JPH02229735A - 石英ガラス部材 - Google Patents
石英ガラス部材Info
- Publication number
- JPH02229735A JPH02229735A JP4806089A JP4806089A JPH02229735A JP H02229735 A JPH02229735 A JP H02229735A JP 4806089 A JP4806089 A JP 4806089A JP 4806089 A JP4806089 A JP 4806089A JP H02229735 A JPH02229735 A JP H02229735A
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- JP
- Japan
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- quartz glass
- viscosity
- quartz
- crucible
- impurities
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/06—Other methods of shaping glass by sintering, e.g. by cold isostatic pressing of powders and subsequent sintering, by hot pressing of powders, by sintering slurries or dispersions not undergoing a liquid phase reaction
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/06—Other methods of shaping glass by sintering, e.g. by cold isostatic pressing of powders and subsequent sintering, by hot pressing of powders, by sintering slurries or dispersions not undergoing a liquid phase reaction
- C03B19/066—Other methods of shaping glass by sintering, e.g. by cold isostatic pressing of powders and subsequent sintering, by hot pressing of powders, by sintering slurries or dispersions not undergoing a liquid phase reaction for the production of quartz or fused silica articles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B20/00—Processes specially adapted for the production of quartz or fused silica articles, not otherwise provided for
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は石英ガラス部材、特には含有金属不純物量が少
なく、高温における粘性が高いことがらシリコン半導体
の引上げ用ルツボ、拡散炉耐熱部材などに有用とされる
石英ガラス部材に関するものである。
なく、高温における粘性が高いことがらシリコン半導体
の引上げ用ルツボ、拡散炉耐熱部材などに有用とされる
石英ガラス部材に関するものである。
［従来の技術］
シリコン単結晶の製造はトリクロロシランなどの熱分解
で作った多結晶シリコン棒を高周波コイルを用いてフロ
ーテングゾーン法で単結晶化するＦＺ法、この多結晶体
を石英ルツボ中で溶融し、この融液に種結晶を浸漬し、
引上げて単結晶を得るＣＺ法、このＣＺ法において融液
に磁場を与えて単結晶を引上げるＭＣＺ法によって作ら
れており、このＦＺ法により作られたものは非常に高純
度のものが得られるけれども、ＣＺ法、ＭＣＺ法で作ら
れたものはこの融液を保持する石英ルツボが少量の不純
物を含んだものであることからこの石英ルツボから溶出
したこれらの不純物、例えば＾１， Ｂなどの不純物が
混入するためにその品位が低一中抵抗の部類に属するも
のとなるし、この不純物が引上げ後期に濃縮されるため
に後期の引上げ品はさらに汚染されたものとなり、これ
らの不純物が偏析係数をもつものであるためにこのシリ
コン単結晶は頭部と尾部だけでなく、中心と周辺でも不
均一なものとなり、安定した結晶にならないという不利
がある． またこの汚染はシリコン単結晶引上げ工程だけでなく、
拡散工程でも非常に問題となっており、例えばＢやＰの
拡散を行なうときに、１，０００℃粘度の熱処理によっ
て石英ガラス炉芯管や治具から鉄や銅、ナトリウム、カ
リウム、リチウムなどの遷移金属、アルカリ金属などの
汚染があり、これが素子のノイズ、その他の特性を低下
させる要因となるので、これには拡散する全ての元素を
低く抑えることが必要とされる。
で作った多結晶シリコン棒を高周波コイルを用いてフロ
ーテングゾーン法で単結晶化するＦＺ法、この多結晶体
を石英ルツボ中で溶融し、この融液に種結晶を浸漬し、
引上げて単結晶を得るＣＺ法、このＣＺ法において融液
に磁場を与えて単結晶を引上げるＭＣＺ法によって作ら
れており、このＦＺ法により作られたものは非常に高純
度のものが得られるけれども、ＣＺ法、ＭＣＺ法で作ら
れたものはこの融液を保持する石英ルツボが少量の不純
物を含んだものであることからこの石英ルツボから溶出
したこれらの不純物、例えば＾１， Ｂなどの不純物が
混入するためにその品位が低一中抵抗の部類に属するも
のとなるし、この不純物が引上げ後期に濃縮されるため
に後期の引上げ品はさらに汚染されたものとなり、これ
らの不純物が偏析係数をもつものであるためにこのシリ
コン単結晶は頭部と尾部だけでなく、中心と周辺でも不
均一なものとなり、安定した結晶にならないという不利
がある． またこの汚染はシリコン単結晶引上げ工程だけでなく、
拡散工程でも非常に問題となっており、例えばＢやＰの
拡散を行なうときに、１，０００℃粘度の熱処理によっ
て石英ガラス炉芯管や治具から鉄や銅、ナトリウム、カ
リウム、リチウムなどの遷移金属、アルカリ金属などの
汚染があり、これが素子のノイズ、その他の特性を低下
させる要因となるので、これには拡散する全ての元素を
低く抑えることが必要とされる。
そのため、石英ルツボについては天然水晶を浮遊選鉱法
で精製したのちフツ化水素液中に浸漬し、ついでアルカ
リ金属と銅を飛散させるために長時間溶融してから成形
して、アルカリ金属が０．５ｐｐＩＩ１以下、銅が０．
０３ｐｐｍ以下で、１，ＺＯＯ℃における粘性がｌ０１
２ボイズ以上である石英ガラス部材とするという方法が
提案されており（特開昭５９−１２９４２１号公報参照
）、これについてはまた浮遊選鉱法で精製した天然石英
をアーク溶融でルツボに成形し、１，３００℃の炉内で
ｌＯκＶの直流を通電してアルカリ金属と銅を移動させ
て、アルカリ金属含有量を０．２ｐｐｍ以下、銅の含有
量を０．０２ｐｐｍ以下とし、１，４５０℃における粘
性がｌｏｌＯポイズ以上、１，２００℃における電気抵
抗が１．４ Ｘ １０’Ω・ｍ以上であるようにした石
英ルッポも提案されている（特開昭６０−１３７８９２
号公報参照）． なお、この石英ガラスルツボについてはウエーハの表面
領域の重金属などの不純物や微小欠陥を吸着、消滅させ
る作用を有する酸素をシリコン単結晶中に高濃度に含有
させることのできる石英ルツボとして、内層をＯＨ基含
有量が２００ｐｐｍ以上で１，４００℃の粘性がｌＯａ
Ｎｌ０９ポイズであり、外層をＯ｝１基含有量が１００
ｐｐｍ以下で１，４００℃の粘性が１０１０ボイズ以上
である石英ガラスで構成したものも知られている（特開
昭８１−４４７９３号公報参照）。
で精製したのちフツ化水素液中に浸漬し、ついでアルカ
リ金属と銅を飛散させるために長時間溶融してから成形
して、アルカリ金属が０．５ｐｐＩＩ１以下、銅が０．
０３ｐｐｍ以下で、１，ＺＯＯ℃における粘性がｌ０１
２ボイズ以上である石英ガラス部材とするという方法が
提案されており（特開昭５９−１２９４２１号公報参照
）、これについてはまた浮遊選鉱法で精製した天然石英
をアーク溶融でルツボに成形し、１，３００℃の炉内で
ｌＯκＶの直流を通電してアルカリ金属と銅を移動させ
て、アルカリ金属含有量を０．２ｐｐｍ以下、銅の含有
量を０．０２ｐｐｍ以下とし、１，４５０℃における粘
性がｌｏｌＯポイズ以上、１，２００℃における電気抵
抗が１．４ Ｘ １０’Ω・ｍ以上であるようにした石
英ルッポも提案されている（特開昭６０−１３７８９２
号公報参照）． なお、この石英ガラスルツボについてはウエーハの表面
領域の重金属などの不純物や微小欠陥を吸着、消滅させ
る作用を有する酸素をシリコン単結晶中に高濃度に含有
させることのできる石英ルツボとして、内層をＯＨ基含
有量が２００ｐｐｍ以上で１，４００℃の粘性がｌＯａ
Ｎｌ０９ポイズであり、外層をＯ｝１基含有量が１００
ｐｐｍ以下で１，４００℃の粘性が１０１０ボイズ以上
である石英ガラスで構成したものも知られている（特開
昭８１−４４７９３号公報参照）。
［発明が解決しようとする課題コ
しかし、上記した特開昭５９−１２９４２１号公報、特
開昭６０−１３７８９２号公報に開示されている石英ガ
ラス部材はいずれも天然石英を始発材とするものである
し、これはアルカリ金属および銅の含有量を低下させる
ために長時間溶融するか、電気分解をするのであるが、
天然石英中に相当量含有されている＾Ｒ， Ｔｉ， Ｚ
ｒ， Ｂ， Ｐなどは拡散速度が遅いためにこのような
方法では除去することができず、これらの金属不純物の
除去は不可能なものとされているが、シリコン単結晶の
引上げにはこれらの不純物除去も必要とされることから
、この対策が望まれている。
開昭６０−１３７８９２号公報に開示されている石英ガ
ラス部材はいずれも天然石英を始発材とするものである
し、これはアルカリ金属および銅の含有量を低下させる
ために長時間溶融するか、電気分解をするのであるが、
天然石英中に相当量含有されている＾Ｒ， Ｔｉ， Ｚ
ｒ， Ｂ， Ｐなどは拡散速度が遅いためにこのような
方法では除去することができず、これらの金属不純物の
除去は不可能なものとされているが、シリコン単結晶の
引上げにはこれらの不純物除去も必要とされることから
、この対策が望まれている。
［課題を解決するための手段］
本発明はこのような不利を解決した石英ガラス部材に関
するものであり、これはアルコキシシランを強塩基性触
媒、例えばアンモニアのもとで加水分解して得たシリカ
を加熱焼結して得た、含有金属不純物量が （単位ｐｐｍ） である合成石英ガラスを成形加工してなる、１，４００
℃における粘度が１０１０ボイズ以上であることを特徴
とするものである。
するものであり、これはアルコキシシランを強塩基性触
媒、例えばアンモニアのもとで加水分解して得たシリカ
を加熱焼結して得た、含有金属不純物量が （単位ｐｐｍ） である合成石英ガラスを成形加工してなる、１，４００
℃における粘度が１０１０ボイズ以上であることを特徴
とするものである。
すなわち、本発明者らは金属不純物含量が少なく、高温
における粘性も高い合成石英ガラス部材を開発すべく種
々検討した結果、アルコキシシランを強塩基のもとで加
水分解して得たシリカを加熱溶融して得た石英ガラスは
八１が１ ｐｐｍ以下、Ｆｅ， Ｎａ． Ｋ ， Ｃａ
がそれぞれ０．２ｐｐｍ以下、Ｔｉが０．０２１１ｐ１
以下、Ｌｉ， Ｂ． Ｐ． Ａｓがそれぞれ０．０１ｐ
ｐｍ以下という純度の高いものとなり、１．４００℃に
おける粘性がｌ０１０ボイズ以上になるということを見
出し、この製造方法および成形加工法についての研究を
進めて本発明を完成させた。
における粘性も高い合成石英ガラス部材を開発すべく種
々検討した結果、アルコキシシランを強塩基のもとで加
水分解して得たシリカを加熱溶融して得た石英ガラスは
八１が１ ｐｐｍ以下、Ｆｅ， Ｎａ． Ｋ ， Ｃａ
がそれぞれ０．２ｐｐｍ以下、Ｔｉが０．０２１１ｐ１
以下、Ｌｉ， Ｂ． Ｐ． Ａｓがそれぞれ０．０１ｐ
ｐｍ以下という純度の高いものとなり、１．４００℃に
おける粘性がｌ０１０ボイズ以上になるということを見
出し、この製造方法および成形加工法についての研究を
進めて本発明を完成させた。
［作 用］
本発明の石英ガラス部材は上記したようにアルコキシシ
ランを強塩基性触媒のもとで加水分解して得たシリカを
加熱焼結して石英ガラスを作り、これを成形加工してな
るものであるが、このアルコキシシランとしてはテトラ
メトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラブロボ
キシシラン、テトラブトキシシラン、メトキシトリエト
キシシラン、ジメトキシジエトキシシラン、トリメトキ
シエトキシシランなどが例示されるが、加水分解反応性
、人手のし易さ、価格の点からはテトラメトキシシラン
、テトラエトキシシランが好ましいものとされる。
ランを強塩基性触媒のもとで加水分解して得たシリカを
加熱焼結して石英ガラスを作り、これを成形加工してな
るものであるが、このアルコキシシランとしてはテトラ
メトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラブロボ
キシシラン、テトラブトキシシラン、メトキシトリエト
キシシラン、ジメトキシジエトキシシラン、トリメトキ
シエトキシシランなどが例示されるが、加水分解反応性
、人手のし易さ、価格の点からはテトラメトキシシラン
、テトラエトキシシランが好ましいものとされる。
このアルコキシシランの加水分解は蒸留水に例えば２９
１！量％のアンモニア水を添加した強アルカリ性の水を
適温に保持し、これに蒸留などで充分精製したアルコキ
シシランを滴下すればよいが、この加水分解を中性また
は酸性下に行なうと目的とする石英ガラスが粘性の低い
ものとなるのでこれは強塩基性のものとすることが必要
とされる。
１！量％のアンモニア水を添加した強アルカリ性の水を
適温に保持し、これに蒸留などで充分精製したアルコキ
シシランを滴下すればよいが、この加水分解を中性また
は酸性下に行なうと目的とする石英ガラスが粘性の低い
ものとなるのでこれは強塩基性のものとすることが必要
とされる。
この加水分解によりアルコキシシランはシリカ球状粒子
となり、これを空気中で３００〜ｔ，ｏｏｏ ｔ：に加
熱し、脱炭後，１，５００〜２，０００℃で焼結して石
英ガラスとする。
となり、これを空気中で３００〜ｔ，ｏｏｏ ｔ：に加
熱し、脱炭後，１，５００〜２，０００℃で焼結して石
英ガラスとする。
このようにして得られた石英ガラスは始発材としてのア
ルコキシシランが充分精製されたものであるので非常に
純度が高く、これは例えば＾ｌが１ ｐｐｍ以下、Ｆｅ
， Ｎａ， Ｋ， Ｃａがそれぞれ０．２ｐｐｍ以下、
Ｔｉが０．０２ｐｐｍ以下、Ｌｉ， Ｂ． Ｐ．＾Ｓが
それぞれ０．０１ｐｐｍ以下のものとなっているし、こ
の粘性も１，４００℃における粘度が１０Ｉ０ボイズ以
上のものとなる． また、これを粉砕し、粘度を調整してから回転アーク炎
により焼結すればルッポとなるが、このようにして作ら
れたルッポを使用すれば高品位のシリコンをＣｚ法でも
容易に得ることができるし、このルツボなとは１，４０
０℃で１０１０ポイズ以上の粘性をもっているのでこれ
をシリコンの溶融引上げに使用してもシリコンの物性が
低下することがないという有利性が与えられる． ［実施例］ つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。
ルコキシシランが充分精製されたものであるので非常に
純度が高く、これは例えば＾ｌが１ ｐｐｍ以下、Ｆｅ
， Ｎａ， Ｋ， Ｃａがそれぞれ０．２ｐｐｍ以下、
Ｔｉが０．０２ｐｐｍ以下、Ｌｉ， Ｂ． Ｐ．＾Ｓが
それぞれ０．０１ｐｐｍ以下のものとなっているし、こ
の粘性も１，４００℃における粘度が１０Ｉ０ボイズ以
上のものとなる． また、これを粉砕し、粘度を調整してから回転アーク炎
により焼結すればルッポとなるが、このようにして作ら
れたルッポを使用すれば高品位のシリコンをＣｚ法でも
容易に得ることができるし、このルツボなとは１，４０
０℃で１０１０ポイズ以上の粘性をもっているのでこれ
をシリコンの溶融引上げに使用してもシリコンの物性が
低下することがないという有利性が与えられる． ［実施例］ つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。
実施例、比較例
５００１のパイレックス製フラスコに２９重量％のＮｌ
＋４０｝１ １５０ ｕと超純水５０ｊＺを入れて０℃
に冷却し、これに蒸留精製したテトラメトキシシラン２
６５ ！Ｌを滴下して加水分解させ、得られたシリカを
遠心脱水器で捕集し、１，２００℃まで空気中で２０時
間昇温し、その後１，７００℃まで６時間で昇温しで焼
結させた。
＋４０｝１ １５０ ｕと超純水５０ｊＺを入れて０℃
に冷却し、これに蒸留精製したテトラメトキシシラン２
６５ ！Ｌを滴下して加水分解させ、得られたシリカを
遠心脱水器で捕集し、１，２００℃まで空気中で２０時
間昇温し、その後１，７００℃まで６時間で昇温しで焼
結させた。
ついでこれを粉砕後、５０〜２ａＯ＃に篩別し、ＨＣＩ
！，ＨＦで酸処理したのち、アーク炎による回転溶融装
置によって１６インチ（外径４０６ ｍｏ＋φ）の石英
ルツボを成形した（このルツボをルツボＡと略記する、
実施例）。
！，ＨＦで酸処理したのち、アーク炎による回転溶融装
置によって１６インチ（外径４０６ ｍｏ＋φ）の石英
ルツボを成形した（このルツボをルツボＡと略記する、
実施例）。
また、比較のために前記した特開昭６０−１３７８９２
号公報の実施例１によって天然石英からの石英ルッポ（
以下これをルツボＢと略記する、比較例１）を作ると共
に、前記した特開昭６１−４４７９３号公報の実施例１
に記載の方法で水晶粉から石英ルツボ（以下これをルツ
ボＣと略記する、比較例２）を作った。
号公報の実施例１によって天然石英からの石英ルッポ（
以下これをルツボＢと略記する、比較例１）を作ると共
に、前記した特開昭６１−４４７９３号公報の実施例１
に記載の方法で水晶粉から石英ルツボ（以下これをルツ
ボＣと略記する、比較例２）を作った。
つぎにこれらのルツボＡ，Ｂ，Ｃをシリコン単結晶引上
炉に設置し、これに８０ｋｇの多結晶シリコンを入れて
溶融してから、これにドーブ剤としてのＰを含んだ多結
晶シリコンまたはＢを含んだ多結晶シリコンを規定量添
加し、これから５インチのシリコン単結晶を引上げたと
ころ、ルツボＡ，Ｂを使用したときには９０ｃｍの引上
げが可能であったがルツボＣを使用したときには４０Ｃ
ＩＬ／か引上げることができなかった．これらのルッポ
の化学分析値、１，４００℃における粘度、０■基含有
量は第１表に示したとおりであり、このようにして得ら
れたＢドープ単結晶、Ｐドーブ単結晶の引上げ軸方向お
よびウエーハ内面の比抵抗均一性については第２表に示
したとおりの結果が得られ、ルツボＡを使用した場合は
いずれについてもすぐれた結果を与えた。
炉に設置し、これに８０ｋｇの多結晶シリコンを入れて
溶融してから、これにドーブ剤としてのＰを含んだ多結
晶シリコンまたはＢを含んだ多結晶シリコンを規定量添
加し、これから５インチのシリコン単結晶を引上げたと
ころ、ルツボＡ，Ｂを使用したときには９０ｃｍの引上
げが可能であったがルツボＣを使用したときには４０Ｃ
ＩＬ／か引上げることができなかった．これらのルッポ
の化学分析値、１，４００℃における粘度、０■基含有
量は第１表に示したとおりであり、このようにして得ら
れたＢドープ単結晶、Ｐドーブ単結晶の引上げ軸方向お
よびウエーハ内面の比抵抗均一性については第２表に示
したとおりの結果が得られ、ルツボＡを使用した場合は
いずれについてもすぐれた結果を与えた。
第
表
（註）傘３ 比抵抗設定値１００Ω・ＣＩｌ＊４ 比抵
抗設定値 ４０Ω・Ｃｌ ［発明の効果］ 本発明の石英ガラス部材はアルコキシシランを高アルカ
リのもとで加水分解して得たシリカを加熱溶融して得た
含有金属不純物が少なく、１，４００℃における粘度が
１０１０ポイズ以上であるものであるが、このものは＾
１， Ｆｅ， Ｎａ， Ｋ，Ｌｉ， Ｃａ， ＴＩ，
Ｂ ， Ｐ ，＾Ｓなどの含有量が少なく、１，４００
℃での粘度も高いので、特に高品位のシリコン半導体の
製造、ドーピングにおいても極微量のドーブによって高
抵抗の半導体を与えることができるし、不純物が原因の
ストリエーションや欠陥が減少するので歩留り高く半導
体製品を与えることができるという有利性が与えられる
．２． ３． ４． 手続補正書 平成１年 ４月２４日 平成１年特許願第４８０６０号 発明の名称 石英ガラス部材 補正をする者 事件との関係 特許出願人
抗設定値 ４０Ω・Ｃｌ ［発明の効果］ 本発明の石英ガラス部材はアルコキシシランを高アルカ
リのもとで加水分解して得たシリカを加熱溶融して得た
含有金属不純物が少なく、１，４００℃における粘度が
１０１０ポイズ以上であるものであるが、このものは＾
１， Ｆｅ， Ｎａ， Ｋ，Ｌｉ， Ｃａ， ＴＩ，
Ｂ ， Ｐ ，＾Ｓなどの含有量が少なく、１，４００
℃での粘度も高いので、特に高品位のシリコン半導体の
製造、ドーピングにおいても極微量のドーブによって高
抵抗の半導体を与えることができるし、不純物が原因の
ストリエーションや欠陥が減少するので歩留り高く半導
体製品を与えることができるという有利性が与えられる
．２． ３． ４． 手続補正書 平成１年 ４月２４日 平成１年特許願第４８０６０号 発明の名称 石英ガラス部材 補正をする者 事件との関係 特許出願人
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、アルコキシシランを強塩基性触媒のもとで加水分解
して得たシリカを加熱焼結して得た、含有金属不純物量
が ▲数式、化学式、表等があります▼ である合成石英ガラスを成形加工してなる、１，４００
℃における粘度が１０＾１＾０ポイズ以上であることを
特徴とする石英ガラス部材。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4806089A JPH02229735A (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 石英ガラス部材 |
| US07/485,954 US5141786A (en) | 1989-02-28 | 1990-02-27 | Synthetic silica glass articles and a method for manufacturing them |
| EP19900302137 EP0385753A3 (en) | 1989-02-28 | 1990-02-28 | Synthetic silica glass articles and a method for manufacturing them |
| US07/862,799 US5302556A (en) | 1989-02-28 | 1992-04-03 | Synthetic silica glass articles and a method for manufacturing them |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4806089A JPH02229735A (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 石英ガラス部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02229735A true JPH02229735A (ja) | 1990-09-12 |
| JPH0531509B2 JPH0531509B2 (ja) | 1993-05-12 |
Family
ID=12792802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4806089A Granted JPH02229735A (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 石英ガラス部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02229735A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0394843A (ja) * | 1989-09-04 | 1991-04-19 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 合成石英ガラスるつぼおよびその製造方法 |
| JP2014514229A (ja) * | 2011-02-22 | 2014-06-19 | エボニック デグサ ゲーエムベーハー | 石英ガラス適用のための高純度シリカ顆粒並びにその製造法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS599497A (ja) * | 1982-06-23 | 1984-01-18 | ヴアレオ | 板の上に少くとも１つのチユ−ブを組立てる方法とこの方法を実施するための装置 |
| JPS60137892A (ja) * | 1983-12-26 | 1985-07-22 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラスルツボ |
| JPS60226418A (ja) * | 1984-04-20 | 1985-11-11 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 石英ガラス塊の製造方法 |
| JPS6191024A (ja) * | 1984-10-05 | 1986-05-09 | Seiko Epson Corp | 円筒状シリカ系ガラスの製造方法 |
| JPS6296388A (ja) * | 1985-10-23 | 1987-05-02 | Toshiba Ceramics Co Ltd | シリコン単結晶引上用石英ガラスルツボ |
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