JPH02228018A - 磁器コンデンサ及びその製造方法 - Google Patents
磁器コンデンサ及びその製造方法Info
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- JPH02228018A JPH02228018A JP1048872A JP4887289A JPH02228018A JP H02228018 A JPH02228018 A JP H02228018A JP 1048872 A JP1048872 A JP 1048872A JP 4887289 A JP4887289 A JP 4887289A JP H02228018 A JPH02228018 A JP H02228018A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
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- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は、誘電体磁器と少なくとも2つの電極とから成
る単層又は積層構造の磁器コンデンサ及びその製造方法
に関する。
る単層又は積層構造の磁器コンデンサ及びその製造方法
に関する。
[従来の技術]
従来、積層磁器コンデンサを製造する際には、誘電体磁
器JiX料粉米粉末成るグリーンシート(未焼結磁器シ
ート)に白金又はパラジウム等の貴金属の導電性ペース
トを所望パターンに印刷し、これを複数枚積み重ねて圧
着し、1300℃〜1600℃の酸化性雰囲気中で焼結
させた。これにより、誘電体磁器と内部を極とが同時に
得られる。
器JiX料粉米粉末成るグリーンシート(未焼結磁器シ
ート)に白金又はパラジウム等の貴金属の導電性ペース
トを所望パターンに印刷し、これを複数枚積み重ねて圧
着し、1300℃〜1600℃の酸化性雰囲気中で焼結
させた。これにより、誘電体磁器と内部を極とが同時に
得られる。
上述の如く、貴金属を使用すれば、酸化性雰囲気中で高
温で焼結させても目的とする内部電極を得ることができ
る。しかし、白金、パラジウム等の貴金属は高価である
ため、必然的に積層磁器コンデンサがコスト高になった
。
温で焼結させても目的とする内部電極を得ることができ
る。しかし、白金、パラジウム等の貴金属は高価である
ため、必然的に積層磁器コンデンサがコスト高になった
。
上述の問題を解決することができるものとして、本件出
願人に係わる特公昭61−14607号公報には、 (Bak−xMx)OkTi02 (但し、MはMg及
びZnの内の少なくとも1種)から成る基本成分と、L
I OとSiO□とから成る添加成分とを含む誘電体
磁器組成物が開示されている。
願人に係わる特公昭61−14607号公報には、 (Bak−xMx)OkTi02 (但し、MはMg及
びZnの内の少なくとも1種)から成る基本成分と、L
I OとSiO□とから成る添加成分とを含む誘電体
磁器組成物が開示されている。
また、特公昭61−14608号公報には、上記の特公
昭61−14607号公報のLi2Oと5102の代り
に、L120と5to2とMO(但し、MOはBaO1
CaO及びSrOの内の少なくとも1種)とから成る添
加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている。
昭61−14607号公報のLi2Oと5102の代り
に、L120と5to2とMO(但し、MOはBaO1
CaO及びSrOの内の少なくとも1種)とから成る添
加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている。
また、特公昭61−14609号公報には、(Bak−
x−y MxLy)OkTi02 (但し、MはMg及
びZnの少なくとも1種、LはSr及びCaの内の少な
くとも1種)から成る基本成分とL 120とS10゜
とから成る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示さ
れている。
x−y MxLy)OkTi02 (但し、MはMg及
びZnの少なくとも1種、LはSr及びCaの内の少な
くとも1種)から成る基本成分とL 120とS10゜
とから成る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示さ
れている。
また、特公昭61−14610号公報には、上記の特公
昭61−14609号公報におけるL120と5I02
の代りに、Li2Oと5IO2とMO(但し、MOはB
aO1CaO及びSrOの内の少なくとも1種)とから
成る添加成分を含む誘電体磁器組成物が開示されている
。
昭61−14609号公報におけるL120と5I02
の代りに、Li2Oと5IO2とMO(但し、MOはB
aO1CaO及びSrOの内の少なくとも1種)とから
成る添加成分を含む誘電体磁器組成物が開示されている
。
また、特公昭61−14611号公報には、(Ba1<
−x M、X)O,、TiO2(但し、MはMg、Zn
、Sr及びCaの少なくとも1種)から成る基本成分と
、B Oと5102とから成る添加成分とを含む誘電体
磁器組成物が開示されている。
−x M、X)O,、TiO2(但し、MはMg、Zn
、Sr及びCaの少なくとも1種)から成る基本成分と
、B Oと5102とから成る添加成分とを含む誘電体
磁器組成物が開示されている。
また、特公昭62−1595号公報には、(Ba
M ) OT i 02 (但し、MはMg、Z−
xxk n、Sr及びCaの内の少なくとも1種)から成る基本
成分と、B2O3とMO(但しMOはBaO,MgO1
ZnO1SrO及びCaOの少なくとも1種)とから成
る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている
。
M ) OT i 02 (但し、MはMg、Z−
xxk n、Sr及びCaの内の少なくとも1種)から成る基本
成分と、B2O3とMO(但しMOはBaO,MgO1
ZnO1SrO及びCaOの少なくとも1種)とから成
る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている
。
また、特公昭62−1596号公報には、上記の特公昭
62−1595号公報の8203とMOの代りに、B
Oと51o2とMO(但LMOはBaOlMgO,Zn
O,SrO及びCaOの内の少なくとも1種)とから成
る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている
。
62−1595号公報の8203とMOの代りに、B
Oと51o2とMO(但LMOはBaOlMgO,Zn
O,SrO及びCaOの内の少なくとも1種)とから成
る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている
。
これらに開示されている誘電体磁器組成物は、還元性雰
囲気1200℃以下の条件の焼成で得ることができ、比
誘電率が2000以上、静電容量の温度変化率が一25
℃〜+85℃で±10%の範囲にすることができるもの
である。
囲気1200℃以下の条件の焼成で得ることができ、比
誘電率が2000以上、静電容量の温度変化率が一25
℃〜+85℃で±10%の範囲にすることができるもの
である。
[発明が解決しようとする課題]
ところで、近年の電子回路の高密度化に伴い、積層コン
デンサの小型化の要求が非常に強く、これに対応する為
に、温度変化率を悪化させることなく誘電体の比誘電率
を、上記各公報に開示されている誘電体磁器組成物の比
誘電率よりも更に増大させることが望まれている。
デンサの小型化の要求が非常に強く、これに対応する為
に、温度変化率を悪化させることなく誘電体の比誘電率
を、上記各公報に開示されている誘電体磁器組成物の比
誘電率よりも更に増大させることが望まれている。
そこで、本発明の目的は、非酸化性雰囲気、1200”
C以下の温度での焼成で得るものであるにも拘らず、高
い誘電率を有し、且つ広い温度範囲にわたって誘電率の
温度変化率が小さい誘電体磁器を備えている磁器コンデ
ンサ及びその製造方法を提供することにある。
C以下の温度での焼成で得るものであるにも拘らず、高
い誘電率を有し、且つ広い温度範囲にわたって誘電率の
温度変化率が小さい誘電体磁器を備えている磁器コンデ
ンサ及びその製造方法を提供することにある。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成するための本発明は、誘電体磁器と、前
記磁器に接触している少なくとも2つの電極とから成る
磁器コンデンサにおいて、前記磁器が100.0重量部
の基本成分と、0.2〜5゜0重量部の添加成分とから
成り、前記基本成分が、(1cr) ((Ba
L M ) 0kTiOh−x−yxy 2)+αCazr03 (但し、LはMg、Znの内の
少なくとも1種の金属、MはCa、Srの内の少なくと
も1種の金属、αは0.005〜0゜04、kは1.0
0〜1.05、X及びyは、0<x<0.10、 o<y≦0.15 0.01≦x+y≦0.10を満足す る数値)であり、前記添加成分がB2O3と5t02と
MO(但し、MOはBad、SrO,CaOlMgO及
びZnOの内の少なくとも1種の金g酸化物)から成り
、且つ前記B2O3と前記5102と前記MOとの組成
範囲がこれ等の組成をモル%で示す三角図における前記
B2O3が1モル%、前記5102が80モル%、前記
MOが19モル%の点(A)と、前記B2O3が1モル
%、前記S t O2が39モル%、前記MOが60モ
ル%の点(B)と、前記B2O3が30モル%、前記S
102が0モル%、前記MOが70モル%の点(C)
と、前記B2O3が90モル%、前記5102が0モル
%、前記MOが10モル%の点(D)と、前記B2O3
が90モル%、前記S10□が10モル%、前記MOが
0モル%の点(E)と、前記BOが20モル%、前記5
lO7が80モル%、前記MOが0モル、%の点(F)
とを順に結ぶ6本の直線で囲まれた領域内のものである
コンデンサに係わるものである。なお、基本成分を示す
組成式において、k−X−ン、x、y、には勿論それぞ
れの元素の原子数を示し、(1−α)とαは組成式の第
1項の(Ba L M )k−x−y x
y OTlO2と第2項のCa Z r O3との割合をに モルで示すものであり、Baはバリウム、0は酸素、T
1はチタン、Caはカルシウム、Zrはジルコニウム、
Mgはマグネシウム、Znは亜鉛、Srはストロンチウ
ムである。添加成分におけるBOは酸化ボロン、SiO
□は酸化けい素、BaOは酸化バリウム、SrOは酸化
ストロンチウム、CaOは酸化カルシウム、MgOは酸
化マグネシフム、ZnOは酸化亜鉛である。 製造方法
に係わる発明は、上記の基本成分と添加成分との混合物
を用意する工程と、少なくとも2つの電極部分を有する
前記混合物の成形物を作る工程と、前記電極部分を有す
る前記成形物を非酸化性雰囲気で焼成する工程と、前記
焼成で得られた成形物を酸化性雰囲気で熱処理する工程
とを含む磁器コンデンサの製造方法に係わるものである
。
記磁器に接触している少なくとも2つの電極とから成る
磁器コンデンサにおいて、前記磁器が100.0重量部
の基本成分と、0.2〜5゜0重量部の添加成分とから
成り、前記基本成分が、(1cr) ((Ba
L M ) 0kTiOh−x−yxy 2)+αCazr03 (但し、LはMg、Znの内の
少なくとも1種の金属、MはCa、Srの内の少なくと
も1種の金属、αは0.005〜0゜04、kは1.0
0〜1.05、X及びyは、0<x<0.10、 o<y≦0.15 0.01≦x+y≦0.10を満足す る数値)であり、前記添加成分がB2O3と5t02と
MO(但し、MOはBad、SrO,CaOlMgO及
びZnOの内の少なくとも1種の金g酸化物)から成り
、且つ前記B2O3と前記5102と前記MOとの組成
範囲がこれ等の組成をモル%で示す三角図における前記
B2O3が1モル%、前記5102が80モル%、前記
MOが19モル%の点(A)と、前記B2O3が1モル
%、前記S t O2が39モル%、前記MOが60モ
ル%の点(B)と、前記B2O3が30モル%、前記S
102が0モル%、前記MOが70モル%の点(C)
と、前記B2O3が90モル%、前記5102が0モル
%、前記MOが10モル%の点(D)と、前記B2O3
が90モル%、前記S10□が10モル%、前記MOが
0モル%の点(E)と、前記BOが20モル%、前記5
lO7が80モル%、前記MOが0モル、%の点(F)
とを順に結ぶ6本の直線で囲まれた領域内のものである
コンデンサに係わるものである。なお、基本成分を示す
組成式において、k−X−ン、x、y、には勿論それぞ
れの元素の原子数を示し、(1−α)とαは組成式の第
1項の(Ba L M )k−x−y x
y OTlO2と第2項のCa Z r O3との割合をに モルで示すものであり、Baはバリウム、0は酸素、T
1はチタン、Caはカルシウム、Zrはジルコニウム、
Mgはマグネシウム、Znは亜鉛、Srはストロンチウ
ムである。添加成分におけるBOは酸化ボロン、SiO
□は酸化けい素、BaOは酸化バリウム、SrOは酸化
ストロンチウム、CaOは酸化カルシウム、MgOは酸
化マグネシフム、ZnOは酸化亜鉛である。 製造方法
に係わる発明は、上記の基本成分と添加成分との混合物
を用意する工程と、少なくとも2つの電極部分を有する
前記混合物の成形物を作る工程と、前記電極部分を有す
る前記成形物を非酸化性雰囲気で焼成する工程と、前記
焼成で得られた成形物を酸化性雰囲気で熱処理する工程
とを含む磁器コンデンサの製造方法に係わるものである
。
[作用効果コ
上記発明の磁器コンデンサにおける誘電体磁器を非酸化
性雰囲気、1200℃以下の焼成で得ることができる。
性雰囲気、1200℃以下の焼成で得ることができる。
従って、ニッケル等の卑金属の導電性ペーストをグリー
ンシートに塗布し、グリーンシートと導電性ペーストと
を同時に焼成する方法によって磁器コンデンサを製造す
ることが可能になる。誘電体磁器の組成を本発明で特定
された範囲にすることによって、比誘電率が3000以
上、誘電体損失tanδが2.5%以下、抵抗率ρがl
X106MΩ・C11以上であり、且つ比誘電率の温度
変化率が一55℃〜125℃で一15%〜+15%(2
5℃を基準)、−25℃〜85℃で一10%〜+10%
(20℃を基準)の範囲に収まる誘電体磁器を備えたコ
ンデンサを提供することができる。
ンシートに塗布し、グリーンシートと導電性ペーストと
を同時に焼成する方法によって磁器コンデンサを製造す
ることが可能になる。誘電体磁器の組成を本発明で特定
された範囲にすることによって、比誘電率が3000以
上、誘電体損失tanδが2.5%以下、抵抗率ρがl
X106MΩ・C11以上であり、且つ比誘電率の温度
変化率が一55℃〜125℃で一15%〜+15%(2
5℃を基準)、−25℃〜85℃で一10%〜+10%
(20℃を基準)の範囲に収まる誘電体磁器を備えたコ
ンデンサを提供することができる。
[実施例]
次に、本発明に従う実施例及び比較例について説明する
。
。
まず、本発明に従う基本成分の組成式
%式%
2)+αCazr03における第1項の(Bak−x、
LxM、)OTie□ (以下第1基本成分に と呼ぶ)を第1表の試料NQIのに−x−y、x、y、
にの欄に示す割合で得るため、換言すれば、(B ao
、94L0.05M0.03)ol、02” ’ o2
、更に詳細には−Lo、05=MgO,03znO,
02であり−MO,03”CaO,03であるので、 (Ba0.94Mgo、03ZnO002°a0.03
)01.02’I” t O2を得るために、純度99
゜0%以上のBa COs (炭酸バリウム)、Mg
O<酸化マグネシウム)、ZnO(M化亜鉛) 、Ca
CO3(炭酸カルシウム及びTIO□ (酸化チタン
)を用意し、不純物を目方に入れないで BaC0:1025.83g(0,94モル部相当) MgO: 6.69g(0,03モル部相当)ZnO
: 9.02g (0,02モル部相当)CaCO:1
6.61g(0,033モル部相 当) TiO2:441.86g (1モル部相当)
を秤量した。
LxM、)OTie□ (以下第1基本成分に と呼ぶ)を第1表の試料NQIのに−x−y、x、y、
にの欄に示す割合で得るため、換言すれば、(B ao
、94L0.05M0.03)ol、02” ’ o2
、更に詳細には−Lo、05=MgO,03znO,
02であり−MO,03”CaO,03であるので、 (Ba0.94Mgo、03ZnO002°a0.03
)01.02’I” t O2を得るために、純度99
゜0%以上のBa COs (炭酸バリウム)、Mg
O<酸化マグネシウム)、ZnO(M化亜鉛) 、Ca
CO3(炭酸カルシウム及びTIO□ (酸化チタン
)を用意し、不純物を目方に入れないで BaC0:1025.83g(0,94モル部相当) MgO: 6.69g(0,03モル部相当)ZnO
: 9.02g (0,02モル部相当)CaCO:1
6.61g(0,033モル部相 当) TiO2:441.86g (1モル部相当)
を秤量した。
次に、秤量されたこれ等の原料をボットミル(pot
n1ll)に入れ、更にアルミナボールと水2゜5jと
を入れ、15時時間式撹拌した後、撹拌物をステンレス
ポットに入れて熱風式乾燥器で150℃、4時間乾燥し
な0次にこの乾燥物を粗粉砕し、この粗粉砕物をトンネ
ル炉にて大気中で1200℃、2時間仮焼し、上記組成
式の基本成分を得た。
n1ll)に入れ、更にアルミナボールと水2゜5jと
を入れ、15時時間式撹拌した後、撹拌物をステンレス
ポットに入れて熱風式乾燥器で150℃、4時間乾燥し
な0次にこの乾燥物を粗粉砕し、この粗粉砕物をトンネ
ル炉にて大気中で1200℃、2時間仮焼し、上記組成
式の基本成分を得た。
また、基本成分の組成式の第2項のCaZrO3(以下
、第2基本成分と呼ぶ)を得るために、Ca CO3(
炭酸カルシウム)とZ r O2(酸化ジルコニウム)
とが等モルとなる様に前者を448.96g、後者を5
51.04gそれぞれ秤量し、これ等を混合し、乾燥し
、粉砕した後に、約1250℃で2時間大気中で仮焼し
た。
、第2基本成分と呼ぶ)を得るために、Ca CO3(
炭酸カルシウム)とZ r O2(酸化ジルコニウム)
とが等モルとなる様に前者を448.96g、後者を5
51.04gそれぞれ秤量し、これ等を混合し、乾燥し
、粉砕した後に、約1250℃で2時間大気中で仮焼し
た。
つぎに、第1表の試料NQIに示すように1−αが0.
98モル、αが0.02モルとなるように、98モル部
<984.24tr>の第1基本成分(Ba0.94M
go、03znO,02CaO,03) 01.02T
102の粉末と、2モル部(15,76g>の第2基本
成分(Ca Z r O3)の粉末とを混合して100
0gの基本成分を得た。
98モル、αが0.02モルとなるように、98モル部
<984.24tr>の第1基本成分(Ba0.94M
go、03znO,02CaO,03) 01.02T
102の粉末と、2モル部(15,76g>の第2基本
成分(Ca Z r O3)の粉末とを混合して100
0gの基本成分を得た。
一方、第1表の試料騎1の添加成分を得るために、B2
O3を1.03g (1−1ニル部)と、5i02を7
0.57g (80モル部)と、BaCO3を11.0
3g <3.8モル部)と、CaCO3を13.99g
(9,5モル部)と、MgOを3.38g (5,7
モル部)をそれぞれ秤量し、この混合物にアルコールを
300cc加え、ポリエチレンボットにてアルミナボー
ルを用いて10時間撹拌した後、大気中1000℃で2
時間仮焼成し、これを300CCの水と共にアルミナポ
ットに入れ、アルミナボールで15時間粉砕し、しかる
後、150℃で4時間乾燥させてB2O3が1モル%、
5IO2が80モル%、MOが19モル%(Ba0 3
.8モル%+Ca09.5モル%+Mg0 5.7モル
%)の組成の添加成分の粉末を得た。なお、MOの内容
であるBaOとCaOとMgOとの割合は第1表に示す
ように20モル%、50モル%、30モル%となる。
O3を1.03g (1−1ニル部)と、5i02を7
0.57g (80モル部)と、BaCO3を11.0
3g <3.8モル部)と、CaCO3を13.99g
(9,5モル部)と、MgOを3.38g (5,7
モル部)をそれぞれ秤量し、この混合物にアルコールを
300cc加え、ポリエチレンボットにてアルミナボー
ルを用いて10時間撹拌した後、大気中1000℃で2
時間仮焼成し、これを300CCの水と共にアルミナポ
ットに入れ、アルミナボールで15時間粉砕し、しかる
後、150℃で4時間乾燥させてB2O3が1モル%、
5IO2が80モル%、MOが19モル%(Ba0 3
.8モル%+Ca09.5モル%+Mg0 5.7モル
%)の組成の添加成分の粉末を得た。なお、MOの内容
であるBaOとCaOとMgOとの割合は第1表に示す
ように20モル%、50モル%、30モル%となる。
次に、100重量部(1000g)の基本成分に2重量
部(20g)の添加成分を添加し、更に、アクリル酸エ
ステルポリマー、グリセリン、縮合リン酸塩の水溶液か
ら成る有機バインダを基本成分と添加成分との合計重量
に対して15重量%添加し、更に、50重量%の水を加
え、これ等をボールミルに入れて粉砕及び混合して磁器
原料のスラリーを作製した。
部(20g)の添加成分を添加し、更に、アクリル酸エ
ステルポリマー、グリセリン、縮合リン酸塩の水溶液か
ら成る有機バインダを基本成分と添加成分との合計重量
に対して15重量%添加し、更に、50重量%の水を加
え、これ等をボールミルに入れて粉砕及び混合して磁器
原料のスラリーを作製した。
次に、上記スラリーを真空脱泡機に入れて脱泡し、この
スラリーをリバースロールコータに入れ、ここから得ら
れる薄膜成形物を長尺なポリエステルフィルム上に連続
して受は取ると共に、同フィルム上でこれを100℃に
加熱して乾燥させ、厚さ約25μmの未焼結磁器シート
を得た。このシートは長尺なものであるが、これをl0
CI角の正方形に裁断して使用する。
スラリーをリバースロールコータに入れ、ここから得ら
れる薄膜成形物を長尺なポリエステルフィルム上に連続
して受は取ると共に、同フィルム上でこれを100℃に
加熱して乾燥させ、厚さ約25μmの未焼結磁器シート
を得た。このシートは長尺なものであるが、これをl0
CI角の正方形に裁断して使用する。
一方、内部ti用の導電ペーストは、粒径平均1.5μ
mのニッケル粉末10gと、エチルセルロース0.9g
をブチルカルピトール9.1gに溶解させたものとを攪
拌機に入れ、10時間撹拌することにより得た。この導
電ペーストを長さ141W+、幅7IlIIのパターン
を50個有するスクリーンを介して上記未焼結磁器シー
トの片側に印刷した後、これを乾燥させた。
mのニッケル粉末10gと、エチルセルロース0.9g
をブチルカルピトール9.1gに溶解させたものとを攪
拌機に入れ、10時間撹拌することにより得た。この導
電ペーストを長さ141W+、幅7IlIIのパターン
を50個有するスクリーンを介して上記未焼結磁器シー
トの片側に印刷した後、これを乾燥させた。
次に、上記印刷面を上にして未焼結磁器シートを2枚積
層した。この際、隣接する上下のシートにおいて、その
印刷面がパターンの長手方向に約手分程ずれるように配
置した。更に、この積層物の上下両面にそれぞれ4枚ず
つ厚さ60μmの未焼結磁器シートを積層した0次いで
、この積層物を約50℃の温度で厚さ方向に約40トン
の荷重を加えて圧着させた。しかる後、この積層物を格
子状に裁断し、50個の積層チップを得な。
層した。この際、隣接する上下のシートにおいて、その
印刷面がパターンの長手方向に約手分程ずれるように配
置した。更に、この積層物の上下両面にそれぞれ4枚ず
つ厚さ60μmの未焼結磁器シートを積層した0次いで
、この積層物を約50℃の温度で厚さ方向に約40トン
の荷重を加えて圧着させた。しかる後、この積層物を格
子状に裁断し、50個の積層チップを得な。
次に、この積層体を雰囲気焼成が可能な炉に入れ、大気
雰囲気中で100℃/hの速度で600℃まで昇温して
、有機バインダを燃焼させた。しかる後、炉の雰囲気を
大ネからH2(2体積%)+N2 (98体積%)の雰
囲気に変えた。そして、炉を上述の如き還元性雰囲気と
した状悪を保って、積層体加熱温度を600℃から焼結
温度の1150℃まで、100℃/hの速度で昇温して
1150℃(最高温度)を3時間保持した後、100℃
/hの速度で600℃まで降温し、雰囲気を大気雰囲気
(酸化性雰囲気)におきかえて、600℃を30分間保
持して酸化処理を行い、その後、室温まで冷却して積層
焼結体チップを作製した。
雰囲気中で100℃/hの速度で600℃まで昇温して
、有機バインダを燃焼させた。しかる後、炉の雰囲気を
大ネからH2(2体積%)+N2 (98体積%)の雰
囲気に変えた。そして、炉を上述の如き還元性雰囲気と
した状悪を保って、積層体加熱温度を600℃から焼結
温度の1150℃まで、100℃/hの速度で昇温して
1150℃(最高温度)を3時間保持した後、100℃
/hの速度で600℃まで降温し、雰囲気を大気雰囲気
(酸化性雰囲気)におきかえて、600℃を30分間保
持して酸化処理を行い、その後、室温まで冷却して積層
焼結体チップを作製した。
次に、第1図に示す積層磁器コンデンサ10を得るなめ
に、3つの誘電体磁器層12と2つの内部@極14とか
ら成る積層焼結体チップ15に一対の外部電極16を形
成しな、なお、外部電極16は、電極が露出する焼結体
チップ15の側面に亜鉛とガラスフリット(glas
frit>とビヒクル(vehicle)とから成る
導電性ペーストを塗布して乾燥し、これを大気中で55
0℃の温度で15分間焼付け、亜鉛電極層18を形成し
、更にこの上に無電解メツキで法で銅層20を形成し、
更にこの上に電気メツキ法でpb−sn半田層22を設
けたものから成る。
に、3つの誘電体磁器層12と2つの内部@極14とか
ら成る積層焼結体チップ15に一対の外部電極16を形
成しな、なお、外部電極16は、電極が露出する焼結体
チップ15の側面に亜鉛とガラスフリット(glas
frit>とビヒクル(vehicle)とから成る
導電性ペーストを塗布して乾燥し、これを大気中で55
0℃の温度で15分間焼付け、亜鉛電極層18を形成し
、更にこの上に無電解メツキで法で銅層20を形成し、
更にこの上に電気メツキ法でpb−sn半田層22を設
けたものから成る。
このコンデンサ10の誘電体磁器層12の厚さは0.0
2gm、一対の内部電極14の対向面積は5止x 5
l1ffi= 25關2である。なお、焼結後の磁器層
12の組成は、焼結前の基本成分と添加成分との混合組
成と実質的に同じである。
2gm、一対の内部電極14の対向面積は5止x 5
l1ffi= 25關2である。なお、焼結後の磁器層
12の組成は、焼結前の基本成分と添加成分との混合組
成と実質的に同じである。
次に、コンデンサ10の電気特性を測定し、その平均値
を求めたところ、第2表に示す如く、比誘電率ε、が3
530.tanδが1.1%、抵抗率ρが3.8X10
6MΩ・C曙、25℃の静電容量を基準にした一55°
C及び+125℃の静電容量の変化率ΔC、ΔC1□5
が−11,8%、±5.3%、20℃の静電容量を基準
にした一25℃、+85℃の静電容量の変化率ΔC、Δ
C85は−7,2%、−4,1%であった。
を求めたところ、第2表に示す如く、比誘電率ε、が3
530.tanδが1.1%、抵抗率ρが3.8X10
6MΩ・C曙、25℃の静電容量を基準にした一55°
C及び+125℃の静電容量の変化率ΔC、ΔC1□5
が−11,8%、±5.3%、20℃の静電容量を基準
にした一25℃、+85℃の静電容量の変化率ΔC、Δ
C85は−7,2%、−4,1%であった。
なお、電気的特性は次の要領で測定した。
(A) 比誘電率ε8は、温度20℃、周波数1 k
Hz、電圧(実効値)1.OVの条件で静電容量を測定
し、この測定値一対の内部電極14の対向面積25Il
l+2と一対の内部1!極14間の磁器層12の厚さ0
.0211111から計算で求めた。
Hz、電圧(実効値)1.OVの条件で静電容量を測定
し、この測定値一対の内部電極14の対向面積25Il
l+2と一対の内部1!極14間の磁器層12の厚さ0
.0211111から計算で求めた。
(B) 誘電体損失tanδ(%)は比誘電率と同−
条件で測定した。
条件で測定した。
(C) 抵抗率ρ(MO・cffi)は、温度20℃
においてDClooVを1分間印加した後に一対の外部
電極16間の抵抗値を測定し、この測定値と寸法とに基
づいて計算で求めた。
においてDClooVを1分間印加した後に一対の外部
電極16間の抵抗値を測定し、この測定値と寸法とに基
づいて計算で求めた。
(D) 静電容量の温度特性は、恒温槽の中に試料を
入れ、−55℃、−25℃、0℃、+20℃、25℃、
+40℃、+60℃、+85℃、士+105℃、+12
5℃の各温度において、周波数1 kHz、電圧(実効
値>i、ovの条件で静電容量を測定し、20℃及び2
5℃の時の静電容量に対する各温度における変化率を求
めることによって得な。
入れ、−55℃、−25℃、0℃、+20℃、25℃、
+40℃、+60℃、+85℃、士+105℃、+12
5℃の各温度において、周波数1 kHz、電圧(実効
値>i、ovの条件で静電容量を測定し、20℃及び2
5℃の時の静電容量に対する各温度における変化率を求
めることによって得な。
以上、試料穎1の作製方法及びその特性について述べた
が、試料NQ2〜75についても、基本成分及び添加成
分の組成、これ等の割合、及び還元性雰囲気での焼成温
度を第1表及び第2表に示すように変えた他は、試料N
O,1と全く同一の方法で積層磁器コンデンサを作製し
、同一方法で電気的特性を測定した。
が、試料NQ2〜75についても、基本成分及び添加成
分の組成、これ等の割合、及び還元性雰囲気での焼成温
度を第1表及び第2表に示すように変えた他は、試料N
O,1と全く同一の方法で積層磁器コンデンサを作製し
、同一方法で電気的特性を測定した。
第1表は、それぞれの試料の基本成分と添加成分との組
成を示し、第2表はそれぞれの試料の焼成温度、及び電
気的特性を示す、なお、第1表の基本成分の欄の1−α
、αは第1基本成分と第2基本成分の割合をモルで示し
、k−x−y、x、kは組成式の各元素の原子数1、即
ちT1の原子数を1とした場合の各元素の原子数の割合
を示す。
成を示し、第2表はそれぞれの試料の焼成温度、及び電
気的特性を示す、なお、第1表の基本成分の欄の1−α
、αは第1基本成分と第2基本成分の割合をモルで示し
、k−x−y、x、kは組成式の各元素の原子数1、即
ちT1の原子数を1とした場合の各元素の原子数の割合
を示す。
Xの欄のMg、Znは、−数式のLの内容を示し、また
yの欄のCa、Srは一般式のMの内容を示し、これ等
の欄にはこれ等の原子数が示され、これ等の合計の欄に
はこれ等の合計値(x、y値)が示されている。添加成
分の添加量は基本成分100重量部に対する重量部で示
されている。添加成分のMOの内容の枕には、BaO,
MgO1ZnO1SrO1CaOの割合がモル%で示さ
れている。第2表において、静電容量の温度特性は、2
5℃の静電容量を基準にした一55℃及び+125℃の
静電容量変化率をΔC、(%)ΔC125(%)、20
℃の静電容量を基準にしな一25℃及び+85℃の静電
容量変化率をΔC−(%)、ΔC(%)で示されている
。
yの欄のCa、Srは一般式のMの内容を示し、これ等
の欄にはこれ等の原子数が示され、これ等の合計の欄に
はこれ等の合計値(x、y値)が示されている。添加成
分の添加量は基本成分100重量部に対する重量部で示
されている。添加成分のMOの内容の枕には、BaO,
MgO1ZnO1SrO1CaOの割合がモル%で示さ
れている。第2表において、静電容量の温度特性は、2
5℃の静電容量を基準にした一55℃及び+125℃の
静電容量変化率をΔC、(%)ΔC125(%)、20
℃の静電容量を基準にしな一25℃及び+85℃の静電
容量変化率をΔC−(%)、ΔC(%)で示されている
。
第1表及び第2表から明らかな如く、本発明に従う試料
では、非酸化性雰囲気、1200’C以下の焼成で、比
誘電率ε、が3000以上、誘電体損失tanδが2.
5%以下、抵抗率ρが1×106MΩ・C11以上、静
電容量の温度変化率ΔC−55及びΔC125が一15
%〜+15%、ΔC−25及びΔC85は一10%〜+
10%の範囲となり、所望特性のコンデンサを得ること
が出来る。一方、試料類11〜13.20.25.26
.31.32.37.38.42.43.47.48.
58.59.60.64.65.66.70.71.7
5では本発明の目的を達成することができない。
では、非酸化性雰囲気、1200’C以下の焼成で、比
誘電率ε、が3000以上、誘電体損失tanδが2.
5%以下、抵抗率ρが1×106MΩ・C11以上、静
電容量の温度変化率ΔC−55及びΔC125が一15
%〜+15%、ΔC−25及びΔC85は一10%〜+
10%の範囲となり、所望特性のコンデンサを得ること
が出来る。一方、試料類11〜13.20.25.26
.31.32.37.38.42.43.47.48.
58.59.60.64.65.66.70.71.7
5では本発明の目的を達成することができない。
従って、これ等は本発明の範囲外のものである。
第2表にはΔC−55、125、ΔC−25、ΔΔC
C8,のみが示されているが、本発明の範囲に属する試
料の一25℃〜+85℃の範囲の種々の静電容量の変化
率ΔCは、−10%〜+10%の範囲に収まり、また、
−55℃〜+125℃の範囲の種々の静電容量の変化率
ΔCは、−15%〜+15%の範囲に収まっている。
料の一25℃〜+85℃の範囲の種々の静電容量の変化
率ΔCは、−10%〜+10%の範囲に収まり、また、
−55℃〜+125℃の範囲の種々の静電容量の変化率
ΔCは、−15%〜+15%の範囲に収まっている。
次に、組成の限定理由について述べる。
添加成分の添加量が零の場合には、試料層20.26.
32から明らかな如く、焼成温度が1250℃であって
も緻密な焼結体が得られないが、試v4NQ21.27
.33に示す如< 、 添加jl 100重量部の基本
成分に対して0.2重量部の場合には、1180〜11
90℃の焼成で所望の電気的特性を有する焼結体が得ら
れる。従って、添加成分の下限は0.2重量部である。
32から明らかな如く、焼成温度が1250℃であって
も緻密な焼結体が得られないが、試v4NQ21.27
.33に示す如< 、 添加jl 100重量部の基本
成分に対して0.2重量部の場合には、1180〜11
90℃の焼成で所望の電気的特性を有する焼結体が得ら
れる。従って、添加成分の下限は0.2重量部である。
一方、試料層25.31.37に示す如く、添加量が7
重量部の場合には、ε が3000未満となり、更にΔ
CあるいはΔC85が一10%〜+10%の範回外とな
るか、又はΔCあるいはΔC125が15%〜+15%
の範囲外となるが、試料No、 24.30.36に示
す如く、添加量が5重量部の場合には所望特性を得るこ
とができる。従って、添加量の上限は5′!!L!部で
ある。
重量部の場合には、ε が3000未満となり、更にΔ
CあるいはΔC85が一10%〜+10%の範回外とな
るか、又はΔCあるいはΔC125が15%〜+15%
の範囲外となるが、試料No、 24.30.36に示
す如く、添加量が5重量部の場合には所望特性を得るこ
とができる。従って、添加量の上限は5′!!L!部で
ある。
x+yの値が、試料No、48.60に示す如く、零の
場合には、ΔC−25が一10%〜+10%の範囲外、
ΔC−55が一15%〜+15%の範囲外となるが、試
料No49〜52.61に示す如く、x+yの値が0.
01の場合には、所望の電気的特性を得ることができる
。従って、x+yの値の下限は0.01である。一方、
試料NO,58,59,60に示す如く、x+yの値が
0.12の場合には、ΔC85が一10%〜+10%の
範囲外となるが、試料に55〜57.63に示す如く、
x+yの値が0.10の場合には、所望の電気的特性を
得ることができる。従って、x+yの値の上限は0.1
0である。試料NQ64に示す如く、yの値が0.6の
場合、x+yの値が0.10であっても△C85が一1
0%〜→−10%の範囲外となるが、試料NO,55,
63に示す如くyの値が0.05の場合には、所望の電
気的特性を得ることができる。
場合には、ΔC−25が一10%〜+10%の範囲外、
ΔC−55が一15%〜+15%の範囲外となるが、試
料No49〜52.61に示す如く、x+yの値が0.
01の場合には、所望の電気的特性を得ることができる
。従って、x+yの値の下限は0.01である。一方、
試料NO,58,59,60に示す如く、x+yの値が
0.12の場合には、ΔC85が一10%〜+10%の
範囲外となるが、試料に55〜57.63に示す如く、
x+yの値が0.10の場合には、所望の電気的特性を
得ることができる。従って、x+yの値の上限は0.1
0である。試料NQ64に示す如く、yの値が0.6の
場合、x+yの値が0.10であっても△C85が一1
0%〜→−10%の範囲外となるが、試料NO,55,
63に示す如くyの値が0.05の場合には、所望の電
気的特性を得ることができる。
従ってyの上限は0.05である。Xの範囲はX+yの
範囲からyを差し引いた範囲である。なお、L成分のM
gとZnとはほぼ同様に働き、これ等から選択された1
つを使用しても、又は複数を使用しても同様な結果が得
られる。M成分のCa、Srはほぼ同様に働き、これ等
から選択された1つを使用しても、又は複数を使用ても
同様な結果が得られる。
範囲からyを差し引いた範囲である。なお、L成分のM
gとZnとはほぼ同様に働き、これ等から選択された1
つを使用しても、又は複数を使用しても同様な結果が得
られる。M成分のCa、Srはほぼ同様に働き、これ等
から選択された1つを使用しても、又は複数を使用ても
同様な結果が得られる。
αの値が、試料に38.43に示す如く、零の場合には
、ΔC−25が一10%〜+10%の範囲外、ΔC−5
5が一15%〜+15%の範囲外となるが、試料11Q
39.44に示す如く、αの値が0゜005の場合には
、所望の電気的特性を得ることができる。従って、αの
値の下限は0.005である。一方、試料N042.4
7に示す如く、αの値が0.05の場合には、ΔC85
が一10%〜F10%の範囲外となるが、試料N(14
1,46に示す如く、αの値が0.04の場合には所望
の電気的特性を得ることができる。従って、αの値の上
限は0.04である。
、ΔC−25が一10%〜+10%の範囲外、ΔC−5
5が一15%〜+15%の範囲外となるが、試料11Q
39.44に示す如く、αの値が0゜005の場合には
、所望の電気的特性を得ることができる。従って、αの
値の下限は0.005である。一方、試料N042.4
7に示す如く、αの値が0.05の場合には、ΔC85
が一10%〜F10%の範囲外となるが、試料N(14
1,46に示す如く、αの値が0.04の場合には所望
の電気的特性を得ることができる。従って、αの値の上
限は0.04である。
kの値が、試料Nα66.71に示す如く、0゜98の
場合には、ρがlX106MΩ・C11未満となり、大
幅に低くなるが、試料NQ67.72に示す如く、kの
値が1.00の場合には、所望の電気的特性が得られる
。従って、kの値の下限は1゜00である。一方、kの
値が、試料N1170.75に示す如く、1.07の場
合には緻密な焼結体が得られないが、試料NO,69,
74に示す如く、kの値が1.05の場合には所望の電
気的特性が得られる。従って、kの値の上限は1.05
である。
場合には、ρがlX106MΩ・C11未満となり、大
幅に低くなるが、試料NQ67.72に示す如く、kの
値が1.00の場合には、所望の電気的特性が得られる
。従って、kの値の下限は1゜00である。一方、kの
値が、試料N1170.75に示す如く、1.07の場
合には緻密な焼結体が得られないが、試料NO,69,
74に示す如く、kの値が1.05の場合には所望の電
気的特性が得られる。従って、kの値の上限は1.05
である。
添加成分の好ましい組成は、第2図のB203−3 i
02−Moの組成比を示す三角図に基づいて決定する
ことができる。三角図の第1の点<A>は、試料No、
1の8203が1モル%、5102が80モル%、M
Oが19モル%の組成を示し、第2の点(B)は、試料
No、 2の8203が1モル%、S 102が39モ
ル%、MOが60モル%の組成を示し、第3の点(C)
は、試料NQ3の8203が30モル%、5i02が0
モル%、MOが70モル%の組成を示し、第4の点(D
>は、試料N。
02−Moの組成比を示す三角図に基づいて決定する
ことができる。三角図の第1の点<A>は、試料No、
1の8203が1モル%、5102が80モル%、M
Oが19モル%の組成を示し、第2の点(B)は、試料
No、 2の8203が1モル%、S 102が39モ
ル%、MOが60モル%の組成を示し、第3の点(C)
は、試料NQ3の8203が30モル%、5i02が0
モル%、MOが70モル%の組成を示し、第4の点(D
>は、試料N。
4の8203が90モル%、S iO2が0モル%、M
Oが10モル%の組成を示し、第5の点(E)は、試料
NO,5の8203が90モル%、5I02が10モル
%、MOが0モル%の組成を示し、第6の点(F)は、
試料層6の8203が20モル%、5102が80モル
%、MOが0°モル%の組成を示す。
Oが10モル%の組成を示し、第5の点(E)は、試料
NO,5の8203が90モル%、5I02が10モル
%、MOが0モル%の組成を示し、第6の点(F)は、
試料層6の8203が20モル%、5102が80モル
%、MOが0°モル%の組成を示す。
本発明の範囲に属する試料の添加成分の組成は三角図の
第1〜6の点(A)〜(F)を順に結ぶ6本の直線で囲
まれた領域内の組成になっている。
第1〜6の点(A)〜(F)を順に結ぶ6本の直線で囲
まれた領域内の組成になっている。
この領域内の組成とすれば、所望の電気的特性を得るこ
とができる。一方、試料11QII〜13のように、添
加成分の組成が本発明で特定した範囲外となれば、緻密
な焼結体を得ることができない。
とができる。一方、試料11QII〜13のように、添
加成分の組成が本発明で特定した範囲外となれば、緻密
な焼結体を得ることができない。
なお、MO酸成分例えば試料k14〜18に示す如(B
aOlMgO,ZnO1SrO1CaOのいずれか1つ
であってもよいし、又は他の試料で示すように適当な比
率としてもよい。
aOlMgO,ZnO1SrO1CaOのいずれか1つ
であってもよいし、又は他の試料で示すように適当な比
率としてもよい。
[変形例]
以上、本発明の実施例について述べたが、本発明はこれ
に限定されるものではなく、例えば次の変形例が可能な
ものである。
に限定されるものではなく、例えば次の変形例が可能な
ものである。
(a) 基本成分の中に、本発明の目的を阻害しない
範囲で微量のM n O2(好ましくは0.05〜0.
1重量%)等の鉱化剤を添加し、焼結性を向上させても
よい、また、その他の物質を必要に応じて添加してもよ
い。
範囲で微量のM n O2(好ましくは0.05〜0.
1重量%)等の鉱化剤を添加し、焼結性を向上させても
よい、また、その他の物質を必要に応じて添加してもよ
い。
(b) 出発原料を、実施例で示しなもの以外の酸化
物又は水酸化物又はその他の化合物としてもよい。
物又は水酸化物又はその他の化合物としてもよい。
(c) 焼成時の非酸化性雰囲気での処理の後の酸化
性雰囲気での処理の温度を600℃以外の焼結温度より
も低い温度(好ましくは500℃〜1ooo℃の範囲)
としてもよい、即ち、ニッケル等の電極と磁器の酸化と
を考慮して種々変更することが可能である。
性雰囲気での処理の温度を600℃以外の焼結温度より
も低い温度(好ましくは500℃〜1ooo℃の範囲)
としてもよい、即ち、ニッケル等の電極と磁器の酸化と
を考慮して種々変更することが可能である。
(d) 非酸化性雰囲気中の焼成温度を、電極材料を
考慮して種々変えることができる。ニッケルを内部電極
とする場合には、1050℃〜1200℃の範囲でニッ
ケル粒子の凝集がほとんど生じない。
考慮して種々変えることができる。ニッケルを内部電極
とする場合には、1050℃〜1200℃の範囲でニッ
ケル粒子の凝集がほとんど生じない。
(e) 焼結を中性雰囲気で行ってもよい。
(f) 積層磁器コンデンサ以外の一般的な単層の磁
器コンデンサにも勿論適用可能である。
器コンデンサにも勿論適用可能である。
第1図は本発明の実施例に係わる積層型磁器コンデンサ
を示す断面図、 第2図は添加成分の組成範囲を示す三角図である。 12・・・磁器層、14・・・内部電極、16・・・外
#電極。
を示す断面図、 第2図は添加成分の組成範囲を示す三角図である。 12・・・磁器層、14・・・内部電極、16・・・外
#電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 [1] 誘電体磁器と、前記磁器に接触している少なく
とも2つの電極とから成る磁器コンデンサにおいて、 前記磁器が100.0重量部の基本成分と、0.2〜5
.0重量部の添加成分とから成り、前記基本成分が、 (1−α){(Ba_k_−_x_−_yL_xM_y
)O_kTiO_2}+αCaZrO_3 (但し、LはMg、Znの内の少なくとも1種の金属、
MはCa、Srの内の少なくとも1種の金属、 αは0.005〜0.04、 kは1.00〜1.05、 x及びyは0<x<0.10 0<y≦0.05 0.01≦x+y≦0.10を満足 する数値)であり、 前記添加成分がB_2O_3とSiO_2とMO(但し
、MOはBaO、SrO、CaO、MgO及びZnOの
内の少なくとも1種の金属酸化物)から成り、且つ前記
B_2O_3と前記SiO_2と前記MOとの組成範囲
がこれ等の組成をモル%で示す三角図における 前記B_2O_3が1モル%、前記SiO_2が80モ
ル%、前記MOが19モル%の点(A)と、前記B_2
O_3が1モル%、前記SiO_2が39モル%、前記
MOが60モル%の点(B)と、前記B_2O_3が3
0モル%、前記SiO_2が0モル%、前記MOが70
モル%の点(C)と、前記B_2O_3が90モル%、
前記SiO_2が0モル%、前記MOが10モル%の点
(D)と、前記B_2O_3が90モル%、前記SiO
_2が10モル%、前記MOが0モル%の点(E)と、
前記B_2O_3が20モル%、前記SiO_2が80
モル%、前記MOが0モル%の点(F)と、を順に結ぶ
6本の直線で囲まれた領域内のものであることを特徴と
するコンデンサ。 [2] 100.0重量部の基本成分と、0.2〜5.
0重量部の添加成分とから成り、前記基本成分が、 (1−α){Ba_k_−_x_−_yL_xM_y)
O_kTiO_2)十αCaZrO_3 (但し、LはMg、Znの内の少なくとも1種の金属、
MはCa、Srの内の少なくとも1種の金属、αは0.
005〜0.04、kは1.00〜1.05、x及びy
は、 o<x<0.10、 0<y≦0.05、 0.01≦x+y≦0.10を満足す る数値)であり、前記添加成分がB_2O_3とSiO
_2とMO(但し、MOはBaO、SrO、CaO、M
gO及びZnOの内の少なくとも1種の金属酸化物)か
ら成り、且つ前記B_2O_3と前記SiO_2と前記
MOとの組成範囲がこれ等の組成をモル%で示す三角図
における前記B_2O_3が1モル%、前記SiO_2
が80モル%、前記MOが19モル%の点(A)と、前
記B_2O_3が1モル%、前記SiO_2が39モル
%、前記MOが60モル%の点(B)と、前記B_2O
_3が30モル%、前記SiO_2が0モル%、前記M
Oが70モル%の点(C)と、前記B_2O_3が90
モル%、前記SiO_2が0モル%、前記MOが10モ
ル%の点(D)と、前記B_2O_3が90モル%、前
記SiO_2が10モル%、前記MOが0モル%の点(
E)と、前記B_2O_3が20モル%、前記SiO_
2が80モル%、前記MOが0モル%の点(F)を順に
結ぶ6本の直線で囲まれた領域内のものであることを特
徴とする混合物を用意する工程と、少なくとも2つの電
極部分を有する前記混合物の成形物を作る工程と、 前記電極部分を有する前記成形物を非酸化性雰囲気で焼
成する工程と、 前記焼成で得られた成形物を酸化性雰囲気で熱処理する
工程と を含む磁器コンデンサの製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1048872A JPH02228018A (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
| US07/482,659 US4999737A (en) | 1989-02-28 | 1990-02-21 | Solid dielectric capacitor and method of manufacture |
| DE69009524T DE69009524T2 (de) | 1989-02-28 | 1990-02-26 | Festdielektrikumkondensator und Verfahren zu seiner Herstellung. |
| EP90103689A EP0385339B1 (en) | 1989-02-28 | 1990-02-26 | Solid dielectric capacitor and method of manufacture |
| KR1019900002476A KR930002632B1 (ko) | 1989-02-28 | 1990-02-27 | 자기콘덴서 및 그의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1048872A JPH02228018A (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02228018A true JPH02228018A (ja) | 1990-09-11 |
| JPH0524655B2 JPH0524655B2 (ja) | 1993-04-08 |
Family
ID=12815381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1048872A Granted JPH02228018A (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4999737A (ja) |
| EP (1) | EP0385339B1 (ja) |
| JP (1) | JPH02228018A (ja) |
| KR (1) | KR930002632B1 (ja) |
| DE (1) | DE69009524T2 (ja) |
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| DE69009001T2 (de) * | 1989-10-31 | 1994-12-01 | Taiyo Yuden Kk | Vollisolierter Kondensator und Verfahren zu seiner Herstellung. |
| DE69009000T2 (de) * | 1989-10-31 | 1994-11-03 | Taiyo Yuden Kk | Festdielektrikumkondensator und Verfahren zur Herstellung. |
| US5089933A (en) * | 1989-12-04 | 1992-02-18 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Solid dielectric capacitor and method of manufacture |
| US5103369A (en) * | 1989-12-04 | 1992-04-07 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Solid dielectric capacitor |
| US5290740A (en) * | 1991-11-06 | 1994-03-01 | Ngk Insulators, Ltd. | Dielectric ceramic composition used for producing dielectric resonator or filter for microwave application |
| US6676935B2 (en) | 1995-06-27 | 2004-01-13 | Cell Genesys, Inc. | Tissue specific adenoviral vectors |
| US5807642A (en) * | 1995-11-20 | 1998-09-15 | Xue; Liang An | Solid oxide fuel cell stacks with barium and strontium ceramic bodies |
| KR0141401B1 (ko) * | 1995-09-05 | 1998-06-01 | 김은영 | 고주파용 유전체 자기조성물 및 그 제조방법 |
| US20130127174A1 (en) * | 2013-01-15 | 2013-05-23 | Duncan G. Cumming | Method for Generating Tidal Energy Utilizing the Scalar Gravitational Potential of Celestial Bodies |
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| DE3475063D1 (en) * | 1983-11-30 | 1988-12-15 | Taiyo Yuden Kk | Low temperature sinterable ceramic materials for use in solid dielectric capacitors or the like, and method of manufacture |
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| DE3476653D1 (en) * | 1983-11-30 | 1989-03-16 | Taiyo Yuden Kk | Low temperature sintered ceramic materials for use in solid dielectric capacitors or the like, and method of manufacture |
| US4988468A (en) * | 1987-01-08 | 1991-01-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for producing non-reducible dielectric ceramic composition |
| JPH0821266B2 (ja) * | 1987-03-11 | 1996-03-04 | 株式会社村田製作所 | 誘電体ペ−スト |
| JPS63281309A (ja) * | 1987-05-12 | 1988-11-17 | Taiyo Yuden Co Ltd | 磁器コンデンサ |
-
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- 1989-02-28 JP JP1048872A patent/JPH02228018A/ja active Granted
-
1990
- 1990-02-21 US US07/482,659 patent/US4999737A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-02-26 DE DE69009524T patent/DE69009524T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-02-26 EP EP90103689A patent/EP0385339B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-02-27 KR KR1019900002476A patent/KR930002632B1/ko not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| EP0385339B1 (en) | 1994-06-08 |
| JPH0524655B2 (ja) | 1993-04-08 |
| EP0385339A2 (en) | 1990-09-05 |
| DE69009524D1 (de) | 1994-07-14 |
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| US4999737A (en) | 1991-03-12 |
| EP0385339A3 (en) | 1990-10-17 |
| DE69009524T2 (de) | 1995-01-12 |
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