JPH02218561A - 研磨布の製造法 - Google Patents
研磨布の製造法Info
- Publication number
- JPH02218561A JPH02218561A JP1035830A JP3583089A JPH02218561A JP H02218561 A JPH02218561 A JP H02218561A JP 1035830 A JP1035830 A JP 1035830A JP 3583089 A JP3583089 A JP 3583089A JP H02218561 A JPH02218561 A JP H02218561A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polyurethane
- solvent
- sheet
- polishing
- cloth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は合成繊維からなる不織布を基材とした、研磨効
率がよく、かつ、目詰りの発生の少ない研磨布の製造法
に関する。
率がよく、かつ、目詰りの発生の少ない研磨布の製造法
に関する。
（従来の技術）
従来、板ガラス、金属、半導体やセラミックス等の表面
を研磨して超精密面を得るための一次研磨布として不織
布にポリウレタンを含浸させ、水中で脱溶媒、凝固させ
ることによって得られた微＃Ｉ気孔の内在するポリウレ
タン多孔質体を結合させて得九シートを適当な厚さにス
ライスし念ものが用すられてｉる。このようにして得ら
れた研磨布はポリウレタン多孔質体の微細気孔が研磨砥
粒を含む研磨材液を保持すると同時に研磨屑を貫流排出
せしめるのに適しており、多用されている。
を研磨して超精密面を得るための一次研磨布として不織
布にポリウレタンを含浸させ、水中で脱溶媒、凝固させ
ることによって得られた微＃Ｉ気孔の内在するポリウレ
タン多孔質体を結合させて得九シートを適当な厚さにス
ライスし念ものが用すられてｉる。このようにして得ら
れた研磨布はポリウレタン多孔質体の微細気孔が研磨砥
粒を含む研磨材液を保持すると同時に研磨屑を貫流排出
せしめるのに適しており、多用されている。
（本発明が解決しようとする課題）
しかしながら、ポリウレタン多孔質体の気孔は径が小さ
いため、研磨作業中に研磨屑等による目詰りが早く生じ
、一定の研磨効率を持続するためのドレッシング周期が
短くなり、しいては研磨布そのものの寿命が短くなる等
の問題があり、高圧、高速研磨が要求される場合や被研
磨体の種類によってはこの傾向が一層明瞭に現われ、こ
の改善が強く要望されている。
いため、研磨作業中に研磨屑等による目詰りが早く生じ
、一定の研磨効率を持続するためのドレッシング周期が
短くなり、しいては研磨布そのものの寿命が短くなる等
の問題があり、高圧、高速研磨が要求される場合や被研
磨体の種類によってはこの傾向が一層明瞭に現われ、こ
の改善が強く要望されている。
これらの問題点の解決策として、ポリウソタン量を少な
くすれば目詰りは解消されるが研磨材液の保持が不十分
となり研磨効率が低下する。
くすれば目詰りは解消されるが研磨材液の保持が不十分
となり研磨効率が低下する。
又、含浸、湿式凝固させて作ったシートをポリウレタン
の軟化温度以上で、ある時間無加圧加熱する方法（特開
昭６２−１４０７６９号公報）が提案されているが、こ
の場合、望ましｂ気孔径を得るための温度、時間条件の
範囲がせまく、高温によるポリウレタンの黄変を起すと
いう様な問題があるばかりでなく、その効果もそれ程大
きなものではない。
の軟化温度以上で、ある時間無加圧加熱する方法（特開
昭６２−１４０７６９号公報）が提案されているが、こ
の場合、望ましｂ気孔径を得るための温度、時間条件の
範囲がせまく、高温によるポリウレタンの黄変を起すと
いう様な問題があるばかりでなく、その効果もそれ程大
きなものではない。
本発明はこの様な問題点を解決したもので研磨効率を低
下させることなく目詰りのない研磨布の製造法を提供す
ることをその目的としたものである。
下させることなく目詰りのない研磨布の製造法を提供す
ることをその目的としたものである。
（課題を解決するための手段）
本発明はポリウレタンとは溶剤特性の異なる合成繊維か
らなる高密度不織布にポリウレタン溶剤溶液を含浸し、
次いで湿式凝固、乾燥して微細気孔の内在するポリウレ
タン多孔質体で一体的に固定された５／ ）を形成し
、所定の厚さにスライスした後、ポリウレタンの溶剤を
付与して乾燥熱処理することを特徴とする研磨布の製造
法にある。
らなる高密度不織布にポリウレタン溶剤溶液を含浸し、
次いで湿式凝固、乾燥して微細気孔の内在するポリウレ
タン多孔質体で一体的に固定された５／ ）を形成し
、所定の厚さにスライスした後、ポリウレタンの溶剤を
付与して乾燥熱処理することを特徴とする研磨布の製造
法にある。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明において用いられる合成ＲＢ不織布はポリウレタ
ンとは溶剤特性の異なるものであればポリエステルやポ
リアミド等任意の合成繊維からなるものが用いられる。
ンとは溶剤特性の異なるものであればポリエステルやポ
リアミド等任意の合成繊維からなるものが用いられる。
又、繊維形態もステープルやフィラメントのいずれでも
よい。不織布の厚さも特に限定されないが、後述するス
ライス工程での生産効率からは３〜８關で、目付量とし
て３００〜１０００１１７ｍ２の高密度の不織布が好ま
しｂｏ 不織布に含浸するポリウレタン溶剤溶液としては、ポリ
エーテル系或いはポリエステル系の公知のポリウレタン
及びその溶剤が用−られ、又ポリウレタン以外の成分と
して凝固助剤や整泡剤等任意のものが必要に応じて添加
される。
よい。不織布の厚さも特に限定されないが、後述するス
ライス工程での生産効率からは３〜８關で、目付量とし
て３００〜１０００１１７ｍ２の高密度の不織布が好ま
しｂｏ 不織布に含浸するポリウレタン溶剤溶液としては、ポリ
エーテル系或いはポリエステル系の公知のポリウレタン
及びその溶剤が用−られ、又ポリウレタン以外の成分と
して凝固助剤や整泡剤等任意のものが必要に応じて添加
される。
ポリウレタン溶剤溶液が含浸された不織布は公知の湿式
法による凝固、水洗、乾燥工程を経ることによって微細
な気孔を内在するポリウレタン多孔質体が不織布と一体
的に結合固定されたシートを得ることができる。得られ
たシートはシートの表層面を除去し、必要な厚み、一般
には１〜２ｓｍの厚みにスライスする。
法による凝固、水洗、乾燥工程を経ることによって微細
な気孔を内在するポリウレタン多孔質体が不織布と一体
的に結合固定されたシートを得ることができる。得られ
たシートはシートの表層面を除去し、必要な厚み、一般
には１〜２ｓｍの厚みにスライスする。
本発明においてはこのようにスライスして得られたシー
トを更にポリウレタンの溶剤で処理する。
トを更にポリウレタンの溶剤で処理する。
ポリウレタンの溶剤トシては、ジメチルホルムアミド、
メチルエチルケトン、ジオキサン等の溶剤又ハ水、イソ
プロピルアルコール、トルエン等との混合溶剤が用すら
れる。
メチルエチルケトン、ジオキサン等の溶剤又ハ水、イソ
プロピルアルコール、トルエン等との混合溶剤が用すら
れる。
シートへの溶剤の付与方法としてはコート法、噴霧法、
浸漬法やプリント法等任意の手法が可能である。溶剤は
水等により必要な濃度に希釈して用いるのが好ましく、
この場合、溶解程度と速度を任意にコントロールして微
妙な気孔のセル形状を安定して得ることができる。
浸漬法やプリント法等任意の手法が可能である。溶剤は
水等により必要な濃度に希釈して用いるのが好ましく、
この場合、溶解程度と速度を任意にコントロールして微
妙な気孔のセル形状を安定して得ることができる。
溶剤が付与されたシートは、ポリウレタン多孔質体に内
在する無数の微細気孔が部分的に溶解され気孔相互が一
体化されることによって気孔径が拡大すると共に独立気
孔が連続化され、シートの通気度が大となる。
在する無数の微細気孔が部分的に溶解され気孔相互が一
体化されることによって気孔径が拡大すると共に独立気
孔が連続化され、シートの通気度が大となる。
この通気度は研磨布の用途により溶剤量を適宜調整して
用いることによってコントロールすることができる。
用いることによってコントロールすることができる。
溶剤が付与されたシートは次いで乾燥することＫよって
所定の研磨布とすることができるが、必要に応じ、溶剤
付与時に硬化剤、制電剤等を併用し、キユアリング等を
施すことも可能である。又、本発明の実施は連続的であ
っても非連続的であってもよい。
所定の研磨布とすることができるが、必要に応じ、溶剤
付与時に硬化剤、制電剤等を併用し、キユアリング等を
施すことも可能である。又、本発明の実施は連続的であ
っても非連続的であってもよい。
（実施例）
以下、実施例により本発明を説明する。
実施例
ポリエステル短繊維からなる厚さ５職、日付７００１７
ｍ”の高密度不織布にジメチルホルムアミド（Ｄ「１を
溶剤とするポリウレタン主体の溶液を含浸せしめ（付着
量は樹脂固形分で５０ｗｔｔ４，７０ｗｔ俤の２水準と
した。）、この含浸Ｖ−トを水に浸漬して、ポリウレタ
ンを湿式凝固させ、次いで水で洗浄脱溶剤したのち、乾
燥して微細気孔を無数に内在するポリウレタン多孔質体
が結合固定されたシートを作った。
ｍ”の高密度不織布にジメチルホルムアミド（Ｄ「１を
溶剤とするポリウレタン主体の溶液を含浸せしめ（付着
量は樹脂固形分で５０ｗｔｔ４，７０ｗｔ俤の２水準と
した。）、この含浸Ｖ−トを水に浸漬して、ポリウレタ
ンを湿式凝固させ、次いで水で洗浄脱溶剤したのち、乾
燥して微細気孔を無数に内在するポリウレタン多孔質体
が結合固定されたシートを作った。
しかるのち、表面層をスライサーにて除去し、更に２分
割して、厚さ１．２■のシートを得た。
割して、厚さ１．２■のシートを得た。
これに、ＤＭＩＦと水との混合溶剤（成分重量比５０１
５０．３０／７０の２水準）を浸漬法にて付与しくピッ
クアップ率１００９Ｇ）、遠赤外線ヒーターにより内部
加熱を行い乾燥した。このシートの通気度を測定すると
ともに、実際にシリコンウェハーを研磨したときの目詰
りの評価を行った。尚、研磨試験は接圧力５００２〜の
もとで、平均粒子径０．０５μｍのコロイダルシリカを
含む研磨液を循環させながら実施した。
５０．３０／７０の２水準）を浸漬法にて付与しくピッ
クアップ率１００９Ｇ）、遠赤外線ヒーターにより内部
加熱を行い乾燥した。このシートの通気度を測定すると
ともに、実際にシリコンウェハーを研磨したときの目詰
りの評価を行った。尚、研磨試験は接圧力５００２〜の
もとで、平均粒子径０．０５μｍのコロイダルシリカを
含む研磨液を循環させながら実施した。
目詰りは触感による表面平滑度、着色状態、肉眼観察か
ら判定され、目詰り開始までの時間（９）で表わした。
ら判定され、目詰り開始までの時間（９）で表わした。
その結果を次表に示す。表中、比較例はポリウレタン溶
剤を付与しなかった場合である。
剤を付与しなかった場合である。
（発明の効果）
本発明においては、湿式凝固法によって高密度不織布と
一体的に固定されたポリウレタン多孔質体をポリウレタ
ンの溶剤で処理することによって多孔質体内の微細気孔
を部分的に溶解し、拡大かつ連続化させることにより、
研磨布の通気性を大幅にアップすることができ、従来、
困難とされていた目詰りが少なく研磨効率の低下しない
研磨布が得られ、本発明の意義は大である。
一体的に固定されたポリウレタン多孔質体をポリウレタ
ンの溶剤で処理することによって多孔質体内の微細気孔
を部分的に溶解し、拡大かつ連続化させることにより、
研磨布の通気性を大幅にアップすることができ、従来、
困難とされていた目詰りが少なく研磨効率の低下しない
研磨布が得られ、本発明の意義は大である。
代理人 弁理士 吉 澤 敏 夫
Claims (1)
- ポリウレタンとは溶剤特性の異なる合成繊維からなる高
密度不織布にポリウレタン溶剤溶液を含浸し、次いで凝
固、乾燥して微細気孔の内在するポリウレタン多孔質体
で一体的に固定されたシートを形成し、所定の厚さにス
ライスした後、ポリウレタンの溶剤を付与して乾燥、熱
処理することを特徴とする研磨布の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1035830A JPH02218561A (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | 研磨布の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1035830A JPH02218561A (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | 研磨布の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02218561A true JPH02218561A (ja) | 1990-08-31 |
Family
ID=12452879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1035830A Pending JPH02218561A (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | 研磨布の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02218561A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001315056A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-11-13 | Toray Ind Inc | 研磨用パッドおよびそれを用いた研磨装置及び研磨方法 |
| JP2005059179A (ja) * | 2003-08-19 | 2005-03-10 | Japan Vilene Co Ltd | 精密研磨材 |
| JP2010017848A (ja) * | 1995-08-21 | 2010-01-28 | Rohm & Haas Electronic Materials Cmp Holdings Inc | 研磨パッドの製造方法及び研磨パッド |
| JP2011224700A (ja) * | 2010-04-19 | 2011-11-10 | Teijin Cordley Ltd | 研磨パッド用素材の製造方法 |
| CN106493893A (zh) * | 2016-10-31 | 2017-03-15 | 昆山聚贝机械设计有限公司 | 聚乙烯醇凹凸海绵的制造方法 |
-
1989
- 1989-02-15 JP JP1035830A patent/JPH02218561A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010017848A (ja) * | 1995-08-21 | 2010-01-28 | Rohm & Haas Electronic Materials Cmp Holdings Inc | 研磨パッドの製造方法及び研磨パッド |
| JP2001315056A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-11-13 | Toray Ind Inc | 研磨用パッドおよびそれを用いた研磨装置及び研磨方法 |
| JP2005059179A (ja) * | 2003-08-19 | 2005-03-10 | Japan Vilene Co Ltd | 精密研磨材 |
| JP2011224700A (ja) * | 2010-04-19 | 2011-11-10 | Teijin Cordley Ltd | 研磨パッド用素材の製造方法 |
| CN106493893A (zh) * | 2016-10-31 | 2017-03-15 | 昆山聚贝机械设计有限公司 | 聚乙烯醇凹凸海绵的制造方法 |
| CN106493893B (zh) * | 2016-10-31 | 2018-07-10 | 昆山聚贝机械设计有限公司 | 聚乙烯醇凹凸海绵的制造方法 |
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