JPH02235211A - 垂直磁化記録用ヘッドの製造方法 - Google Patents
垂直磁化記録用ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH02235211A JPH02235211A JP5367889A JP5367889A JPH02235211A JP H02235211 A JPH02235211 A JP H02235211A JP 5367889 A JP5367889 A JP 5367889A JP 5367889 A JP5367889 A JP 5367889A JP H02235211 A JPH02235211 A JP H02235211A
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- JP
- Japan
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- main pole
- plating
- layer
- recording head
- coil
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
磁気記録に垂直磁化を用いる磁気記録装置用の垂直磁化
記録用ヘッドの製造方法に関し、製造コストの低減を目
的とし、 軟磁性膜と非磁性膜を交互に重ねた多層膜で主磁極を構
成し、コイルを銅めっきにより形成す．る垂直磁化記録
用ヘッドの製造方法において、上記主磁極を構成する膜
の少なくとも一層をコイルのめっき下地に使用し、かつ
主磁極の最上層を主磁極盛上げ層のめっき下地として使
用するように構成する。
記録用ヘッドの製造方法に関し、製造コストの低減を目
的とし、 軟磁性膜と非磁性膜を交互に重ねた多層膜で主磁極を構
成し、コイルを銅めっきにより形成す．る垂直磁化記録
用ヘッドの製造方法において、上記主磁極を構成する膜
の少なくとも一層をコイルのめっき下地に使用し、かつ
主磁極の最上層を主磁極盛上げ層のめっき下地として使
用するように構成する。
本発明は磁気記録に垂直磁化を用いる磁気記録装置用の
垂直磁化記録用ヘッドの製造方法に関する。
垂直磁化記録用ヘッドの製造方法に関する。
近年、磁気記録は、その高密度が進んでいる。
これに伴って従来から採用されている水平磁化記録に比
べて高密度記録に適した垂直磁化記録の開発研究が行な
われている。
べて高密度記録に適した垂直磁化記録の開発研究が行な
われている。
従来の垂直磁化記録用ヘッドは高密度化する上で、■ト
ラック幅を挾める。■Ｈｃが大きな記録媒体に記録する
のに十分大きなＢｓを有する磁極材料を使用する。■磁
極の先端の磁化容易軸を記録面と平行にすることで透磁
率を小さくし高周波特性を良好にする。等の条件を満足
するため多層膜からなる主磁極を用いている。このよう
な垂直磁化記録用ヘッドの概略断面を第２図に示す。同
図において１は磁路の一部を構成するリターンヨークで
、通常フエライトからなる。２は中間層に二酸化ケイ素
、チタン等の非磁性中間層と交互に積８シｆ．：アモル
ファス・コバルト・ジルコニウム系の多層磁性膜からな
る主磁極、３は主磁極とリターンヨーク１とを隔絶する
ためのガラスなどからなる非磁性充填部、４はパーマロ
イ等で構成する主磁極盛り上げ層、５は銅などでなるコ
イル、６はアルミナ等からなる保護膜、７は加熱硬化さ
せた感光性樹脂等からなる絶縁層である。
ラック幅を挾める。■Ｈｃが大きな記録媒体に記録する
のに十分大きなＢｓを有する磁極材料を使用する。■磁
極の先端の磁化容易軸を記録面と平行にすることで透磁
率を小さくし高周波特性を良好にする。等の条件を満足
するため多層膜からなる主磁極を用いている。このよう
な垂直磁化記録用ヘッドの概略断面を第２図に示す。同
図において１は磁路の一部を構成するリターンヨークで
、通常フエライトからなる。２は中間層に二酸化ケイ素
、チタン等の非磁性中間層と交互に積８シｆ．：アモル
ファス・コバルト・ジルコニウム系の多層磁性膜からな
る主磁極、３は主磁極とリターンヨーク１とを隔絶する
ためのガラスなどからなる非磁性充填部、４はパーマロ
イ等で構成する主磁極盛り上げ層、５は銅などでなるコ
イル、６はアルミナ等からなる保護膜、７は加熱硬化さ
せた感光性樹脂等からなる絶縁層である。
ここで、コイル５は銅めっき下地８の上に銅をめっきす
ることにより作られる。また主磁極盛り上げ層４も同様
に、パーマロイめっき下地９の上にパーマロイをめっき
することにより作られる。
ることにより作られる。また主磁極盛り上げ層４も同様
に、パーマロイめっき下地９の上にパーマロイをめっき
することにより作られる。
従来の多層主磁極使用の垂直磁化記録用ヘッドの製造方
法を第゜３図により説明する。先ず、（ａ）図ｊこ示す
ように、溝部にガラス３を埋め込んだ基板１を用意し、
その基板の上に感光性樹脂膜を塗布後に、露光及び現像
することによりパターン整形し、更に加熱硬化させるこ
とにより絶縁層７を形成する。次に（ｂ）図に示すよう
に、コイルをめっき方法にて形作るためのめっき下地８
を蒸着等の方法により形成する。次にその上に（Ｃ）図
に示すようにコイルめっき用の枠１０を感光性樹脂を塗
布して露光及び現像すうことにより形成する。次に（ｄ
）図に示すように銅等をめっきすることでコイル５を形
成し、めっき枠の除去及びコイル以外の部分のめっき下
地を除去する。次に、（ｅ）図に示すようにコイル５を
覆う絶縁層パターン１１を形成し、その上に多層磁極膜
１２を形成する。更に、（ｆ）図に示すようにアルミナ
または石英からなる主磁極保護パターン１３を形成した
後、主磁極盛上げ層をめっきするためのパーマロイ等か
らなるめっき下地９を形成する。次に（ｇ）図に示すよ
うに主磁極盛上げ層をめっきするためのめっき枠１４を
形成する。このめっき枠は感光性樹脂を塗布後に露光及
び現像することで形成する。次に（ｈ）図に示すように
主磁極盛上げ層４をめっきにて形成し、めっき枠および
余分なめっき下地を除去し、さらに加工保護膜（図示省
略）を形成した後Ａ−Ａ’線より切断して主磁極層の余
分な部分を除去して完成する。
法を第゜３図により説明する。先ず、（ａ）図ｊこ示す
ように、溝部にガラス３を埋め込んだ基板１を用意し、
その基板の上に感光性樹脂膜を塗布後に、露光及び現像
することによりパターン整形し、更に加熱硬化させるこ
とにより絶縁層７を形成する。次に（ｂ）図に示すよう
に、コイルをめっき方法にて形作るためのめっき下地８
を蒸着等の方法により形成する。次にその上に（Ｃ）図
に示すようにコイルめっき用の枠１０を感光性樹脂を塗
布して露光及び現像すうことにより形成する。次に（ｄ
）図に示すように銅等をめっきすることでコイル５を形
成し、めっき枠の除去及びコイル以外の部分のめっき下
地を除去する。次に、（ｅ）図に示すようにコイル５を
覆う絶縁層パターン１１を形成し、その上に多層磁極膜
１２を形成する。更に、（ｆ）図に示すようにアルミナ
または石英からなる主磁極保護パターン１３を形成した
後、主磁極盛上げ層をめっきするためのパーマロイ等か
らなるめっき下地９を形成する。次に（ｇ）図に示すよ
うに主磁極盛上げ層をめっきするためのめっき枠１４を
形成する。このめっき枠は感光性樹脂を塗布後に露光及
び現像することで形成する。次に（ｈ）図に示すように
主磁極盛上げ層４をめっきにて形成し、めっき枠および
余分なめっき下地を除去し、さらに加工保護膜（図示省
略）を形成した後Ａ−Ａ’線より切断して主磁極層の余
分な部分を除去して完成する。
以上の様な垂直磁化記録用ヘッドの製造方法においては
、コイル５形成および主磁極盛上げ層４形成の際にそれ
ぞれのめっき下地形成工程が必要であり、完成までに長
時間を要し、製造コストが高くつくという問題があった
。
、コイル５形成および主磁極盛上げ層４形成の際にそれ
ぞれのめっき下地形成工程が必要であり、完成までに長
時間を要し、製造コストが高くつくという問題があった
。
本発明は上記従来の問題点に鑑み、製造コストを低減し
た垂直磁化記録用ヘッドの製造方法を提供することを目
的とする。
た垂直磁化記録用ヘッドの製造方法を提供することを目
的とする。
上記目的を達成するために、本発明の垂直磁化記録用ヘ
ッドの製造方法においては、軟磁性膜と非磁性膜を交互
に重ねた多層膜で主磁極を構成し、コイルを銅めっきに
より形成する垂直磁化記録用ヘッドの製造方法において
、上記主磁極を構成する膜の少なくとも一層をコイル５
のめっき下地に使用し、かつ主磁極の最上層を主磁極盛
上げ層４のめっき下地として使用することを特徴とする
。
ッドの製造方法においては、軟磁性膜と非磁性膜を交互
に重ねた多層膜で主磁極を構成し、コイルを銅めっきに
より形成する垂直磁化記録用ヘッドの製造方法において
、上記主磁極を構成する膜の少なくとも一層をコイル５
のめっき下地に使用し、かつ主磁極の最上層を主磁極盛
上げ層４のめっき下地として使用することを特徴とする
。
主磁極を構成する多層磁性膜をコイル５および主磁極盛
土層４のめっき下地に利用することにより、それぞれの
めっき下地を別途形成する工程が不要となり、製造工程
が簡単化され製造コストの低減が可能となる。
土層４のめっき下地に利用することにより、それぞれの
めっき下地を別途形成する工程が不要となり、製造工程
が簡単化され製造コストの低減が可能となる。
第１図（ａ）乃至（ｇ）に本発明の実施例の製造工程を
示す。
示す。
本実施例は先ず（ａ）図に示すように、溝部にガラス３
を埋め込んだ基板１の上に、感光性樹脂膜を塗布・露光
・現像した後加熱硬化させて絶縁層７を形成する。次に
（ｂ）図に示すように、基板１及び絶縁層７の上に主磁
極を構成する多層膜の一部の層１５を形成する。次いで
（Ｃ）図に示すように、コイルめっき用の枠１０を感光
性樹脂を塗布・露光・現像することにより形成する。次
に（ｄ）図に示すように、枠１０の底部に露出した多層
膜の一部の層１５を下地にして銅めっきを行ってコイル
５を形成した後、めっき枠１０を除去すると共に主磁極
先端を構成すべき主磁極多層膜ｌ５の一部を残し、それ
以外の領域の多層膜を除去する。次いで（ｅ）図に示す
ようにコイル５を覆う絶縁パターン１１を形成後主磁極
多層膜の残りの層１６を成膜する。次に（ｆ）図に示す
ように、主磁極保護パターン１３を形成後主磁極盛上げ
層を形成するためのめっき枠１４を感光性樹脂にて塗布
・露光・現像して形成する。次に（ｇ）図に示すように
、主磁極盛上げ層４をめっきにより形成した後、めっき
枠１４および余分な多層膜の除去を行ない、更に図示し
ない加工保護膜を形成後Ａ，Ａ’線より切断して完成す
る。
を埋め込んだ基板１の上に、感光性樹脂膜を塗布・露光
・現像した後加熱硬化させて絶縁層７を形成する。次に
（ｂ）図に示すように、基板１及び絶縁層７の上に主磁
極を構成する多層膜の一部の層１５を形成する。次いで
（Ｃ）図に示すように、コイルめっき用の枠１０を感光
性樹脂を塗布・露光・現像することにより形成する。次
に（ｄ）図に示すように、枠１０の底部に露出した多層
膜の一部の層１５を下地にして銅めっきを行ってコイル
５を形成した後、めっき枠１０を除去すると共に主磁極
先端を構成すべき主磁極多層膜ｌ５の一部を残し、それ
以外の領域の多層膜を除去する。次いで（ｅ）図に示す
ようにコイル５を覆う絶縁パターン１１を形成後主磁極
多層膜の残りの層１６を成膜する。次に（ｆ）図に示す
ように、主磁極保護パターン１３を形成後主磁極盛上げ
層を形成するためのめっき枠１４を感光性樹脂にて塗布
・露光・現像して形成する。次に（ｇ）図に示すように
、主磁極盛上げ層４をめっきにより形成した後、めっき
枠１４および余分な多層膜の除去を行ない、更に図示し
ない加工保護膜を形成後Ａ，Ａ’線より切断して完成す
る。
以上の本実施例によれば、従来例として説明した第３図
（ｂ）のコイル形成用銅めっきの下地８の形成及び第３
図（ｆ）の主磁極盛上げ層めっき用の下地９の形成の２
工程を削除できるので製造工程の簡略化が実現できる。
（ｂ）のコイル形成用銅めっきの下地８の形成及び第３
図（ｆ）の主磁極盛上げ層めっき用の下地９の形成の２
工程を削除できるので製造工程の簡略化が実現できる。
以上説明した様に、本発明によれば、コイルおよび主磁
極盛上げ層の形成のためのめっき下地を主磁極多層膜の
一部を使用するので、それぞれのめっき下地を別途形成
する必要がなくなり、ヘッド製造工程の短縮がなされる
。
極盛上げ層の形成のためのめっき下地を主磁極多層膜の
一部を使用するので、それぞれのめっき下地を別途形成
する必要がなくなり、ヘッド製造工程の短縮がなされる
。
従って、従来製法に比べ製造コストを低減できる。
第１図は本発明の実施例の製造工程を示す図、第２図は
従来の垂直磁化記録用ヘッドを示す断面図、 第３図は従来の垂直磁化記録用ヘッドの製造工程を示す
図である。 図において、 １は基板（リターンヨーク）、 ３はガラス、 ４は主磁極盛上げ層、 ５はコイル、 ７は絶縁層、 １０．１４はめっき枠、 １３は主磁極保護パターン、 １５は主磁極多層膜の一部の層、 １６は主磁極多層膜の残りの層 を示す。
従来の垂直磁化記録用ヘッドを示す断面図、 第３図は従来の垂直磁化記録用ヘッドの製造工程を示す
図である。 図において、 １は基板（リターンヨーク）、 ３はガラス、 ４は主磁極盛上げ層、 ５はコイル、 ７は絶縁層、 １０．１４はめっき枠、 １３は主磁極保護パターン、 １５は主磁極多層膜の一部の層、 １６は主磁極多層膜の残りの層 を示す。
Claims (1)
- １、軟磁性膜と非磁性膜を交互に重ねた多層膜で主磁極
を構成し、コイルを銅めっきにより形成する垂直磁化記
録用ヘッドの製造方法において、上記主磁極を構成する
膜の少なくとも一層をコイル（５）のめっき下地に使用
し、かつ主磁極の最上層を主磁極盛上げ層（４）のめっ
き下地として使用することを特徴とする垂直磁化記録用
ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5367889A JPH02235211A (ja) | 1989-03-08 | 1989-03-08 | 垂直磁化記録用ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5367889A JPH02235211A (ja) | 1989-03-08 | 1989-03-08 | 垂直磁化記録用ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02235211A true JPH02235211A (ja) | 1990-09-18 |
Family
ID=12949480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5367889A Pending JPH02235211A (ja) | 1989-03-08 | 1989-03-08 | 垂直磁化記録用ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02235211A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6721131B2 (en) * | 2001-03-15 | 2004-04-13 | Seagate Technology Llc | Composite write pole for a magnetic recording head |
| US6771464B2 (en) * | 2001-10-19 | 2004-08-03 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording head with a laminated main write pole |
| US8619389B1 (en) | 2013-02-26 | 2013-12-31 | Tdk Corporation | Magnetic head for perpendicular magnetic recording having a write shield |
| US8817418B1 (en) | 2013-08-15 | 2014-08-26 | Tdk Corporation | Magnetic head for perpendicular magnetic recording having a write shield |
| US8867168B2 (en) | 2012-12-07 | 2014-10-21 | Tdk Corporation | Magnetic head for perpendicular magnetic recording having a write shield |
-
1989
- 1989-03-08 JP JP5367889A patent/JPH02235211A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6721131B2 (en) * | 2001-03-15 | 2004-04-13 | Seagate Technology Llc | Composite write pole for a magnetic recording head |
| US6771464B2 (en) * | 2001-10-19 | 2004-08-03 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording head with a laminated main write pole |
| US8867168B2 (en) | 2012-12-07 | 2014-10-21 | Tdk Corporation | Magnetic head for perpendicular magnetic recording having a write shield |
| US8619389B1 (en) | 2013-02-26 | 2013-12-31 | Tdk Corporation | Magnetic head for perpendicular magnetic recording having a write shield |
| US8817418B1 (en) | 2013-08-15 | 2014-08-26 | Tdk Corporation | Magnetic head for perpendicular magnetic recording having a write shield |
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