JPH02243535A - 紫外光用ガラス母材の製造方法 - Google Patents
紫外光用ガラス母材の製造方法Info
- Publication number
- JPH02243535A JPH02243535A JP6224189A JP6224189A JPH02243535A JP H02243535 A JPH02243535 A JP H02243535A JP 6224189 A JP6224189 A JP 6224189A JP 6224189 A JP6224189 A JP 6224189A JP H02243535 A JPH02243535 A JP H02243535A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hydrogen
- ultraviolet light
- atmosphere
- quartz glass
- base material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6224189A JPH02243535A (ja) | 1989-03-16 | 1989-03-16 | 紫外光用ガラス母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6224189A JPH02243535A (ja) | 1989-03-16 | 1989-03-16 | 紫外光用ガラス母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02243535A true JPH02243535A (ja) | 1990-09-27 |
| JPH0531510B2 JPH0531510B2 (fr) | 1993-05-12 |
Family
ID=13194452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6224189A Granted JPH02243535A (ja) | 1989-03-16 | 1989-03-16 | 紫外光用ガラス母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02243535A (fr) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004059412A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-02-26 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 石英ガラス治具及びその製造方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS509609A (fr) * | 1973-05-29 | 1975-01-31 | ||
| JPS6230632A (ja) * | 1985-08-01 | 1987-02-09 | Shinetsu Sekiei Kk | 高純度石英ガラスの製造方法 |
| JPS6280606A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-04-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 単一モ−ド光フアイバ |
| JPS62143844A (ja) * | 1985-12-13 | 1987-06-27 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光伝送体の処理方法 |
| JPS63100038A (ja) * | 1986-05-09 | 1988-05-02 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 天然石英ガラスからの不純物除去方法 |
-
1989
- 1989-03-16 JP JP6224189A patent/JPH02243535A/ja active Granted
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS509609A (fr) * | 1973-05-29 | 1975-01-31 | ||
| JPS6230632A (ja) * | 1985-08-01 | 1987-02-09 | Shinetsu Sekiei Kk | 高純度石英ガラスの製造方法 |
| JPS6280606A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-04-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 単一モ−ド光フアイバ |
| JPS62143844A (ja) * | 1985-12-13 | 1987-06-27 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光伝送体の処理方法 |
| JPS63100038A (ja) * | 1986-05-09 | 1988-05-02 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 天然石英ガラスからの不純物除去方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004059412A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-02-26 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 石英ガラス治具及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0531510B2 (fr) | 1993-05-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0483752B1 (fr) | Membre optique en silice synthétique de haute pureté et transparente et méthode de fabrication et ébauche de celui-ci | |
| JP3674793B2 (ja) | 紫外線レーザ用石英ガラス光学部材の製造方法 | |
| JP2000258601A (ja) | ArFエキシマレーザーリソグラフィー用合成石英ガラス部材 | |
| JPH0388742A (ja) | 合成シリカガラス光学体及びその製造方法 | |
| JP2971686B2 (ja) | 耐紫外線レーザー用光学部材の製造方法 | |
| JP4493060B2 (ja) | エキシマレーザー用光学石英ガラスの製造方法 | |
| JP4193358B2 (ja) | 合成石英ガラス光学部材およびその製造方法 | |
| JPH0959034A (ja) | 合成石英ガラス材及びその製造方法 | |
| JP2821074B2 (ja) | 耐紫外線レーザー用光学部材の製造方法 | |
| JP4011217B2 (ja) | エキシマレーザー用光学石英ガラスの製造方法 | |
| EP1233005B1 (fr) | Méthode pour produire des éléments en verre de quartz synthétique pour lasers excimères et verres de quartz synthétique ainsi produits | |
| JPH03109233A (ja) | 紫外線レーザ用合成シリカガラス光学体及びその製造方法 | |
| JP4191935B2 (ja) | エキシマレーザー用合成石英ガラス部材の製造方法 | |
| JP3336761B2 (ja) | 光透過用合成石英ガラスの製造方法 | |
| JP2000290026A (ja) | エキシマレーザー用光学石英ガラス部材 | |
| JP4151109B2 (ja) | 合成石英ガラス光学部材およびその製造方法 | |
| JPH02243535A (ja) | 紫外光用ガラス母材の製造方法 | |
| JPH07277744A (ja) | 合成石英ガラスの製造方法 | |
| JPH01212247A (ja) | レーザ光学系母材の製造方法 | |
| TW200413267A (en) | Fused silica containing aluminum | |
| JPH0624997B2 (ja) | レーザ光用光学系部材 | |
| JPH03101282A (ja) | レーザ光用光学系部材 | |
| JPH0421540A (ja) | 合成石英ガラス及びその製法 | |
| JP2789501B2 (ja) | 光学用シリカガラスの製造方法 | |
| JP2566151B2 (ja) | レーザー光学系母材の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090512 Year of fee payment: 16 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |