JPH02250253A - 薄膜試料用荷電粒子描画装置及び薄膜試料固定治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はＸ線マスク及び半導体薄膜デバイス等の薄膜試
料にパターンを描画する装置及びこの装置に用いる薄膜
試料固定治具に関する。

【従来の技術〕

従来、試料にパターンを描画するときには厚膜状態でパ
ターン描画し、該工程後、真空系外に試料を取り出し、
別工程としてこれを薄膜化するか、真空排気に充分耐え
る強度の薄膜試料を用いており、特に予備排気時におけ
る薄膜破損の有無の確認は行っていなかった。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のパターン描画に用いる荷電粒子描画装置
及び試料固定治具には薄膜試料描画について特段の考慮
はなされておらず、また、描画装置の真空作業室前段の
予備排気室における真空排気時に薄膜が破損しても特に
これを検知する手段はなかった。そのため、破損した薄
膜が描画装置の真空作業室に入ると重大な被害を生じる
ことがあり、この危険の可能性のため前述の荷電粒子描
画装置は事実上薄膜試料の描画には用いられていなかっ
た。

本発明の目的は上記課題を解消して薄膜試料の描画を実
現した荷電粒子描画装置及び試料固定治具を提供するこ
とにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するため１本発明による薄膜試料用荷電
粒子描画装置は、試料を収容する真空作業室と、試料上
に荷電粒子ビームを照射する荷電粒子描画鏡筒と、真空
作業室内への試料の搬入に先立って試料を待機させる予
備排気室とを有する荷電粒子描画装置において、前記予
備排気室内に。

薄膜試料の薄膜の有無を無接触で確認検知する試料検知
装置を装備したものである。

また、前記荷電粒子の描画装置の薄膜試料固定治具にお
いては、前記予備排気室内に設置された試料検知装置か
ら発した光線を通過させる透過孔を、前記薄膜試料に対
向する固定用治具の基板面に開口したものである。

〔実施例〕

以下に本発明の実施例を図によって説明する。

第１図において、１は電子銃、電磁光学系、ビーム偏向
器などを備えた公知の荷電粒子描画鏡筒である。該鏡筒
１内に生じさせた荷電ビームはその直下の真空作業室２
内に出射し、Ｘ、Ｙテーブル３上に搬入された試料４上
に荷電ビームによるパターンの描写が行われる。真空作
業室２の前段には予備排気室５を有している。

試料４は固定治具６に搭載され、予備排気室５内に搬入
後、該室５内は脱気される。第１図中、７は真空作業室
２と予備排気室５間を隔離するシャッターである。以上
の構成は従来の荷電粒子描画装置と同じである。本発明
は前記予備排気室５内に、搬入された試料４の有無を確
認検知する手段を装備したものである。

実施例は光学的に検知確認する試料検知装置８を用いた
例を示す。第１図において、９は光源、１．０は光検出
器である。光源９と光検出器１０とは固定治具６の搬入
位置の上方で、垂直軸に対し、定角度をなして対称位置
に設置されている。したがって、予備排気室５内に搬入
された固定治具６に薄膜試料４がセットされていれば、
光源９よす発した光は薄膜試料４の面上で反射し、その
反射光が光検出器１．０に受光され、光検出器１０から
の出力の有無を検知することによって薄膜試料４の有無
を確認検知することができる。

第２図に試料検知装置の他の実施例を示す１本実施例は
試料の透過光を検知する方式の検知装置を用いた例であ
る。第２図において、予備排気室５内の上部には固定治
具６の搬入位置に対応して複数の光源９が設置され、各
光源９に向き合せて下部に光検出器１０をそれぞれ設置
したものである。

また、固定治具６の底面の基板６ａには、各光源９と光
検出［１１０間の光軸に対応して透過孔１１が開口され
ている。なお、予備排気室５には、その底部の両端及び
固定治具６を搬入する中央部位に真空排気ロ又′−１±
大気流入口１２が開口されており、前記透過孔１１は固
定治具６内を通しての排気及び流入空気の通過孔にもな
っている。

本実施例によれば、予備排気室５内に搬入された固定治
具６上に薄膜試料４が搭載されていれば。

光源９から出射した光は薄膜試料４のＷＩＩＸＫを通し
て光検出器１０に受光され、薄膜試料４を通過した光の
強度が減するため、光検出器ｌＯに受光した光の強度を
測定することによって薄膜試料４の有無を検知できる。

以上いずれの実施例においても試料の有無を無接触で光
学的に検知するため、試料を傷付けることがなく、また
、試料薄膜の厚味に無関係に検出できる。なお、試料検
知装置は無接触で検知できるものであれば必ずしも光学
的に検知する場合に限らない。

〔発明の効果〕 以上のように本発明によるときには予備排気室内で真空
作業室への搬入に先立って固定治具上の試料の有無、ひ
いては薄膜試料の薄膜敲損の有無の確認、検知が可能と
なり、描画装置の真空作業室内への破損した試料の持ち
込みを防止して真空作業室内の汚染、事故発生を未然に
阻止することができる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す断面略示図。 第２図は固定用治具の他の実施例を示す要部拡大断面図
である。 １・・・荷電粒子描画鏡筒　　２・・・真空作業室４・
・・薄膜試料　　　　　　５・・・予備排気室６・・・
固定治具　　　　　　８・・・試料検知装置９１１．光
源　　　　　　　　１０・・・光検出器１１・・・透過
孔

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）試料を収容する真空作業室と、試料上に荷電粒子
   ビームを照射する荷電粒子描画鏡筒と、真空作業室内へ
   の試料の搬入に先立って試料を待機させる予備排気室と
   を有する荷電粒子描画装置において、前記予備排気室内
   に、薄膜試料の薄膜の有無を無接触で確認検知する試料
   検知装置を装備したことを特徴とする薄膜試料用荷電粒
   子描画装置。
2. （２）前記薄膜試料を搭載する固定用治具において、前
   記予備排気室内に設置された試料検知装置から発した光
   線を通過させる透過孔を、前記薄膜試料に対向する固定
   用治具の基板面に開口したことを特徴とする請求項（１
   ）に記載の薄膜試料用荷電粒子描画装置の薄膜試料固定
   治具。