JPH02242108A - 外観検査機 - Google Patents
外観検査機Info
- Publication number
- JPH02242108A JPH02242108A JP6312389A JP6312389A JPH02242108A JP H02242108 A JPH02242108 A JP H02242108A JP 6312389 A JP6312389 A JP 6312389A JP 6312389 A JP6312389 A JP 6312389A JP H02242108 A JPH02242108 A JP H02242108A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- inspected
- image
- light
- parallel beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 30
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 17
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 13
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 7
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は金属プレート、積層板等の被検査物の表面を検
査する外観検査機に関するものである。
査する外観検査機に関するものである。
［従来の技術］
従来、金属プレート、積層板、鏡面仕上げされた板材等
の被検査物の表面に傷や凹凸等欠陥が存在するか否かの
検査を行う外観検査機としては、ＣＣＤイメージセンナ
等の撮像手段を用いて被検査物の検査面（表面）を撮像
し、欠陥によって生じる明るさレベルの低下を画像の濃
度レベルの変化として検出するものがあった。
の被検査物の表面に傷や凹凸等欠陥が存在するか否かの
検査を行う外観検査機としては、ＣＣＤイメージセンナ
等の撮像手段を用いて被検査物の検査面（表面）を撮像
し、欠陥によって生じる明るさレベルの低下を画像の濃
度レベルの変化として検出するものがあった。
［発明が解決しようとする課題］
ところが従来、撮像のために検査面を照明する照明手段
としては第６図に示すように光ビームが平行でない拡散
光を生じる蛍光ランプ、ハロゲインランプ等のランプ１
を用いていたため、被検査物２の検査面に欠陥３があっ
ても欠陥３の内面での反射光が一様に拡散して、欠陥３
とその周辺との間に濃度差があまり生じず、欠陥をうま
く検出できないという欠点があった。
としては第６図に示すように光ビームが平行でない拡散
光を生じる蛍光ランプ、ハロゲインランプ等のランプ１
を用いていたため、被検査物２の検査面に欠陥３があっ
ても欠陥３の内面での反射光が一様に拡散して、欠陥３
とその周辺との間に濃度差があまり生じず、欠陥をうま
く検出できないという欠点があった。
本発明は上述の問題点に鑑みて為されたもので、その目
的とするところは欠陥による明るさレベルの変化を確実
に生じさせて、欠陥を精度良く安定に検出することがで
きる外観検査機を提供するにある。
的とするところは欠陥による明るさレベルの変化を確実
に生じさせて、欠陥を精度良く安定に検出することがで
きる外観検査機を提供するにある。
［課題を解決するための手段］
本発明は被検査物の検査面を平行ビームの光で照明する
照明手段と、該照明手段で照明された被検査物の検査面
を撮像する撮像手段と、撮像した画像の濃度レベルによ
り凹凸等の欠陥を検出する手段とを備えたものである。
照明手段と、該照明手段で照明された被検査物の検査面
を撮像する撮像手段と、撮像した画像の濃度レベルによ
り凹凸等の欠陥を検出する手段とを備えたものである。
［作用］
而して本発明では被検査物の検査面を平行ビームの光で
照明するため、欠陥が存在すれば欠陥内面での反射光は
一様に拡散することがなく、従って欠陥による明るさレ
ベルの変化を確実に生じさせ、撮像手段で撮像した画像
での濃度レベルを欠陥と、正常な面との間で大きく異な
らせることができるのである。結果欠陥を確実に検出す
ることができるものとする。
照明するため、欠陥が存在すれば欠陥内面での反射光は
一様に拡散することがなく、従って欠陥による明るさレ
ベルの変化を確実に生じさせ、撮像手段で撮像した画像
での濃度レベルを欠陥と、正常な面との間で大きく異な
らせることができるのである。結果欠陥を確実に検出す
ることができるものとする。
［実施例コ
以下本発明を実施例により説明する。
第１図は本発明の被検査物の検査面の外観検査機を用い
た実施例の概略構成を示しており、この外観検査機はコ
ンベヤ４によって搬送される被検査物２の検査面に対し
て斜め方向から平行ビームの光で照明する照明器具５と
、この照明器具５とは反対側に設けられて平行ビームで
照明された被検査物１の検査面を撮像するＣＣＤイメー
ジセンサ等からなる撮像手段６と、この撮像手段６で撮
像して得られた画像から欠陥の有無を検出するための処
理回路部７とから構成される。
た実施例の概略構成を示しており、この外観検査機はコ
ンベヤ４によって搬送される被検査物２の検査面に対し
て斜め方向から平行ビームの光で照明する照明器具５と
、この照明器具５とは反対側に設けられて平行ビームで
照明された被検査物１の検査面を撮像するＣＣＤイメー
ジセンサ等からなる撮像手段６と、この撮像手段６で撮
像して得られた画像から欠陥の有無を検出するための処
理回路部７とから構成される。
照明器具５は反射板８とランプ（図示せず）とから構成
されランプからの光を反射板８によって平行ビームの光
とし、この光により被検査物２の検査面を照射し、欠陥
３内面で反射されても第４図に示すように反射光が従来
のように一様に拡散することないようにしている。
されランプからの光を反射板８によって平行ビームの光
とし、この光により被検査物２の検査面を照射し、欠陥
３内面で反射されても第４図に示すように反射光が従来
のように一様に拡散することないようにしている。
処理回路部７は第２図に示す回路から構成され、撮像手
段６からの撮像出力をＩ／Ｖ変換するＩ／Ｖ変換器つと
、このＩ／Ｖ変換器って変換した変換出力を光量係数Ｋ
を用いて割算を行って光量追従を行わせる割算器１０と
、この割算器１０からの出力を減算して濃度レベルが第
３図（ａ＞に示すように閾値し以下なのかどうかで不良
品を判定する減算器１１と、減算器１０からの出力と割
算器１０の出力とで第３図に示すようなＳ／Ｎ平均値を
演算する機能と、この得られたＳ／Ｎ平均値と割算器１
１の出力で求めたＳ／Ｎとを比較してＳ／Ｎが大であれ
ば不良と、小であれば良品と判定する判定機能とを備え
ており、第２図において破線で囲まれた枠内の処理はデ
ィジタル処理で行なう。
段６からの撮像出力をＩ／Ｖ変換するＩ／Ｖ変換器つと
、このＩ／Ｖ変換器って変換した変換出力を光量係数Ｋ
を用いて割算を行って光量追従を行わせる割算器１０と
、この割算器１０からの出力を減算して濃度レベルが第
３図（ａ＞に示すように閾値し以下なのかどうかで不良
品を判定する減算器１１と、減算器１０からの出力と割
算器１０の出力とで第３図に示すようなＳ／Ｎ平均値を
演算する機能と、この得られたＳ／Ｎ平均値と割算器１
１の出力で求めたＳ／Ｎとを比較してＳ／Ｎが大であれ
ば不良と、小であれば良品と判定する判定機能とを備え
ており、第２図において破線で囲まれた枠内の処理はデ
ィジタル処理で行なう。
尚画像処理の方法としては閾値での弁別で不良とした出
力をＸ、Ｙのマツプに配し、定範囲内にＫ（任意定数）
以上のビットがあれば不良品と判定するマツプ処理や、
不良出力のビット数を各々の集団ごとに面積として加算
し、定量以上のものを不良品とする面積処理等がある。
力をＸ、Ｙのマツプに配し、定範囲内にＫ（任意定数）
以上のビットがあれば不良品と判定するマツプ処理や、
不良出力のビット数を各々の集団ごとに面積として加算
し、定量以上のものを不良品とする面積処理等がある。
勿論上記以外の画像処理を採用してもよい。
また照明器具５としては第５図（ａ）に示すように筒状
体１２内にランプｌと、スリット１３と、レンズ１４を
配して平行ビームを得るコリメータ１５を第５図（ｂ）
のように横一列に複数並行配設した照明器具を用いてら
よい。図中Ｅは電源である。
体１２内にランプｌと、スリット１３と、レンズ１４を
配して平行ビームを得るコリメータ１５を第５図（ｂ）
のように横一列に複数並行配設した照明器具を用いてら
よい。図中Ｅは電源である。
［発明の効果］
本発明は被検査物の検査面を平行ビームの光で照明する
照明手段と、該照明手段で照明された被検査物の検査面
を撮像する撮像手段と、撮像した画像の濃度レベルによ
り凹凸等の欠陥を検出する手段とを備えたものであるか
ら、欠陥内面での反射光は一様に拡散することがなく、
欠陥による明るさレベルの変化を確実に生じさせ、結果
撮像手段で撮像した画像での濃度レベルを欠陥と正常な
面との間で大きく異ならせることができ、欠陥を確実に
検出することができるという効果を奏する。
照明手段と、該照明手段で照明された被検査物の検査面
を撮像する撮像手段と、撮像した画像の濃度レベルによ
り凹凸等の欠陥を検出する手段とを備えたものであるか
ら、欠陥内面での反射光は一様に拡散することがなく、
欠陥による明るさレベルの変化を確実に生じさせ、結果
撮像手段で撮像した画像での濃度レベルを欠陥と正常な
面との間で大きく異ならせることができ、欠陥を確実に
検出することができるという効果を奏する。
第１図は本発明の実施例の概略構成図、第２図は同上の
処理回路部の回路構成図、第３図（ａ）。 （ｂ）は同上の動作説明用波形図、第４図は同上の説明
図、第５図（ａ）、（ｂ）は本発明の別の実施例の照明
器具の断面図、斜視図、第６図は従来例の説明図である
。 ２は被検査物、３は欠陥、５は照明器具、６は撮像手段
である。 代理人 弁理士 石 １）長 七
処理回路部の回路構成図、第３図（ａ）。 （ｂ）は同上の動作説明用波形図、第４図は同上の説明
図、第５図（ａ）、（ｂ）は本発明の別の実施例の照明
器具の断面図、斜視図、第６図は従来例の説明図である
。 ２は被検査物、３は欠陥、５は照明器具、６は撮像手段
である。 代理人 弁理士 石 １）長 七
Claims (1)
- （１）被検査物の検査面を平行ビームの光で照明する照
明手段と、該照明手段で照明された被検査物の検査面を
撮像する撮像手段と、撮像した画像の濃度レベルにより
凹凸等の欠陥を検出する手段とを備えたことを特徴する
外観検査機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6312389A JPH02242108A (ja) | 1989-03-15 | 1989-03-15 | 外観検査機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6312389A JPH02242108A (ja) | 1989-03-15 | 1989-03-15 | 外観検査機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02242108A true JPH02242108A (ja) | 1990-09-26 |
Family
ID=13220187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6312389A Pending JPH02242108A (ja) | 1989-03-15 | 1989-03-15 | 外観検査機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02242108A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60135707A (ja) * | 1983-12-23 | 1985-07-19 | Matsushita Electric Works Ltd | 凹凸欠陥検出方法 |
-
1989
- 1989-03-15 JP JP6312389A patent/JPH02242108A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60135707A (ja) * | 1983-12-23 | 1985-07-19 | Matsushita Electric Works Ltd | 凹凸欠陥検出方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11892414B2 (en) | Device and method for checking for surface defect, using image sensor | |
| CA2842544C (en) | Apparatus and method for inspecting matter and use thereof for sorting recyclable matter | |
| JPH01314955A (ja) | 透光性容器の検査方法 | |
| JPH02115706A (ja) | 円筒状部品の表面を自動的に非接触で検査する方法及び装置 | |
| JP2004037248A (ja) | 検査装置および貫通孔の検査方法 | |
| TW201411122A (zh) | 表面異物檢查系統及其控制方法 | |
| JPH04122839A (ja) | 表面検査方法 | |
| JP3241666B2 (ja) | ガラス容器の欠陥検査装置 | |
| FI80959C (fi) | Foerfarande och anordning foer inspektion av spegelreflexionsytor. | |
| JPH04118546A (ja) | 瓶検査装置 | |
| KR940005944A (ko) | 표면결함검사장치 | |
| JP2914967B2 (ja) | 外観検査方法 | |
| JP2002005845A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH04216445A (ja) | 瓶検査装置 | |
| JP2003139524A (ja) | 検査装置 | |
| JPH04178545A (ja) | 透明帯状体の検査方法及び装置 | |
| JP2008185368A (ja) | 光学式形状測定方法及び装置 | |
| JPH0755720A (ja) | 透明および不透明フィルムの欠点検査装置 | |
| CN221648274U (zh) | 一种缝成型检测光源 | |
| JPH10148620A (ja) | 表面状態検査装置 | |
| JPH04309850A (ja) | ガラス筒体の欠陥検査方法 | |
| JP2001165864A (ja) | 表面検査装置及び方法 | |
| JPS62113050A (ja) | びん口部検査装置 | |
| JPH02278105A (ja) | 半田付検査装置 | |
| JP3197047B2 (ja) | 欠陥検査装置 |