JPH04212736A - 情報記録媒体用基板シートの成形用ロールスタンパーとその製造方法及びロールスタンパーを用いた情報記録媒体用基板シートの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は樹脂シートに凹凸プリフ
ォーマットを形成して連続的に情報記録媒体用基板を製
造するロール状スタンパー及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】光ディスク等の情報記録媒体の基板には
トラック溝やアドレスピット等の凹凸プリフォーマット
が形成されている。この様な基板を連続的に大量に製造
する方法として例えば特開昭５６−８６７２１号公報に
は熱可塑性合成樹脂シートを赤外線ランプで加熱軟化し
た後、成形用ロールで凹凸状の信号を転写する方法が記
載されている。

【０００３】この様な方法で用いるロールスタンパーは
平板状の薄いスタンパーを鏡面加工を行なったロール基
材に接着剤等で貼り付け、又は治具等を用いて機械的に
取り付けたり、ロール基材本体に直接プリフォーマット
パターンを形成して作成されている。

【０００４】ところでロールスタンパーに形成される凹
凸プリフォーマットパターンとしては、従来、光カード
用の基板が有する所定の長さ及び幅のプリフォーマット
と同じサイズを有するプリフォーマットパターンが用い
られている。

【０００５】しかし樹脂シートに連続的にプリフォーマ
ットを形成する場合ロールスタンパーには比較的大きな
圧力が加わり、又樹脂の冷却に伴なって、該樹脂シート
の搬送方向と垂直な方向に収縮が起こるため前述の所定
のサイズのパターンが形成されたロールスタンパーを用
いた場合、樹脂シート上に形成された凹凸プリフォーマ
ットは逆に転写の精度の悪化、具体的にはトラックピッ
チが大きく変動するという問題点がある。特に光カード
の様な微細なパターンが形成され高密度な情報の記録・
再生を行なう光記録媒体の場合、トラックピッチの変動
はトラックはずれ等のエラーの原因となることがあり、
光カードの規格に於てもトラックピッチの変動は１２μ
ｍ±０．１μｍ以内と定められている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題点に
鑑みなされたものであって、本発明は樹脂シートに連続
的に凹凸プリフォーマットを正確に形成することができ
る情報記録媒体用基板の成形用ロールスタンパー及びそ
の製造方法を提供することを目的とする。

【０００７】また本発明は、凹凸プリフォーマットパタ
ーンを正確に転写された情報記録媒体用基板シートを得
ることができる情報記録媒体用基板シートの製造方法を
提供することを他の目的とする。

【０００８】また本発明は、凹凸プリフォーマットが、
所定の大きさに正確に形成されてなると共に、表面状態
の良好な情報記録媒体用基板シート及びその製造方法を
提供することを目的とする。

【０００９】更に本発明は、樹脂シートに連続的に凹凸
プリフォーマットを正確に形成することのできる情報記
録媒体用基板の成形用ロールスタンパーに用いることの
できる可撓性スタンパーの製造方法を提供することを目
的とする。

【００１０】更にまた、本発明は、可撓性スタンパーを
効率よく製造することのできる電鋳装置を提供すること
を目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の情報記録媒体用
基板シートの成形用ロールスタンパーは情報記録媒体の
プリフォーマットに対応するプリフォーマットパターン
を有し、該プリフォーマットパターンを樹脂シート上に
連続的に転写して情報記録媒体用基板シートを成形する
ためのロールスタンパーに於て該情報記録媒体のプリフ
ォーマットの所定の長さをＡ、所定の幅をＢとしたとき
、該プリフォーマットパターンがロールスタンパーの周
方向に上記長さＡに対応する長さａ、周方向に垂直な方
向に上記幅Ｂに対応する幅ｂの大きさを有し、ｂ／ａの
値がＢ／Ａの値よりも大きく形成されてなることを特徴
とする。

【００１２】又、本発明のロールスタンパーは情報記録
媒体のプリフォーマットに対応するプリフォーマットパ
ターン有し、該プリフォーマットパターンを樹脂シート
上に連続的に転写して、情報記録媒体用基板シートを成
形する為のロールスタンパーに於て、該プリフォーマッ
トパターンが該ロールスタンパーの周方向に複数個形成
されてなり、且つ、該プリフォーマットパターンが該情
報記録媒体のプリフォーマットの所定の長さをＡ，所定
の幅をＢとしたとき、ロールスタンパーの周方向に上記
長さＡに対応する長さａ，周方向に垂直な方向に上記幅
Ｂに対応する幅ｂの大きさを有し、ｂ／ａの値がＢ／Ａ
の値よりも大きく形成されてなることを特徴とする。

【００１３】本発明のロールスタンパーの製造方法は情
報記録媒体のプリフォーマットに対応するプリフォーマ
ットパターンを周方向に複数個有する、樹脂シート上に
連続的にプリフォーマットパターンを転写して情報記録
媒体用基板シートを成形するロールスタンパーの製造方
法に於て、以下の工程を有することを特徴とする。

【００１４】ａ）長尺ベースフィルム表面に情報記録媒
体のプリフォーマットに対応するプリフォーマットパタ
ーンを該ベースフィルムの長手方向に複数個形成しベー
スフィルム原盤を作製する工程 ｂ）該ベースフィルム原盤のパターン形成面に導電化膜
を形成する工程 ｃ）該導電化膜上に電鋳法により金属膜を形成する工程
ｄ）該導電化膜及び該金属膜をベースフィルム原盤より
剥離して複数個のプリフォーマットパターンを有する長
尺の可撓性スタンパーを作成する工程 ｅ）該可撓性スタンパーをロール基材に固定する工程

【
００１５】本発明の情報記録媒体用基板シートの製造方
法はプリフォーマットパターンを有するロールスタンパ
ーを用いて連続的に樹脂シート上に該プリフォーマット
パターンを転写する情報記録媒体用基板シートの製造方
法に於て、該プリフォーマットパターンが、該情報記録
媒体のプリフォーマットの所定の長さをＡ、所定の幅を
Ｂとしたときロールスタンパーの周方向に上記長さＡに
対応する長さａ、周方向に垂直な方向に上記幅Ｂに対応
する幅ｂの大きさを有し、ｂ／ａの値がＢ／Ａよりも大
きく形成されてなるロールスタンパーを用いることを特
徴とする。

【００１６】本発明の長尺のスタンパーの製造方法は長
尺ベースフィルム表面に、情報記録媒体のプリフォーマ
ットに対応するプリフォーマットパターンを、該べーフ
ィルムの長手方向に複数個形成し、ベースフィルム原盤
を作製する工程、該ベースフィルム原盤のパターン形成
面に導電化膜を形成する工程、該導電化膜上に電鋳法に
より金属膜を該導電化膜と一体となるように形成する工
程、該導電化膜及び金属膜をベースフィルムより剥離す
る工程を有することを特徴とする。

【００１７】本発明の可撓性スタンパーの製造方法は長
尺ベースフィルムの表面に導電化膜を形成する工程、該
導電化膜上に電鋳法により金属膜を形成する工程、該金
属膜にフォトリソ工程を用いて情報記録媒体のプリフォ
ーマットに対応するプリフォーマットパターンを該長尺
ベースフィルムの長手方向に複数個形成する工程を有す
ることを特徴とする。

【００１８】更に本発明の電鋳装置は長尺ベースフィル
ム表面に情報記録媒体のプリフォーマットに対応するプ
リフォーマットパターンを、該ベースフィルムの長手方
向に複数個有し、且つ該ベースフィルムのプリフォーマ
ットパターン形成面に導電化膜の形成されてなる導電化
されたベースフィルム原盤を連続的に搬送しつつ、該導
電化膜上に金属膜を成膜する電鋳装置であって該導電化
膜と連続的な接触状態を維持して、該導電化膜と電源と
の通電を取る通電手段を有することを特徴とする。

【００１９】このような凹凸プリフォーマットパターン
の寸法を或る特定の範囲で所定の形状からずらすことに
より樹脂シート上に凹凸プリフォーマットを転写する際
のスタンパーの伸びや樹脂シート上の冷却による収縮に
よる樹脂シートに転写された凹凸プリフォーマットの歪
みを相殺させることができ非常に正確な凹凸プリフォー
マットを樹脂シート上に形成できる。

【００２０】次に本発明の情報記録媒体用基板の成形用
ロールスタンパーについて図面を用いて詳細に説明する
。

【００２１】図１（Ａ）は本発明の光カード用基板シー
ト成形用ロールスタンパー１３を用いた光カード用基板
シート１５の製造工程を示す概略図である。

【００２２】図１（Ａ）に於て１３は本発明に係るロー
ルスタンパーであり、プリフォーマットパターン１１を
有するスタンパー１２がロール基材２１の周面に固定さ
れてなるものである。そしてロールスタンパー１３及び
ロールスタンパー１３に対向配置されてなるロール１４
で樹脂シートを挟圧してプリフォーマットパターン１１
を転写して光カード用基板シート１５を得る。そしてロ
ールスタンパーの有するプリフォーマットパターン１１
に於て、ａはプリフォーマットパターン１１の最も外側
のトラック間の樹脂シートの搬送方向と平行な方向の長
さを表わし、ｂはプリフォーマットパターン１１の樹脂
シートの搬送方向に垂直な方向の幅を表わす。

【００２３】又、図１は（Ｂ）は光カード用の基板１６
が有するプリフォーマットであり、１７はトラック溝を
示す。そして本発明のロールスタンパーはこのプリフォ
ーマットの所定のサイズとして長さＡ，幅Ｂとした時、
ロールスタンパー表面に形成されてなるプリフォーマッ
トパターンの長さａ及び幅ｂとプリフォーマットの所定
の長さＡ，幅Ｂの関係が以下の条件を満たすことを特徴
とするものである。

【００２４】ｂ／ａ＞Ｂ／Ａ

【００２５】この様にロールスタンパーに形成する凹凸
プリフォーマットパターンの寸法比（ｂ／ａ）と所定の
凹凸プリフォーマットの寸法比（Ｂ／Ａ）とを変えるこ
とにより樹脂シートとスタンパーの接触時のスタンパー
の伸び及び樹脂シートの収縮による樹脂シートに転写さ
れた凹凸プリフォーマットの歪みを相殺させることがで
き、非常に正確に凹凸プリフォーマットを樹脂シート上
に形成することができる。

【００２６】又、本発明のロールスタンパーに於て、光
カード用基板シートを成形する場合、特にＡとａ及びＢ
とｂの関係を下式（１）及び（２）の様にした場合、樹
脂シート上に形成されるプリフォーマットの長さをａ′
，幅をｂ′とした時に各々の値を所定の長さＡ及び幅Ｂ
により近付けることができ正確なプリフォーマットを形
成可能なロールスタンパーを得ることができる。

【００２７】

【外１】

【００２８】更にＢとｂに関しては下式（３）の関係を
満たす場合より、正確なプリフォーマットを形成でき好
ましい。

【００２９】

【外２】

【００３０】本発明のロール状スタンパーに形成される
凹凸プリフォーマットパターンの形状及び大きさは情報
記録媒体の基板に形成される凹凸プリフォーマットであ
れば特に限定することなく所望のものとすることができ
る。また、光によって記録及び／又は再生を行なう光デ
ィスクや光カードなどの光記録媒体用の基板に形成され
る。例えば溝幅が０．１μｍ〜５μｍ，ピッチ１μｍ〜
１２μｍ，深さが０．０１μｍ〜０．４μｍの同心円状
やスパイラル状又はストライプ状のトラッキンググルー
ブやミクロンオーダーのサイズの情報ピットは転写時の
わずかなサイズの伸び或いは収縮が光記録媒体の欠陥に
つながってしまう。

【００３１】具体的には、例えば光カード用トラック溝
パターンの樹脂シートへの転写時の寸法の伸びによって
、トラック溝ピッチが規格値から外れトラッキングエラ
ーが発生して、記録・再生が不可能となるものである。

【００３２】本発明のロールスタンパーはこの様に微細
なパターンも樹脂シート上に正確に転写でき、特に光デ
ィスクや光カードなどの光記録媒体用の基板の製造に特
に有効である。

【００３３】本発明のロールスタンパー１３の製造方法
としては、例えばガラス原盤にフォトレジスト層を形成
しレーザービーム、エレクトロンビームによる描画を行
なった後現像してレジストパターンを形成し、それをＮ
ｉ電鋳することにより薄いＮｉスタンパーを得る。次い
で、図２に示すようにこのＮｉスタンパーを鏡面研磨し
たロール基材２１に接着剤や治具等で固定してロール状
のスタンパー１３を得ることができる。或いはロール基
材に直接または基材上に別途形成したパターン形成層上
に凹凸プリフォーマットパターンを形成してもよい。

【００３４】又、本発明において、図３に示す様にロー
ル基材表面に固定する可撓性のスタンパー１２として該
ロール基材の周方向にプリフォーマットパターン１１が
複数個配置されてなるスタンパー３１を用いることがで
きる。この様なスタンパーを用いて図４に示す様なロー
ルスタンパーを形成した場合、１つの可撓性スタンパー
に情報記録媒体のプリフォーマットパターンが１つ分形
成されてなり、ロール基材の周面に複数枚の可撓性スタ
ンパーを固定した図２に示す様なロールスタンパーと比
較してロールスタンパーの表面の凹凸を大幅に減少させ
ることができるため、表面状態の良好な情報記録媒体用
基板シートを得ることができ、ノイズの少ない情報記録
媒体を作製することができる。

【００３５】この様な複数個のプリフォーマットパター
ン１１を有する可撓性のスタンパーは例えば図５に示す
様に前記した方法によってａ及びｂのサイズを有する情
報記録媒体のプリフォーマットパターンに対応するレジ
ストパターン１０２を複数個形成したガラス原盤１０１
に導電化膜１１４をスパッタリングし、次いで、電鋳法
により金属膜１１５を成膜し、導電化膜及び金属膜を一
体として、ガラス原盤より剥離して複数個のプリフォー
マットパターン１１を有する可撓性スタンパー３１を得
る。

【００３６】そして、この可撓性スタンパーを図６に示
す固定具６１を用いたりネジ止め等の方法でロール基材
２１に固定することにより、スタンパーを簡易に交換で
きるようになり、しかも、安価に製造できるロールスタ
ンパーを得ることができる。

【００３７】又、ここで作製した可撓性スタンパーをフ
ァザースタンパーとして用いて、この可撓性スタンパー
上に紫外線硬化樹脂を塗布、硬化させて樹脂製マザース
タパーを作製し、このスタンパー導電膜及び金属膜を成
膜しマザースタンパーから剥離することによっても、本
発明の可撓性スタンパーを得られる。更に上記樹脂製マ
ザースタンパーは、注型成形法によって作製することも
できる。

【００３８】また、上記の可撓性スタンパー作製の際に
複数のプリフォーマットパターンを有するガラス原盤の
代りに図７に示す様にベースフィルム１１１上に複数の
プリフォーマットパターンに対応するレジストパターン
を形成してなるベースフィルム原盤１１３を用いて、こ
のベースフィルム原盤のパターン形成面に導電化膜１１
４を形成し、次いで金属膜１１５を電鋳によって成膜し
て複数のプリフォーマットパターン１１を有する可撓性
スタンパー３１を得ることもできる。この場合、スタン
パーを製作するための原盤の基材としてフィルム（ベー
スフィルム）を用いることにより、例えば、ベースフィ
ルム原盤１１３上に導電化膜を形成したものを巻き取っ
ておくことができ、必要に応じてロールから送り出しつ
つ、連続的に電鋳処理を施すことが可能となる。

【００３９】又、図８に示す様にベースフィルム１１１
に直接プリフォーマットパターン１１に対応するパター
ン１０２を複数個形成してベースフィルム原盤１１３と
し、導電化膜１１４，金属膜１１５を形成し、可撓性ス
タンパー３１を得ることもできる。

【００４０】次にベースフィルム原盤を用いて連続的な
電鋳処理を行なう方法について説明する。

【００４１】図９はロール状に巻き取られた導電化膜１
１４を有するベースフィルム原盤１１３をロールから送
り出して、連続的に電鋳処理を行なう電鋳装置の概略断
面図である。同図に於て１３２はニッケル等の金属チッ
プ１３３及び１３４は送りローラであって、且つ導電化
膜１１４と電源１３５との通電を取る為の通電手段であ
る。そして図９に示す様に、電鋳槽１３１内のニッケル
チップを＋側電極、ベースフィルム原盤表面に形成され
てなる導電化膜１１４を−側電極にセットし、ベースフ
ィルム原盤１３１を連続的に電鋳液中に送る。この装置
に於て通電手段であるロール１３３について図１０にそ
の拡大図を示す。同図（Ａ）はロールの側面図、（Ｂ）
は正面図である。ここでロール１３３は各々ロール１３
３−１と１３３−２の間にベースフィルム原盤１１３を
挟持する様に構成され、又ロール１３３−２はベースフ
ィルム原盤の導電化膜１１４に連続的に接触状態を維持
して、又、その接触部分は少なくとも導電材料からなり
電源と接続されてなる。本実施態様は図１０（Ｂ）に示
す様にロール１３３−２の両端を導電部１３３−２ａと
し、その間に位置する小径部を非導電部１３３−２ｂと
したものである。

【００４２】また、本発明に於て、導電化膜１１４と電
源１３５との通電手段としては上記のロール状のものに
限らず導電化膜と連続的な接触状態を維持でき、安定し
て電源との導通を得ることができれば良く、例えば図１
０（Ｃ）に示す様にバネ等の押しつけ手段１３６を有す
る導電部材１３７で構成されてなる通電手段も用いるこ
とができる。

【００４３】いずれの場合においても通電箇所はベース
フィルム原盤の両端のみであっても良い。このような通
電手段を用いることによりベースフィルム原盤の長手方
向には制約がなくなり、可撓性スタンパーの長さをロー
ル基材やプリフォーマットパターンの大きさに合せて自
由に設定することができる。

【００４４】そしてベースフィルム原盤を搬送しつつ通
電電流の時間積分値１７〜３４Ａ・Ｈ（アンペア・アワ
ー）の電解条件で１００〜２００μｍのニッケル金属膜
を析出させ、次いで、導電化膜１１４，金属膜１１５を
一体としてベースフィルムより剥離させ、表面に付着し
ているフォトレジストを除去することにより、任意の数
のプリフォーマットパターンを有する可撓性スンタパー
３１を得ることができる。

【００４５】最後に、この可撓性スタンパーを図６に示
す様にロール基材２１と、スタンパー固定具６１の間に
可撓性スタンパー３１を挟持せしめ、次いでスタンパー
固定具をロール基材にネジで固定して、ロール基材周面
に複数個のプリフォーマットパターンを有する可撓性ス
ンタパー３１を１〜複数枚固定して本発明のロールスン
パーを得ることができる。

【００４６】又、図６（Ｃ）に示す様に可撓性スタンパ
ー３１の両端をスンタパー固定具及びネジによって固定
しても本発明のロールスンパーを得られる。なお、上記
のスタンパーの製造に用いられるベースフィルムとして
は電鋳液中での諸条件に耐え得るもの、例えば耐酸性（
ｐＨ３〜４）及び耐熱性（５０〜７０℃）に優れていれ
ば何を用いてもよく、例えばポリエステルフィルムが好
適に用いられる。またベースフィルムの表面粗度は５０
〜１００Å以下が望ましい。

【００４７】次にベースフィルムを用いた可撓性スタン
パー３１の製造方法の他の実施態様について説明する。

【００４８】先ず、ベースフィルム１１１上に導電化膜
１１４をスパッタリング等で成膜し（図１１（Ａ））、
次いで金属膜１１５を電鋳法により形成する。そして金
属膜の表面を研磨を行う（図１１（Ｂ））。

【００４９】研磨法としては乾式研磨や湿式研磨の少な
くとも一方を行ない表面精度がニュートンリング±３本
以内、表面粗度が５０〜１００Å以下とすることが好ま
しい。

【００５０】次にフォトリソ工程により複数の情報記録
媒体用のプリフォーマットパターンに対応するレジスト
パターン１０２を形成し（図１１（Ｃ））、次いで金属
膜１１５をエッチングして複数のプリフォマットパター
ンを有する可撓性スタンパー３１を得ることができる（
図１１（Ｂ））。

【００５１】エッチング法としてはドライエッチング、
ウェットエッチング等のエッチング法により行なえばよ
い。

【００５２】ドライエッチングでは、例えばレジスト・
パターンの形成された金属膜（電鋳膜＋導電化膜＋ベー
スフィルム）を該金属膜が自転でき、しかもエッチング
するためのイオンガンを備えたドライエッチング装置を
用いて、Ｃ２Ｆ６の反応性ガスによりエッチングでき、
又ウエットエッチングでは例えば金属膜（電鋳膜＋導電
化膜＋ベースフィルム）を自転させながら、フッ酸とフ
ッ化アンモニアＮＨ４Ｆ（１：７重量比）の溶液で１分
程度の時間でエッチングを行なう。

【００５３】エッチング後Ｏ２を用いＯ２プラズマアッ
シングを施し、残レジストを除去することでパターニン
グ・パターンに対応する微細パターンを金属膜上に形成
する。

【００５４】この様にして作製した可撓性スタンパー３
１をロール基材周面とベースフィルムが接する様にロー
ル基材に固定して本発明のロールスタンパーを得る。

【００５５】又ベースフィルムの一方の面に粘着剤を塗
布し、形成された粘着剤層の上に保護シートをかぶせた
。その後ベースフィルムの粘着剤層とは反対側の面に、
上記各工程を行なって、複数のプリフォーマットパター
ンを形成してよい。

【００５６】このようにして得た、片面が粘着面で、他
の面に上方記録媒体の所定パターンが複数個形成された
フレキシブルなスタンパーを、ロール基材に直接接着し
てロールスタンパーを製造することもできる。

【００５７】ここで粘着剤としては、特に制限はないが
、天然ゴム、スチレン−ブタジエンゴム、再生ゴム、ブ
チルゴム、ブタジエン−アクリロニトリルゴム、ポリア
クリル酸エステルおよびポリビニルアルキルエーテル等
がベースポリマーとして一般的に用いられる。特に耐水
性、耐熱性に優れるポリアクリル酸エステル等を好適に
用いることができる。また両面テープのようなものを粘
着剤として用いてもよい。保護シートとしては、特に制
限はなく、耐水性、耐熱性を考慮して適宜使用すればよ
い。

【００５８】又この様にベースフィルムを用いて長尺の
可撓性スタンパーを作成する場合に於ても、前記した様
に所定の情報記録媒体のプリフォーマットの外形のサイ
ズをＡ（長さ）×Ｂ（幅）とし可撓性スタンパーに形成
するプリフォーマットパターンのサイズを上記Ａ，Ｂに
対応するａ（長さ）×ｂ（幅）とした時、ｂ／ａ＞Ｂ／
Ａに形成することが好ましい。そして該プリフォーマッ
トパターンの長さ（ａ）方向とロール基材の周方向が一
致する様に可撓性スタンパーをロール基材に固定するこ
とで押し出し成形時の樹脂シートの収縮によるプリフォ
ーマットの歪みを防ぐことのできるロールスタンパーを
得ることができる。

【００５９】本発明に於て、ロール基材の材料としては
、金属，半導体，誘電体又は合金が用いられ、例えばＡ
１，ガラス，超硬合金，金型用鋼（例えばマルエージン
グ鋼）等の鏡面加工の可能な材料が用いられ、特に鏡面
加工の容易なＣｒ鋼は好ましい。

【００６０】次に本発明のロールスタンパーを用いた情
報記録媒体用基板シートの製造方法について説明する。 図１２は本発明の情報記録媒体用基板シートの製造方法
の一実施態様を示す模式図である。

【００６１】同図に於いて、１２５は押出し成形のエク
ストルーダー、１２６はＴ−ダイ、１２９は加圧成形部
で、１２１，１２２，１２３の３本のロールで構成され
ている。

【００６２】このロールの少なくとも１本のロールが本
発明のロールスタンパーとなっており、図１２に於ては
１２２がロールスタンパーで、１２１及び１２３は鏡面
ロールとなっている。

【００６３】先ず、押出し成形機１２５に投入された樹
脂ペレット１２４が押出し成形機のバレルの中で加熱溶
融され、スクリューによって加圧されＴ−ダイによって
シート状に賦形される。この時の樹脂の温度は例えばポ
リカーボネート樹脂の場合２６０℃〜３３０℃、好まし
くは２８０℃〜３２０℃であり、Ｔ−ダイからは透明な
溶融樹脂シート１２７として連続的に押し出されてくる
。Ｔ−ダイはこの溶融シートが加圧成形部１２９のロー
ル１２１，１２２間に押出されるように配置される。 更にＴ−ダイの先端とロール１２１，１２２との間隔は
樹脂がローラーに接するまでに固化するのを防ぐため１
００ｍｍ以下に配置されるのが好ましく、又、Ｔ−ダイ
とロール間の周辺雰囲気の温度は６０℃以上に加温され
ているのが好ましい。

【００６４】次いでロール１２１，１２２間に押出され
た樹脂シートは過熱されたロールスタンパー１２２とプ
レスロール１２３により挟圧され凹凸プリフォーマット
が転写される。

【００６５】本発明のロールスタンパーは用いる樹脂が
ロール上で固化することのない温度に保たれる。

【００６６】即ち、ロールスタンパーの温度は用いる樹
脂の熱変形温度の＋２０〜−２０℃の範囲に加熱される
のが好ましく、例えばポリカーボネート樹脂を用いる場
合ロールスタンパーの表面温度は１００℃〜１６０℃に
加熱されるのが好ましい。即ち、上記の温度範囲とする
ことにより溶融樹脂シートが急冷されないため樹脂シー
トに収縮等も歪みが生じにくい。又、加圧成形部のプレ
スロール４３の温度はロールスタンパー１２２と同じか
若干低めに設定されるのが好ましい。

【００６７】これらのロールの温度の調節は例えばロー
ルに鋳込まれたヒーターにより電気的に加熱されたり、
ロールの中心部に熱媒を循環させることにより制御され
る。

【００６８】次に引取りロール１２８は連続成形の為の
重要なロールであり、加圧成形部１２９のロールとこの
引取りロール１２８とは同期されて駆動している。即ち
この２組のロールの周速度は同じであり、この間で樹脂
シートには延伸等の応力は作用しない様に構成されてい
るのが好ましい。このようにすることで樹脂シート内部
に光学的異方性の生じるのを防ぐことができる。

【００６９】光記録媒体用基板シート１２７′の厚さは
、加圧成形部１２９のロール間のギャップ、Ｔ−ダイの
リップ開度及び押出し速度と引張り速度との比による引
落し率、即ち、延伸の程度によって決定される。

【００７０】又、本発明の他の製造方法として、予め成
形された樹脂シートを加熱軟化し、そこに本発明のロー
ルスタンパーで押圧して凹凸プリフォーマットを転写す
ることによっても、正確な凹凸プリフォーマットを有す
る情報記録媒体用基板シートを得ることができる。

【００７１】又、本発明に於て用いられる樹脂としては
熱可塑性樹脂であって非晶性で且つ、本質的に光学等方
性であるものが好ましく、例えばポリカーボネート，ポ
リエーテルイミド，ポリメチルメタクリレート，ポリオ
レフィン等を用いることができる。

【００７２】

【実施例】実施例１ 図３（Ａ）に示す９個の光カード用プリフォーマットパ
ターンを有する可撓性スタンパーを作製した。

【００７３】なお、図１（Ｂ）に示す光カード基板上の
プリフォーマットの所定のサイズとして長さ（Ａ）を、
３０．９９０ｍｍ，幅（Ｂ）を８５．５９０ｍｍと設定
しこの領域内に該プリフォーマットの幅方向に平行に、
溝幅３μｍのトラック溝がストライプ状に２５８３本形
成されているものとした。

【００７４】そしてこのプリフォーマットに対応するス
タンパーのプリフォーマットパターンの長さａとして３
１．０２１ｍｍ，幅ｂを８５．８４７ｍｍとしてこの領
域に該プリフォーマットパターンの幅方向に平行に、ト
ラック溝に対応する幅３μｍ高さ３０００Åのトラック
溝パターンを２５８３本作製した。

【００７５】このスタンパーの製法は図５に示す様に３
４０ｍｍ×３４０ｍｍ厚さ１０ｍｍのガラス基板にフォ
トレジスト（商品名：ＡＺ−１３７０；ヘキストジャパ
ン製）を厚さ３０００Åにスピナーで塗布し９０℃３０
分の条件でプレベークを行なった。

【００７６】次に、レーザー露光装置（商品名：ミラー
プロジェクションマスクアライナー・ＭＰＡ−１５００
（キヤノン社製））を用いて上記のサイズに対応する９
個のプリフォーマットパターンを露光し、現像液Ａｚ３
１２ＭＩＦ（ヘキスト・ジャパン社製）で現像すること
により、光ガード用のプリフォーマットパターンを有す
るガラス原盤１０１を制作した（工程Ａ）。

【００７７】さらに同図（Ｂ）に示すように、電鋳法に
より金属膜を形成するための前処理として、スパッター
装置を用い導電化処理を行なって、膜厚１０００Å〜２
０００Åのニッケル膜を成膜することで、導電化膜１１
４をガラス原盤の上に形成した。

【００７８】次に同図（Ｃ）に示すように、導電化膜上
に電鋳法により厚さ１００〜２００μｍのニッケル膜１
１５を形成した。

【００７９】ここで使用した電鋳液は、以下のごとき組
成のものである。

【００８０】スルファミン酸ニッケル・４水塩［Ｎｉ（
ＮＨ２ＳＯ３）２・４Ｈ２０］５００ｇ／ｌ硼酸［Ｈ３
ＢＯ３］　　３５〜３８ｇ／ｌビット防止剤　　２．５
ｍｌ／ｌ

【００８１】最後に図５（Ｄ）に示すように、導電化膜
及び金属膜を一体として同時にガラス原盤より剥離させ
、表面に付着しているフォトレジストを除去し、プリフ
ォーマットパターンの形成された、図３（Ａ）に示すよ
うな３００ｍｍ×３００ｍｍの大きさの可撓性スタンパ
ーが得られた。

【００８２】こうして得た可撓性スタンパー３枚を図６
（Ｂ）に示す様にスタンパー３１の両端を固定具６１の
上からネジ止めを行なってプリフォーマットパターンの
長さ（ａ）方向とロール基材の周方向が一致する様に直
径３００ｍｍのロール基材に固定して図４に示すロール
スタンパーを作製した。

【００８３】次いでこのロールスタンパーを用いて図１
２に示す光カード用基板シートの製造装置を作製した。

【００８４】図１２に示す様にスクリュー径３５ｍｍφ
の押出し機１に下向きにセットされた２０ｃｍ巾のコー
トハンガー型Ｔ−ダイを使用した押出し成形機を用いて
光記録媒体用基板シートを作成した。

【００８５】樹脂としてポリカーボネート樹脂（商品名
パンライトＬ−１２５０；帝人化成製）を使用した。加
圧成形部１２９はロール１２１，１２３が鏡面ロール、
ロール１２２が先に作成したロールスタンパーである。

【００８６】樹脂シートの押出し条件は押出し機のバレ
ル温度は押出し機１２５のａ部（Ｔａ）が３００℃、ｂ
部（Ｔｂ）＝３００℃、ｃ部（Ｔｃ）＝３２０℃とし、
Ｔ−ダイ１２６の温度Ｔｄ＝３２０℃として溶融樹脂シ
ートを形成した。この時の樹脂温度は２８０℃〜３２０
℃であった。

【００８７】ロールスタンパー１２２は１４０℃に保持
されており、ロール１２１はロール１２２より１〜２℃
低い温度に、又ロール１２３はロール１２２より２０〜
２１℃高い温度に保持した。

【００８８】Ｔ−ダイのリップと加圧成形部の空隙は５
０ｍｍとし、樹脂シートの押出しから加圧成形部までの
雰囲気を６０℃以上となる様に周囲を加熱箱で囲って制
御した。Ｔ−ダイのリップ開度は０．４８ｍｍで加圧成
形部のロール１２１，１２２のギャップを０．４ｍｍと
して樹脂シートにロールスタンパー１２２のプリフォー
マットパターンを転写して厚さ０．４ｍｍの光カード用
基板シートの作成を行った。

【００８９】又樹脂シートの成形速度は２ｍ／分で行な
った。この様にして形成した光カード用基板シート上の
プリフォーマットについて、該プリフォーマットの、樹
脂シートの搬送方向と平行な方向の長さをａ′，垂直な
方向の長さをｂ′としたとき、そのａ′及びｂ′を測定
し、プリフォーマットの所定の寸法Ａ及びＢを基準とし
たときのａ′，Ｂ′の値のずれについて測定した。

【００９０】実施例２ 図３（Ａ）に示す様な６個の光カード用プリフォーマッ
トパターンを有する可撓性スタンパーを作製した。

【００９１】又、光カードの所定のプリフォーマットの
サイズは実施例１と同じとし、このプリフォーマットに
対応するスタンパーに形成されてなるプリフォーマット
パターンの長さａとして３１．０３６ｍｍ，幅ｂを８５
．９３２ｍｍとして、この領域に該プリフォーマットパ
ターンの幅方向に平行にトラック溝に対応する幅３μｍ
のトラック溝パターンを２５８３本、等間隔に配置した
。

【００９２】このスタンパーは、図８に示す方法を用い
て作製した。

【００９３】先ず、厚さ１０μｍ，長さ１０００ｍｍ，
幅３００ｍｍのポリエステル（ルミラー、東レ社製）の
シートを上記のプリフォーマットパターンに対応するパ
ターンを有するＮｉ製スタンパーと、厚さ２ｍｍのクロ
ム鋼との間に挟み２００℃、１０ｋｇ／ｃｍ２の圧力を
加えて、２分間加熱、加圧してプリフォーマットパター
ンを転写し、図１３に示す様に複数のプリフォーマット
パターンを有するベースフィルム原盤１１３を製作した
。

【００９４】つぎに図８（Ａ）に示すように、プリフォ
ーマットパターン形成面に導電化膜１１４を形成した。

【００９５】次に、この導電化膜付ベースフィルム原盤
をロール状に巻き取り図９に示す電鋳装置を用いて導電
化膜上にニッケルを厚さ２２０μｍに形成した。このと
きのベースフィルム原盤の送り速度は４０ｍｍ／分，電
解条件は２５０ＡＨとした。

【００９６】次いでベースフィルム原盤から導電化膜及
びニッケル膜を剥離して長尺の可撓性スタンパーを得た
。この長尺スタンパーを切断して、プリフォーマットパ
ターンを６個有する可撓性スタンパーとし、次いでこの
スタンパーを、プリフォーマットパターンの長さ（ａ）
方向が、ロール基材の周方向と一致する様に、図６（ｃ
）に示す手段を用いて固定し、ロールスタンパーを作製
した。

【００９７】このロールスタンパーを用いて実施例１と
同様にして、押し出し成形装置を作製して光カード用基
板シートの成形を行ない実施例１と同様に、樹脂シート
上に転写形成されたプリフォーマットの長さ（ａ′）及
び幅（ｂ′）について所定の長さ（Ａ）及び幅（Ｂ）と
の寸法のずれを評価した。

【００９８】実施例３ 図３（Ａ）に示す９個の光カード用プリフォーマットパ
ターン１１を有する可撓性スタンパーを作製した。

【００９９】なお、光カードの所定のプリフォーマット
のサイズは実施例１と同じとし、このプリフォーマット
に対応するスタンパーに形成されてなるプリフォーマッ
トパターン１１の長さａとして３１．００５ｍｍ，幅ｂ
を８５．６７６ｍｍとして、この領域に該プリフォーマ
ットパターンの幅方向に平行に、トラック溝に対応する
幅３μｍ，高さ３０００Åのトラック溝パターンを２５
８３本を等間隔に配した。

【０１００】このスタンパーは図１１に示す方法を用い
て作製した。

【０１０１】まず、図１１（Ａ）に示すように、ポリエ
ステルのベースフィルム１１１上に、膜厚１０００〜２
０００Åのニッケル膜をスパッター装置により成膜する
事で、導電化膜１１４をベースフィルム１１１の上に形
成した。

【０１０２】この導電化膜１１４を有するベースフィル
ム１１１をロール状に巻き取り図９に示す電鋳装置を用
いて、導電化膜上に金属膜１１５を形成した。即ち、ま
ず図９に示すように電鋳槽内のニッケルチップ１３２を
＋側電極、導電化膜の施されたベースフィルムをマイナ
ス側にセットし、ベースフィルムをスルファミン酸ニッ
ケル電鋳液中で、導電化膜１１４の施されたベースフィ
ルムを図９矢印方向に移動させながら、通電電流の時間
積分値１７〜３４ＡＨ（アンペア・アワー）の条件で１
００〜２００μｍのニッケル金属を析出させ、金属膜１
１５を形成した。

【０１０３】ここで使用した電鋳液は、以下のごとき組
成のものである。

【０１０４】スルファミン酸ニッケル・４水塩〔Ｎｉ（
ＮＨ２ＳＯ３）２・４Ｈ２Ｏ〕　　５００ｇ／ｌ硼酸〔
Ｈ３ＢＯ３〕　　３５〜３８ｇ／ｌピット防止剤　　２
．５ｍｌ／ｌ

【０１０５】次に、金属膜１１５の表面を研磨した研磨
法としては乾式研磨と湿式研磨の２工程で行ない、乾式
研磨においては研磨布にＭＣダイヤモンド・ディスク＃
２３０（商品名）を用い８時間の研磨、湿式研磨におい
ては研磨布はスエード７３５５−０００Ｆ４２Ｓ（商品
名）、研摩剤はＰＯＬＩＰＬＡ７００（商品名）を用い
１６時間の研磨を行なった。研磨の程度は、表面制度が
ニュートンリング±３本以内、表面粗度が５０〜１００
オングストローム以下とした。

【０１０６】次いで、フォトレジストとしてＡｚ１３７
０（ヘキストジャパン社製）を用い、これを研磨した金
属膜１１５上にロールコーターで３０００Åの膜厚に塗
布した。その後９０℃、３０ｍｉｎの条件でプレベーク
を行なった。次に、レーザー露光装置、ミラープロジェ
クションマスクアライナー・ＭＰＡ−１５００（キヤノ
ン社製）を用い、光カード用のプリフォーマットパター
ン（ストライプ状）を露光し、現像液Ａｚ３１２ＭＩＦ
（ヘキスト・ジャパン社製）で現像し、ポストベークす
ることにより、レジストパターンを形成した。最後に金
属膜１１５をウエットエッチングすることにより形成す
る。

【０１０７】ウエットエッチングは金属膜（電鋳膜＋導
電化膜＋ベースフィルム）を自転させながら、フッ酸と
フッ化アンモニアＮＨ４Ｆ（１：７重量比）の溶液で１
分程度の時間でエッチングを行なった。

【０１０８】エッチング後Ｏ２を用いＯ２プラズマアッ
シングを施し、残レジストを除去することでプリフォー
マットパターン１１を金属膜１１５上に形成し、長尺の
可撓性スタンパーを得た。次いでこのスタンパーを直径
３００ｍｍのロール基材に合せて切断し、実施例２と同
様にプリフォーマットパターンの長さ（ａ）方向がロー
ルスタンパーの周方向と一致する様に固定して光カード
用基板シートの成形を行なった。

【０１０９】以上、実施例１〜３のａ′及びｂ′と各々
の値のＡ，Ｂとの寸法のずれを測定しその結果を表１に
示す。

【０１１０】実施例４ 図２（Ａ）に示す光カード用プリフォーマットパターン
を有する可撓性スタンパー１２を作製した。

【０１１１】なお、光カードの所定のプリフォーマット
のサイズは、実施例１と同じとしこのプリフォーマット
に対応する、スタンパーに形成されてなるプリフォーマ
ットパターンの長さａとして３１．０１２ｍｍ，幅ｂを
８５．８０３ｍｍとして、この領域に該プリフォーマッ
トパターンの幅方向に平行に、トラック溝に対応する幅
３μｍのトラック溝パターンを２５８３本作製した。

【０１１２】なお、スタンパー１２は、通常のフォトリ
ソ工程を用いて厚さ約２００μｍ，９０ｍｍ×９０ｍｍ
の大きさで光カード用プリフォーマットパターンを１個
有するものを作製した。

【０１１３】こうして得た可撓性スタンパー９枚を図６
（Ｂ）に示す様に、スタンパー１２の両端を固定具１５
３及びネジを用いて直径３００ｍｍのロール基材に、該
プリフォーマットパターンの長さ（ａ）方向がロールス
タンパーの周方向と一致する様に固定して図２（Ａ）に
示すロールスタンパーを作製した。

【０１１４】このロールスタンパーを用いて実施例１と
同様にして光カード用基板シートの製造を行ない、樹脂
シートに形成されたプリフォーマットのサイズａ′，ｂ
′を評価した。この結果を表−１に示す。

【０１１５】実施例５，６ 実施例５及び６として、プリフォーマットパターンの寸
法ａ，ｂを表−１に示すサイズとした他は実施例１と同
様にしてプリフォーマットパターンの転写を行なった。

【０１１６】その結果を表−１に示す。

【０１１７】比較例１ 比較例としてプリフォーマットパターンの寸法ａ及びｂ
を各々所定のプリフォーマットの寸法Ａ及びＢと等しく
した他は実施例１と同様にしてプリフォーマットパター
ンの転写を行なった。その結果を表−１に示す。

【０１１８】

【表１】

【０１１９】

【発明の効果】以上説明した様に本発明のロールスタン
パー及びそれを用いた情報記録媒体用基板シートの製造
方法により、樹脂シート上に凹凸プリフォーマットを正
確に転写することができる。

【０１２０】又、正確に凹凸プリフォーマットの転写さ
れた樹脂シートを連続的に製造することが可能となった
。

【０１２１】特に、光カードのプリフォーマットとして
は例えばトラック溝１７として溝幅２．５μｍピッチ１
２μｍのストライプ状のものが形成されるが、このトラ
ックピッチは１２μｍ±０．１μｍの範囲にその変動を
抑えることが規格で定められており、この範囲を外れる
と記録再生光のトラッキングエラーを生じ易くなる。そ
こで押出し成形で図１７に示すＡ×Ｂのサイズの方形の
光カード用のプリフォーマットを成形する際に本発明の
ように、樹脂シートの転写に用いるスタンパーのプリフ
ォーマットパターンのサイズとして上記Ａ，Ｂに対応す
る長さとして、ロールスタンパーの周方向の長さをａ，
周方向に垂直な方向の長さをｂとしたときにｂ／ａの値
をＢ／Ａの値よりも大きくすることで、押し出し成形及
びプリフォーマットの転写を行なった樹脂シートの冷却
に伴なう収縮によるプリフォーマットパターンの寸法を
補正できるためトラッキングエラーの少ない高品質な光
カード用の基板を量産することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のロールスタンパーの説明図である。 （Ａ）本発明のロールスタンパーを用いた光カード用基
板の製造方法の概略図である。 （Ｂ）光カード用基板の有する所定のプリフォーマット
の平面図である。

【図２】本発明のロールスタンパーの概略図である。 （Ａ）光カード用基板成形用ロールスタンパーの概略図
。 （Ｂ）光ディスク用基板成形用ロールスタンパーの概略
図。

【図３】本発明の可撓性スタンパーの概略図である。 （Ａ）光カード用基板成形用のスタンパーの概略図。 （Ｂ）光ディスク用基板成形用スタンパーの概略図。

【図４】本発明のロールスタンパーの他の実施態様を示
す概略図。

【図５】本発明の可撓性スタンパーの製造工程を示す工
程図である。

【図６】可撓性スタンパーのロール基材への固定方法を
示す概略図。 （Ａ）可撓性スタンパーのロール基材への固定方法の一
実施態様を示す概略図。 （Ｂ）可撓性スタンパーを複数枚ロール基材に固定して
なるロールスタンパーの概略図。 （Ｃ）可撓性スタンパーの両端部を固定してなるロール
スタンパーの概略図。

【図７】可撓性スタンパーの他の製造方法を示す工程図
である。

【図８】可撓性スタンパーの更に他の製造方法を示す工
程図である。

【図９】本発明の可撓性スタンパーの製造に用いる電鋳
装置の概略図である。

【図１０】図９の電鋳装置の通電手段の概略図。 （Ａ）ロール状の通電手段の側面図。 （Ｂ）ロール状の通電手段の正面図。 （Ｃ）通電手段の他の実施態様を示す概略図。

【図１１】可撓性スタンパーの更に他の製造方法を示す
工程図。

【図１２】本発明のロールスタンパーを用いた情報記録
媒体用基板シートの製造方法を示す概略図。

【図１３】本発明のベースフィルム原盤の平面図。

【符号の説明】

１１　　プリフォーマットパターン １２　　スタンパー １３　　ロールスタンパー １４　　加圧ロール １５　　光カード用基板シート １６　　光カード用基板 １７　　トラック溝 ２１　　ロール基材 ３１　　可撓性スタンパー ６１　　スタンパー固定具 １０１　　ガラス原盤 １０２　　レジストパターン １１１　　ベースフィルム １１３　　ベースフィルム原盤 １１４　　導電化膜 １１５　　金属膜 １２１，１２３　　鏡面ロール １２２　　ロールスタンパー １２４　　樹脂ペレット １２５　　ルーダー １２６　　Ｔ−ダイ １２７　　樹脂シート １２８　　搬送ロール １２９　　加圧成形部 １３１　　電鋳槽 １３２　　ニッケルチップ １３３，１３４　　通電手段 １３５　　電源 １３６　　押しつけ手段 １３７　　導電部材

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】　　情報記録媒体のプリフォーマットに対
   応するプリフォーマットパターンを有し該プリフォーマ
   ットパターンを樹脂シート上に連続的に転写して情報記
   録媒体用基板シートを成形するためのロールスタンパー
   に於て、該情報記録媒体のプリフォーマットの所定の長
   さをＡ、所定の幅をＢとしたとき、該プリフォーマット
   パターンがロールスタンパーの周方向に上記長さＡに対
   応する長さａ，周方向に垂直な方向に上記幅Ｂに対応す
   る幅ｂの大きさを有し、ｂ／ａの値がＢ／Ａの値よりも
   大きく形成されてなることを特徴とする、情報記録媒体
   用基板シートの成形用ロールスタンパー。 【請求項２】　　該情報記録媒体が光カードである請求
   項１の成形用ロールスタンパー。 【請求項３】　　該光カードのプリフォーマットの所定
   の長さをＡ、所定の幅をＢとしたとき該プリフォーマッ
   トパターンがロールスタンパーの周方向に上記長さＡに
   対応する長さａ，周方向に垂直な方向に上記幅Ｂに対応
   する幅ｂの大きさを有し、上記Ａとａ、及びＢとｂが以
   下の関係を有する請求項２の成形用ロールスタンパー。 ０．０５≦｛（ａ−Ａ）／Ａ｝×１００≦０．１５０．
   １≦｛（ｂ−Ｂ）／Ｂ｝×１００≦０．５【請求項４】
   　　上記Ｂとｂが以下の関係を有する請求項３の成形用
   ロールスタンパー。 ０．２≦｛（ｂ−Ｂ）／Ｂ｝×１００≦０．４【請求項
   ５】　　情報記録媒体のプリフォーマットに対応するプ
   リフォーマットパターンを有し、該プリフォーマットパ
   ターンを樹脂シート上に、連続的に転写して、情報記録
   媒体用基板シートを成形する為のロールスタンパーに於
   て、該プリフォーマットパターンが該ロールスタンパー
   の周方向に複数個形成されてなり、且つ該プリフォーマ
   ットパターンが該情報記録媒体のプリフォーマットの所
   定の長さをＡ，所定の幅をＢとしたとき、ロールスタン
   パーの周方向に上記長さＡに対応する長さａ，周方向に
   垂直な方向に上記幅Ｂに対応する幅ｂの大きさを有し、
   ｂ／ａの値がＢ／Ａの値よりも大きく形成されてなるこ
   とを特徴とする情報記録媒体用基板シートの成形用ロー
   ルスタンパー。 【請求項６】　　該ロールスタンパーがロール基材及び
   該ロール基材の表面に固定されてなる可撓性のスタンパ
   ーを有し、該可撓性スタンパーの表面に該プリフォーマ
   ットパターンが該ロール基材の周方向に複数個形成され
   てなる請求項５の成形用ロールスタンパー。 【請求項７】　　該可撓性スタンパーを該ロール基材へ
   固定する手段を有する請求項６の成形用ロールスタンパ
   ー。 【請求項８】　　該固定手段として該可撓性スタンパー
   を該ロール基材との間に挾持するためのスタンパー固定
   具及び該固定具を該ロール基材に固定するネジ止め手段
   を有する請求項７の成形用ロールスタンパー。 【請求項９】　　情報記録媒体のプリフォーマットに対
   応するプリフォーマットパターンを周方向に複数個有す
   る、樹脂シート上に連続的にプリフォーマットパターン
   を転写して情報記録媒体用基板シートを成形するロール
   スタンパーの製造方法に於て、以下の工程を有すること
   を特徴とする。 ａ）長尺ベースフィルム表面に情報記録媒体のプリフォ
   ーマットに対応するプリフォーマットパターンを該ベー
   スフィルムの長手方向に複数個形成しベースフィルム原
   盤を製作する工程。 ｂ）該ベースフィルム原盤のパターン形成面に導電化膜
   を形成する工程。 ｃ）該導電化膜上に電鋳法により金属膜を形成する工程
   。 ｄ）該導電化膜及び該金属膜をベースフィルム原盤より
   剥離して、複数個のプリフォーマットパターンを有する
   長尺の可撓性スタンパーを作製する工程。 ｅ）該可撓性スタンパーをロール基材に固定する工程。 【請求項１０】　　該プリフォーマットパターンとして
   、各々該情報記録媒体のプリフォーマットの所定の長さ
   をＡ、所定の幅をＢとしたとき、上記長さＡに対応する
   長さａ，幅Ｂに対応する幅ｂの大きさを有しｂ／ａの値
   をＢ／Ａの値よりも大きく形成し、且つ該ロール基材の
   周方向と該プリフォーマットパターンの長さ方向が一致
   するように該可撓性スタンパーをロール基材に固定する
   請求項９のロールスタンパーの製造方法。 【請求項１１】　　プリフォーマットパターンを有する
   ロールスタンパーを用いて連続的に樹脂シート上に該プ
   リフォーマットパターンを転写する情報記録媒体用基板
   シートの製造方法に於て、該プリフォーマットパターン
   が、該情報記録媒体のプリフォーマットの所定の長さを
   Ａ、所定の幅をＢとしたときロールスタンパーの周方向
   に上記長さＡに対応する長さａ，周方向に垂直な方向に
   上記幅Ｂに対応する幅ｂの大きさを有し、ｂ／ａの値が
   Ｂ／Ａよりも大きく形成されてなるロールスタンパーを
   用いることを特徴とする情報記録媒体用基板シートの製
   造方法。 【請求項１２】　　該プリフォーマットパターンを該ロ
   ールスタンパーの周方向に複数個有する可撓性スタンパ
   ーがロール基材周面に固定されてなるロールスタンパー
   を用いる請求項１１の情報記録媒体用基板シートの製造
   方法。 【請求項１３】　　長尺ベースフィルム表面に、情報記
   録媒体のプリフォーマットに対応するプリフォーマット
   パターンを該ベースフィルムの長手方向に複数個形成し
   ベースフィルム原盤を作製する工程、該ベースフィルム
   原盤のパターン形成面に導電化膜を形成する工程、該導
   電化膜上に電鋳法により金属膜を該導電化膜と一体とな
   るように形成する工程、該導電化膜及び金属膜をベース
   フィルムより剥離する工程を有する長尺の可撓性スタン
   パーの製造方法。 【請求項１４】　　該ベースフィルム原盤を連続的に搬
   送しつつ電鋳を行なって該金属膜を形成する請求項１３
   の可撓性スタンパーの製造方法。 【請求項１５】　　該導電化膜上に電鋳法により金属膜
   を形成する工程に於て該導電化膜と電源との通電を取る
   通電手段を有する電鋳装置を用いる請求項１３の可撓性
   スタンパーの製造方法。 【請求項１６】　　該通電手段が導電部を有するロール
   である請求項１５の可撓性スタンパーの製造方法。 【請求項１７】　　該通電手段が導電化膜への押し付け
   手段を有する導電部材である請求項１５の可撓性スタン
   パーの製造方法。 【請求項１８】　　該可撓性スタンパーの有するプリフ
   ォーマットパターンが、該情報記録媒体のプリフォーマ
   ットの所定の長さをＡ、所定の幅をＢとしたとき上記長
   さＡに対応する長さａ，幅Ｂに対応する幅ｂの大きさを
   有し、ｂ／ａの値がＢ／Ａの値よりも大きく形成されて
   なる請求項１３の可撓性スタンパーの製造方法。 【請求項１９】　　長尺ベースフィルムの表面に導電化
   膜を形成する工程、該導電化膜上に電鋳法により金属膜
   を形成する工程、該金属膜にフォトリソ工程を用いて情
   報記録媒体のプリフォーマットに対応するプリフォーマ
   ットパターンを該長尺ベースフィルムの長手方向に複数
   個形成する工程を有することを特徴とする可撓性スタン
   パーの製造方法。 【請求項２０】　　表面に導電化膜の形成されてなる長
   尺ベースフィルムを連続的に搬送しつつ、電鋳を行なっ
   て導電化膜上に金属膜を成膜する請求項１９の可撓性ス
   タンパーの製造方法。 【請求項２１】　　該導電化膜上に、電鋳法により金属
   膜を形成する工程に於て、該導電化膜と連続的な接触状
   態を維持して該導電化膜と電源との通電を取る通電手段
   を有する電鋳装置を用いる請求項２０の可撓性スタンパ
   ーの製造方法。 【請求項２２】　　該可撓性スタンパーの有するプリフ
   ォーマットパターンが、該情報記録媒体のプリフォーマ
   ットの所定の長さをＡ，所定の幅をＢとしたとき、上記
   長さＡに対応する長さａ，幅Ｂに対応する幅ｂの大きさ
   を有しｂ／ａの値がＢ／Ａの値よりも大きく形成されて
   なる請求項１９の可撓性スタンパーの製造方法。 【請求項２３】　　長尺ベースフィルム表面に、情報記
   録媒体のプリフォーマットに対応するプリフォーマット
   パターンを、該ベースフイルムの長手方向に複数個有し
   、且つ該ベースフイルムのプリフォーマットパターン形
   成面に導電化膜の形成されてなる導電化されたベースフ
   ィルム原盤を連続的に搬送しつつ、該導電化膜上に金属
   膜を成膜する電鋳装置であって、該導電化膜と連続的な
   接触状態を維持して該導電化膜と電源との通電を取る通
   電手段を有することを特徴とする電鋳装置。