JPH02217233A - 2p用ロール型スタンパーの製造方法 - Google Patents
2p用ロール型スタンパーの製造方法Info
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- JPH02217233A JPH02217233A JP3834689A JP3834689A JPH02217233A JP H02217233 A JPH02217233 A JP H02217233A JP 3834689 A JP3834689 A JP 3834689A JP 3834689 A JP3834689 A JP 3834689A JP H02217233 A JPH02217233 A JP H02217233A
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- Japan
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- stamper
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、情報記録媒体用基板を作成する2P0−ラー
・グループ成形法に用いる2P用ロール型スタンパ−の
製造方法に関するものである。
・グループ成形法に用いる2P用ロール型スタンパ−の
製造方法に関するものである。
[従来の技術]
従来、特開昭56−8720:1号公報、特開昭56−
84921号公報、特開昭52−82P04号公報等に
記載されているように、情報記録媒体用基板には、その
情報記録面にトラッキング用溝、情報用ピット等のグル
ープか形成されている。
84921号公報、特開昭52−82P04号公報等に
記載されているように、情報記録媒体用基板には、その
情報記録面にトラッキング用溝、情報用ピット等のグル
ープか形成されている。
このように、情報記録媒体用基板にクループを形成する
方法としては、■情報記録媒体用基板の材料か可塑性樹
脂からなる場合には、インジェクション法やコンプレッ
ション法、ローラー・クループ形成法、又は■光硬化性
樹脂組成物を硬化させて情報記録媒体のグループ形成用
スタンパ−のレプリカを透明樹脂基板に転写するいわゆ
る2P法、■樹脂の千ツマ−又は溶剤を含んだプレボリ
マーを用いる注型成形法等が知られている。
方法としては、■情報記録媒体用基板の材料か可塑性樹
脂からなる場合には、インジェクション法やコンプレッ
ション法、ローラー・クループ形成法、又は■光硬化性
樹脂組成物を硬化させて情報記録媒体のグループ形成用
スタンパ−のレプリカを透明樹脂基板に転写するいわゆ
る2P法、■樹脂の千ツマ−又は溶剤を含んだプレボリ
マーを用いる注型成形法等が知られている。
前記■の情報記録媒体用基板が可塑性樹脂からなる場合
に用いられるインジェクション法やコンプレッション法
、ローラー・グループ成形法は、加熱、抑圧、冷却とい
うプロセスにより行われるが、そのプロセスに従えば、
成型性と成型時間とは常に二律背反の関係にあり、情報
記録媒体用基板を製造する上で問題点となっている。
に用いられるインジェクション法やコンプレッション法
、ローラー・グループ成形法は、加熱、抑圧、冷却とい
うプロセスにより行われるが、そのプロセスに従えば、
成型性と成型時間とは常に二律背反の関係にあり、情報
記録媒体用基板を製造する上で問題点となっている。
一方、極めて良好な成型性を示すとともに成型時間の大
幅な短縮を図ることができる情報記録媒体用基板の製造
方法としては、前記■の紫外線硬化型樹脂を用いるいわ
ゆる2P法がある。
幅な短縮を図ることができる情報記録媒体用基板の製造
方法としては、前記■の紫外線硬化型樹脂を用いるいわ
ゆる2P法がある。
この2P法においては、情報記録媒体用基板に光情報記
録媒体のトラック用グループをロール・ツー・ロール方
式の連続一貫工程で形成することかできるが、2P法に
おいて使用される2P用ロール型スタンバ−の製造方法
は、銅、又はラッカー盤上に刻設された凹凸による情報
信号を八gあるいは旧による銀鏡処理及びCu又はNi
による電気譲金によって複製し、第二原!(ファーザー
)を得る0次に、このファーザーに対して同様の処理を
施して複製し、第三原g1(マザー)を得る。
録媒体のトラック用グループをロール・ツー・ロール方
式の連続一貫工程で形成することかできるが、2P法に
おいて使用される2P用ロール型スタンバ−の製造方法
は、銅、又はラッカー盤上に刻設された凹凸による情報
信号を八gあるいは旧による銀鏡処理及びCu又はNi
による電気譲金によって複製し、第二原!(ファーザー
)を得る0次に、このファーザーに対して同様の処理を
施して複製し、第三原g1(マザー)を得る。
このマザーに対し、同様なるメツキを施してスタンバ−
を得るのが通常の方法である。このスタンバ−をシリン
ダー上に貼りつけるために、スタンバ−はできるだけ薄
く、好ましくは20〜80pm厚に仕上げるのがよい、
これをシリンダーに接着剤又は両面テープにより、端部
より順次異物及び空気を射入しないように貼りつけてい
く方法がとられていた。(特開昭56−87203号公
報)なお、特開昭56−84921号公報、特開昭52
−82P04号公報には2P用ロール型スタンバ−の製
造方法については記載されていない。
を得るのが通常の方法である。このスタンバ−をシリン
ダー上に貼りつけるために、スタンバ−はできるだけ薄
く、好ましくは20〜80pm厚に仕上げるのがよい、
これをシリンダーに接着剤又は両面テープにより、端部
より順次異物及び空気を射入しないように貼りつけてい
く方法がとられていた。(特開昭56−87203号公
報)なお、特開昭56−84921号公報、特開昭52
−82P04号公報には2P用ロール型スタンバ−の製
造方法については記載されていない。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、上記の従来例では、銅又はラッカー盤上
に刻設された凹凸による情報信号を、AgあるいはNi
による銀鏡処理及びCu又はNiによる電気鎮金によっ
て複製し、第二原盤(ファーザー)を得る0次に、この
ファーザーに対して同様の処理を施して複製し、第三原
ff1(マザー)を得る。
に刻設された凹凸による情報信号を、AgあるいはNi
による銀鏡処理及びCu又はNiによる電気鎮金によっ
て複製し、第二原盤(ファーザー)を得る0次に、この
ファーザーに対して同様の処理を施して複製し、第三原
ff1(マザー)を得る。
このマザーに対し、同様なるメツキを施してスタンバ−
を得て、スタンバ−厚は20〜80μlにし、シート状
のスタンバ−をガラス製の円筒基材に接着剤を用いて貼
りつけているために次のような欠点があった。
を得て、スタンバ−厚は20〜80μlにし、シート状
のスタンバ−をガラス製の円筒基材に接着剤を用いて貼
りつけているために次のような欠点があった。
(1)円筒基材に貼りつける情報記録媒体のトラック用
グループの施されたシートはメツキが施されて製造され
ているので、シート状スタンバ−を20〜80μ−の厚
さにしても紫外線は透過し難い、又、透過しても非常に
透過率が悪い。
グループの施されたシートはメツキが施されて製造され
ているので、シート状スタンバ−を20〜80μ−の厚
さにしても紫外線は透過し難い、又、透過しても非常に
透過率が悪い。
(2)第三原tm<マザー)に対し、メツキを施してシ
ート状スタンバ−を得るために工程が多過ぎる。したか
って、2P用ロール型スタンバ−の製作費が高価になる
。
ート状スタンバ−を得るために工程が多過ぎる。したか
って、2P用ロール型スタンバ−の製作費が高価になる
。
本発明は、この様な従来技術の欠点を改善するためにな
されたものであり、紫外線を透過しやすく、トラック用
グループの転写性の良好な2P用ロール型スタンパ−を
、簡単な工程でコストを低減して製造することが可能な
方法を提供することを目的とするものである。
されたものであり、紫外線を透過しやすく、トラック用
グループの転写性の良好な2P用ロール型スタンパ−を
、簡単な工程でコストを低減して製造することが可能な
方法を提供することを目的とするものである。
[課題を解決するための手段]
即ち、本発明は、紫外線を透過する極薄のガラスにレジ
ストを塗布し、パターニングしてエツチングすることに
より形成したベーパー状のガラス・スタンパーを、紫外
線透過性のガラス製の円筒基材の外周壁に接着剤を介し
て巻き付け、その上に耐熱性プラスチックフィルムを挟
持して形状記憶合金を配設した後、予備加熱して形状記
憶合金を収縮せしめ、次いで高温に加熱して接着剤を硬
化せしめることを特徴とする2P用ロール型スタンパ−
の製造方法である。
ストを塗布し、パターニングしてエツチングすることに
より形成したベーパー状のガラス・スタンパーを、紫外
線透過性のガラス製の円筒基材の外周壁に接着剤を介し
て巻き付け、その上に耐熱性プラスチックフィルムを挟
持して形状記憶合金を配設した後、予備加熱して形状記
憶合金を収縮せしめ、次いで高温に加熱して接着剤を硬
化せしめることを特徴とする2P用ロール型スタンパ−
の製造方法である。
本発明において、紫外線を透過する極薄のガラスとして
石英ガラスを用いるのが好ましい。また、紫外線を透過
する極薄のガラスの厚さは。
石英ガラスを用いるのが好ましい。また、紫外線を透過
する極薄のガラスの厚さは。
0.5−一以下であるのが好ましい。
[作用]
本発明の2P用ロール型スタンパ−の製造方法は、石英
ガラス等の紫外線を透過するガラスを極薄に研磨し、研
磨されたガラスにレジストを塗布し、バターニング、エ
ツチングすることによってペーパー状のガラス・スタン
パ−を得る。該ペーパー状のガラス・スタンパ−を、紫
外線透過性のガラス製の円筒基材の外周壁にベーパー状
ガラス・スタンパ−の屈曲性を利用して、接着剤を介し
て巻き付け、その上に耐熱性プラスチックフィルムを挟
持して形状記憶合金を配設した後、予備加熱して形状記
憶合金を収縮せしめ、この際形状記憶合金にはあらかじ
め高温ではガラス製の円筒基材よりも小さめの円筒形状
を記憶させておき、常温ではガラス製の円筒基材よりも
やや大きい形状のものを使用するので、ペーパー状のガ
ラス・スタンパ−をガラス製の円筒基材の外周壁に押圧
して仮固定した後、高温に加熱して接着剤を硬化せしめ
て製造するので、トラック用グループの転写性の良好な
2P用ロール型スタンパ−を、簡単な工程でコストを低
減して製造することか可能となる。
ガラス等の紫外線を透過するガラスを極薄に研磨し、研
磨されたガラスにレジストを塗布し、バターニング、エ
ツチングすることによってペーパー状のガラス・スタン
パ−を得る。該ペーパー状のガラス・スタンパ−を、紫
外線透過性のガラス製の円筒基材の外周壁にベーパー状
ガラス・スタンパ−の屈曲性を利用して、接着剤を介し
て巻き付け、その上に耐熱性プラスチックフィルムを挟
持して形状記憶合金を配設した後、予備加熱して形状記
憶合金を収縮せしめ、この際形状記憶合金にはあらかじ
め高温ではガラス製の円筒基材よりも小さめの円筒形状
を記憶させておき、常温ではガラス製の円筒基材よりも
やや大きい形状のものを使用するので、ペーパー状のガ
ラス・スタンパ−をガラス製の円筒基材の外周壁に押圧
して仮固定した後、高温に加熱して接着剤を硬化せしめ
て製造するので、トラック用グループの転写性の良好な
2P用ロール型スタンパ−を、簡単な工程でコストを低
減して製造することか可能となる。
[実施例]
以下、本発明を実施例に基づいて図面を参照しながら詳
しく説明する。
しく説明する。
実施例1
第1図(a)は本発明の方法により製造された2P用ロ
ール型スタンパ−の−例を示す模式図、第1図(b)は
AA線断面図である。同図において、2P用ロール型ス
タンパ−は、石英ガラス等の紫外線を透過する極薄のガ
ラスにレジストを塗布し、パターニングしてエツチング
することにより形成したペーパー状のガラス・スタンパ
−1を、紫外線透過性の石英強化ガラス等からなるガラ
ス製の円筒基材2の外周壁に、紫外線透過性のエポキシ
樹脂等の接着剤5を用いて接着してなるものである。
ール型スタンパ−の−例を示す模式図、第1図(b)は
AA線断面図である。同図において、2P用ロール型ス
タンパ−は、石英ガラス等の紫外線を透過する極薄のガ
ラスにレジストを塗布し、パターニングしてエツチング
することにより形成したペーパー状のガラス・スタンパ
−1を、紫外線透過性の石英強化ガラス等からなるガラ
ス製の円筒基材2の外周壁に、紫外線透過性のエポキシ
樹脂等の接着剤5を用いて接着してなるものである。
次に、本発明において使用するペーパー状のガラス・ス
タンパ−の製造方法について説明する。
タンパ−の製造方法について説明する。
第2図(a)〜(e)はペーパー状のガラス・スタンパ
−の製造方法の一例を示す工程図である。同図において
、3は石英ガラス等の紫外線に対して透過率の高い透明
な基板、4はレジストパターンである。
−の製造方法の一例を示す工程図である。同図において
、3は石英ガラス等の紫外線に対して透過率の高い透明
な基板、4はレジストパターンである。
まず、第2図(a)、(b)において、石英ガラス等の
透明な基板3を酸化セリウムて両面研磨する。
透明な基板3を酸化セリウムて両面研磨する。
基板の大きさは、例えば、たて:lOcmXよこ:10
cm、厚みは通常0.5■■以下、好ましくは0.:1
ms〜0.111が望ましい。
cm、厚みは通常0.5■■以下、好ましくは0.:1
ms〜0.111が望ましい。
その後、研磨された透明な基板3上にフォトレジスト(
例えば、ヘキスト・ジャパン■製、^2−1:100)
をスピンナー等で1000人〜2000人の膜厚に塗布
する。(第2図(C)参照) 次に、所定のパターン(スパイラル、同心円状又はスト
ライプ)を備えたマスクを用いて上記塗布面に密着露光
又′はレーザー・ビーム露光し、さらにこの露光面に対
して、現像液(例えば、ヘキスト・ジャパン■製、Az
−31211F )で現像することによってレジストパ
ターン4を形成する。(第2図(d)参照) しかる後、ウェット・エツチング等のエツチング技術を
駆使してレジストの除かれた部分をエツチングすること
により透明な基板3上に所定のパターンが形成される。
例えば、ヘキスト・ジャパン■製、^2−1:100)
をスピンナー等で1000人〜2000人の膜厚に塗布
する。(第2図(C)参照) 次に、所定のパターン(スパイラル、同心円状又はスト
ライプ)を備えたマスクを用いて上記塗布面に密着露光
又′はレーザー・ビーム露光し、さらにこの露光面に対
して、現像液(例えば、ヘキスト・ジャパン■製、Az
−31211F )で現像することによってレジストパ
ターン4を形成する。(第2図(d)参照) しかる後、ウェット・エツチング等のエツチング技術を
駆使してレジストの除かれた部分をエツチングすること
により透明な基板3上に所定のパターンが形成される。
すなわち1本発明で用いる第1図のペーパー状のガラス
・スタンパ=1か完成する。(第2図(e)参照) ペーパー状のガラス・スタンパ−は、紫外線に対して透
過率の高い透明なガラスであれば特に制限することなく
広範囲のものを用いることかできるが1例えば石英ガラ
スが好ましい。
・スタンパ=1か完成する。(第2図(e)参照) ペーパー状のガラス・スタンパ−は、紫外線に対して透
過率の高い透明なガラスであれば特に制限することなく
広範囲のものを用いることかできるが1例えば石英ガラ
スが好ましい。
次に、本発明の2P用ロール型スタンパ−の製造方法に
ついて説明する。第4図は、本発明の2P用ロール型ス
タンパ−の製造方法の説明図である。同図において、上
記の様にして得られたペーパー状のガラス・スタンパ−
1を、紫外線透過性のガラス製の円筒基材2の外周壁に
ペーパー状ガラス・スタンパ−の屈曲性を利用して、接
着剤5を介して巻き付け、その外側に耐熱性プラスチッ
クフィルム16を挟持して形状記憶合金15を配設した
後、加熱する。加熱温度は80℃乃至120°Cか適当
である。この温度では、接着剤は硬化せず、形状記憶合
金15が収縮し、ペーパー状のガラス・スタンパ−1が
ガラス製の円筒基材2に均一に押され、この際ペーパー
状のガラス・スタンパ−の所定のトラック用グループは
変形することはない。
ついて説明する。第4図は、本発明の2P用ロール型ス
タンパ−の製造方法の説明図である。同図において、上
記の様にして得られたペーパー状のガラス・スタンパ−
1を、紫外線透過性のガラス製の円筒基材2の外周壁に
ペーパー状ガラス・スタンパ−の屈曲性を利用して、接
着剤5を介して巻き付け、その外側に耐熱性プラスチッ
クフィルム16を挟持して形状記憶合金15を配設した
後、加熱する。加熱温度は80℃乃至120°Cか適当
である。この温度では、接着剤は硬化せず、形状記憶合
金15が収縮し、ペーパー状のガラス・スタンパ−1が
ガラス製の円筒基材2に均一に押され、この際ペーパー
状のガラス・スタンパ−の所定のトラック用グループは
変形することはない。
このような形状記憶合金15にはあらかじめ高温てはガ
ラス製の円筒基材2よりも小さめの円筒形状を記憶させ
ておき、常温てはガラス製の円筒基材2よりもやや大き
くしておく、さらに、形状記憶合金15とペーパー状の
ガラス・スタンパ−1が直接に接触するとペーパー状の
ガラス・スタンパ−1の表面に傷が付くため、形状記憶
合金15とペーパー状のガラス・スタンパ−1の間にプ
ラスチックフィルム16を挟持して、傷が付くのを防止
する。プラスチックフィルム16は耐熱温度が200℃
以上の耐熱性のものを使用するのが好ましい。
ラス製の円筒基材2よりも小さめの円筒形状を記憶させ
ておき、常温てはガラス製の円筒基材2よりもやや大き
くしておく、さらに、形状記憶合金15とペーパー状の
ガラス・スタンパ−1が直接に接触するとペーパー状の
ガラス・スタンパ−1の表面に傷が付くため、形状記憶
合金15とペーパー状のガラス・スタンパ−1の間にプ
ラスチックフィルム16を挟持して、傷が付くのを防止
する。プラスチックフィルム16は耐熱温度が200℃
以上の耐熱性のものを使用するのが好ましい。
次に、接着剤5の硬化温度に加熱する。耐熱性か120
〜150℃の接着剤の硬化温度は200℃以上が適当で
ある。接着剤5が固まったら形状記憶合金15を取り除
くことにより2P用ロール型スタンパ−を得ることがで
きる。また、取り除かれた形状記憶合金は、繰り返して
2P用ロール型スタンパ−の製作に使用することができ
る。
〜150℃の接着剤の硬化温度は200℃以上が適当で
ある。接着剤5が固まったら形状記憶合金15を取り除
くことにより2P用ロール型スタンパ−を得ることがで
きる。また、取り除かれた形状記憶合金は、繰り返して
2P用ロール型スタンパ−の製作に使用することができ
る。
形状記憶合金には1例えばチタンニッケル系合金等を用
いることができる。
いることができる。
第1図においては、2P用ロール型スタンパ−は、ガラ
ス製の円筒基材2の周壁に接着剤5を塗布し、ペーパー
状のガラス・スタンパ−1を周壁に巻いて硬化させ固定
したものである。
ス製の円筒基材2の周壁に接着剤5を塗布し、ペーパー
状のガラス・スタンパ−1を周壁に巻いて硬化させ固定
したものである。
接着剤5は紫外線を通過させるものであれば特に制限す
ることなく広範囲のものを用いることができるが1例え
ばエポキシ樹脂やシアノアクリレート等が挙げられる。
ることなく広範囲のものを用いることができるが1例え
ばエポキシ樹脂やシアノアクリレート等が挙げられる。
vt着剤の厚みは薄いほうか接着力か強く、厚みかムラ
が少なくシートの平面性、耐久性に優れている。そのた
め接着剤の厚みは50隔■以下が望ましい。
が少なくシートの平面性、耐久性に優れている。そのた
め接着剤の厚みは50隔■以下が望ましい。
次に、第3図は本発明の2P用ロール型スタンパ−を使
用した2P0−ラーグループ成形装置の一例を示す構成
図である。同図において、ロール状に巻き取られている
基材シート12は水平方向に送出される。この基材シー
ト12の搬送経路に、順次、紫外線硬化型樹脂11のコ
ーティング部13、プレキュアリング部8,2P用ロー
ル型スタンバ−6、鏡面の加圧ローラー7、紫外線ラン
プ14を有するキユアリング部9.型抜部lOか配置さ
れている。
用した2P0−ラーグループ成形装置の一例を示す構成
図である。同図において、ロール状に巻き取られている
基材シート12は水平方向に送出される。この基材シー
ト12の搬送経路に、順次、紫外線硬化型樹脂11のコ
ーティング部13、プレキュアリング部8,2P用ロー
ル型スタンバ−6、鏡面の加圧ローラー7、紫外線ラン
プ14を有するキユアリング部9.型抜部lOか配置さ
れている。
第3図に示す2Pローラーダルーブ成形装置で情報記録
媒体基板の製造を行なった。
媒体基板の製造を行なった。
基材シート12は特に伸縮が少なく、厚さが均一で紫外
線の吸収が少ない材料が要求される。材質としては、ポ
リスチレン、トリアセテート、ポリカーボネート等が好
ましく、その厚みは0.03■1以下か好ましい。
線の吸収が少ない材料が要求される。材質としては、ポ
リスチレン、トリアセテート、ポリカーボネート等が好
ましく、その厚みは0.03■1以下か好ましい。
送出された基材シート12は、コーティング部13て紫
外線硬化型樹脂11がコートされる。コートの方法とし
ては、ロールコート、グラビアコート等の方法により行
うことができる。その後、用いる紫外線硬化型樹脂11
の粘度に応じて、適宜、プレキュアリング部8によって
プレキュアリングを行なう、これはプレキュアリングを
行なうことによって、2P用ロール型スタンパ−6の成
形性を良くするためである。2P用ロール型スタンパ−
6によって情報記録媒体のトラック用グループか成形さ
れた紫外線型硬化樹脂11は、キュアソング部9によっ
て完全に硬化される。その後、型抜部10によって情報
記録媒体用基板を型抜きする。
外線硬化型樹脂11がコートされる。コートの方法とし
ては、ロールコート、グラビアコート等の方法により行
うことができる。その後、用いる紫外線硬化型樹脂11
の粘度に応じて、適宜、プレキュアリング部8によって
プレキュアリングを行なう、これはプレキュアリングを
行なうことによって、2P用ロール型スタンパ−6の成
形性を良くするためである。2P用ロール型スタンパ−
6によって情報記録媒体のトラック用グループか成形さ
れた紫外線型硬化樹脂11は、キュアソング部9によっ
て完全に硬化される。その後、型抜部10によって情報
記録媒体用基板を型抜きする。
このようにして1本発明の方法により得られたzP用ロ
ール型スタンバ−6を用いて情報記録媒体用基板を成形
したところ、トラック用グループか転写性良く成形でき
た。
ール型スタンバ−6を用いて情報記録媒体用基板を成形
したところ、トラック用グループか転写性良く成形でき
た。
[発明の効果]
以上の説明から明らかなように、本発明の2P用ロール
型スタンパ−の製造方法によれば、ペーパー状のガラス
・スタンパ−をガラス製の円筒基材に接着剤を介して巻
きつけて、形状記憶合金を用いて接着することにより作
成できる。それにより次のような顕著な効果を奏するこ
とがてきる。
型スタンパ−の製造方法によれば、ペーパー状のガラス
・スタンパ−をガラス製の円筒基材に接着剤を介して巻
きつけて、形状記憶合金を用いて接着することにより作
成できる。それにより次のような顕著な効果を奏するこ
とがてきる。
(1)本発明によれば、ペーパー状のガラス・スタンパ
−は、紫外線を透過しやすいので情報記録媒体のトラッ
ク用グループの転写性の良い安価な2P用ロール型スタ
ンパ−か得られる。
−は、紫外線を透過しやすいので情報記録媒体のトラッ
ク用グループの転写性の良い安価な2P用ロール型スタ
ンパ−か得られる。
(2)ガラス製の円筒基材にペーパー状のガラス・スタ
ンパ−を巻きつけ接着する工程で形状記憶合金を用いて
ペーパー状ガラス・スタンパ−とガラス製の円筒基材を
仮固定し、その後接着剤を固定することにより製造され
た本発明の2P用ロール型スタンパ−を使用すれば、ト
ラック用グループの転写性の良好な情報記録媒体用基板
を容易に得ることができる。
ンパ−を巻きつけ接着する工程で形状記憶合金を用いて
ペーパー状ガラス・スタンパ−とガラス製の円筒基材を
仮固定し、その後接着剤を固定することにより製造され
た本発明の2P用ロール型スタンパ−を使用すれば、ト
ラック用グループの転写性の良好な情報記録媒体用基板
を容易に得ることができる。
(3)本発明の2P用ロール型スタンパ−を用いた2P
0−ラー・グループ成形装置で得られる情報記録媒体は
、経済性及び時間効率の向上が計れるため、コスト低減
が達成できる。
0−ラー・グループ成形装置で得られる情報記録媒体は
、経済性及び時間効率の向上が計れるため、コスト低減
が達成できる。
(4)形状記憶合金は、何度も再生して使用することが
可能で経済的であり、かつ取り扱いが簡単である。
可能で経済的であり、かつ取り扱いが簡単である。
第1図(a)は本発明の方法により製造された2P用ロ
ール型スタンパ−の−例を示す模式図、第1図(b)は
AA線断面図、第2図(a) 〜(e)はペーパー状の
ガラス・スタンパ−の製造方法の一例を示す工程図、第
3図は本発明における2P用ロール型スタンパ−を使用
した2Pローラーグループ成形装置の一例を示す構成図
、第4図は本発明の2P用ロール型スタンパ−の製造方
法の一例を示す説明図である。 l・・・ペーパー状のガラス・スタンパ−2・・・円筒
基材 3・・・基板4・・・レジストパターン
5・・・接着剤6・・・2P用ロール型スタンパ− 7・・・加圧ローラー 8・・・プレキュアリング部 9・・・キユアリング部 IO・・・型抜部11−・
・紫外線硬化型樹脂 12・・・基材シート13−・・
コーティング部 14・・・紫外線ランプ15・・・
形状記憶合金 16・・・プラスチックフィルム
ール型スタンパ−の−例を示す模式図、第1図(b)は
AA線断面図、第2図(a) 〜(e)はペーパー状の
ガラス・スタンパ−の製造方法の一例を示す工程図、第
3図は本発明における2P用ロール型スタンパ−を使用
した2Pローラーグループ成形装置の一例を示す構成図
、第4図は本発明の2P用ロール型スタンパ−の製造方
法の一例を示す説明図である。 l・・・ペーパー状のガラス・スタンパ−2・・・円筒
基材 3・・・基板4・・・レジストパターン
5・・・接着剤6・・・2P用ロール型スタンパ− 7・・・加圧ローラー 8・・・プレキュアリング部 9・・・キユアリング部 IO・・・型抜部11−・
・紫外線硬化型樹脂 12・・・基材シート13−・・
コーティング部 14・・・紫外線ランプ15・・・
形状記憶合金 16・・・プラスチックフィルム
Claims (3)
- (1)紫外線を透過する極薄のガラスにレジストを塗布
し、パターニングしてエッチングすることにより形成し
たペーパー状のガラス・スタンパーを、紫外線透過性の
ガラス製の円筒基材の外周壁に接着剤を介して巻き付け
、その上に耐熱性プラスチックフィルムを挟持して形状
記憶合金を配設した後、予備加熱して形状記憶合金を収
縮せしめ、次いで高温に加熱して接着剤を硬化せしめる
ことを特徴とする2P用ロール型スタンパーの製造方法
。 - (2)紫外線を透過する極薄のガラスが石英ガラスであ
る請求項1記載の2P用ロール型スタンパーの製造方法
。 - (3)紫外線を透過する極薄のガラスの厚さが0.5m
m以下である請求項1または2記載の2P用ロール型ス
タンパーの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3834689A JPH02217233A (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | 2p用ロール型スタンパーの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3834689A JPH02217233A (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | 2p用ロール型スタンパーの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02217233A true JPH02217233A (ja) | 1990-08-30 |
Family
ID=12522725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3834689A Pending JPH02217233A (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | 2p用ロール型スタンパーの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02217233A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100537722B1 (ko) * | 2002-10-11 | 2005-12-20 | 강신일 | 미세형상 구조물의 연속 성형장치 및 방법 그리고 그 미세형상의 성형을 위한 스탬퍼 제작방법 |
| US7989149B2 (en) * | 2008-12-27 | 2011-08-02 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Mold core and method for fabricating mold core |
-
1989
- 1989-02-20 JP JP3834689A patent/JPH02217233A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100537722B1 (ko) * | 2002-10-11 | 2005-12-20 | 강신일 | 미세형상 구조물의 연속 성형장치 및 방법 그리고 그 미세형상의 성형을 위한 스탬퍼 제작방법 |
| US7989149B2 (en) * | 2008-12-27 | 2011-08-02 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Mold core and method for fabricating mold core |
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