JPH0628088B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0628088B2 JPH0628088B2 JP22583084A JP22583084A JPH0628088B2 JP H0628088 B2 JPH0628088 B2 JP H0628088B2 JP 22583084 A JP22583084 A JP 22583084A JP 22583084 A JP22583084 A JP 22583084A JP H0628088 B2 JPH0628088 B2 JP H0628088B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- film
- recording medium
- alloy
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、特に浮上型リングヘツドで記録再生の行なわ
れる磁気デイスクといつたような水平磁気記録方式に好
適な磁気記録媒体に関するものである。
れる磁気デイスクといつたような水平磁気記録方式に好
適な磁気記録媒体に関するものである。
近年、高密度記録の為に、例えばCo、Co-Ni、Co-Ｐ又は
Co-Ni-Ｐ等の磁性材料を基体上に、例えばスパツタ、電
気メツキ又は無電解メツキ等の手段で形成した金属薄膜
型磁気記録媒体が提案されている。
Co-Ni-Ｐ等の磁性材料を基体上に、例えばスパツタ、電
気メツキ又は無電解メツキ等の手段で形成した金属薄膜
型磁気記録媒体が提案されている。
しかし、この種の磁気記録媒体は耐食性に劣つており、
高湿度な条件下で用いられるには問題があり、そこで金
属磁性薄膜層上に防錆層を設けることが提案されている
のであるが、このような手段が講じられると、製造工程
の複雑化等によりコスト高なものとなり、かつ磁気ヘツ
ドのスペーシングの増大となるので再生出力の低下とな
り、必ずしも望ましいとは言えない。
高湿度な条件下で用いられるには問題があり、そこで金
属磁性薄膜層上に防錆層を設けることが提案されている
のであるが、このような手段が講じられると、製造工程
の複雑化等によりコスト高なものとなり、かつ磁気ヘツ
ドのスペーシングの増大となるので再生出力の低下とな
り、必ずしも望ましいとは言えない。
そこで、より耐食性に優れた磁性材料としてCo-Cr系合
金が注目を集めている。又、このCo-Cr系磁性合金は、
垂直異方性に富むことより、短波長領域での自己減磁の
問題が少ない垂直磁気記録方式に適したものであるとい
つた面よりも注目を集めている。
金が注目を集めている。又、このCo-Cr系磁性合金は、
垂直異方性に富むことより、短波長領域での自己減磁の
問題が少ない垂直磁気記録方式に適したものであるとい
つた面よりも注目を集めている。
すなわち、Co-Cr系磁性合金薄膜型磁気記録媒体は、バ
インダーを用いないことより高密度化が図れ、又垂直磁
気記録方式のものであることより高密度化が図れ、又、
比較的耐食性に優れているといつたことより注目を集め
ており、このようなことから大きな研究が集中的に行な
われている。
インダーを用いないことより高密度化が図れ、又垂直磁
気記録方式のものであることより高密度化が図れ、又、
比較的耐食性に優れているといつたことより注目を集め
ており、このようなことから大きな研究が集中的に行な
われている。
そして、高密度化の為に、例えば垂直磁気異方性向上の
為に、酸素原子を含むガス雰囲気下でCo-Cr系磁性粒子
を高速析出し、基材面上に酸素原子が約２〜８原子％偏
析含有しているCo-Cr系垂直磁化膜を構成した磁気記録
媒体が提案（特開昭５９−１７２１６号）されている。
為に、酸素原子を含むガス雰囲気下でCo-Cr系磁性粒子
を高速析出し、基材面上に酸素原子が約２〜８原子％偏
析含有しているCo-Cr系垂直磁化膜を構成した磁気記録
媒体が提案（特開昭５９−１７２１６号）されている。
ところが、現行の記録再生装置、つまりリング型磁気ヘ
ツドの用いられている記録再生装置では、特に浮上型リ
ングヘツドの用いられている記録再生装置では垂直磁化
型のものは水平磁化型のものより再生出力が小さいとい
つた大きなデメリツトがあり、特開昭５９−１７２１６
号提案のようなCo-Cr系垂直磁化膜の磁気記録媒体は必
ずしも優れたものではない。
ツドの用いられている記録再生装置では、特に浮上型リ
ングヘツドの用いられている記録再生装置では垂直磁化
型のものは水平磁化型のものより再生出力が小さいとい
つた大きなデメリツトがあり、特開昭５９−１７２１６
号提案のようなCo-Cr系垂直磁化膜の磁気記録媒体は必
ずしも優れたものではない。
本発明者は、Co-Cr系合金膜が比較的耐食性に優れてい
ること、及び高密度記録の面で望ましい金属薄膜型のも
のであることに鑑み、大きな再生出力を得ることの出来
る水平磁化型のCo-Cr系合金磁性膜とする研究を重ねた
結果、非磁性基体上に設ける磁性膜は、酸素原子を９．
７〜１４．１原子％含むCo-Cr系非晶質合金であればよ
いことを見い出した。
ること、及び高密度記録の面で望ましい金属薄膜型のも
のであることに鑑み、大きな再生出力を得ることの出来
る水平磁化型のCo-Cr系合金磁性膜とする研究を重ねた
結果、非磁性基体上に設ける磁性膜は、酸素原子を９．
７〜１４．１原子％含むCo-Cr系非晶質合金であればよ
いことを見い出した。
つまり、酸素原子を９．７〜１４．１原子％含むCo-Cr
系非晶質合金磁性膜の孤立再生波形を調べると、垂直磁
化膜を示す双峰性パルス状のものではなく、水平磁化膜
固有の特徴である単峰性パルスであり、このことから疑
いもなく酸素原子を９．７〜１４．１原子％含むCo-Cr
非晶質合金磁性膜は水平磁化型のものである。
系非晶質合金磁性膜の孤立再生波形を調べると、垂直磁
化膜を示す双峰性パルス状のものではなく、水平磁化膜
固有の特徴である単峰性パルスであり、このことから疑
いもなく酸素原子を９．７〜１４．１原子％含むCo-Cr
非晶質合金磁性膜は水平磁化型のものである。
そして、例えば浮上量0.25μｍのリングヘツドで再生出
力を調べると約0.8ｍＶ以上のものが得られ、高出力の
得られるものである。
力を調べると約0.8ｍＶ以上のものが得られ、高出力の
得られるものである。
〔実施例１〕 Arガス圧100mTorr、ターゲツトに加える電力密度1.0Ｗ
／cm2、スパツタレート130Å／分の酸素雰囲気スパツタ
条件下でCo-Crをスパツタリングして、非磁性基体上に
0.20μｍ厚のCo-Cr系磁性合金膜を形成した。
／cm2、スパツタレート130Å／分の酸素雰囲気スパツタ
条件下でCo-Crをスパツタリングして、非磁性基体上に
0.20μｍ厚のCo-Cr系磁性合金膜を形成した。
このCo-Cr系合金薄膜型磁気デイスクの磁性層の組成を
調べるとCrが17原子％、Ｏが９．７原子％であり、膜面
内方向の保磁力は490エルステツド、角型比0.65であつ
て、又、結晶性のものではなく非晶質なものである。
調べるとCrが17原子％、Ｏが９．７原子％であり、膜面
内方向の保磁力は490エルステツド、角型比0.65であつ
て、又、結晶性のものではなく非晶質なものである。
次に、このCo-Cr系合金薄膜型磁気デイスク耐食性を調
べる為に、温度60℃、湿度90％の条件下に200時間放置
したが、ほとんど変化の認められないものであり、耐食
性に富むものであつた。
べる為に、温度60℃、湿度90％の条件下に200時間放置
したが、ほとんど変化の認められないものであり、耐食
性に富むものであつた。
又、孤立再生波形を調べると水平磁化膜固有の再生波形
である単峰性のものであり、そして浮上量0.25μｍのリ
ング型磁気ヘツドを用いての再生出力は１ｍＶＥあり、
再生出力の大きなものである。
である単峰性のものであり、そして浮上量0.25μｍのリ
ング型磁気ヘツドを用いての再生出力は１ｍＶＥあり、
再生出力の大きなものである。
〔実施例２〕 Arガス圧150mTorr、ターゲツトに加える電力密度1.0Ｗ
／cm2、スパツタレート130Å／分の酸素雰囲気スパツタ
条件下でCo-Crをスパツタリングして、非磁性基体上に
0.20μｍ厚のCo-Cr系磁性合金膜を形成した。
／cm2、スパツタレート130Å／分の酸素雰囲気スパツタ
条件下でCo-Crをスパツタリングして、非磁性基体上に
0.20μｍ厚のCo-Cr系磁性合金膜を形成した。
このCo-Cr系合金薄膜型磁気デイスクの磁性層の組成を
調べるとCrが15原子％、Ｏが14.1原子％であり、膜面内
方向の保磁力は510エルステツド、角型比0.50であつ
て、又、結晶性のものではなく非晶質なものである。
調べるとCrが15原子％、Ｏが14.1原子％であり、膜面内
方向の保磁力は510エルステツド、角型比0.50であつ
て、又、結晶性のものではなく非晶質なものである。
次に、このCo-Cr系合金薄膜型磁気デイスクの耐食性
を、温度60℃、湿度90％の条件下に200時間放置して調
べたが、ほとんど変化の認められないものであり、耐食
性に富むものであつた。
を、温度60℃、湿度90％の条件下に200時間放置して調
べたが、ほとんど変化の認められないものであり、耐食
性に富むものであつた。
又、孤立再生波形を調べると水平磁化膜固有の再生波形
である単峰性のものであり、そして浮上量0.25μｍのリ
ング型磁気ヘツドを用いての再生出力は0.8ｍＶであ
り、再生出力の大きなものである。
である単峰性のものであり、そして浮上量0.25μｍのリ
ング型磁気ヘツドを用いての再生出力は0.8ｍＶであ
り、再生出力の大きなものである。
〔比較例１〕 Arガス圧40mTorr、ターゲツトに加える電力密度5.1Ｗ／
cm2、スパツタレート1700Å／分の酸素雰囲気スパツタ
条件下でCo-Crをスパツタリングして、非磁性基体上に
0.17μｍ厚のCo-Cr系磁性合金膜を形成した。
cm2、スパツタレート1700Å／分の酸素雰囲気スパツタ
条件下でCo-Crをスパツタリングして、非磁性基体上に
0.17μｍ厚のCo-Cr系磁性合金膜を形成した。
このCo-Cr系合金薄膜型磁気デイスクの磁性層の組成を
調べるとCrが19原子％、Ｏが２．８原子％であり、膜面
内方向の保磁力は300エルステツド、角型比は0.32であ
つて、又、hcp構造のものであつて非晶質ではない。
調べるとCrが19原子％、Ｏが２．８原子％であり、膜面
内方向の保磁力は300エルステツド、角型比は0.32であ
つて、又、hcp構造のものであつて非晶質ではない。
そして、この磁気デイスクは前記実施例のものと同様耐
食性には富むものの、孤立再生波形を調べると垂直磁化
膜固有の双峰性のものであり、又、浮上量0.25μｍのリ
ング型磁気ヘツドを用いての再生出力は0.4ｍＶにすぎ
ず、再生出力の小さなものである。
食性には富むものの、孤立再生波形を調べると垂直磁化
膜固有の双峰性のものであり、又、浮上量0.25μｍのリ
ング型磁気ヘツドを用いての再生出力は0.4ｍＶにすぎ
ず、再生出力の小さなものである。
又、上記実施例１、実施例２、及び比較例１のＣｏ−Ｃ
ｒ系合金膜について、酸素含有量と保磁力Ｈｃとの関係
を第１図に、酸素含有量と角型比Ｒｓとの関係を第２図
に、酸素含有量とリング型ヘッドの再生出力との関係を
第３図に示した。
ｒ系合金膜について、酸素含有量と保磁力Ｈｃとの関係
を第１図に、酸素含有量と角型比Ｒｓとの関係を第２図
に、酸素含有量とリング型ヘッドの再生出力との関係を
第３図に示した。
この第１図から、Ｃｏ−Ｃｒ系合金膜中の酸素含有量が
増加するにつれて保磁力Ｈｃは高まるものの、１５原子
％程度で飽和の傾向を示していることが判る。すなわ
ち、酸素含有量が１４．１原子％より少ない範囲では高
Ｈｃの磁気記録媒体を得ることのできるものである。
増加するにつれて保磁力Ｈｃは高まるものの、１５原子
％程度で飽和の傾向を示していることが判る。すなわ
ち、酸素含有量が１４．１原子％より少ない範囲では高
Ｈｃの磁気記録媒体を得ることのできるものである。
又、第２図からはＣｏ−Ｃｒ系合金膜中の酸素含有量が
１０原子％程度をピークにして高い角型比Ｒｓを示して
いることが判り、特に酸素原子が９．７〜１４．１原子
％の範囲内のものでは高い角型比Ｒｓが得られている。
１０原子％程度をピークにして高い角型比Ｒｓを示して
いることが判り、特に酸素原子が９．７〜１４．１原子
％の範囲内のものでは高い角型比Ｒｓが得られている。
さらに、第３図からはＣｏ−Ｃｒ系合金膜中の酸素含有
量が１０原子％程度をピークにして再生出力の高いこと
は判る。すなわち、リング型ヘッドによる再生にあって
は、磁気記録媒体は水平方向（膜面内方向）の保磁力Ｈ
ｃや角型比Ｒｓは高い方が好ましいものであり、このこ
ととも一致した傾向を示していることが判る。つまり、
酸素原子が９．７〜１４．１原子％の範囲内のものでは
高い再生出力が得られるのである。
量が１０原子％程度をピークにして再生出力の高いこと
は判る。すなわち、リング型ヘッドによる再生にあって
は、磁気記録媒体は水平方向（膜面内方向）の保磁力Ｈ
ｃや角型比Ｒｓは高い方が好ましいものであり、このこ
ととも一致した傾向を示していることが判る。つまり、
酸素原子が９．７〜１４．１原子％の範囲内のものでは
高い再生出力が得られるのである。
そして、酸素原子が９．７〜１４．１原子％の範囲内の
ものにあっては、保磁力Ｈｃが４９００ｅ以上であっ
て、角型比Ｒｓが０．５以上であり、リング型ヘッドに
よる再生出力は８０ｍＶ以上の高い値を示しており、波
形は単峰パルスである。
ものにあっては、保磁力Ｈｃが４９００ｅ以上であっ
て、角型比Ｒｓが０．５以上であり、リング型ヘッドに
よる再生出力は８０ｍＶ以上の高い値を示しており、波
形は単峰パルスである。
尚、酸素原子が９．７〜１４．１原子％の範囲内のもの
が好ましい特長を呈するのは、酸素含有による非晶質化
によって、Ｃｏ−Ｃｒ系合金膜における水平方向の磁気
異方性が高まるからと思われる。
が好ましい特長を呈するのは、酸素含有による非晶質化
によって、Ｃｏ−Ｃｒ系合金膜における水平方向の磁気
異方性が高まるからと思われる。
耐食性に富み、又、再生出力の大きなものである。
第１図はＣｏ−Ｃｒ系合金膜における酸素含有量と保磁
力Ｈｃとの関係を示すグラフ、第２図はＣｏ−Ｃｒ系合
金膜における酸素含有量と角型比Ｒｓとの関係を示すグ
ラフ、第３図はＣｏ−Ｃｒ系合金膜における酸素含有量
とリング型ヘッドの再生出力との関係を示すグラフであ
る。
力Ｈｃとの関係を示すグラフ、第２図はＣｏ−Ｃｒ系合
金膜における酸素含有量と角型比Ｒｓとの関係を示すグ
ラフ、第３図はＣｏ−Ｃｒ系合金膜における酸素含有量
とリング型ヘッドの再生出力との関係を示すグラフであ
る。
Claims (1)
- 【請求項１】酸素原子を９．７〜１４．１原子％含むＣ
ｏ−Ｃｒ系非晶質合金磁性膜を非磁性基体上に設けたこ
とを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22583084A JPH0628088B2 (ja) | 1984-10-29 | 1984-10-29 | 磁気記録媒体 |
| KR1019850007146A KR890004257B1 (ko) | 1984-10-29 | 1985-09-27 | 자기 기록매체 및 그 제조법 |
| US06/792,046 US4711810A (en) | 1984-10-29 | 1985-10-28 | Magnetic medium for horizontal magnetization recording and method for making same |
| DE19853538442 DE3538442A1 (de) | 1984-10-29 | 1985-10-29 | Magnetisches medium fuer die aufzeichnung mit waagerechter magnetisierung und verfahren zu seiner herstellung |
| US07/087,700 US4743348A (en) | 1984-10-29 | 1987-08-18 | Magnetic medium for horizontal magnetization recording and method for making same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22583084A JPH0628088B2 (ja) | 1984-10-29 | 1984-10-29 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61105721A JPS61105721A (ja) | 1986-05-23 |
| JPH0628088B2 true JPH0628088B2 (ja) | 1994-04-13 |
Family
ID=16835472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22583084A Expired - Lifetime JPH0628088B2 (ja) | 1984-10-29 | 1984-10-29 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628088B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5316631A (en) * | 1989-02-16 | 1994-05-31 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Method for fabricating a magnetic recording medium |
| US5066552A (en) * | 1989-08-16 | 1991-11-19 | International Business Machines Corporation | Low noise thin film metal alloy magnetic recording disk |
| JP3641611B2 (ja) | 1999-10-29 | 2005-04-27 | 日立マクセル株式会社 | 磁気記録媒体及びその製造方法並びに磁気記録装置 |
-
1984
- 1984-10-29 JP JP22583084A patent/JPH0628088B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61105721A (ja) | 1986-05-23 |
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