JPH0224551U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0224551U JPH0224551U JP10177788U JP10177788U JPH0224551U JP H0224551 U JPH0224551 U JP H0224551U JP 10177788 U JP10177788 U JP 10177788U JP 10177788 U JP10177788 U JP 10177788U JP H0224551 U JPH0224551 U JP H0224551U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- dielectric film
- element formation
- utility
- interposed therebetween
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Element Separation (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体基板の一実施例を
示す側断面図、第２図乃至第４図は第１図半導体
基板の一製造例を示す各工程の側断面図、第５図
は本考案に係る半導体基板の他の実施例を示す側
断面図、第６図は従来の半導体基板の一具体例を
示す側断面図、第７図乃至第９図は第６図半導体
基板の一製造例を示す各工程の側断面図である。 １１，１２，１４ａ，１７ａ，２２，２３……
素子形成領域、１１ａ，１２ａ……底部、１３，
２０……誘電体膜（酸化膜）。
示す側断面図、第２図乃至第４図は第１図半導体
基板の一製造例を示す各工程の側断面図、第５図
は本考案に係る半導体基板の他の実施例を示す側
断面図、第６図は従来の半導体基板の一具体例を
示す側断面図、第７図乃至第９図は第６図半導体
基板の一製造例を示す各工程の側断面図である。 １１，１２，１４ａ，１７ａ，２２，２３……
素子形成領域、１１ａ，１２ａ……底部、１３，
２０……誘電体膜（酸化膜）。
Claims (1)
- 表裏両面に素子形成領域を、分離用誘電体膜を
介して千鳥足状に並ぶように形成したことを特徴
とする半導体基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10177788U JPH0224551U (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10177788U JPH0224551U (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0224551U true JPH0224551U (ja) | 1990-02-19 |
Family
ID=31331083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10177788U Pending JPH0224551U (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0224551U (ja) |
-
1988
- 1988-07-29 JP JP10177788U patent/JPH0224551U/ja active Pending