JPH02239116A - 超電導物品の製造方法 - Google Patents
超電導物品の製造方法Info
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- JPH02239116A JPH02239116A JP1060460A JP6046089A JPH02239116A JP H02239116 A JPH02239116 A JP H02239116A JP 1060460 A JP1060460 A JP 1060460A JP 6046089 A JP6046089 A JP 6046089A JP H02239116 A JPH02239116 A JP H02239116A
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N60/00—Superconducting devices
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- H10N60/0268—Manufacture or treatment of devices comprising copper oxide
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- H—ELECTRICITY
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- H10N60/80—Constructional details
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- H10N60/855—Ceramic superconductors
- H10N60/857—Ceramic superconductors comprising copper oxide
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、超電導物品の製造方法,特に、高い臨界電
流密度(以下、単にJcという) を得ることができる
、超電導物品の製造方法に関するものである。
流密度(以下、単にJcという) を得ることができる
、超電導物品の製造方法に関するものである。
[従来の技術コ
超電導材は、粒子加速器、医療診断器具等において,超
電導磁石の形で既に実用化されている。
電導磁石の形で既に実用化されている。
また、超電導材は、発電機、エネルギー貯蔵装置、リニ
アモーターカー.m気選別機,核融合炉、送電ケーブル
、磁気遮蔽器等への応用が期待されている。更に、ジョ
セフソン効果を利用した超電導素子は、超高速コンピュ
ーター,赤外線センサー低雑音増幅器等への応用が期待
されており、これらが本格的に実用化された場合の産業
的、社会的インパクトの大きさは、未だ偏りがたい。
アモーターカー.m気選別機,核融合炉、送電ケーブル
、磁気遮蔽器等への応用が期待されている。更に、ジョ
セフソン効果を利用した超電導素子は、超高速コンピュ
ーター,赤外線センサー低雑音増幅器等への応用が期待
されており、これらが本格的に実用化された場合の産業
的、社会的インパクトの大きさは、未だ偏りがたい。
これまでに開発された超電導材の代表的なものの1つと
して.Nb−Ti合金がある。これは、現在、磁界発生
用線材として広く実用に供されている。Nb−Ti合金
の臨界温度(即ち、超電導状態が生じる臨界温度)(以
下、Tcという)は、 9Kである。また、Nb−Ti
合金よりも格段に高いTeを有する超電導材として化合
物系超電導材が開発され、現在、Nb3S n(Tc
: 1 8 K)とV,Ga(Tc:15K) が線
材化され実用に供せられている。
して.Nb−Ti合金がある。これは、現在、磁界発生
用線材として広く実用に供されている。Nb−Ti合金
の臨界温度(即ち、超電導状態が生じる臨界温度)(以
下、Tcという)は、 9Kである。また、Nb−Ti
合金よりも格段に高いTeを有する超電導材として化合
物系超電導材が開発され、現在、Nb3S n(Tc
: 1 8 K)とV,Ga(Tc:15K) が線
材化され実用に供せられている。
近年,上述した、合金系および化合物系の超電導材より
もさらに高い.Tcを有する超電導材として、CuxO
y基を含む複合酸化物超電導材が開発された。例えば、
Y−Ba−Cu−0系の超電導材のTcは、約93Kで
ある。液体窒素の温度は,77Kであるから、複合酸化
物超電導材については、液体ヘリウムより安価な液体窒
素を冷却材として使用することができる。液体窒素温度
で使用可能な高温超電導材料の発見は、前述した応用分
野への期待度を増々高めるものであるが、実際の応用化
に当っては、超電導材を皮膜化および線材化することは
勿論、 このような超電導物品のJcをいかにして高め
るかが問題となる. Jcを高くするには、超電導皮膜の組織を緻密にし,且
つ,超電導皮膜を超電導相単相にする必要がある。
もさらに高い.Tcを有する超電導材として、CuxO
y基を含む複合酸化物超電導材が開発された。例えば、
Y−Ba−Cu−0系の超電導材のTcは、約93Kで
ある。液体窒素の温度は,77Kであるから、複合酸化
物超電導材については、液体ヘリウムより安価な液体窒
素を冷却材として使用することができる。液体窒素温度
で使用可能な高温超電導材料の発見は、前述した応用分
野への期待度を増々高めるものであるが、実際の応用化
に当っては、超電導材を皮膜化および線材化することは
勿論、 このような超電導物品のJcをいかにして高め
るかが問題となる. Jcを高くするには、超電導皮膜の組織を緻密にし,且
つ,超電導皮膜を超電導相単相にする必要がある。
従来、上述した目的を達成するために、以下に述べる、
超電導物品の製造方法が、1988年8月に発行サレタ
rJAPANESE JOURNAL OF APPL
IEDPHYSICSJ VOL。27, Na8
(以下、先行技術ト云ウ)に開示されている。以下、先
行技術を図面を参照しながら説明する。
超電導物品の製造方法が、1988年8月に発行サレタ
rJAPANESE JOURNAL OF APPL
IEDPHYSICSJ VOL。27, Na8
(以下、先行技術ト云ウ)に開示されている。以下、先
行技術を図面を参照しながら説明する。
先づ,粉末焼結法によって、Y2BaCuOxの第1層
を形成する。次いで.BaとCuとの割合がモル比で3
対5となるように、 BaCO,とCuとを混合して、
第2層用原料を調製する。次いで、前記第2暦川原料を
8oO℃で24時間加熱し、次いで、900℃で24時
間加熱する。次いで、このように熱処理を施した前記第
2層用原料を粉砕する。次いで、第3図に示すように,
前記第2層用原料の粉末を第1層の表面上に塗布して、
第1】1の表面上に第2N2を形成する。次いで,第2
層2を930℃から950’Cの温度で1から24時間
加熱する。
を形成する。次いで.BaとCuとの割合がモル比で3
対5となるように、 BaCO,とCuとを混合して、
第2層用原料を調製する。次いで、前記第2暦川原料を
8oO℃で24時間加熱し、次いで、900℃で24時
間加熱する。次いで、このように熱処理を施した前記第
2層用原料を粉砕する。次いで、第3図に示すように,
前記第2層用原料の粉末を第1層の表面上に塗布して、
第1】1の表面上に第2N2を形成する。次いで,第2
層2を930℃から950’Cの温度で1から24時間
加熱する。
このようにして、第2層2が溶融すると,第2/!2の
融液が第1層1中に浸透して,前記融液と第1層1の一
部を構成するY,BaCuOxとが反応する.この結果
、第4図に示すように、未反応の第1層1上に、YBa
,Cu30xの超電導皮膜3が形成される. 上記超電導皮膜3は、その組織が緻密で且つ超電導相単
相からなっているので、高いJcを有する超電導物品を
製造することができる.[発明が解決しようとする課題
コ しかしながら、上述した先行技術によって、超電導材を
皮膜化する場合、次のような問題がある,即ち,第1層
1および第2層2をセラミックスまたは金属基材4上に
形成し,その後、第2層2を加熱した時に、超電導皮膜
3に割れが生じる。これは、第1層1中のY2BaCu
Oxが第2層2の融液と反応して、YBa.2Cu3O
xが生成される際に、体積が膨張するため、および、Y
2BaCuOxの第IW!J1とYBa2Cu3Oxの
超電導皮膜3との熱膨張率に差があるためと解釈される
。
融液が第1層1中に浸透して,前記融液と第1層1の一
部を構成するY,BaCuOxとが反応する.この結果
、第4図に示すように、未反応の第1層1上に、YBa
,Cu30xの超電導皮膜3が形成される. 上記超電導皮膜3は、その組織が緻密で且つ超電導相単
相からなっているので、高いJcを有する超電導物品を
製造することができる.[発明が解決しようとする課題
コ しかしながら、上述した先行技術によって、超電導材を
皮膜化する場合、次のような問題がある,即ち,第1層
1および第2層2をセラミックスまたは金属基材4上に
形成し,その後、第2層2を加熱した時に、超電導皮膜
3に割れが生じる。これは、第1層1中のY2BaCu
Oxが第2層2の融液と反応して、YBa.2Cu3O
xが生成される際に、体積が膨張するため、および、Y
2BaCuOxの第IW!J1とYBa2Cu3Oxの
超電導皮膜3との熱膨張率に差があるためと解釈される
。
[課題を解決するための手段]
この発明は,セラミックスまたは金属製基材の表面上に
、Ln,BaCuOxおよびL n B a2C u,
○Xの混合物からなる第1層を形成し、次いで、前記第
1層の表面上に、前記第1暦の一部を構成する前記Ln
,BaCuOxと反応して、LnBa2Cu=Oxが生
成される成分組成からなる第2Nを形成し(但し、Ln
は,Yおよび希土類元素を表わす)、次いで、前記第2
.1!!を加熱して、前記第2層を溶融させることに特
徴を有するものである。
、Ln,BaCuOxおよびL n B a2C u,
○Xの混合物からなる第1層を形成し、次いで、前記第
1層の表面上に、前記第1暦の一部を構成する前記Ln
,BaCuOxと反応して、LnBa2Cu=Oxが生
成される成分組成からなる第2Nを形成し(但し、Ln
は,Yおよび希土類元素を表わす)、次いで、前記第2
.1!!を加熱して、前記第2層を溶融させることに特
徴を有するものである。
次に,この発明の,超電導物品の製造方法の一実施態様
を図面を参照しながら説明する。
を図面を参照しながら説明する。
第1図および第2図は、この発明の、超電導物品の製造
方法を示す工程図である。
方法を示す工程図である。
第1図に示すようにNi合金等の基材4の表面上に、L
n,BaCuOxおよびL n B a, C u30
xがらなり、Ln2BaCuOxの割合がモル比で5
がら8o%の第1,層5を、プラズマ溶射法等によって
形成する。但し−Lnは,Yおよび希土類元素を表わす
。次いで、第1層5の表面上に,第1層5の一部を構成
するLn.BaCuOxと反応して、LnBa2Cu3
Oxが生成される成分組成を有する第2層6を形成する
。第2N6は、Cuの酸化物およびBaの酸化物からな
り.CuとBaとの割合がモル比で、Cu:Ba=1
: 0.1から0.95 となる組成を有するもの、ま
たは、Cuの酸化物、Baの酸化物およびYの酸化物か
らなり、CuとBaとYとの割合がモル比で.Cu:
Ba: Y=1 : 0.1から0.95:O.OO1
から0.33となる組成を有するものからなっている。
n,BaCuOxおよびL n B a, C u30
xがらなり、Ln2BaCuOxの割合がモル比で5
がら8o%の第1,層5を、プラズマ溶射法等によって
形成する。但し−Lnは,Yおよび希土類元素を表わす
。次いで、第1層5の表面上に,第1層5の一部を構成
するLn.BaCuOxと反応して、LnBa2Cu3
Oxが生成される成分組成を有する第2層6を形成する
。第2N6は、Cuの酸化物およびBaの酸化物からな
り.CuとBaとの割合がモル比で、Cu:Ba=1
: 0.1から0.95 となる組成を有するもの、ま
たは、Cuの酸化物、Baの酸化物およびYの酸化物か
らなり、CuとBaとYとの割合がモル比で.Cu:
Ba: Y=1 : 0.1から0.95:O.OO1
から0.33となる組成を有するものからなっている。
例えば、YとBaとCuとの割合がモル比で1対13対
26となるような,YとBaとCuの酸化物の混合物か
らなっている。そして,第2暦6を900から1000
℃の温度範囲に加熱して、第2層6を溶融させる。
26となるような,YとBaとCuの酸化物の混合物か
らなっている。そして,第2暦6を900から1000
℃の温度範囲に加熱して、第2層6を溶融させる。
第1層5中のLn,BaCuOxの割合をモル比で5か
ら8o%としたのは、Ln.BaCuOxの割合がモル
比で5%未満であると、第1層5中に浸透した第2層6
の融液がLn.BaCuOxと十分に反応せず,未反応
の融液が超電導皮膜7中に残存して、皮膜7の特性が低
下し、一方.80%を超えると、超電導皮膜7に割れが
生じるからである。
ら8o%としたのは、Ln.BaCuOxの割合がモル
比で5%未満であると、第1層5中に浸透した第2層6
の融液がLn.BaCuOxと十分に反応せず,未反応
の融液が超電導皮膜7中に残存して、皮膜7の特性が低
下し、一方.80%を超えると、超電導皮膜7に割れが
生じるからである。
て、第2N6の融液が、第1層S中に浸透する。
この結果、第2層6の融液と第1層5の一部を構成する
Ln,BaCuOxとが反応して,第2図に示すように
、母材1の表面上に未反応の第1層5を介してLnBa
2Cu30xの超電導皮膜7が割れが生じることなく形
成される。超電導皮膜7の組織は緻密で且つ超電導相単
和からなっている。
Ln,BaCuOxとが反応して,第2図に示すように
、母材1の表面上に未反応の第1層5を介してLnBa
2Cu30xの超電導皮膜7が割れが生じることなく形
成される。超電導皮膜7の組織は緻密で且つ超電導相単
和からなっている。
超電導皮膜7に割れが生じにくいのは、次の理由による
。即ち、第1層5中に、超電導皮膜7と同一成分組成で
あるL n B a2C 11,○Xが含まれているた
めに、第1層1中のY 2B a C u O xが第
2相2の融液と反応して、YBa2Cu,Oxが生成さ
れる際の体積膨張が減少し、且つ、 Ln.BaCuO
xの第1層5とLnBa.Cu,Oxの超電導皮膜7と
の熱膨張率の差が小さくなるためである。
。即ち、第1層5中に、超電導皮膜7と同一成分組成で
あるL n B a2C 11,○Xが含まれているた
めに、第1層1中のY 2B a C u O xが第
2相2の融液と反応して、YBa2Cu,Oxが生成さ
れる際の体積膨張が減少し、且つ、 Ln.BaCuO
xの第1層5とLnBa.Cu,Oxの超電導皮膜7と
の熱膨張率の差が小さくなるためである。
次に、この発明の実施例について説明する。
[実施例]
YとBaとCuとの割合がモル比で1.5対1.5対2
となるように、 y,o,とB a C O zとCu
Oとを混合したものからなる第1層用原料を,900℃
の温度で10時間1時焼成し、次いで、この1次焼成原
料を粉砕し、次いで、この粉砕した1次焼成原料を、9
20℃の温度で10時間2次焼成し、次いで、この2次
焼成原料を粉砕し、次いで、この粉砕した2次焼成原料
を、950℃の温度で10時間3次焼成し、そして、こ
の3次焼成原料を粉砕して、粒径26から44μmの第
IN用粉末原料を調製した。このようにして調製した第
1層用粉末原料は、YとBaとCuとのモル比から、5
0%のY2BaCuOxと50%のYBa2Cu3Ox
とからなっている。
となるように、 y,o,とB a C O zとCu
Oとを混合したものからなる第1層用原料を,900℃
の温度で10時間1時焼成し、次いで、この1次焼成原
料を粉砕し、次いで、この粉砕した1次焼成原料を、9
20℃の温度で10時間2次焼成し、次いで、この2次
焼成原料を粉砕し、次いで、この粉砕した2次焼成原料
を、950℃の温度で10時間3次焼成し、そして、こ
の3次焼成原料を粉砕して、粒径26から44μmの第
IN用粉末原料を調製した。このようにして調製した第
1層用粉末原料は、YとBaとCuとのモル比から、5
0%のY2BaCuOxと50%のYBa2Cu3Ox
とからなっている。
次に、YとBaとCuとの割合がモル比で1対13対2
6となるように、 y,o,とBaCO,とCuOとを
混合したものからなる第2層用原料を、9 0 0 ’
Cの温度で10時間1次焼成し、次いで,この1次焼成
原料を粉砕し、次いで、この粉砕した1次焼成原料を、
920℃の温度で10時間2次焼成し、次いで、この2
次焼成原料を粉砕し、次いで、この粉砕した2次焼成原
料を、950℃の温度で1時間3次焼成し、そして、こ
の3次焼成原料を粉砕して、粒径26から44μ園の第
2層用粉末原料を調製した。
6となるように、 y,o,とBaCO,とCuOとを
混合したものからなる第2層用原料を、9 0 0 ’
Cの温度で10時間1次焼成し、次いで,この1次焼成
原料を粉砕し、次いで、この粉砕した1次焼成原料を、
920℃の温度で10時間2次焼成し、次いで、この2
次焼成原料を粉砕し、次いで、この粉砕した2次焼成原
料を、950℃の温度で1時間3次焼成し、そして、こ
の3次焼成原料を粉砕して、粒径26から44μ園の第
2層用粉末原料を調製した。
次に,Ni合金からなる基材の表面上に,上記第1層用
粉末原料を,低圧プラズマ溶射法によって吹き付け 、
かくして、基材の表面上に厚さ100μmの第1層を形
成した。次いで,第IMの面上に厚さ50μlの第2層
を形成した。
粉末原料を,低圧プラズマ溶射法によって吹き付け 、
かくして、基材の表面上に厚さ100μmの第1層を形
成した。次いで,第IMの面上に厚さ50μlの第2層
を形成した。
そして、第2層を950℃の温度に30分間加熱した。
この結果、基材の表面上には,未反応の厚さ75μmの
第1層を介して厚さ5oALIIlのYBa2Cu,○
Xの超電導皮膜が形成された。
第1層を介して厚さ5oALIIlのYBa2Cu,○
Xの超電導皮膜が形成された。
この超電導皮膜を観察した結果,割れは生じておらず、
組織は緻密で且つ超電導相単相からなっていた。そして
、超電導皮膜のJcを調べた結果、1100A/dであ
った。
組織は緻密で且つ超電導相単相からなっていた。そして
、超電導皮膜のJcを調べた結果、1100A/dであ
った。
[発明の効果]
以上説明したように、この発明によれば,優れた超電導
特性を有する皮膜が形成された超電導物品を製造するこ
とができるといった有用な効果がもたらされる。
特性を有する皮膜が形成された超電導物品を製造するこ
とができるといった有用な効果がもたらされる。
る。図面において、
1,5・・・第1/W.
3,7・・・超電導皮膜、
2,6・・・第21、
4・・・基材。
Claims (1)
- 1 セラミックスまたは金属製基材の表面上に、Ln_
2BaCuOxおよびLnBa_2Cu_3Oxの混合
物からなる第1層を形成し、次いで、前記第1層の表面
上に、前記第1層の一部を構成する前記Ln_2BaC
uOxと反応して、LnBa_2Cu_3Oxが生成さ
れる成分組成からなる第2層を形成し(但し、Lnは、
Yおよび希土類元素を表わす)、次いで、前記第2層を
加熱して、前記第2層を溶融させることを特徴とする、
超電導物品の製造方法。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1060460A JPH0712928B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 超電導物品の製造方法 |
| CA002010486A CA2010486A1 (en) | 1989-03-13 | 1990-02-20 | Method for manufacturing superconducting article |
| EP90103352A EP0387552B1 (en) | 1989-03-13 | 1990-02-21 | Method for manufacturing superconducting article |
| DE69009247T DE69009247T2 (de) | 1989-03-13 | 1990-02-21 | Verfahren zur Herstellung eines supraleitenden Gegenstandes. |
| KR1019900002813A KR930003843B1 (ko) | 1989-03-13 | 1990-03-05 | 초전도 물품의 제조방법 |
| CN90101312A CN1045887A (zh) | 1989-03-13 | 1990-03-13 | 超导体制造方法 |
| US07/782,795 US5200389A (en) | 1989-03-13 | 1991-10-25 | Method for manufacturing an oxide superconducting article |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1060460A JPH0712928B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 超電導物品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02239116A true JPH02239116A (ja) | 1990-09-21 |
| JPH0712928B2 JPH0712928B2 (ja) | 1995-02-15 |
Family
ID=13142900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1060460A Expired - Lifetime JPH0712928B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 超電導物品の製造方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0387552B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0712928B2 (ja) |
| KR (1) | KR930003843B1 (ja) |
| CN (1) | CN1045887A (ja) |
| CA (1) | CA2010486A1 (ja) |
| DE (1) | DE69009247T2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1048706C (zh) * | 1996-05-21 | 2000-01-26 | 浙江大学 | 单相性Bi2Sr2Ca2Cu3O10+δ高温超导体的分步合成方法 |
| CN104795180B (zh) * | 2015-04-07 | 2017-08-11 | 上海大学 | 极低氟mod法快速制备rebco超导膜的方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL8701788A (nl) * | 1987-07-29 | 1989-02-16 | Philips Nv | Werkwijze voor het vervaardigen van een supergeleidende dunne laag. |
| JP2707499B2 (ja) * | 1987-11-26 | 1998-01-28 | 住友電気工業株式会社 | 酸化物超電導体の製造方法 |
-
1989
- 1989-03-13 JP JP1060460A patent/JPH0712928B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-02-20 CA CA002010486A patent/CA2010486A1/en not_active Abandoned
- 1990-02-21 DE DE69009247T patent/DE69009247T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-02-21 EP EP90103352A patent/EP0387552B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-03-05 KR KR1019900002813A patent/KR930003843B1/ko not_active Expired - Lifetime
- 1990-03-13 CN CN90101312A patent/CN1045887A/zh active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR930003843B1 (ko) | 1993-05-13 |
| KR900015365A (ko) | 1990-10-26 |
| DE69009247D1 (de) | 1994-07-07 |
| EP0387552B1 (en) | 1994-06-01 |
| EP0387552A2 (en) | 1990-09-19 |
| CN1045887A (zh) | 1990-10-03 |
| CA2010486A1 (en) | 1990-09-13 |
| JPH0712928B2 (ja) | 1995-02-15 |
| DE69009247T2 (de) | 1994-10-06 |
| EP0387552A3 (en) | 1991-04-10 |
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