れば保磁力Ｈｃを更に大きくすることができる。
を用いたが、ＣｏＰｔの場合ｐｔの含有量を更に増加す
れば保磁力Ｈｃを更に大きくすることができる。
また、本発明はＣｏＰｔを磁性層にした場合に限るもの
ではなく、下地を有するＣｏＮｉ、Ｃ。
ではなく、下地を有するＣｏＮｉ、Ｃ。
Ｃｒ、ＣｏＮｉＣｒ、ＣｏＣｒＴａなどＣｏを主成分と
する合金であれば同様の効果が期待できるのはもちろん
のことである。
する合金であれば同様の効果が期待できるのはもちろん
のことである。
（発明の効果）
上述の様に、本発明においては、記録媒体基体上にＣｒ
下地膜を有するＣｏ系合金磁気記録媒体において、前記
Ｃｒ下地膜に４〜５０ａｔ％の酸素を含有してなること
を特徴とする磁気記録媒体としたので、保磁力Ｈｃを高
めることができ高密度記録に対応した磁気記録媒体の提
供を可能とする。
下地膜を有するＣｏ系合金磁気記録媒体において、前記
Ｃｒ下地膜に４〜５０ａｔ％の酸素を含有してなること
を特徴とする磁気記録媒体としたので、保磁力Ｈｃを高
めることができ高密度記録に対応した磁気記録媒体の提
供を可能とする。
第１図は本発明による磁気記録媒体の構成を水変化させ
た時のＣｏＮｉＣｒＯ膜の表面の粒子構造を示す走査型
電子顕微鏡写真、第３図はスパッタ中の酸素分圧の変化
に伴う保磁力Ｈｃ及びＣｒＪｌｌ中の酸素含有量の変化
を示すグラフ。 １・・・記録媒体基体、２・・・Ｃｒ下地膜、３・・・
磁性層、４・・・保護膜、１０・・・保磁力、２０・・
・酸素含有量、１００・・・磁気記録媒体。 囁１町 特許出願人 日本ビクター株式会社 代表者 埋木 邦人 ＄３１
た時のＣｏＮｉＣｒＯ膜の表面の粒子構造を示す走査型
電子顕微鏡写真、第３図はスパッタ中の酸素分圧の変化
に伴う保磁力Ｈｃ及びＣｒＪｌｌ中の酸素含有量の変化
を示すグラフ。 １・・・記録媒体基体、２・・・Ｃｒ下地膜、３・・・
磁性層、４・・・保護膜、１０・・・保磁力、２０・・
・酸素含有量、１００・・・磁気記録媒体。 囁１町 特許出願人 日本ビクター株式会社 代表者 埋木 邦人 ＄３１
Claims (2)
- （１）記録媒体基体上にＣｒ下地膜を有するＣｏ系合金
磁気記録媒体において、前記Ｃｒ下地膜に４〜５０ａｔ
％の酸素を含有してなることを特徴とする磁気記録媒体
。 - （２）記録媒体基体上にＣｒ下地膜をスパッタにより形
成する工程とその下地膜上にＣｏ系合金薄膜磁気記録媒
体をスパッタにより形成する工程とからなる磁気記録媒
体の製造方法において、 前記Ｃｒ下地膜を酸素分圧を１〜２０％からなるアルゴ
ン及び酸素混合ガス雰囲気中においてスパッタにより形
成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3507089A JPH02216609A (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 | 磁気記録媒体とその製造方法 |
| US07/927,715 US5316631A (en) | 1989-02-16 | 1992-08-11 | Method for fabricating a magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3507089A JPH02216609A (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 | 磁気記録媒体とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02216609A true JPH02216609A (ja) | 1990-08-29 |
Family
ID=12431749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3507089A Pending JPH02216609A (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 | 磁気記録媒体とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02216609A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0260388A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-02-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静止画伝送装置 |
| JPH0536054A (ja) * | 1991-07-31 | 1993-02-12 | Nec Corp | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| US5436047A (en) * | 1991-09-24 | 1995-07-25 | International Business Machines Corporation | Thin film magnetic recording disk comprising a metallic disk blank, a substantially non-magnetic Ni-Cr-O film having a textured surface and a magnetic film |
| US5774783A (en) * | 1995-03-17 | 1998-06-30 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium |
-
1989
- 1989-02-16 JP JP3507089A patent/JPH02216609A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0260388A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-02-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静止画伝送装置 |
| JPH0536054A (ja) * | 1991-07-31 | 1993-02-12 | Nec Corp | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| US5436047A (en) * | 1991-09-24 | 1995-07-25 | International Business Machines Corporation | Thin film magnetic recording disk comprising a metallic disk blank, a substantially non-magnetic Ni-Cr-O film having a textured surface and a magnetic film |
| US5774783A (en) * | 1995-03-17 | 1998-06-30 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium |
| USRE38587E1 (en) | 1995-03-17 | 2004-09-14 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium |
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